JPS59218915A - 光導波路形センサ - Google Patents
光導波路形センサInfo
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- JPS59218915A JPS59218915A JP58092493A JP9249383A JPS59218915A JP S59218915 A JPS59218915 A JP S59218915A JP 58092493 A JP58092493 A JP 58092493A JP 9249383 A JP9249383 A JP 9249383A JP S59218915 A JPS59218915 A JP S59218915A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 51
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/353—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
- G01D5/35383—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using multiple sensor devices using multiplexing techniques
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- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
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- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、光導波路素子を用いたセンサに関するもので
ある。更に詳しくは、本発明は光導波路素子から出射す
る光が、この光導波路素子に与えられる温度や、あるい
は電圧等圧芯じて正弦波状に変化することを利用して、
温度や電圧等を測定することのできる光導波路形センサ
に関するものである。
ある。更に詳しくは、本発明は光導波路素子から出射す
る光が、この光導波路素子に与えられる温度や、あるい
は電圧等圧芯じて正弦波状に変化することを利用して、
温度や電圧等を測定することのできる光導波路形センサ
に関するものである。
第１図は、光導波路素子を用いた従来の電圧測定装置の
一例を示す構成図である。この装置は、レーザ光源１か
らの光を光導波路素子２に入射させ、ここから出た光を
受光素子３で検出するように構成されている。光導波路
素子２は、ここに入射した光を２部分に分岐し、再び１
本に結合する光路２Ｌ２２、この光路に電圧を印加する
複数個の電極２３〜２９が設けられている。２つの光路
２１．２２７ は、光路長や屈折率などに差が生ずるよ
うになっておシ、結合点で互いに位相が変シ、光導波路
素子２から出射する光は、電極に印加する電圧ＶＨ。
一例を示す構成図である。この装置は、レーザ光源１か
らの光を光導波路素子２に入射させ、ここから出た光を
受光素子３で検出するように構成されている。光導波路
素子２は、ここに入射した光を２部分に分岐し、再び１
本に結合する光路２Ｌ２２、この光路に電圧を印加する
複数個の電極２３〜２９が設けられている。２つの光路
２１．２２７ は、光路長や屈折率などに差が生ずるよ
うになっておシ、結合点で互いに位相が変シ、光導波路
素子２から出射する光は、電極に印加する電圧ＶＨ。
ＶＬＫ応じて正弦波状に変化する。なお、電極２６〜２
９社、垂直、水平両側波方向に等しく電界を与えるため
のもので、必ずしも必要でない。よって、受光素子５か
らの信号の大きさから、印加電圧全知ることができる。
９社、垂直、水平両側波方向に等しく電界を与えるため
のもので、必ずしも必要でない。よって、受光素子５か
らの信号の大きさから、印加電圧全知ることができる。
また、光導波路２から出射する光は、これが置かれた周
囲の温度変化にも対応して正弦波状に変化するので、温
度を知ることもできる。
囲の温度変化にも対応して正弦波状に変化するので、温
度を知ることもできる。
ところで、このような構成の装置は、高分解能で電圧や
温度等を測定することが困難なうえにル−ザ光源１のパ
ワーや光伝送路の伝送効率が変化すると、受光素子５に
照射される光の強度も変化し、正確な電圧や温度等の測
定を行なうことができなくなる。
温度等を測定することが困難なうえにル−ザ光源１のパ
ワーや光伝送路の伝送効率が変化すると、受光素子５に
照射される光の強度も変化し、正確な電圧や温度等の測
定を行なうことができなくなる。
ここにおいて、本発明はこのような従来技術における問
題点に鑑みてなされたもので、簡単な構成で、レーザ光
源パワーの変動の影響を受けず、高分解能で電圧や温度
等を測定できるこの種の装置を実現しようとするもので
ある。
題点に鑑みてなされたもので、簡単な構成で、レーザ光
源パワーの変動の影響を受けず、高分解能で電圧や温度
等を測定できるこの種の装置を実現しようとするもので
ある。
本発明に係る装置は、検出すべき信号に応じて互い罠位
相が９０°異なって正弦波状に変化する２種の光を出射
する光導波路素子と、この光導波路素子から出射した光
を受光する２個の受光素子と、これら２個の受光素子か
らの各信号の自乗布の平方根に関連した信号と２個の受
光素子のいずれが一方からの信号を入力し所定の演算を
行なう演算回路とで構成される。
相が９０°異なって正弦波状に変化する２種の光を出射
する光導波路素子と、この光導波路素子から出射した光
を受光する２個の受光素子と、これら２個の受光素子か
らの各信号の自乗布の平方根に関連した信号と２個の受
光素子のいずれが一方からの信号を入力し所定の演算を
行なう演算回路とで構成される。
第２図は本発明に係る装置の一例を示す構成ブロック図
で、ここでは電圧測定を行なう場合を例示しである。図
において、１はレーザ光源、２はレーザ光源１からの光
が入射する光導波路素子で、ここには、途中で分岐し再
び結合する光路２１ａ。
で、ここでは電圧測定を行なう場合を例示しである。図
において、１はレーザ光源、２はレーザ光源１からの光
が入射する光導波路素子で、ここには、途中で分岐し再
び結合する光路２１ａ。
２１ｂ及び２２ａ 、 ２２ｂと、基準光ＰＨ８を得る
光路２０が形成されている。ここで、２１ａ、 ２１ｂ
の光路差と２２ａ 、 ２２ｂの光路差は光路２１と光
路２２の出射光に９０°の位相差がつくようにきめる。
光路２０が形成されている。ここで、２１ａ、 ２１ｂ
の光路差と２２ａ 、 ２２ｂの光路差は光路２１と光
路２２の出射光に９０°の位相差がつくようにきめる。
光路Ｈａには両側に電極２５．２４が、また光路２２ａ
には両側に電極２５．２６がそれぞれ設けられ、光路２
１と、光路２２からは、電極２５．２４及び２５．２６
間に印加される電圧Ｖに応じて互いに位相が９０°異な
って正弦波状に変化する光ＰＨＩ 、 ＰＨ２が出射す
る。３１は光路２１から出射する光Ｐｉ（１を受光する
受光素子、３２は光路２２から出射する光ＰＨ２を受光
する受光素子、５３は光路２０から出射する光ＰＨ５を
受光する受光素子である。
には両側に電極２５．２６がそれぞれ設けられ、光路２
１と、光路２２からは、電極２５．２４及び２５．２６
間に印加される電圧Ｖに応じて互いに位相が９０°異な
って正弦波状に変化する光ＰＨＩ 、 ＰＨ２が出射す
る。３１は光路２１から出射する光Ｐｉ（１を受光する
受光素子、３２は光路２２から出射する光ＰＨ２を受光
する受光素子、５３は光路２０から出射する光ＰＨ５を
受光する受光素子である。
４１、４２は減算回路、４３．４４ 、４５はアンプ、
４６゜４７は自乗回路、４８は加１′１．回路、ａｐ４
−７．平方根を求める平方根回路である。自乗回路４６
は、アンプ４３から出力される受光素子３１からの信号
と受光素子３６からの信号の差信号の自乗を演算する。
４６゜４７は自乗回路、４８は加１′１．回路、ａｐ４
−７．平方根を求める平方根回路である。自乗回路４６
は、アンプ４３から出力される受光素子３１からの信号
と受光素子３６からの信号の差信号の自乗を演算する。
また、自乗回路４７ｉ１：、アンプ４４から出力される
受光素子３２と受光素子３３からの信号の差信号の自乗
を演算する。なお、ここで、光路２０、受光素子５３、
アンプ４５及び減算回路４１．４２は、レーザ光源１の
強さ等の変化による影響を除外することを目的として設
けられたものであり、１／−ザー光源１に安定なものを
使用する場合には、これらは必ずしも必要でない。
受光素子３２と受光素子３３からの信号の差信号の自乗
を演算する。なお、ここで、光路２０、受光素子５３、
アンプ４５及び減算回路４１．４２は、レーザ光源１の
強さ等の変化による影響を除外することを目的として設
けられたものであり、１／−ザー光源１に安定なものを
使用する場合には、これらは必ずしも必要でない。
５１．５２はＡ／Ｄ変換器、５０はマイクロプロセッサ
のような演算回路、５５は演算口ｉ！５５０での演算結
果を表示する表示器、５４はアンプＡ３．４４からの信
号を入力とする比較（Ｊ号処理回路、５５はアップダウ
ンカウンタである。Ａ／Ｄ変換器５１は、平方根回路４
９からの信号を基準電圧とし、アンプ４３からの信号Ｅ
、をＡ／Ｄ変換し、演算回路５０は、各Ａ／Ｄ変換器５
１１５２、必要に応じてアップダウンカウンタ５５から
の各信号を人力し、所定の演算を行なって電極２３、２
４及び２５．２６間に印加される電圧を表示器５３に表
示させる。
のような演算回路、５５は演算口ｉ！５５０での演算結
果を表示する表示器、５４はアンプＡ３．４４からの信
号を入力とする比較（Ｊ号処理回路、５５はアップダウ
ンカウンタである。Ａ／Ｄ変換器５１は、平方根回路４
９からの信号を基準電圧とし、アンプ４３からの信号Ｅ
、をＡ／Ｄ変換し、演算回路５０は、各Ａ／Ｄ変換器５
１１５２、必要に応じてアップダウンカウンタ５５から
の各信号を人力し、所定の演算を行なって電極２３、２
４及び２５．２６間に印加される電圧を表示器５３に表
示させる。
この様に構成した装置の動作は次の通りである。
レーザ光源１からの光は、光導波路素子２に入射する。
ここに入射した光は、３つに分岐し、光路２１ａ 、
２１ｂ 、 ２２ａ 、 ２２ｂ を通った光は、それ
ぞれ光８．Ｈ，２２から出射する。ここからの各党ＰＨ
１。
２１ｂ 、 ２２ａ 、 ２２ｂ を通った光は、それ
ぞれ光８．Ｈ，２２から出射する。ここからの各党ＰＨ
１。
ＰＨ２は、公知のマンハツェンダー形の干渉計と同様の
原理で、電極２３．２４及び２５．２６間に印加される
電圧に対応して、互いに９０’位相差を保持しつつ正弦
波状に変化したものとなる。
原理で、電極２３．２４及び２５．２６間に印加される
電圧に対応して、互いに９０’位相差を保持しつつ正弦
波状に変化したものとなる。
光１１１２０から出射した光ＰＨ３は、光源１のモニタ
ー用で、各党Ｐｉ１１ 、 ＰＨ２からバイアス分を除
去するのに使用される。
ー用で、各党Ｐｉ１１ 、 ＰＨ２からバイアス分を除
去するのに使用される。
第３図は、電極間に印加する電圧Ｖと、各受光素子！Ａ
、 ３２から得られる各信号ｅ、ｉ＋８２の関係を示し
た線図である。（ａｌは印加する電圧Ｖの変化範囲が小
さい場合であり、（ｂ）は印加する電圧■の変化範囲を
少し広くした場合である。いずれも、印加電圧ＶＫ応じ
て、ｅｌ １６２は９００位相差を保ちつつ正弦波状に
変化している。（ｅ）は、光路２１ａ、、 ２１ｂ 。
、 ３２から得られる各信号ｅ、ｉ＋８２の関係を示し
た線図である。（ａｌは印加する電圧Ｖの変化範囲が小
さい場合であり、（ｂ）は印加する電圧■の変化範囲を
少し広くした場合である。いずれも、印加電圧ＶＫ応じ
て、ｅｌ １６２は９００位相差を保ちつつ正弦波状に
変化している。（ｅ）は、光路２１ａ、、 ２１ｂ 。
２２ａ 、 ２２ｂ を長くするとともに、厄極長を大
きくした場合である。
きくした場合である。
受光素子３３からの信号ｅ３は、レーザ光源の強さや、
光伝送路の伝送効率の変化等に対応しており、減算回路
４１．４２において、各信号’ｌ＋６３より０３を減す
ることＫよって、レーザ光源等の変化による影響を除去
する。
光伝送路の伝送効率の変化等に対応しており、減算回路
４１．４２において、各信号’ｌ＋６３より０３を減す
ることＫよって、レーザ光源等の変化による影響を除去
する。
各自乗回路４６．４７は、アンプ４３．４４からの出力
Ｅ１ 、 Ｅ２を自乗し、これが加算回路４８で加算さ
れ、その平方根が平方根回路４９で演算される。
Ｅ１ 、 Ｅ２を自乗し、これが加算回路４８で加算さ
れ、その平方根が平方根回路４９で演算される。
いま、アンプ４３の出カＥｌ、アンプ４４の出力Ｅ２を
それぞれ（１）式、（２）式で表わすものとすれば、平
方根回路４９の出力Ｅ３は、（３）式で示すことができ
、印加電圧ＶＫ対応した回転角θによらず、常べ振幅値
Ａとなる。
それぞれ（１）式、（２）式で表わすものとすれば、平
方根回路４９の出力Ｅ３は、（３）式で示すことができ
、印加電圧ＶＫ対応した回転角θによらず、常べ振幅値
Ａとなる。
Ｅｌ ＝Ａｓｌｎθ（Ｖ） ・・・・凹曲叩・・叩
・・・・・（１）Ｅ２ ＝ Ａｃｏｓθ（Ｖ） 叩
・曲・凹曲・・曲・・・（２）ＥＳ”４耳１− ＝Ａｓｉｎ′θ＋Ａ２ｃｏｓ”θ ＝Ａ ・・・・・・・・・・・・・・川
・・・・・・・・・・（３）Ａ／Ｄ変換器５１は、平方
根回路４９からの信号ＥＢを基準電圧として、アンプ４
３の出力Ｅ、をＡ／Ｄ変換する。これによって、ＶＤ変
換された信号Ｅ、は、振幅値人の影響を受けず、正確に
分割されたものとなる。なお、Ａ／’Ｄ変換器５２は、
アンプ４３の出力Ｅ！の大きさが適当でない場合（感度
が十分でない場合）、アンプ４４の出力Ｅ２を同様にＶ
Ｄ変換するもので、演算回路５０は、ＶＤ変換器５１．
５２のうち、大きさが適当な方のディジタル信号を入力
し、回転角θから印加電圧Ｖの大きさを求めるための所
定の演算を行ない、その演算結果を表示器５５に表示さ
せる。
・・・・・（１）Ｅ２ ＝ Ａｃｏｓθ（Ｖ） 叩
・曲・凹曲・・曲・・・（２）ＥＳ”４耳１− ＝Ａｓｉｎ′θ＋Ａ２ｃｏｓ”θ ＝Ａ ・・・・・・・・・・・・・・川
・・・・・・・・・・（３）Ａ／Ｄ変換器５１は、平方
根回路４９からの信号ＥＢを基準電圧として、アンプ４
３の出力Ｅ、をＡ／Ｄ変換する。これによって、ＶＤ変
換された信号Ｅ、は、振幅値人の影響を受けず、正確に
分割されたものとなる。なお、Ａ／’Ｄ変換器５２は、
アンプ４３の出力Ｅ！の大きさが適当でない場合（感度
が十分でない場合）、アンプ４４の出力Ｅ２を同様にＶ
Ｄ変換するもので、演算回路５０は、ＶＤ変換器５１．
５２のうち、大きさが適当な方のディジタル信号を入力
し、回転角θから印加電圧Ｖの大きさを求めるための所
定の演算を行ない、その演算結果を表示器５５に表示さ
せる。
比較、信号処理回路５４は、アンプ４３又はアンプ４４
の出力のいずれかを入力し、この信号の正弦波の山の数
を検出し、アップダウンカウンタ５５にこれを計数させ
る。これらの回路は、電極に印加する電圧■が大きく、
信号ｅＩｒ０２が第５図（ｃ）に示すように変化する場
合において使用されるもので、この場合、演算回路５０
は、アップダウンカウンタ５５の計数値をも入力し、こ
の計数値と角度θとから印加電圧Ｖの大きさを演算する
こととなる。
の出力のいずれかを入力し、この信号の正弦波の山の数
を検出し、アップダウンカウンタ５５にこれを計数させ
る。これらの回路は、電極に印加する電圧■が大きく、
信号ｅＩｒ０２が第５図（ｃ）に示すように変化する場
合において使用されるもので、この場合、演算回路５０
は、アップダウンカウンタ５５の計数値をも入力し、こ
の計数値と角度θとから印加電圧Ｖの大きさを演算する
こととなる。
なおＮ Ａ／Ｄ変換器５２、比較信号処理回路５４及
びアップダウンカウンタ５５は、測定すべき印加電圧Ｖ
の大きさに応じて設けられるもので、必ずしも必要とし
ない。
びアップダウンカウンタ５５は、測定すべき印加電圧Ｖ
の大きさに応じて設けられるもので、必ずしも必要とし
ない。
なお、上記の説明では、光導波路素子２の各党ｊ！２！
２１ｍ 、 ２１ｂ 、 ２２ａ 、 ２２ｂ を電極
で挾み、電極間に印加する電圧Ｖを測定するようにした
ものであるが、電極２３〜２６をなくシ、光導波路素子
２を特定な個所に設置すれば、その設置個所における温
度測定を行なうことができる。又、ここではＡ／Ｄ変換
器を用いディジタル演算を行なうことを想定したもので
あるが、これらの回路は、Ｅｌ又はＥ２をうな割誹演算
し、振幅Ａを消去するような回路であれば、他の回ｍ４
Ｍ成のものであってもよい。
２１ｍ 、 ２１ｂ 、 ２２ａ 、 ２２ｂ を電極
で挾み、電極間に印加する電圧Ｖを測定するようにした
ものであるが、電極２３〜２６をなくシ、光導波路素子
２を特定な個所に設置すれば、その設置個所における温
度測定を行なうことができる。又、ここではＡ／Ｄ変換
器を用いディジタル演算を行なうことを想定したもので
あるが、これらの回路は、Ｅｌ又はＥ２をうな割誹演算
し、振幅Ａを消去するような回路であれば、他の回ｍ４
Ｍ成のものであってもよい。
以上説明したように、本発明によれば、簡単な構成で、
レーザ光源パワーの変動や、光伝送路の伝送効率の変化
による影響を受けず高分解能で電圧や温度測定を行なえ
る光導波路形センサが実現できる。
レーザ光源パワーの変動や、光伝送路の伝送効率の変化
による影響を受けず高分解能で電圧や温度測定を行なえ
る光導波路形センサが実現できる。
第１図は従来技術の説明図、第２図は本発明に係る装置
の一例を示す構成ブロック図、第３図は動作を説明する
ための線図である。 １・・・レーザ光源、２・・・光導波路素子、３１〜３
３・・・受光素子、４６．４７・・・自乗回路、４８・
・・加算回路、４９・・・平方根回路、５１．５２・・
・Ａ／Ｉ）変換器、５０・・・演算回路。
の一例を示す構成ブロック図、第３図は動作を説明する
ための線図である。 １・・・レーザ光源、２・・・光導波路素子、３１〜３
３・・・受光素子、４６．４７・・・自乗回路、４８・
・・加算回路、４９・・・平方根回路、５１．５２・・
・Ａ／Ｉ）変換器、５０・・・演算回路。
Claims (4)
- （１）光源と、この光源からの光が入射し検出すべき信
号の変化に応じて互いに９０°の位相差を保ちつつ正弦
波状に変化する２種の光を出射する光導波路素子と、と
の光導波路素子から出射した光を受光する２個の受光素
子と、これら２個の受光素子からの各信号の自乗和の平
方根に関連した信号を得る回路と、前記２個の受光素子
の少なくとも一方からの信号と前記各信号の自乗和の平
方根に関連した信号を入力し所定の演算を行なって前記
検出すべき信号に関連する信号を得る演算回路とを具備
した先導波路形センサ。 - （２）検出すべき信号は温度信号であって、光導波路素
子は温度測定個所に設置される特許請求の範囲第１項記
載の光導波路形センナ。 - （３） 光導波路素子は、電極によって挾まれた２以
上の光路を含み、検出すべき信号は前記電極に印加され
た電圧信号である特許請求の範囲第１項記載の光導波節
形センナ。 - （４） 演算回路は、２個の受光素子の少なくとも一
方からの信号を入力しこの信号の正弦波の山の数を計数
する手段を含む特許請求の範囲第１項記載の光導波路形
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58092493A JPS59218915A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 光導波路形センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58092493A JPS59218915A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 光導波路形センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59218915A true JPS59218915A (ja) | 1984-12-10 |
Family
ID=14055819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58092493A Pending JPS59218915A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 光導波路形センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59218915A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62265619A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-11-18 | テクトロニツクス・インコ−ポレイテツド | 電気光学デバイス |
| JPS63110415A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電圧センサ |
| JPS63277924A (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-15 | Canon Inc | 変位測定装置 |
| FR2632406A1 (fr) * | 1988-06-03 | 1989-12-08 | Karlsruhe Augsburg Iweka | Ensemble de detection et de mesure simultanees de la pression et de la temperature dans un fluide sous pression |
| JPH04172260A (ja) * | 1990-11-05 | 1992-06-19 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 電磁界強度測定装置 |
| JPH0552771U (ja) * | 1991-12-13 | 1993-07-13 | 日置電機株式会社 | 電流検出装置 |
| WO1999040446A1 (fr) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Procede de mesure du courant, detecteur de courant et testeur ci utilisant ledit detecteur |
| WO1999040449A1 (fr) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Circuit d'attaque excite optiquement, detecteur de tension de type a sortie optique et materiel de test de circuits integres utilisant ces dispositifs |
| JP2007170918A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路型デバイス、温度計測装置および温度計測方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53131879A (en) * | 1977-04-20 | 1978-11-17 | Philips Nv | Device for generating signal indicating synchro rotation speed |
| JPS5769497A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-28 | Copal Co Ltd | Method of compensating temperature or like in displacement detector |
| JPS57122327A (en) * | 1981-01-21 | 1982-07-30 | Nec Corp | Temperature measuring device utilizing light wave guide |
-
1983
- 1983-05-27 JP JP58092493A patent/JPS59218915A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53131879A (en) * | 1977-04-20 | 1978-11-17 | Philips Nv | Device for generating signal indicating synchro rotation speed |
| JPS5769497A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-28 | Copal Co Ltd | Method of compensating temperature or like in displacement detector |
| JPS57122327A (en) * | 1981-01-21 | 1982-07-30 | Nec Corp | Temperature measuring device utilizing light wave guide |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62265619A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-11-18 | テクトロニツクス・インコ−ポレイテツド | 電気光学デバイス |
| JPS63110415A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電圧センサ |
| JPS63277924A (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-15 | Canon Inc | 変位測定装置 |
| FR2632406A1 (fr) * | 1988-06-03 | 1989-12-08 | Karlsruhe Augsburg Iweka | Ensemble de detection et de mesure simultanees de la pression et de la temperature dans un fluide sous pression |
| JPH04172260A (ja) * | 1990-11-05 | 1992-06-19 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 電磁界強度測定装置 |
| JPH0552771U (ja) * | 1991-12-13 | 1993-07-13 | 日置電機株式会社 | 電流検出装置 |
| WO1999040446A1 (fr) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Procede de mesure du courant, detecteur de courant et testeur ci utilisant ledit detecteur |
| WO1999040449A1 (fr) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Circuit d'attaque excite optiquement, detecteur de tension de type a sortie optique et materiel de test de circuits integres utilisant ces dispositifs |
| GB2339918A (en) * | 1998-02-05 | 2000-02-09 | Advantest Corp | Optically driven driver, optical output type voltage sensor, and ic testing equipment using these devices |
| GB2340233A (en) * | 1998-02-05 | 2000-02-16 | Advantest Corp | Current measuring method,current sensor,and IC tester using the same current sensor |
| GB2339918B (en) * | 1998-02-05 | 2002-11-27 | Advantest Corp | Optical driver, optical output type voltage sensor and IC testing apparatus using them |
| US6586953B1 (en) | 1998-02-05 | 2003-07-01 | Advantest Corporation | Optically driven driver, optical output type voltage sensor, and IC testing equipment using these devices |
| JP2007170918A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路型デバイス、温度計測装置および温度計測方法 |
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