JPS5927437A - 電子顕微鏡の結像法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡、特に生物試料等を高コントラスト
、高分解能で観察するのに適した電子顕微鏡に関するも
のである。

近年においては、例えば加速電圧が１００ｋｖ〜２０Ｏ
ｋＶ級の普及型電子顕微鏡においても高分解能化が推進
され、対物レンズの球面収差係数０８が１〜２ｉｌＯＩ
＋（ミリメートル）、更には１１ＥｉＩ以下といったも
のが出現し、加速電圧と、ｃａで決まる理論分解能レベ
ルで結晶構造像や原子、分子構造像が観察されるように
なって来ている。このような高分解能電子顕微鏡の対物
レンズにおける結像状態の一例を示すと第１図のように
なる。ここに示す対物レンズ１は、上側磁極片５と、こ
の上側磁極片５に対して所定のギャップＢをあけて配置
された下側磁極片６とを有し、電子レンズ軸Ｏ（以下、
便宜上光軸という）に沿って径がｂの腔１０を形成して
いる。上側磁極片５と下側磁極片６との間には、先端が
受部材９によって支持される試料ホルダー７が配置され
、この試料ホルダーＩには試料２が載置しである。また
、上記試料ホルダー７に隣接して対物絞り８が挿入しで
ある。なお第１図中、符号４は集束レンズによって収束
されながら対物レンズ１に入った電子銃からの照射電子
線を示す。

かかる構成を有する対物レンズ１において、試料２によ
り散乱された電子線３は対物レンズ１の後方の位置１１
、例えば制限視野絞り位置に結像される。そして、 ｓ　＝　ｂ　＝　４　（闘） の条件で、Ｃ８キｌｌ１１１、ＣＣＣ１０２■が得られ
る。

但し、 Ｊ：対物レンズの起励力 Ｕ：相対論補正された加速電圧 である。

加速電圧１００ｋＶ　において、上記収差係数を有する
対物レンズ１の最適不足焦点、即ちシェルツアーフォー
カス（：△ｆキ７２０Ａ）における位相コントラスト伝
達関数ＰＣＴＦ（ＰｈａｓｅＣｏｎｔｒａｓｔ　Ｔｒａ
ｎｓｆｅｒ　Ｆｕｎｃｔｉｏｎの略、以下その値をＢで
表わす）を第２図に示した。このグラフ図において、横
軸は試料構造の大きさｄ（Ａ）を表わし、縦軸はＰＣＴ
Ｆの値Ｂを表わす。そしてこのグラフではＰＣＴＦの絶
対値、即ちＩＢＩが１に近いほどその大きさの試料構造
の像が高い位相コントラストで得られることを示してい
る。

例えば０．５（ＩＢＩとなるｄの範囲で高い位相コント
ラストが得られるとすると、上記第２図の例では、 ｄｌ（＝３＾）≦ｄ≦ｄｚ　（＝１２Ａ　）の範囲の大
きさを持つ試料構造の像が高い位相コントラストで得ら
れることになる。

ところが、一般に、生物試料の観察においては、試料の
作製、電子線４が照射することによる損傷といった問題
があるため、１０Ａより小さな試料構造はほとんど観察
されない。生物組織の極微細構造、例えば単位膜の一層
の厚さは２０Ａ程度であり、この程度の大きさの試料構
造が生物試料観察においては高分解能観察の対象とされ
、数万倍程度の倍率で観察されている。そして、生物試
料の高分解能観察においては、通常、試料２となる切片
の厚さは極めて薄いか、或はまだ、試料２はネガティブ
染色された後薄い支持構に載せられる。このような場合
の像のコントラストには散乱コントラストと共に位相コ
ントラストが大きく寄与している。

以上の事柄から、上記の如き電子顕微鏡では、第２図に
示したように、最適不足焦点即ちシェルツアーフォーカ
スにおいて２ＯＡ位の試料構造の像は高い位相コントラ
ストで観察できない。

このため不足焦点量を更に増加させてコントラストを高
めることがある。例えば上記したと同じ収差係数の下で
不足焦点量△ｆを、△ｆ中２３００ＡとしたときのＰＣ
ＴＦを第３図に示す。この場合には、１０〜２ＯＡの大
きさの試料構造の像は高い位相コントラストで得ること
ができるが、ｄ＝１０Ａ以下において振動項が現われ、
これらが偽構造、或はノイズとなって検出されるから、
−万倍以上の倍率における生物試料の高分解能観察に不
都合を生じる。

ここで、第２図及び第３図に関連して、球面収差係数Ｃ
ｓに対する、０．５≦ＩＢＩ　　となる試料構造間隔ｄ
の範囲を、加速電圧を１００　ｋＶ、　３００ｋＶ。

１０００ｋＶにし且つ最適不足焦点に設定した場合のそ
れぞれについて、第４図に示した。この図において、実
線ＡとＢとで囲まれた区域は加速電圧１００ｋＶにおい
て０．５≦ＩＢＩ　　となるｄの範囲を示し、一点鎖＠
ＣとＤとで囲まれた区域は加速電圧３００ｋＶにおいて
α５≦ＩＢ＋　　となるｄの範囲を示す。また点線Ｅと
Ｆとで囲まれた区域は加速電圧１０００ｋＶにおいて０
．５４ＩＢ＋となるｄの範囲を示している。各グラフ線
Ａ、Ｃ，Ｅは第２図中におけるｄｘに対応する理論分解
能を示し、ｄｌ・−０，６５０＋λ） で求められる。

ここでλは、加速電圧によってきまる電子線４の波長で
ある。

また、各グラフ線Ｂ、Ｄ、Ｆは第２図中におけるｄ２に
対応する値で、これは大体 ｄｚ　＝　２．３５　Ｃ＝τλ１ で求められる。

このグラフ図から、生物試料を高位相コントラストで観
察するためには、球面収差係数Ｃ８は、加速電圧１００
ｋＶでは１０■程度或はそれ以上、３００ｋＶでは１０
０ＩＩＬＩＫ程度、１０００ｋＶでは１０００　ｗ程度
に設定するのが適当であることがわかる。

球面収差係数Ｃ８を大きくすることは、例えば第１図に
おいて、試料２の設置位置を同図に示しである位置より
も光軸０に沿って集束レンズ側にずらすことによって可
能でおるが、対物レンズ１の構造上困難性が伴ったヤ、
位置変位操作にわずられしさがあったりする。また、こ
のような方法によって球面収差係数を変えようとすると
、対物レンズ１の寸法等の設定条件（ディメンジョン）
によっては色収差係数ＣＣが大きくなり、像質が低下し
てしまうという不具合もあった。

したがって、従来の高分解能電子顕微鏡では、生物試料
組織の良質な高分解能高コントラスト像を得にくいとい
う問題を有していた。

本発明は、このような従来の問題点を解決するためにな
されたもので、その目的は、試料の設置位置を変えるこ
となく、原子、分子レベルでの高分解能観察と、生物組
織レベルでの高コントラスト、高分解能観察とが出来る
ようにした電子顕微鏡を実現することにある。

以下、本発明を添付図面に示す実施例に基づ・いて詳細
に説明する。

第５図乃至第１０図は本発明の一実施例を説明する図で
ある。このうち、ｔＨ５図（、）は第１図における対物
レンズ１１）結像を簡略化して描いたもので、対物レン
ズ１のみにより第１段目の実像を形成している通常の結
像法の例を示す。この例では、対物レンズ１の後方、中
間レンズとの間には電子レンズ１２が追加して設けられ
てお９、この電子レンズ１２と対物レンズ１とによって
第１段目の実像が結像できるようになっている。

この電子レンズ１２には中間レンズを使用してもよい。

但し、上記第５図（ａ）においては、後続の電子レンズ
１２はオフとなっており、対物レンズ１のみによる第１
段目の実像は対物レンズ１後方の結像面１１に結像され
ている。この結像面１１の位置を、例えば制限視野絞ｐ
位置にとることも出来、かかる位置への結像は、通常無
限遠結像の励磁とあまり変らない励磁によって行うこと
ができる（第６図に関連して後述する）。

第５図（ｂ）は、本発明において、対物レンズ１の励磁
を通常におけるよ如も小さくシ、対物レンズ１と後続の
電子レンズ１２とにより養（↓ｆＥ）１１に第１段目の
実像を形成した例を示している。

第５図（ｃ）は、対物レンズ１の励磁を通常の励磁より
も大きくし、電子レンズ１２と対物レンズ１との間に第
１番目の実像を形成し、さらに電子レンズ１２により第
２番目の実像を結像面１１に形成した例を示している。

なお、上記いずれの場合においても、試料２の位置は、
同じである。

また、第５図（ｂ）及び（ｃ）で示した複数のレンズ１
．１２におけるＣ８＋ＣＣ！は次の式で求めることがで
きる。

ここで ｅ：電子の電荷 ｍＯ：電子の質量 Ｕ＊：相対論補正した加速電圧 Ｂｉ；光軸方向の磁場分布 ｚｏ；試料の位置 ｚｔ　！結像面１１の位置 ｙ：初期条件、ｙ　（Ｚｏ）　−〇、ｙ’　（Ｚｏ）　
−１をみたす電子線３の軌道 である（引用文献、Ｗ　、　Ｇｌａｓｅｒ’、Ｇｒｕｎ
ｄｌａｇｅｎｄｅｒ　Ｅｌｅｋｔｒｏｎｅｎｏｐｔｉｋ
）。

いま、第５図（ａ）　、　（ｂ）　、　（ｃ）において
、対物レンズ１のディメンションを、５＝ｂ＝４關、試
料位置は対物レンズ１の間隔中心から約０．５■上方、
結像面１１は対物レンズ１の後方約１５０１１ａ１後続
する電子レンズ１２の位置は対物レンズ１の後方約４０
１１１１とする。この場合において、対物レンズ１のみ
による結像面位置ｚｉに対する、当該対物レンズ１の起
磁力 Ｊ　＝　Ｊ、十４ 図中、原点０は対物レンズ中心である。Ｊ、は、無限遠
結像の起磁力を示し、 とした。このとき、対物レンズ１の収差係数はＣｇ中１
１１１．ＣＣＣ１０２■である。この図から明らかなよ
うに、対物レンズ１における無限遠結像の励磁と、ｚｉ
＝１５０１ＤＩに結像させるための励磁とでは】係も異
ならず、この近辺での励磁通常の励磁強さとする。また
ＣＢｓ　ＣＯの変化も１％以下である。

次に、第５図（ｂ）における如く、試料２の位置を変え
ずに対物レンズ１の励磁の強さをＪｙｈｙキ１８　（Ａ
：し”＋　）よｐも小さくし、当該対物レン■ ズ１と、後続する電子レンズ１２とにより結像面１１に
結像した場合のＣＩａ＋　ｃｃの変化を、対物レンズ１
の起磁力’Ｊｏに対して第７図に示した。このうち、Ｃ
ｓは、後続の電子レンズ１２における８十すの値を７鼠
（曲線Ｇ）、１４咽（曲線■）の各場合について計算し
たもので、グラフから明らかなように、Ｃｓは、ｓ　＋
　ｂの変化によυ大きく変化する。一方、Ｃｃは、β十
すの変化によｐ大きく変えることはなく、大略第７図中
曲線にで示すように変化する。通常の対物レンズ励磁に
おけるＣｓの大きさ、及び電子レンズ１２の位置、ディ
メンションによシ、ＣＢの／、。に対する変化は異なる
が、この変化は、第７図に示したと同様の特性を示す。

この第７図のグラフから明らかな様に、対物レンズ１の
励磁を通常の励磁（同図中Ｊ／Ｊｏ−１，０近辺の励磁
）より５チ以上減じた励磁範囲（Ｊ／／Ｊ。

一〇、９５以下の部分）でＣｓは大きく変化する。した
がって、第４図に示しだグラフに従い、観察すべき生物
試料組織構造に応じて対物レンズ１の励磁を上述の励磁
範囲内で変化させ、適切な励磁に設定すればよい。そし
て、この対物レンズ１の励磁を設定した後、電子レンズ
１２の励磁設定を行い、第１段目の実像を結像面１１上
に結像させる。なお、第１段目の実像は、必ずしも結像
面１１に結像させなければならないものではない。例え
ば、電子レンズ１２を一定の適当な励磁に設定し、対物
レンズ１の励磁を、 の範囲で任意の値に設定しても、第７図に示したとほぼ
同様なＣｓ、Ｃｃが得られる。ただし、第５図（ａ）に
おける対物レンズ１のみによる第１段目の実像の結像面
１１の位置と第５図（ｂ）における結像面１１の位置と
を同じに設定しておけば、両者の観察において、結像面
１１以降のレンズの励磁を変化させる必要がないので、
操作上都合がよい。

さらに、第５図（ｃ）における如く、試料２の位置を変
えずに、対物レンズ１の励磁の強さをや４Ｆキ１８０ｙ
／Ｖ＋）よシも大きくし、対物レンズ１による第１段目
の実像を対物レンズ１と電子レンズ１２との間の像面１
３に結像し、次いで後続の電子レンズ１２によシ第２段
目の実像を結像面１１に形成した場合の、対物レンズ１
の起磁力Ｊ／／Ｊｏ　　に対するＯｓ、Ｃｃの変化を第
８図に示した。

この図において、電子し／ズ１２におけるｇ＋ｂすなわ
ち、対物レンズ１の励磁をゼロとし、当該対物レンズ１
の後方約１５０Ｗの位置に電子レンズ１２のみにより結
像する励磁強さとして計算しである。そして、Ｃａを曲
線り、Ｃｏを曲線Ｍで表わしである。

この図においても、上記第７図におけると同様、対物レ
ンズ１の励磁が通常の励磁（Ｊ／＝０ １．０近辺の励磁）よシも５％以上大きい場合、Ｃｓ　
、　Ｃｃは大きく異なった値をとる。

電子レンズ１２の配置、形状によりＣｓ、ＣａＯ値は変
化するが、以上各側について述べたように、対物レンズ
１の励磁を通常の励磁よりも５％以上小さく、或は太き
くシ、この対物レンズ１と後続の電子レンズ１２とによ
り実像を形成することにより、通常の励磁におけるＣｓ
よりも大きな値の０８を得ることができる。なお、一般
的に、Ｃａの値が大きくなるとＣａＯ値も大きくなり、
その結果非弾性散乱電子による像質の低下、或は薄い試
料における位相コントラスト伝達関数の減衰を招き好ま
しくないが、電子レンズ１２における（　ｓ　＋　ｂ　
）の値を小さくすれば、第７図に示しであるように、Ｃ
ｓＯ値を大きくしてもＣａＯ値は比較的小さく抑えてお
くことができる。

第９図は、Ｃｓの変化に対するＣｃの変化を示すもので
ある。この図において、実線で描かれた曲線Ｎは、第８
図のグラフから求めた本発明の方式によるＣ８とＣｃと
の関係を示している。一点鎖線で描かれた曲線Ｐは、対
物レンズ１のディメンションをＢ　＝＝　ｂ＝　４　ｉ
ｌｌとし、試料２位置及び対物レンズ１の励磁を変化さ
せ、対物レンズ１のみにより試料２後方約１５０１０１
の位置に結像した場合のＱとＱとの関係を示している。

同じ大きさのＣ，に対するＣｃの値を比較すると、本発
明の方式におけるＣＯＯ方が試料位置を変える方式にお
けるＣＣよりも小さいことがわかる。点線で描かれた曲
線Ｑは、対物レンズ１のディメンションを１１　＝２Ｑ
ｍ、　ｌ）　＝ｌＱｍとし、試料２位置および対物レン
ズ１の励磁を変化させ、対物レンズ１のみによυ試料２
の後方約１５０１Ｅｉｌの位置に結像した場合のＣａと
Ｃｃとの関係を示している。

この場合は、前記二つの場合に比べ、同じ大きさの０８
に対して比較的大きなＣＣを与えることがわかる。この
ように、各場合を比較衡量しても明らかなように、本発
明の方式では、対物レンズ１に後続する電子レンズ１２
のディメンションを適当に設定することによシ、成る大
きさのＣＢに対して比較的小さいＣｃを得ることができ
るため、試料２の設置位置を変化させる方式に比較して
像質をより一層向上させることができる。

また、非弾性散乱の影響が無視できるような薄い試料２
の場合においては、設定したＣＢに対し、許容されるＣ
ｃの大きさを見積ることができる。通常のタングステン
ヘアピン熱電子銃のエネルギーの半値幅を △Ｅ＝２ｅＶ において色収差による位相コントラスト伝達間が得られ
る。

ここで、Ｃｓ、Ｃｃは共に寵単位で測った値であり、Ｕ
Ｉはボルト単位で測った値である。

上式よシ、電子レンズ１２に対して必要なディメンショ
ンはほぼ次の式を満足すればよいことがわかる。即ち、 なお、Ｕｏ”は加速電圧が１００ｋＶに対する相対論補
正された加速電圧を示し、ＵＩはＵｋＶの加速電圧に対
する相対論補正された加速電圧を示している。

ここで、−例として、加速電圧を１００ｋＶとし、本発
明の結像方法で得られた各収差係数がＣ５＝１０１１１
、　Ｃ（！　：４１１１１である結像系のシュルツアー
フォーカスにおける位相コントラスト伝達関数を第１０
図に示した。この図から明らかになる様に、この結像系
では試料構造が６Ａから２２Ａまでの像が高コントラス
トで得られ、生物試料組織の高分解能観察を行うには第
２図及び第３図に示された通常の高分解能観察モードよ
りも適当である。

に対応する、試料より出た電子線の開き角をｄｌとする
と、 αｌ−主 １ であるから、この大きさに相当するように対物　　　　
。

絞ｐの口径を設定すれば散乱コントラストを増すことが
でき、さらに像質を向上させることができる。このとき
、ｄｌの値が通常の高分解能観察モードにおけるよりも
大きくなるため、ｄｌは比較的小さくな如、対物数す８
の口径は加工上困難な程度にまで小さくしなければなら
ないととがある。このような場合は、特開昭５７−２７
５５１号公報に開示された方法、すなわち、対物レンズ
１の後焦面より発散した電子線束が再び集束する点に可
動絞りを設け、この可動絞シにより、開き角を制限する
方法によυ、よシ大きな口径を有する絞りにより電子線
の開き角を制限することができる。

一方、加速電圧を１００ｋＶよ如大きくした場合社、第
４図から、例えば１００〜ｌＱＱＱｗ程度のＣ８を得る
ことが必要である。従って、加速電圧に対応して後続す
る電子レンズ１２の励磁が通常の励磁よシも増加或は減
少した値に設定されるようにすることによシ、必要な１
を得ることができる。また、電子顕微鏡の投影像をフィ
ルムに撮影記録する場合についてみると、フィルムの分
解能は高分解能のものでｌＯμｍ程度であるから、２０
にの試料構造を記録するだめには少なくとも の倍率が必要である。

制限視野絞りを有する電子顕微鏡では、対物レンズ１と
制限視野絞りとの間に電子レンズ１２を設定すれば、通
常のレンズ系を有する電子顕微鏡においても本発明によ
る結像法で、数万倍以上の高倍率を得ることが容易でち
ゃ、また、軸外収差も比較的小さくすることができる。

他方、低倍率結像において、対物レンズ１と後続の電子
レンズ１２とで第１段目の実像を結像させることがある
が、この目的は軸外収差の補正にあシ、この場合の対物
レンズ励磁と、対物レンズ１のみにより、制限視野絞り
に焦点合わせする励磁との間における変化は１〜２ｔＩ
ｂに抑えられてお郵、Ｃｆ！＋　Ｃｃも、例えば第７図
に示す如く、はとんど変化しない。或はｔｆｃ、対物レ
ンズ励磁をゼロに近く、極めて弱励磁にし、焦点面を制
限視野絞りにずらし、制限視野絞りをコントラスト増強
絞りとして使用する方法がある。この場合、対物レンズ
１の励磁は、通常の励磁よりも９０％程度減少され、通
常、Ｑは数メートルから数十メートルであシ、生物試料
組織の高分解能観察には大きすぎる値であり、この観察
モードにおける最高倍率は１０００〜２５００倍程度で
あり、２０Ａ＠度の極微試料構造を観察するには小さす
ぎる。したがって、いずれの方法も、生物試料の高分解
能観察を目的とした本発明とは本質的に異なるものであ
る。

また、本発明において、対物レンズ１に後続する電子レ
ンズは一個だけに限られず、二個以上のレンズ系と対物
レンズとによって、これらに後続するレンズの物面に像
を形成してもよい。

以上説明したように、本発明によれば、対物レンズの励
磁を通常の励磁より５％以上減少或は増加させた大きさ
に設定し、この対物レンズと彼達のレンズとによシ実像
を形成することによ）、試料位置をほとんど変化させず
に通常の励磁におけるよシも大きな任意の龜を得ること
が出来るようにしたため、＾オーダーの大きさの試料構
造を観察するようにした高分解能電子顕微鏡において、
生物試料組織を、偽構造、ノイズが少なく、高分解能、
高コントラストで観察できるようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は、通常の電子顕微鏡の対物レンズ構造と、当該
対物レンズによる結像状態とを示す図である。 第２図は、通常の電子顕微鏡において、加速電圧を１０
０ｋＶとしたときの最適不足焦点における位相コントラ
スト伝達関数の一例を示す図である。 第３図は、第２図と同じ加速電圧において、最適不足焦
点よシも大きな不足焦点における位相コントラスト伝達
関数の一例を示す図である。 第４図は、加速電圧を１００ｋＶ　、　３００ｋＶ、　
１０００ｋＶに設定したときの、球面収差係数ＣＢに対
する、位相伝達関数ＩＢ＋≧０．５となる試料構造間隔
ｄの範囲を表わすグラフである。 第５図は、本発明の実施例に係る各種結像法で、（ａ）
は対物レンズのみによる通常の結像法、（ｂ）　、　（
ｅ）は対物レンズと後続するレンズとによる結像法のそ
れぞれを示す図である。 第６図は、上記実施例において対物レンズのみによる結
像を行った場合の、結像面位［Ｚｉに対する対物レンズ
の起磁力の変化を示すグラフである。 各種ディメンジョンに設定した場合の、対物レンズ起磁
力に対する球面収差係数Ｃｓ及び色収差係数ＣＣの変化
を示すグラフである。 第８図は、対物レンズの励磁の強さをＪガデキ１８（ノ
ツヘ清）よりも大きくし、且つ後続するレンズにおける
ｓ　十すの値を７−とし、励磁の強さンズ起磁力に対す
るｃ、　ｌ　ＣＱの変化を示すグラフである。 第９図は、本発明の結像法における場合、及び対物レン
ズのみによる通常の結像法における場合のＣｓの変化に
対するＣｃの変化を示す図である。 第１０図は、加速電圧を１００ｋＶ　、Ｃａ　＝　１０
　ｗｎ　、　Ｃｃ−４ｍである結像系の最適不足焦点に
おける位相コントラスト伝達関数を示す図、である。 １・・・対物レンズ　　　２・・・試料３・・・散乱電
子線　　　４・・・照射電子線５・・・上側磁極片　　
　６・・・下側磁極片Ｉ・・・試料ホルダー　　８・・
・対物絞シ１０・・・腔　　　　　　　１１・・・結像
面特許出願人　株式会社　国　際　精　工代理人弁理士
土橋　皓 第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）対物レンズの励磁を、通常の励磁よりも５チ以上小
   さい任意の励磁に設定し、この弱励磁にされた対物レン
   ズと後続するレンズとにより第１段目の実像を形成する
   ことにより、試料位置をほぼ一定に保ちながら通常の対
   物レンズ励磁におけるのと異なる球面収差係数を有する
   結像系にして、倍率５０００倍以上で観察するようにし
   たことを特徴とする電子顕微鏡の結像法。 ２）対物レンズの励磁を、通常の励磁よシも５チ以上大
   きい任意の励磁に設定し、この強励磁にされた対物レン
   ズと後続するレンズとの間に第１段目の実像を形成し、
   次いで後続するレンズによシ第２段目の実像を形成する
   ことによシ、試料位置をｔ’ｔぼ一定に保ちながら通常
   の対物レンズ励磁におけるのと異なる球面収差係数を有
   する結像系にして、倍率５０００倍以上で観察するよう
   にしたことを特徴とする電子顕微鏡の結像法。 ３）後続のレンズにおける磁極片間隙を８１穴径をｂと
   し、相対論補正した加速電圧をＵ−加速電圧１００ｋＶ
   に対する相対論補正値をＵｏ”としたとき、 を満足するようにディメンジョン設定を行ったことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の電子顕
   微鏡の結像法。 ４）対物レンズと後続のレンズとを相関連させて励磁す
   ることによシ、これら二つのレンズによる第１段目の実
   像の結像位置を、通常の対物レンズ励磁における第１段
   目の実像の結像位置にほぼ一致させるようにしたことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡の結
   像法。 ５）対物レンズと後続のレンズとを相関連させて励磁す
   ることによシ、上記後続のレンズ後方に形成される第２
   段目の実像の結像位置を、通常の対物レンズ励磁におけ
   る第１段目の実像の結像位置にほぼ一致させるようにし
   たことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の電子顕
   微鏡の結像法。 ６）対物レンズと後続するレンズとの後方に制限視野絞
   シを配設し、これら二つのレンズによる第１段目の実像
   を制限視野絞り面付近に結像させたことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項又は第４項記載の電子顕微鏡の結像
   法。 ７）対物レンズと後続するレンズとの後方に制限視野絞
   υを配設し、上記後続のレンズによって形成される第２
   段目の実像を制限視野絞り面付近に結像させたことを特
   徴とする特許請求の範囲第２項又は第５項記載の電子顕
   微鏡の結像法。 ８）試料後方に可動絞りを設け、 電子線の波長をλをし、通常の対物レンズ励磁における
   よりも大きな球面収差係数をＣ３とし、これらによって
   決まる分解能を ）　） ｄ　ｌ＝　０．６５　Ｃ８、λ としたとき、 試料から出だ電子線の開き角αを上記可動絞りによシ、
   はぼ λ １ できまる大きさに制限したことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の電子顕微鏡の結像法。 ９）試料後方に可動絞如を設け、 電子線の波長をλ、とし、通常の対物レンズ励磁におけ
   るよりも大きな球面収差係数をＣＢとし、これらによっ
   て決まる分解能を ｄｌ＝　０．６５　Ｃｓ　　λ としだとき、 試料から出た電子線の開き角αを上記可動絞りにより、
   はぼ λ α　＝　− １ できまる大きさに制限したことを特徴とする特許請求の
   範囲第２項記載の電子顕微鏡の結像法。