JPS59218441A - 発色性感光性樹脂組成物 - Google Patents

発色性感光性樹脂組成物

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JPS59218441A
JPS59218441A JP7260783A JP7260783A JPS59218441A JP S59218441 A JPS59218441 A JP S59218441A JP 7260783 A JP7260783 A JP 7260783A JP 7260783 A JP7260783 A JP 7260783A JP S59218441 A JPS59218441 A JP S59218441A
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photosensitive
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acid
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Tsugio Yamaoka
亜夫 山岡
Shiyousen Yo
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Nippon Soda Co Ltd
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/09Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
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  • Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物に関する。さらに詳しくは活
性光線の照射によシ硬化し、且つ、発色性を有する感光
性樹脂組成物に関する。
活性光線の照射によって硬化し、且つ、発色する特徴を
有する感光性樹脂としてはフリーラジカル系感光性樹脂
がよく知られている。すなわち、ノ臂う位未置換の芳香
族アミンを窒素を介してポリマー側鎖に懸垂させた高分
子化合物と光の作用によジラジカルを発生し得る多ノ・
ロダン化合物の混合系に光を照射すると、トリフェニル
メタン系の色素が発生すると同時にポリマー間架橋反応
が起こることを特徴とするものである。このものの樹脂
例や硬化・発色機構については、昭和52年9月5日■
シーエムシー発行の1基礎と応用フォトd?リマー”t
 (P162〜164)、或は昭和56年4月π日、印
刷学会出版部発行、「新・感光性樹脂」。
(角田隆弘著)r(Plso〜153)、に記載されて
いる。
本発明者らは酸現像型の感光性樹脂を開発すべく芳香族
環を含有するアミン化合物を出発物質とする一連の感光
性樹脂の研究を行っていたところ、樹脂分子中に で表わされる化学構造を有する感光性樹脂が増感剤系に
より露光すると硬化と共に発色するものであるか或は露
光硬化後に酸処理すると発色するものであることを見出
し、鋭意検討の結果本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は次のAおよびBを主賛成分とするこ
とを特徴とする発色性感光性樹脂組成物に関するもので
ある。
A1分子中に活性光線の照射によって反応し得る感光基
と で表わされる化学構造を有する感光性樹脂。
B、上記Aを活性光線の照射によって反応を惹き起し得
る増感剤系。
上記の感光性樹脂組成物において増感剤系が活性光線の
照射によってハロゲンラジカルを発生し得るハロダン化
合物を含有するものである場合には、発生したハロゲン
ラジカルが水素を引き抜き酸を生成するため露光と同時
に硬化すると共に発色する。また、ジアゾニウム六フッ
化リン塩でもってルイス酸を生成するものも露光と同時
に発色し硬化する。このようなハロダン化合物を含有し
ない増感剤系からなる上記の感光性樹脂組成物の場合に
は、露光により硬化したあと酸処理することによシ発色
する。
本発明の感光性樹脂が従来よく知られたフリーラジカル
系感光性樹脂とその硬化・発色機構が興なることは、次
の如く説明される。
まず、硬化機構は、従来のフリーラジカル系感光性樹脂
では、前記の文献に説明されている如く、増感剤中に存
在するハロゲン化メチル基と樹脂中に存在する芳香族環
のアミン基に対しノ4う位の炭素がノ・ロダンの光解離
に従って反応し硬化が進んでいく。すなわち、次のよう
な架橋構造が得られるものとtむ山1・さ・  −R −ヘノしへ。
また、七の発色機構も硬化の進行によシ生成するトリフ
ェニルメタン構造が発色の要素となっていると説明され
ている。すなわち、従来のノ・口り゛ンフリーラジカル
感光性樹脂が光硬化し、発色するためには、トリフェニ
ルメタン4h造を生成するための・母う位未置換のアミ
ン芳香族環とその反応中心となるノ・ログン化メチル基
の存在が必須のものと考えられる。
これに対し、本発明の感光性樹脂は、たとえば(メタ)
アクリル基やアリル基、エポキシ基などが光開始剤の存
在下光の照射により重合反応を起して硬化するものであ
り、光硬化機構は全く異なる。また、その発色機構を鮮
しく調べたところ、現象論として次の発色規律があるこ
とが認められた。
囮   O すなわち、ジアミノジフェニルメタン構造を有する樹脂
Aは、UV光により励起された水素引き抜き型増感剤に
よって水素が引抜かれ、安定なジアミノジフェニルメタ
ンラジカル溶造が形成されると考えられる。これがBの
状態であシ、発色はしない。このB状態のものを酸で処
理すると鮮やかに発色する、このときノ・ロダンの存在
は必要なく、塩酸の他硝酸、リン酸、硫酸などによって
も発色する。この状態がBH+である。BH+をアルカ
リで処理すると色が消えBに戻ると考えられる。
一方、樹脂Aを水素引抜き型増感剤とポIJ /・ロダ
ンの存在下にUV光に露光すると露光によシ酸が生成す
るため、露光と同時にBH+となって発色する。
本発明の感光性樹脂組成物は従来の7・ロダンフリーラ
ジカル感光性樹脂の光硬化と発色のために必須のものと
考えられるノ・ログ/化メチル基と・9う位未置換のア
ミノ芳香族環を必ずしも必要とするものでない。本発明
の感光性樹脂組成物においては、ポリハ0rン化合物は
プロトンを発生させて樹脂を発色させることに寄与して
いる。ポリノhロダン化合物は光硬化促進剤としても機
能するが、必須の化合物ではない。本発明の感光性樹脂
組成物はハログ/原子を含まな9光ラジ力ル発生剤を用
いた場合でも樹脂の光硬化は生起する。この場合にはノ
ロト/の供給がないため光照射と同時に発色はしないが
、別途酸処理するとプロトンが供給されるので発色する
。以上の説明により本発明の感光性樹脂組成物が従来の
ハロゲンフリーラジカル感光性樹脂とは異−なる新規な
発色性感光性樹脂であることは明白である。
次に本発明の各成分について詳細に説明する。
A成分の樹脂分子中に導入される感光基は活性光線の照
射によって反応を惹き起し得るものであれば特に制限す
るものでないが、樹脂合成上および樹脂の取シ扱いの各
易さ、感光特性などからアクリル基或はメタクリル基が
特に好まれる。
本発明にかかわる感光性樹脂の典型的な樹脂構造を例示
すると次の如くであるが、感光基はアリル基やエポキシ
基など他の感光基に置き代えてもよい。
0OH (ここでRは、例えばHまたはOH3を表わす。)この
種の樹脂化合物は、4.4’−ジアミノジフェニルメタ
ン1モルとグリシジル(メタ)アクリレート4モルを反
応させることにより合成される。また、N、JM’、N
’−テトラグリシジルジ了ミノジフェニルメタン1モル
と(メタ)アクリル酸4モルを反応させることによって
も実質的に同様なものが得られる。
(ここでRはHまたはOH3、R’はアルデヒドの反応
根基である。) アルデヒドを選択することにより色調の異なった発色を
示す。感光基や樹脂の構造はこれらに限られるものでは
なく、存在する水酸基に増感基等を導入してもよく、イ
ソシアネート、エバ?キシ基、カルボキシル基、酸無水
物基などを両末端に有する三官能オリゴマーで鎖延長し
た変性4.4’ジアミノジフエニルメタン樹脂を使用す
ることもできる。
B成分の感光剤系は活性光線の照射によって本発明の感
光性樹脂の感光基の反応を惹き起し得るものであればよ
いが、好ましくはチオキサントン類、ベンゾイン類、ア
ントラキノン類、ベンゾフェノン類の中から選ばれた1
種または2種以上の増感剤を含有してなる系がよい。な
お感光基がアクリル基またはメタクリル基の場合は特に
チオキサントン類が好ましい。
またハロダンラジカルを発生しイηるノ・ロダン化合物
としては、限定するものではないが、−F’Heの構造
式で示された化合物群から選ばれた少くとも1種のハロ
ゲン化合物を使用することが好ましい。
(ここでXはハロゲン、RはHまたは炭素数が1〜5の
炭化水素残基金示し、mは1,2.3のいずれかの整舷
、nは3−mで表わされる整数である。) 共体的には、クロル酢酸アルキルエステル、ジクロル酢
酸アルキルエステル、トリクロル酢酸アルキルエステル
、フロム酢酸アルキルエステル、ジブロム酢酸アルキル
エステル、トリブロム酢酸アルキルエステル、4−クロ
ルメチルベンゾフェノン、トリクロルメチルフェニルス
ルホン、トリブロムメチルフェニルスルホン、トリクロ
ルアセトフェノン、トリブロムアセトフェノ/、α、α
−ジクロロー4−フェノキシアセトフェノン、テトラク
ロルメタン、テトラブロムメタンなどが挙げられる。
また、エポキシ基を感光基として使用する場合はポリハ
ロダン化合物の他次のジアゾ塩を利用することもできる
例えば (R−H,OH,−102H,−1R′−0、−NO2
、配合される増感剤系の景は感光性樹脂100重量部に
対してl−加重置部、好ましくは5〜15に置部である
。またハロゲン化合物が配合される場合は適当な量を選
べばよiが、通當増感剤系全量の40〜60%が用いら
れる。
本発明にかかわる発色性感光性樹脂組成物は上記のAお
よびBを主要成分としてなるが、この他に溶剤、反応性
稀釈剤、染料、顔料、密着性改質剤、分散剤および熱重
合禁止剤などを必要に応じ適宜に配合されてよい。これ
ら各成分の混合は従来公知の方法によって行うことがで
きる。
かくして得られた本発明の感光性樹脂組成物は活性光線
の照射によって硬化すると共に酸の存在下で発色すると
いう特徴を有している。ポリノーロダン化合物が配合さ
れていない系では、露光後酸処理によシ発色するが、驚
くべきことには、露光後1日以上放置したあとでも、酸
処理による発色機能が保持されていることである。また
、酸処理による発色後、アルカリ処理すると退色1再び
酸処理すると発色するという可逆的発色性を有している
さらにフォトレジスト樹脂として使う場合有機溶媒によ
る現像の他に酸性水溶液による現像も可能であシ、その
硬化物は耐アルカリ性に優れている。
本発明樹脂のこれらの特徴を活かした用途としてはフォ
トレジスト樹脂や記録材料が考えられる。
特に多重露光を必要とする印刷版材料や発色記録次に本
発明を合成例、実施例によってさらに具体的に説明する
が、これらは何んら実施例に限定合成例1 攪拌機、温度計、冷却器、滴下装置および窒素導入管を
備えた反応フラスコ内に4,4′−ジアミノジフェニル
メタン19.8部、グリシジルメタクリレ−ト56.8
部およびkl、N−ジメチルホルムアミド40部を仕込
んで窒素雰囲気下で攪拌しながら徐々に加温し、115
℃〜125℃で3時間反応を行った。
次いで得られた反応液を冷却した後、1000部の1チ
硫酸水溶液中に攪拌しながら徐々に注加し、約刃分間攪
拌を継続してから5チの水酸化ナトIJウムを用いて中
和をなし、樹脂沈殿物を得た。この沈殿物を水で十分に
洗浄した後、ハイドロキノン0.05部を含む300部
のアセトンに溶解させる。
次に溶解液を1000部の水中に攪拌しながら徐々に注
加し、十分に樹脂を沈殿させてから戸別し、さらに自然
乾燥を行った後、乾燥樹脂を500部のジオキサンに良
く溶解せしめ、約10チ濃度の感光性樹脂溶液(S−1
)を得た。
合成例2 合成例1と同様な装置を用いて4,4′−ジアミノジフ
ェニルメタy 19.8部とグリシジルメタアクリレ−
) 42.6部およびN、N−ジメチルホルムアミド(
9)部を窒素雰囲気下で攪拌しながら115℃〜125
℃で3時間反応を行った後、反応液を冷却して300部
のジオキサンを加え、さらに72.7部のトリクミロ酢
酸クロライドを滴下装置より攪拌しながら徐々に滴下し
、滴下終了後加〜δ℃で8時間反応を行った。
次いで得られた反応液を2000部の水中に攪拌しなが
ら注加した後、5チの水酸化す) +7ウム水溶液を徐
々に加えて樹脂を沈殿させ、さらに樹脂を十分に沈殿せ
しめるため100部の飽和硫酸ナトリウム水溶液を加え
友。
次に沈殿した樹脂を戸別し、水で十分洗浄した後、40
0部のアセトンとジオキサ/(1!1)混合溶媒にa解
せしめ、この溶解液を(拝び水中に(゛ぺ拌しながら注
加し、沈殿した樹脂(+−OH別して自然乾燥全行りた
後、所定量のジオキサ/を用いてこの乾燥樹脂を溶解せ
しめ、約10%西度の感光性樹脂溶液CB−2)を得た
合成例3 合成例1と同様な反応装置を用いて4.4′−ジアミノ
ジ7エエルメタン19.8部、P−ジメチルアミノベン
ズアルデヒド14.9fi、 N、N−ジメチルホルム
アミド淵部およびジオキプン10部を反応ノラスコ内に
仕込んで窒素雰囲気下で撹拌しながら90℃〜100℃
で1時間還流させた後、グリシソルメククリレート薦部
を加えて115〜125℃で2.5時間反応を行った。
次いで得られた反応液を冷却した後、1000部の水中
に撹拌しながら徐々に注加し、約淵分間撹(Tを継続し
てから静置、沈殿、戸別を行って樹脂を得た。仁の得ら
れた樹脂を100部のアセトンに溶解させ、再びこの溶
解液を1000部水中に注加し、上記と同様な処理を行
って樹脂を得、さらに自然乾燥を行った後、300部の
アセトンとジオキサン(1:1)混合溶媒に溶解せしめ
、約10チ濃度の感光性樹脂溶液(S−3)を得た。
実施例1 合成例1で得られた(S−1)感光性樹脂の10チジオ
キザン溶液lOO部、表1に示されたポリハロゲン化合
物0.5部をよく混合溶解して感光液を調製した。これ
らの感光液を砂目立アルミニウム板に塗布し、温風乾燥
(80℃×加〜3加分30、(膜厚1〜2μ)、ケミカ
ルラ/f(照射強度1.05mj /all−sea 
)で真空密4M光した所要1に示された色にそれぞれき
れいに発色した。
上記の感光液に2,4−ジイソノロビルチオキサントン
(以下DITXと記す)を帆5部配合してなる感光液で
はさらに増色効果が認められた。これら゛の結果を1チ
塩酸で現像したときのステップ残存段数の結果と共に表
1に示す。
実施例2 合成例1で得られた(S−1)感光性 樹脂の10%溶液            100 部
り工TK            O,5部N、N−ジ
メチルアミノ安息香酸イソアミルエステル      
         0.5部の3成分をよく混合して感
光液を調製した。実施例1と同様に塗布乾燥したものを
ケミカルラングに照射したところ発色せず、1チ塩酸に
試験片を浸漬するときれいな青色に発色した。また露光
した試験片を2日放置後、1%塩酸に浸漬したところ同
様にきれいに発色した。硬化した塗膜は非常に硬く鉛筆
硬度4H以上で、アルミ基板上によく密着しておシ、良
好な耐アルカリを示した。
また、1%塩酸の代シに1%硝酸、硫酸、リン酸に試験
片を浸漬しても同様にきれいに発色した。
実施例3 合成例2で得られた(S−2)感光性 樹脂の10%溶液            100  
部ジメチルアントラキノン          0.5
 部実施例1と同様にして感光液を層製し、塗布乾燥し
露光した。露光時きれいな喜色に発色した。1%HOt
で現像したステップタブレットの残存段数は9段で、最
低硬化光量は3.5mj/Mであった。
硬化した塗膜が固く密着しておシ、削アルカリ性良好で
あった。
実施例4 合成例3で得られた(El−3)tv光性樹脂の10俤
溶液             ioo部り工TX  
           1部α、α′−シクロロー4−
フェノキシアセトフェノン             
      1部上記3成分をよく混合溶解して調製し
た感光液を砂目立てしたポリエステルフィルム上に塗布
、乾燥して感光性樹脂塗膜の試験片を作製した。この試
験片にネガマスクを密着しケミカルラングで照射すると
発色硬化し、1%塩酸で現像すると緑色に着色した樹脂
画像が得られた。
このときのステラフ6残存段数よシ測定した発色感度(
最低発色光量)は10.5mj/d、光硬化感度は31
.5 mj /crAであった。
実施例5 (El−3)感光性樹脂の10%溶液      10
0部艮 四重化炭素            2部上記2成分を
配合して調製した感光液を砂目立てしたポリエステルフ
ィルムに塗布乾燥して感光性樹脂塗膜試験片を作製した
。この試験片にステツブタブレットネガ”マスクを密着
して、ケミカルランプで露光し、1チ塩酸で現像すると
濃緑色に着色した樹脂画像を得た。このときの発色感度
は5.3mj/cPI光硬化感度は63mj/−であっ
た。
実施例6 N 、 N 、 N’ 、 N’ −テトラグリシジル
ジアミノジフェニルメタン          10部
ジオキサン           90部四 囲臭化炭素            1部上記3成分を
よく混合溶解して感光液を調製した。この感光液を砂目
立てアルミ板に塗布、乾燥して、膜厚的2μの感光性樹
脂塗膜の試験片を作與した。これにネガマスクを密着し
てケミカルラングで露光すると青色に発色して硬化した
。1%塩酸に現像すると樹脂画像を得ることができる。
このものの発色感度は10.1 mj /ca 、光硬
化感度、63mj/−であった。
フェニルアミy4’−ジアゾニウム六フッ化リン塩を用
いる以外は、同様にして感光性樹脂塗膜の試験片を作製
した。このものをケミカルラングで照射すると青色に発
色して硬化した。また1%塩酸で現像することができた
。ステップタブレットの測定による発色感度は10.1
 mj /ca 、光硬化感度は63mj/−であった
特許出願人  日本W達株式会社 代理人 伊 藤 晴 之 同      横   山   吉   美1、事件の
表示 昭和58年特許願第72607号 2、発り」の名称 発色性感光性樹脂組成物 6、補正する者 事件との関係  特許出願人 〒100東京都千代田区大手町二丁目2番1号(430
)  日本曹達株式会社 代表者 森 樺 義 夫 4、代 理 人〒100 東京都千代田区大手町二丁目2番1号 日本曹達株式会社内 電話 (245)6234 6、補止の内容 明細書の発明の詳細な説明の欄を次の通り補正する。
(1)明細書第7頁の1−hrJ二箇所あるをl−hν
」に口J正する。
(2)同第10頁の構造式 に訂正する。
(3)同第11頁第4行目(式も含めて)の「反1b機
基」を「反応残基」に訂正する。
(4)同第11頁下から第2行目の「感5h jlJ系
」を「増感剤系」に訂正する。
手続補正室 昭和59年7月V日 特許庁長官 志 賀   学 殿 1、事件の表示 昭和58年特許願第72607号 2、発明の名称 発色性感光性樹脂組成物 3、補正する者 事件との関係 特許出願人 〒100東京都千代田区大手町二丁目2番1号(430
)  日本曹達株式会社 代表者三宮武夫 4、代理人 〒100東京都千代田区大手町二丁目2番1号日本曹達
株式会社内 電話(245)6234 (6286)伊藤晴之 6、補正の内容 原明細書の発明の詳細な説明の欄を次の通シ訂正する。
1)原明細書の第10頁の構造式 [ に訂正する。
2)原明細書の第14頁第1行目〜第6行目の[例えば (R=H,CH3−1C2H,−1R’−0−1−NO
2、例えば

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)次のAおよびBを主要成分とすることを特徴とす
    る発色性感光性樹脂組成物。 A0分子中に活性光線の照射によって反SSし得る感光
    基と で表わされる化学構造を有する感光性樹脂B、 上記A
    を活性光線の照射によって反応を惹き起し得る増感剤系
  2. (2)増感剤系が活性光線の照射によってノ・ロダンラ
    ジカル或はルイス酸を発生し得るノ為ロダン化合物を含
    有するものである特許請求の範囲第1項記載の感光性樹
    脂組成物。
  3. (3)A成分中の感光基がアクリA・基またはメタクリ
    ル基からなる特許請求の範囲第1項記載の感光性樹脂組
    成物。
JP7260783A 1983-04-25 1983-04-25 発色性感光性樹脂組成物 Granted JPS59218441A (ja)

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