JPS59226967A - 画像測定システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、画像信号処理装置に関し、詳しくは各種被写
体の色、大きさ、形状、数等を測定するための画像測定
システムに関するものである。　　　　　　　　　　− （従来技術） 被写体としては、各種分野のものが含まれ、例えば医学
関係では顕微鏡で拡大された血液細胞等があり、医薬品
や食品関係では各種粉体があり、またエレクトニクス関
係ではプリｙト配線等がある。いずれも、これまで顕微
鏡を用いて目視で個々に検査測定が行われてきた分野で
あるが、集団検診、大量測定、量産等のため、測定する
被写体の数が多（なり、人手では大変な作業となるので
、自動化が要求されている。

この要求に対応するため、従来より多（の画像処理装置
が提案されている。これらの画像処理装置の殆んどは、
スキャナとしてテレビカメラを使用している。測定項目
としては、面積、直径、個数等があり、高速処理を行う
ために測定回路が組み込まれているものもある。

また、測定機能を有するプログラム・パッケージとして
は、「汎用画像処理ソフトウェア・パッケージ５ＰＩＤ
ＥＲＪ　（電子技術総合研究所）および「画像処理サブ
ルーチン・ライブラＩＪｓＬＩＰＪ（名古屋大学）等が
発表されている。

従来の画像処理装置で使用されるテレビカメラの一般的
特徴は、被写体の機械的移動が不要であワ、かつ１回で
高速に画像情報を読み取れることである。

しかし、その反面、解像力が低いこと、濃淡分離能力が
低いこと、位置精度がよ（ないこと、残像現象が生じ易
い０と等の問題がある。

一方、ソフトウェア・ノくツケージは、各種の測定機能
を有しているが、処理時間が長く力）力・るため、研究
用としては遍心ているものの、実用化は難しいという問
題がある。

さらにＴＶカメラでは一回で高速に画像情報を読み取れ
るが、画面内に多数の画像があり、このそれぞれの画像
を解析する必要がある時しま情報量が多すぎて一度に画
像情報を読み取れずＴＶカメラのメリットが生かされな
い。例えシエ１ｃｒＩＬ四方の面積にある１５０００コ
の細胞を検査しようとすると１μｍ平方／画素とすれ（
工面素数として約１０８　画素を処理しなげればならな
い。このため白血球分類装置のようにＴＶカメラでスラ
イドグラスの１部分を読み取って細胞を１コずつ処理し
た後、スライドグラスをＸＹ方向に断続的に移動させる
ことを何回か繰り返す方法では処理時間が長（なり、実
用性が低い。またスライドグラスの移動が複雑であるこ
と、Ｔ−Ｖカメラの位置精度がよくないこと、残像現象
がでやすいことなどの問題も発生して来るという欠点が
あった。

一方、ラインスキャン型固体撮像素子を用いると固体撮
像素子に含まれる多数の素子は必ずしも同一の感度を有
するものでもな（均一な色濃度のもの主走査しても素子
間の感度のバラツキにより出力がばらつ（という単一の
素子を用いた場合にはみもれない欠点が生ずる。さらに
均一な色濃度のものであっても照明に斑があれば出力は
その影響をつ１−ｊで必ずしも均一の出力とはならない
という欠点があった。

（本発明の目的） 本発明はスキャナとして高解像度で位置精度が良いとい
う特徴を有するラインスキャン型固体撮像素子を使用し
、１軸方向を１度に読み取り、その出力を１行ずつ連続
処理して被測定物を測定することにより、従来技術の問
題点を解決し、ラインスキャン型固体撮像素子により主
走査を、機械系により副走査を行なうことにより残像現
象を解決し、自動的に焦点合わせな行ない、かつ主走査
の映像信号に含まれる出力斑を補正することによりライ
ンスキャン型固体撮像累子自体がもつ素子間の感度のバ
ラツキ、照明斑の影響を除去し、被測定物の色濃度を正
確に得られるようにし、濃淡分離能力を高め、被測定物
の色、大きさ、形状、数等を高速かつ正確に測定するこ
とができる画像測定システムを提供するものである。

（発明の構成） 即ち本発明は、複数の画素群を有する被測定物の画像デ
ータから被測定物またはその中の何個の画像群の特性を
測定するシステムに８いて以下の手段を構成要素の少な
くとも一部として含んでなる画像測定システムを要旨と
するものである。

１）ラインスキャン型固体撮像素子により主走査を、機
械系により副走査を行なう走査手段２）自動的罠焦点合
わせを行なう手段 ３）前記主走査により得られる映像信号に含まれる出力
ムラを補正する手段 ４ン　出力ムラを補正した画像データから前記被測定物
に含まれる複数の画像群を一度全面スキャンするだけで
分別する手段 以下本発明を図面に従って詳しく説明する。

第１図は本発明の画像測定システムのブロック図である
。

第１図において、被測定物１は焦点位置を調節しながら
移動する自動送り機構８により移動され１元学系２を通
してラインスキャン型固体撮像素子３により読みとられ
る。該撮像素子３の素子配列方向は被測定物１の移動方
向とは直角であり、被測定物１が一定速度で移動すると
該素子３が光学系２を適して被測定物１０１行分の情報
を一度に読みと９、被測定物の明るさに応じた映像信号
を出力する。出方斑補正部４ではこの映像信号をＡ／Ｄ
変換変換子め測定しておいた基準データを用いて映像信
号を補正し、補正済映像信号を出力する。次段の測定回
路５で被測定物に含まれる画像群の個数、大きさ、形状
、色等の各種パラメータを測定し、その結果を表示部６
に出力する。制御部９をま自動送り機構８、ラインスキ
ャン型固体撮像素子３及び測定回路５に対してタイミン
グ信号を供給し、処理速度を一致させる。

被測定物１を測定するにあたり照明としてノ・ロゲンラ
／プを使用することが好ましく、光量はラインスキャン
型固体撮像素子３の飽和露光量、スキャン速度を考慮し
て調整される。例えば飽和露光量０．４　Ｌｕｘ　−ｓ
ｅｅでスキャノ速度１００回／ｓｅｃの場合、ラインス
キャン型固体撮像素子３の受光面の明るさが４０　Ｌｕ
ｘになるよう調整されるのが好ましい。

自動焦点合わ姦機構７としては高周波成分解析法、光量
チェック法、タッチセンサー法、エアーマイクロ法等が
あり、被測定物の性質に応じてこれ・らのいずれをも用
いることができるが固体撮像素子で撮像して得られる情
報そのものを用いて調節する方法が好ましく用いられる
。

即ち焦点の合い具合を示す尺度として前記固体撮像素子
で撮像して得られた映像信号群のうち隣接する画素間の
差分値の合計値を用い、被測定物と撮像素子間の距離を
任意に設定した後、該距離を一定のぎざみＰで正しい焦
点距離に近ず（方向に変化させつつ変化前後での該合計
値の比較を行ない、変化前後の合計値が変化前の合計値
より小さくなるまでこの操作を繰返し、ついでＰより小
さいきざみで最終変化後の位置からぎざみＰによる変化
と逆方向に、又は最終変化後の位置からぎざみＰの１乃
至１．５倍変化前の方向に戻った後、順方向にＰより小
さいきざみで該距離を変化させつつその前後での該合計
値の比較を行ない、変化後の値が変化前の値より小さく
なるまで該操作を繰返し、最終変化前又は後の位置を合
焦点位置とする方法が好ましく用いられる。

これは焦点距離があうほど画素間の明暗の差が太き（な
り、したがって画素間の差（差分値）の合計値が大きく
なることを見出し、これを焦点あわせに利用したもので
ある。

本方法は特に光学系として顕微鏡を用いる場型固体操像
素子３による主走査の映像信号をＡ／Ｄコ／バータ１０
を介してマイクロコンピュータ１１へ入力し、隣接する
画素間の差分値の合計値を求め、この操作を顕微鏡の微
動ダイヤルに取り付けたパルスモータ１２を駆動させな
がら繰返し行ない、同様に画素間の差分値の合計値を求
め、パルスモータ１２駆動前後の差分値の合計値を求め
、この値が最も大きい位置から合焦点位置を求める。別
にＡ／Ｄコンバータ１０、マイクロコンピュータ１１を
設ける代りに第１図の出力斑補正部４を介して測定回路
５で画素間の差分値の合計値を計算して自動焦点合わせ
機構にフィードバックし又もよい。

えば２０μｍ程度被写体に近すいた位置Ｓ′で前記差分
値の合計値を求め、そこから正しい焦点距離圧近ずく方
向にＰだけ焦点距離を変化させて同様に差分値の合計値
を求める。パルスモータ１２の駆動前後での差分値の合
計値を比較し、後者の値が前者の値より大ぎい場合、同
様の操作を後者の値が小になるまで繰り返す。ここで正
しい焦点距離に近ずく方向はパルスモータ１２駆動前後
での前記差分値の合計値の大きい方向と一致する。した
がってあらかじめ正しい焦点距離に近ずく方向が不明の
場合は任意の方向にＰだけ変化させ、その前後での前記
差分値の合計値を比較して変化方向をきめればよい。

後者の値が前者の値より小になった場合は、その位置か
ら逆方向に又は一旦きざみ巾Ｐの１〜１．５倍戻った位
置からそれまでの変化と順方向に、ぎざみ巾をＰよりも
小さい値Ｑとして前記と同様の操作を行い、パルスモー
タ駆動後の前記差分値の合計値が最初に駆動前の合計値
より小さくなった時の駆動前の位置を合焦点位置とする
。ナオこの時の駆動後の位置”を合焦点位置としても合
焦点位置は大きくは異ならず本発明の主旨を阻害せずに
測定可能である。

ここで最初に設定する被写体と対物し／ズ間の距離は正
しい焦点位置に充分近いことが望ましいが、通常の方法
で肉眼で粗くあわせた距離で充分であり、複数の被測定
物を連続して測定する場合は前の測定終了時の位置をス
タート位置とすればよい。

この最初に設定する距離は正しい焦点位置の時の距離よ
り大きくても小さくてもよいが、小さい場合にはカバー
グラス表面にゴミ等が付着していてもＳの焦点位置がス
ライドグラス内にあり、ゴミに焦点があう前に被写体の
合焦点位置に到達するため、誤ってゴミ等に焦点があう
位置から開始するのが好ましい。

ぎざみＰおよびＱの値はＰがＱより太きければ任意であ
るがａの値は使用した光学機器の焦点深度の大きさない
しその務　であることが好ま１．　＜、さらには焦点深
度の′Ｘ／すいしｂが好ましい。Ｐの値はＱの値の倍な
いし１０倍であることが好ましく、さらにはＱの値の３
倍ないし６倍であることが好ましい。

ＰｇよびＱがこれらの値より大きい場合は最終的に求め
られる合焦点の位置が充分に正しい焦点距離に近くなら
ず像がぼけるという欠点を有し、Ｐ及びＱがこれ以上小
さいと像は充分に鮮明となるが、焦点あわせに時間がか
かるようになる。

ラインスキャン型固体操像素子の素子間の感縛 度ムラ、照網ムラによる出力ムラな補正する手段を説明
する。ここでは背歌部分からの出力が画像部分に対応す
る出力より小さい場合を例にと９説明する。均一な色濃
度を有するもの（基準物）をあらかじめ主走査して得ら
れる信号群Ａｌ　（１＝　１〜ｎ、ｎ：該撮像子に含ま
れる素子の数）を記録し、この人１かも被測定物を測定
した時に得られる映像信号群Ｂｉ（１＝ｌ〜ｎ）を引（
、即ちＢｉ　−Ａｉの計算を行なって基準となる被測定
物の照度斑を補正し、これにに／ＡｉをかげてＫ　（Ｂ
ｉ　−ＡＩ　）／ＡＩとする素子の感度のバラツキを補
正する方法が好ましく用いられる。こＲこの補正手段に
おいてＡｉの値を求めるためには基準物として被測定物
の背景部分のみからなる画面を用い、引−Ａ１の値が負
の場合はＢｉ−Ａｔ＝０とすることが好ましい。なおこ
のＡｉの値は撮像素子と被写体との距離、照明条件、レ
ンズの絞９等の撮像条件を変更する都度求め直してその
値を記録することが望ましい。

これにより照明後、素子の感度のバラツキを補正して被
測定物の画像の正確な情報を得ることが可能となる。

この手段に代るものとしてＫＢＩ／Ａｔ　（ｌ　＝　１
〜ｎ）を補正値として用−（・ることもできる。

次に画像の認識手段を説明する。

出力ムラを補正された主走査の値から画像に対応する出
力とを区別するに当り、例えば補正された出力値として
Ｋ　（ｎトＡ１　）／ＡＩを用い、ＡＩとして背景に相
当する基準物からの値を用いると背景部分に該当する出
力値はＯ又は０に近い頁となり、画像に対応する出力は
これより犬ぎ１値となる。したがってこれらの中間の適
当な値を閾値と、して設定し、該閾値より大きい値の時
にのみその出力の該当する位置に画像の少なくとも一部
があると１判断することにより画像と背景の区別が行え
る。さうに出力ムラを補正された主走査の値のうちお互
いに隣接する素子の出力（画素と称する）の両方が閾値
以上であった時その両方の画素が一つの画像に属するも
のと判断し、さらに各主走査ごとに該主走査に含まれる
画像の少な（とも一部がその直前の主走査に含まれる画
像の少なくとも一部に隣接しているか否かを判別するこ
とにより、両生走査（隣接する二本の主走査）に含まれ
る画像が一つの画像に属するか否かを判断する手段が好
ましく用いられる。この手段として本発明の画像測定シ
ステムでは被測定物を走査する主走査ごとに得られるラ
インスキャン型固体撮像素子の補正された出力値と設定
された閾値とを比較する回路、上記撮像素子からのクロ
ックをカウントするアドレスカラ／り回路、主走査に含
まれる画像の各々左端と右端の位置のアドレスを保持す
るスタート位置カウンタ回路と工／ド位置カウ／り回路
を設け、さらに好ましくは各主走査線ごとに存在するス
タート位置の数を記録する画像数カウンタ回路、主走査
線中の画像のエンド位置とスタート位置の差を保持する
面積カウンタ回路等を設けている手段が用いられる。

第４図は画像判別手段の実施例のブロック図である。

アナログ・ディジタルコンバータ（以下Ａ／１）コンバ
ータという）でディジタル化され、出力斑を補正された
固体撮像素子３の出力値ａｔ（ｉ＝１〜ｎ）が比較回路
に入力され、設定回路であらかじめ設定されている閾値
と比較される。

この比較結果により各種のカウンタ１２〜１６２− を動作させる。アドレスカウンタＪはラインスキャン型
固体撮像素子３からスタート信号及びクロックパルスを
うけとり、それに同期してカラ／ドアツブすることによ
り、カウント値が現在処理中の素子番号（１）を示すよ
うにし、この素子番号ｌをスタート位置カラ／り１３と
エンド位置カラ／り１４に送出する。スタート位置カラ
／り１３はＣｉ−１が閾値より小さくＣｔカ閾値より大
さくすった時、その時のアドレスカウンタ１２の内容（
これをスタート位置アドレスと称しＣｊ　で示す）をセ
ットする。

第５図ａの被測定物を撮像素子で読みとり、補正後に閾
値と比較した結果を第５図すに示す。

斜線部分が閾値よりも太き（、画像ありと判断された部
分である。

４行目ではスタート位置アドレスは５，１４０２箇所で
あり、６行目では５，１２．１６の３箇所である。次に
エンド位置カウンタ１４はＣｔが閾値より大ぎ（Ｃ，１
＋ｔが閾値より小さくなった時のｌの値（これをエンド
位置アドレスと称しＣｊで示す）をセットする。

第５図ｂ４行目のエンド位置アドレスは９と１５．６行
目のエンド位置アドレスは９と１４と１７である。画像
数カラ／りはスタート位置アドレスをセットした回数を
セットする。

これはその時観察している画像がラインスキャン型固体
撮像素子３０１回の主走査で撮像して得られるデータに
含まれる何番目の画像であるかを示しくこれをｊで表示
し、Ｃｊ　、　Ｃｊ　のｊの値はこれを用いる）１回の
主走査終了後は七〇王走食で得られるデータに含まれる
画像数を示す。

面積カウンタ１６は各画像ごとにＢｊ　−Ｂｊ＋１（ス
タート位置アドレスからエンド位置アドレスの間の素子
数）がセントされる。

このようにして各カウンタ１３〜１６に各々の値がセッ
トされるが、エンド位置カウンタ１４がセットされた後
、再びスタート位置カウンタ１３がセットされると前の
セット値が更新されてしまうので前の値を保持するため
、エンド位置カウンタ１４がセットされた後、画像数カ
ウンタ１５の値ｊによりアドレスを設定し、メモｌり ＩＪ　Ｍの設定されたアドレスのエリアに各種カウンタ
の内容を記録する。さらに１行分の主走査が終るごとに
又はエンド位置カラ／りがセットされるごとに該主走査
に含まれる画像の位置と該主走査の直前の主走査に含ま
れる各々の画像の位置との比較を行い、両生走査に含ま
れる画像が１つの画像に属するか否かの判別を行う。

直前の主走査において１番目に確認された画像（Ｄｉ）
　　のスタート位置とエンド位置を各々Ｄｉ　。

ＤｉＦ！とし、現在の主走査においてｊ番目に確認され
た画像をＣｊと記載するとＤＩ　、　ＤＩ　、　Ｃｊ　
、　ＣｊＯ値の大小から上記判別を行う。第６図ａに主
走査に含まれる画像Ｃｊと直前の主走査に含まれる画像
Ｄｉのとり得る各ケースを示すが、１＝１〜４はお互い
に結合されている例であり、１＝５．６は結合していな
い例である。

第６図ａにおけるＤｉ、Ｄｉ、Ｃｊ、Ｃｊ　　（ｔ、　
　ｊ＝１〜６）の大小関係をみると ＤｌとＣ１とは　Ｃ，≦Ｄ１≦Ｄ、≦Ｃ８でありＤ２と
Ｃ２とは　Ｄ２≦Ｃ１≦Ｄ、≦Ｃ２であワＤ３とＣ３と
は　Ｃ８≦Ｄ３≦Ｃ８≦Ｄｓ　　でありＤ４とＣ４とは
　Ｄ４≦０４≦Ｃ４≦Ｄ４　　でありＤｌｌとＣ３とは
　Ｃ６≦Ｃう＜　ＤＢ≦Ｄ５　　でありり、ど２Ｃ６と
は　Ｄ。≦Ｄ、　（Ｃ６≦Ｃ６である。

以上の関係から明らかなように一方のスタート位置アド
レスが他方のエンド位置アドレスより大きい場合、すな
わちＣｊ＜ＤＩ　　あるいはＤＩ　（Ｃｊ　　の条件に
該当する場合に両者の画像が一つの画像に属さないケー
スであり、それ以外の場合は両者が一つの画像に属する
（両者が結合していると称する）ことになる。

次に画像の形の複雑さを調べるための隣接する二本の主
走査に含まれる画像間の関係をさらに詳しく調べる手段
としてこれらの関係を発生、消滅、連続、分散、収束、
混合の６程に分類する。

隣接する二本の主走査に含まれる画像間の関係は第６図
すに示されるように現在の主走査に含まれる画像が直前
の主走査に含まれるいずれの画像にも結合されていない
もの（Ｃ５）は３！１ｔ（Ｅの主走査ではじめて画像が
現われたものとじてすに新しい画像に対応してアドレス
を設け、この画像Ｃ６のスタート位置アドレスＣ：、エ
ンド位置アドレスＣ６５面積カウ／り値等Ｃ，に関連す
るデータをそこに収納するＯ Ｄ、は直前の走査線に含まれる画像であり、現在の走査
線に含まれるいずれの画像にも結合されていない。この
状態を「消滅」と称し、後述する分散、混合の場合でこ
の画像の他の部分が継続している（現在の走査線に含ま
れる画像が該画像に属している）場合を除いてそれまで
に測定されてきた画像に関するデータ（画像の位置、面
積、複雑さ等）が確足する。

第６図すにおいて直前の走査線に属する画像Ｄ１と現在
の走査線に属する画像ｃ１が結合してＲす、ＤｌとＣ８
が１つの画像に属していることを示している。このよう
に画像１つずつが結合している状態を「連続」と称し、
ｃｌに関するデータをり、に関するデータが収納されて
いるメモリ中のエリアに収納する。

第６図ｂｌｃ：Ｍいて直前の走査線に属する画像り、は
現在の走査線に属する複数個の測定対象Ｃ７゜Ｃ８と結
合されており、画像Ｄ７．　Ｃ７，Ｃ８が１つの画像に
属していることを示している。このような状態を１分散
」と称し、この状態の発生する回数がパターンの複雑さ
の尺度となる。

第６図すにおいて直前の走査線に属する複数の画像Ｄ８
とり、が現在の走査線に属する１つの測定対象Ｃ，と結
合されており、画像り、、　Ｄ、、　Ｃ，が一つの画像
に属していることを示している。このような状態を１収
束」と称し、「分散」の場合と同様、この状態の発生す
る回数がバターｙの複雑さの尺度となる。「収束」と判
断された場合、それまで別の画像に属すると判断されて
いた画像はその後のステップで１つの画像に属すると判
断されるように修正される。

第６図すにおいて直前の走査線にＲする複数個の画像Ｄ
１゜＋　ＤＩｌ　ｒ　Ｄｌ２は現在の走査線の複数の画
像Ｃ１０＊　０１１　と結合されており、これはＤＩＧ
　Ｉ　Ｉ）ｔｔｔＤ＋２１　ＣＩＯ＋　Ｃ１１が１つの
画像に属することを示し℃いる。このような状態を「混
合」とする。この］混合」は「分散」と「収束」゛の両
方が混在するとして分散と収束の処理な父互に行う。

次に各種測定方法について説明する。

パラメータとしては、パターンの複雑すの他にパターン
の個数、太ささく水平長、垂直長、面積、面積とライン
スキャ／型固体撮像素子３の出力値との積算量）があり
、これらの測定方法を述べる。

（イ）パターンの複雑さ 前記「分散」と１−収束」の回数を測定する。

（ロ）　個数 前記「消滅」の回数を測定する。

（ハ）水平長 前記し発生」から「消滅」までの（Ｃｉ−Ｃｔ＋ｔ）の
最大値を測定する。

に）垂直長 前記１発生」から「消滅」までの本数を測定する。

（ホ）面積 前記１尭生」から「消滅」までの（Ｃ１−ＣＩ＋ｓ）の
合計値を測定する。

（へ）面積とラインスキャン型固体撮像素子３の出力値
との積算量 前記「発生」から「消滅」までのＣｉ　−ＣＩの出力値
の合計値を測定する。

第７図は第１図の測定回路に−Ｊ６けるパラメータ測定
のフローチャートである。

第７図により、前記６種の組み合わせを判別するための
測定回路５０機能を説明する。

ここで、ＤＩは直前の走査線の左から１番目の画像の位
置、Ｃｊはｎ行目の左から１番目の画像の位置を示す。

処理が開始されると、ステップ２１でｉ＝ｏ。

Ｊ＝１が初期設定される。ステップ２３でＤＩが最終位
置（ＥＮＤ）であれば処理をストップさせ、１行分の処
理が終ったことになる（ステップ２４）。

ステップ２５では、スタート直後はｊ＝０とナッテいる
ため、測定対象Ｃ０のデータはｏＫ設定されている。

ステップ２５でＤＩ＝Ｃｊであれば「収束」と判定し、
ステップ２６でｊに４＝１を足した後、ステップ２８で
ＤｉとＣｊを比較して、ＤＩ　＝　Ｃｊであれば「連続
」と判定し、ＤＩ　）　Ｃｊであれば［発生Ｊ、Ｄｉ（
Ｃｊであれば「消滅」とそれぞれ判定する。ステップ２
９で「連続」と判定されたとぎ、ｊに１を足してステッ
プ３３でＤｌとＣｊを比較し、ＤＩ＝Ｃｊであれば「分
散」と判定する。この場合、もう１つ分散しているか否
かを調べるために、（３）でステップ３２に戻り、再び
ｊに１を足してＤｉ　＝　Ｃｊを判断する。

第７図に示す方法で、２行分のデータを処理し、終了後
、次のデータを読み取って同一処理を繰り返す。このよ
うにして被写体１に含まれる複数個のパターンを連続的
に測定することができる。

第７図の処理から明らかなように、「発生」はＤＩ−ｔ
　（Ｃｊ＋ｔ　、　ＤＩ　）　Ｃｊ＋ｔ、「消滅ＪハＤ
ｉ”ｒＣｊ　（Ｄｉ　＞　Ｃｊ　ン−Ｄｉ　（Ｃｊ＋ｔ
、「連続」はＤＩ’？Ｃｊ、　ＤＩ　＝　Ｃｊ＋１、ｒ
収束」ハＤｉ　−ｔ　＝　Ｃｊ　、　Ｄｉ　＝Ｃｊ、［
分散」はＤｉ　’？　Ｃｊ　、　ＤＩ　＝Ｃｊ＋ｔ　、
　ＤＩ　＝　Ｃｊ　＋ｔまたは”　＝Ｃｊ　ｅ　Ｄｉ　
＝　Ｃｊ　＋　ｔ　　の各条件を満たしたとぎ判別され
る。

測定回路５は、上記「分散」と「収束」の条件が満足す
るごとに、カウント・アップしていけば、パターンの複
雑さを測定することがでさ、その他の個数、水平長、垂
直長、面積および積算量等も簡単に測定することができ
る。

以上説明したように本発明は被測定物を焦点精度よくと
らえ、照明ムラ、ラインスキャン型撮像累子の出力ムラ
の影響もなく、したがって正確な映像情報を得、この走
査線２本分の映像情報を順次取り出し、被測定物に含ま
れる複数個の画像を分別することができ、さらに各々の
画像の形状の複雑さを比較的少ない画像データをもとに
測定することができ、かつ処理の高速化を計ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の画像測定システムのブロック図である
。 第２図は自動焦点調節のブロック図である。 第３図は自動焦点調節方法を説明する図である。 第４図は画像判別手段の実施例を示すブロック図である
。 第５図は画像判別手段での処理を示す図である。 第６図は測定回路での測定方法を示す図である。 第７図は測定回路でのパラメータ測定のフローチャート
である。 青　２　図 一一−◆ノずルスモ、−夕の１４区１力回Ａ（寺３　図 才　５　図 （ａ） （ｂ） Ｃｔ　　　Ｃｚ　　Ｃｉ　　　Ｃｑ　　　Ｃｓ　　　　
　　（：：６Ｃｓ　　　　　Ｃｔ　　　ＣｑＣａ　　　
Ｃｑ　　　　Ｃｔｏ　　Ｃ／／青　６　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数の画像群を有する被測定物の画像データから被
   測定物又はその中の個々の画像の特性を測定するシステ
   ムに８いて以下の手段を構成要素の少なくとも一部とし
   て含んでなる画像測定システム １）ラインスキャン型固体撮像素子により主走査を、機
   械系により副走査を行なう走査手段 幻　自動的に焦点合わせな行なう手段 ３）前記主走査により得られる映像信号群に含まれる出
   力ムラな補正する手段 ４）被測定物を一度全面スキャンするだけで出力ムラを
   補正した画像データから前記被測定物゛に含まれる複数
   の画像群を分別する手段 ２、自動的に焦点合わせな行なう手段として以下の方法
   をとることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の画
   像測定システム ｌ）焦点の合い具合を示す尺度として前記固体撮像素手
   で撮像して得られた映像信号群のうち隣接する画素間の
   差分値の合計値を用い、被測定物と撮像素子間の距離を
   任意に設定した後、該距離を一定のきざみＰで正しい焦
   点距離に近ずく方向に変化させつつ変化前後での該合計
   値の比較を行ない、変化前後の合計値が変化前の合計値
   より小さくなるまでこの操作を繰返し、ついでＰより小
   さいきざみで最終変化後の位置からぎざみＰによる変化
   と逆方向に、又は最終変化後の位置からぎざみＰの１乃
   至１．５倍変化前の方向に戻った後、順方向にＰより小
   さいきざみで該距離を変化させつつその前後での該合計
   値の比較を行ない、変化後の、イ直が変化前の値より小
   さくなるまで該操作を繰返し、最終変化前又は後の位置
   を合焦点位置とする。 ３．前記主走査により得られる映像信号群に含まれる出
   力ムラを補正する手段として以下の手段の組合せを少な
   （とも用いる特許請求の範囲第１項記載の画像測定シス
   テム １）基準物を主走査して得られる信号群Ａｔを記録する
   手段 幻　被測定物の主走査により得られる映像信号群Ｂｉと
   前記信号群ＡＩとの差を求める減算手段 ３）前記信号群ＡＩからその逆数群％を求める補正係数
   設定手段 ４）前記減算手段の出力と前記補正係数設定手段の出力
   を乗算する乗算手段 ４、被測定物を一度全面スキャンするだけで出力ムラを
   補正した画像データから前記被測定物に含まれる複数の
   画像群を分別する手段として出力ムラを補正された前記
   主走査により得られる映像信号群の画素の値があらかじ
   め設定された閾値以上の時にのみ、その位置にに該走査
   においてお互いに隣接する画素の両方が閾値以上の値で
   あった時その両方の画素が一つの画像に属するものと判
   断し、さらに各主走査ごとに該主走査に含まれる画像の
   少なくとも一部がその直前の主走査に含まれる画像の少
   な（とも一部に隣接しているか否かを判別することによ
   り両生走査に含まれる画像が同一の画像に属するか否か
   を判別することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の画像測定システム ５、隣接する二本の主走査に含まれる画像間の関係を主
   走査に含まれる画像の１つのみが直前の主走査に含まれ
   る画像の１つのみと接続しているもの（連続）、２つ以
   上と接続しているもの（収束ン、主走査の２つ以上の画
   像が直前の主走査の画像の１つのみと接続しているもの
   （分散）、２つ以上と接続しているもの（混合）、主走
   査の画像が直前の主走査に含まれる画像群のいずれとも
   接続してぃないもの（発生）、直前の主走査の画像が主
   走査に含まれる画像群のいずれとも接続していないもの
   （消滅）の６種に分別し、この情報を用いて被測定物に
   含まれる複数の画像の分別を行なうことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の画像測定システム