JPS59206730A - 負荷力検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、一般的には位置調整装置に関し、特に、通常
産業用ロボットと呼ばれる位置調整装置の運動を制御す
るための装置に関する。

製品の自動組立装置は、すでに多年にわたって製造業に
おいて使用されている。最近は、産業用ロボットとして
知られる技術的に精巧な装置の使用数が増加の一途をた
どっている。産業用ロボットは、プログラムされた命令
に応答して、高速度かつ高精度の機械的作業を行なうこ
とができる。

産業用ロボットは通常、工作物の１位置から他位装置へ
の移動や、反復作業などを高鞘度で行なうために使用さ
れる。人間の代わりに産業用ロボットを使用すると、経
費が節減され、工程精度が向上し、定型的な、または危
険性をもった作業から３多くの人々が解放されるという
点で、極めて有利であることが立証されている。

特に製品組立の目的で用いられる産業用ロボットに関連
する顕著な問題点は、それらのロボットが作業の際の運
動径路内に存在する物体と衝突または接触する時点を認
識しえないことである。産業用ロボットは大きい力をも
っているので、そのような接触物体に１犬な損傷を与え
、あるいは破壊してしまうことさえありうる。例えば、
産業用ロボットが、長時間にわたり、一連の同じ部品を
小さい公差で例えば一連の同じノ１ウジングの穴または
凹部内へ挿入するようにプログラムさ扛ている場合には
、損傷が起こりやすい。この長時間内には、産業用ロボ
ットの摩耗咬たは疲労のために、例えば、ハウジングの
穴の中心と、ハウジングの穴に挿入されるべき部品の中
心との間に次第に位置的不整合が生じることが多く、ロ
ボットはそのような位置的不整合を検出しえないので、
ロボットが部品を穴に挿入しようとすると、部品、−・
ウジング、寸たはロボットに損傷を生じることになるの
である。

本発明の主たる目的は、相互に弾性的に取付けら扛た部
拐間の相対移動を検出する装置を提供することである。

本発明のもう１つの目的は、産業用ロボットのアームが
、その移動を妨げる物体と接触する時点を決定する装置
を提供することである。

本発明のもう１つの目的は、産業用ロボットの１部分が
、その移動を妨げる物体に衝突または接触した時、ロボ
ットの移動を停止させる装置を提供することである。

本発明のもう１つの目的は、製品の組立てに際して諸要
素を相互に押付けるべき時、産業ロボットをして特定の
物体または工作物に対して所定の物理的な力を印加せし
める装置を提供することである。

本発明のさらにもつ１つの目的は、ロボットの手が初期
位置を基準にして最小時間でプログラムさｎうるように
、ロボットの手の初期位置すなわち零位量を正確に決定
する装置を提供することで必る。

本発明の、その他の諸口的、諸特徴、および諸利点は、
添付図面を参照しつつ行なわれる実施例についての以下
の説明において明らかにさ扛る。

発明の要約 本発明においては、被動部材が駆動部材に対し位置整合
状態から外れる時点を決定する装置が提供される。この
装置は、該両部材が互いに仙に対して所定位置に保持さ
扛るように、該両部材を相互に弾性的に取付ける装置を
含んでいる。一方の部材上の特定位置には光学的に集束
される光源が取付ヴられており、他方の部材上には光検
出装置が取付けら扛ていて、この光検出装置は、前記光
源から出て光検出装置の光検出面に入射する光に応答し
て、両部材の相対位置を表わす信号を連続的に発生しつ
るようになっている。弾性的に数句けられた両部材間の
相対移動は、光検出装置をして両部材間の移動の程度を
表わす信号を発生せしめる。この信号は、例えば、被動
部材の運動を停止せしめ、対象物体に対して可動部材に
より特定の力を印加せしめ、またはロボットアームのプ
ログラミングを容易ならしめるために用いらｆる。

実施例の説明 第１図には、本発明の実施例を用いた産業用ロボットア
ーム装置１０が示されている。ロボットアーム装置１０
は、自由度６を有する人間の形態に関連した座標系にお
いて動作し、この装置の諸部分は、軸１２．１４．１６
．１８および２００回シに少なくとも限定された回転移
動を行なうことができる。装置１０の台２２は軸１２を
有し、装置１０の全上部部分はこの軸１２０回りに回転
することができる。下部アーム２４は台２２に取付けら
れており、軸１４の回りに回転することができる。下部
アーム２４に取付けられた上部アーム２６は、軸１６の
回りに回転自在である。手酢継手２８は、２つの相互に
直交する軸１８および２０の回りに゛回転自在であり、
この継手は、つかみ器３０が上部アーム２６に対し軸１
８の回りに傾くこと、および軸２０の回りに旋回するこ
とを可能ならしめる。つかみ器３０は空気圧によって作
動せしめられる。つかみ器３０は、本発明の相対移動検
出装置３２によって、手首継手２８に弾性的に取付けら
れている。検出装置３２は、手首継手２８とつかみ器３
０との間の相対移動を検出して、この相対移動を表わす
亀気偏号を発生する。

ロボット装置１０は、いわゆるＩｌｌｌ洗練法ｔｒａｉ
ｎｉｎｇｍｅｔｈｏｄ　）によってプログラムされる。

すなわち、つかみ器３０を任意の所望のつかみ位置へ手
動によって移動させると、その位置の座標が制御装置３
４内に備えられたメモリに記憶されるようになっている
。

第２図には、本発明の実施例である相対移動検出装置３
２の拡大正面図が示されている。第６Ａ図には、装置３
２０分解斜視図が示されている。

第２図および第６Ａ図に示されているように、手首継手
２８のフランジ部分４２には、取付ねじ４４（１つ牟け
が図示されている）Ｋよって、ハウジング３６、ホトダ
イオード３８、および後板４０が取付けられている。ホ
トダイオード３８は・・ウジング３６の１端部の凹部内
に収められ、ハウジング３６０反対側の端部はフランジ
部分４２Ｖ？−係合している。ホトダイオード３８は、
通常の２軸（ＸおよびＹ）形横効果ホトダイオード（１
ａｔｅｒａｌ　ｅｆｆｅｃｔ　ｐｈｏｔｏｄｉＯｄｅ　
）である。取付ねじを受入ｎるための１対の穴４６Ａお
よび４６Ｂを有する後板４０は、・・ウジング３６のホ
トダイオード用の凹部がある端′８に係合することによ
って、取付ねじ４４等が穴４６Ａｌ　４６Ｂおよびホト
ダイオード用ハウジング３６の対応する穴４８Ａおよび
４８Ｂを貫通して手首継手のフランジ部分４２の協働ね
じ穴内に完全に螺合せしめらｎた時、ホトダイオード３
８をハウジング３６と後板４０との間に位置せしめる。

前板５０は、後板４０上に、３つの通常のばねの工９に
横方向に弾性的である、可撓性取付パッド（５２Ａおよ
び５２Ｂの２つだｖｙが図示されている）の組によって
弾性的に増刊けられる。第６Ｂ図には、これらのパッド
の１つであるパッド５２Ａの断面図が示されている。パ
ッド５２Ａは、一様に堆積された複数の平らな銅円板５
３Ａ。

５３Ｂ１等を含み、これらの円板はエラストマー材によ
って成層され、ニジストマー材内に包み込ま扛ている。

ＯＴ撓性パッド５２Ａは寸だ、パッドのそれぞれの端部
に１つずつ、１対の取付キャップを備え、これらのキャ
ップは、パッドを後板４０および前板５０のそれぞｎＫ
取付けるためのねじ穴を有する。パッド５２Ａの両端部
はそれぞｎ後板４０および前板５０内の凹部５６Ａおよ
び５６Ｂ内へ挿入され、画板にそれぞれねじ５８Ａおよ
び５８Ｂによって取付けられる。他の２つのパッドは、
板４０および５０の別の凹部内に同様にして増刊けられ
る。パッド５２Ａ、５２Ｂ、等は比較的に圧縮が困難で
、軸方向の力が加えられても無視しつるような変形しか
起こさない。しかし、それらは半径方向の力を受けた時
（ｌＣは可撓的で変形しやすい。パッド５２Ａ、ｌ５２
ＢＳ　等は多方向的可撓性を有し、必要な方向には所定
のはね定数を有している。これらのパッドは潤滑も調節
も不要で、ヒステリシスが小さく、かなシの酷使に耐え
、使用寿命が長い。

高強厩赤外発光ダイオード６０と、光学レンズ６２とは
、支持・・ウジフグ６４内の固定位置に取付けら扛てい
る。ダイオード６０の代わシに、光源として、レーず、
ンーずダイオード、非赤外発光ダイオード、白熱電球、
または螢光燈などの他の光源を用いることもできる。支
持・・クジング６４は前板５０の凹部６６内に配置され
、ねじ６８Ａおよび６８Ｂによって板５０ＶＣ固定され
る。

ねじ６８Ａ２よび６８Ｂはそ扛ぞれ、・・ウジング６４
から突出したタゾ７０Ａおよび７０Ｂの穴を貫通して、
前板５０のねじ穴に螺合せしめられる。

発光ダイオード６０からの光は、通常の光学レンズ６２
によって、横効果ホトダイオード３８の光検出面７２上
に、比較的小さい円形スポットとして集束せしめられる
。空気圧によって作動せしめらｎるつかみ器３０の部分
子４は、つかみ器３０の空気・・ウジング７４の穴を貫
通して前記・・ウジング６４のねじ穴に螺合せしめられ
る１対のねじ７６Ａおよび７６Ｂによって、ハウジング
６４に増刊けられる。つかみ器３０は１対のフィンガ７
８Ａおよび７８Ｂを備えており、これらのフィンガは、
管８０がロボットアーム制御装置３４（第１図）からの
信号に応答する圧力源（図示されていないうによって加
圧されると、工作物をつかむ目的で互いに向かって移動
することができる。

移動検出装置３２は部分的には可撓装置であり、モーメ
ントが加えられた時には回転が起こシ、装置３２に力が
加えられた時には純粋な並進運動が起こるような点の付
近で動作を行なう。第４Ａ図および第４Ｂ図には、装置
３２が妨害を受けた時、横方向誤差がどのようにして調
整されるかが概略的に示されておシ、第５Ａ図および第
５Ｂ図には、相係合すべき部品間にモーメントに起因す
る軸方向の不整合があった時に、装置３２が機械的にど
のように動作するかが概略的に示さｎている。

第４Ａ図（では、ロボットアーム１０（第１図）′　　
に取付けられた相対移動検出装置３２の１端部に取付け
ら扛たつかみ器７８Ａおよび７８Ｂが、Ｖン８４を受入
ｎ部材８８の穴８６内に挿入しようとしているところが
示されている。ビン８４は軸方向９０に移動せしめら九
るが、横方向の位置不整合のために、穴８６の入口にお
いてぎン８４と面取シ面９２との間に衝突が起こる。ビ
ン８４が引続き軸方向へ移動すると、面取り面９２に衝
突してそれに沼って滑り、それによってビン８４゜前板
５０、および支持ハウジング６２の矢印９４方向への横
移動が生じる。第４Ｂ図には、ビン８４が受入れ部材８
８の穴８６の主要部に入るまで横方向に移動した後の状
態が示されている。この横移動の直接的結果として、可
撓性パッド５２Ａ。

５２Ｂ１等は横方向へ変形し、そのためダイオード６０
から出てレンズ６２を通った光は光検出面７２を横切る
。ホトダイオード３８の光検出面上における、この光点
の移動の効果については以下に述べる。光検出面上のこ
の光点の移動により、ホトダイオード３８はその移動を
表わす電気信号を発生する。

第５Ａ図には、ビン８４を受入れ部材８８の穴８６内に
、穴８６の縦軸に対し鋭角をなして挿入しようとしてい
るつかみ器７８Ａおよび７８Ｂが示されている。ビン８
４は穴８６内に部分的には入りうるが、最初から完全に
穴８６内に入ることはできない。しかし、いったんビン
８４の縦軸が穴８６の縦軸と平行かつ／または一致状態
になると、ぎン８４は穴内へ入ることができるようにな
る。ビン８４および穴８６の両軸のこの整合の際、発光
ダイオード６０および集光用光学レンズ６２が取付けら
れている前板５．０および支持ハウジング６４は、回転
移動および、ある場合には横方向移動せしめら扛る。第
５Ｂ図には、ビン８４が受入ｎ部材８８の穴８６内へ挿
入できるようになるまで軸９６の回りに回転移動した状
態が示されている。可撓性バッド５２　Ａ　ｌ　５２　
Ｂ　ｓ等は、この回転移動を可能ならしめるように横方
向へ変形する。それによってダイオード６０からの光は
、ホトダイオード３８の光検出面７２上の、回転移動を
表わす他の位置へ入射する。

次に、第６Ａ図に示されている２端子ホトダイオード９
７に関して、２軸形横効果ホトダイオード３８の動作を
説明する。光源からの集束光点がホトダイオード９７の
光検出面９８上に入射する位置Ｓにおける電流工。は、
方程式 ％式％） によって表わされる。ただし、ここに 工。＝光による訪起電流 ■二線電流 Ｓ＝位置Ｓ Ｌ＝検出器の幅 である。第２図の移動検出装置内のダイオード３８のよ
うな、第６Ｂ図に示されているような４つの外部接点Ａ
％Ｂ、Ｃ，Ｄを有する２軸形ホトダイオードにおいては
、光点１００のような光点のＸおよびＹ位置を示す電気
信号は、 のように表わされる。

移動検出装置３２は、少なくとも２つの相異なる動作モ
ードで使用されつる。１モードにおいては、妨害が生じ
た場合にロボットアームの移動を中止または停止せしめ
る目的で、ロボットの手とロボットアーム本体との間の
相対位置の変化が監視される。もう１つの動作モードに
おいては、内力の検出、または物体に対する所定の大き
さの力の印加の目的で、ロボットの手（つかみ器３０）
とロボットアーム本体との相対位置の変化が監視される
。

第７図には、アーム移動中止モードで動作する、本発明
の移動検出装置の情報流ブロック図が示されている。も
し、例えば、移動検出装置３２の前板５０が可撓性バッ
ド５２Ａ　＊　５２　Ｂｓ等の設計さｎた、すなわち選
択された力に抗してＸおよび／−！たはＹ方向へ横方向
に移動、すなわち並進したとすれば（１０２）、発光ダ
イオード６０からの光点は、面７２上の初期位置から、
前板５０とホトダイオード３８が取付けられた後板４０
との間の相対移動に直線的に関係した位置へ移動すべ１
０６）。

この相対移動により、このＸおよび／またはＹ方向移動
を表わす電気信号が発生する（１０８）。この信号は、
所定のＸおよびＹ電気イぎ号レベルと比較された後（１
１０）、偽の、捷たは望ましくない機械的振動をフィル
タ除去するために、最小持続時間を超えて存在する信号
が確定される（１１２）。もし、ＸまたはＹ信号が、所
定の太きさより小さいか、または所定時間より短かけれ
げ、移動検出装置は、ロボットアームの移動を中止させ
ることなく、ロボットアーム本体に対する口〆ットの手
（つかみ器）の相対移動を監視し続ける（１１４）。し
かし、もしＸまたはＹ連通信号が、所定の大きさまたは
持続時間を超えていれば、撓み移動検出装置３２はアー
ムの移動を中止せしめる（１１６）。

第８図には、ロボットアームカ発生モードで動作する、
本発明の移動検出装置３２の情報流ブロック図が示され
ている。第４Ａ図、第４Ｂ図、および第８図において、
もし例えば、ビン８４がロボットアーム装置１０（第１
図）の横移動によって固定取付けされた受入れ部材８８
の部分に接触せしめられたとすれば、Ｖン８４と移動検
出装置３２の前板５０とは一緒に、可撓性バッド５２Ａ
。

５２Ｂ１等の設計された、すなわち選択された力に抗し
て、Ｘお工び／またはＹ方向へ横方向に変位、すなわち
並進せしめら扛る（１１８）。ビン８４と移動検出装置
３２の前板５０とが一緒にＸおよび／またはＹ方向へ横
に並進すると、可撓性バッド５２Ａ、５２Ｂ％等は対応
距離ｒｄ、ｊ（１２０）だけ横方向に偏移せしめられる
。これらの可撓性バッドのばね定数Ｋ（１２２）は、こ
れらの可撓性バッドが横方向へ偏移せしめられる時には
、積関数（１２４）として組合わさｎる。前板５０が横
方向へ移動すると、高強度赤外発光ダイオード６０から
出て光学レンズ６２を通ｐ１横効果ホトダイオード３８
の光検出面７２上に入射する光点は、面７２上の初期位
置から、前板５０とダイオード３８が取付けらｎている
後板４０との間の相対移動に直線的に関係した位置まで
移動する（１２６）。

この相対移動は、そのＸおよび／甘たはＹ移動を懺わす
電気信号を発生せしめる（１２８）。この信号は、所望
の所定力に対応した大きさを有する、所望のＸ訃よび／
またはＹ電気信号レベルと比較される（１３０Ｌ　ロボ
ットアームが生じる力は、ロボットアームが既知のばね
定数をもった可撓性バッド５２Ａ、５２Ｂ％等を特定距
離［ｄｊたけ偏移させることに起因する。これらの可撓
性バッドの偏移移動は、所望の所定力が生じるまで続け
られる（１３２）。いったんこの力が発生す扛ば、ロボ
ットアームの移動は停止せしめられ（１３４）、その力
は維持さｎる。

上述の位置決定すなわち相対移動検出モードと、力発生
モードとのほかに、移動検出装置３２はさらに、ロボッ
トの手すなわちつかみ器３０の零位置すなわち中立位置
の決定にも用いられつる。横効果ホトダイオード３２の
電流を監視す扛ば、この零位置を正確に決定することが
でき、それによってロボットアームのプログラミング時
間を著しく減少させることができる。

本技術分野に精通した者ならば、本発明の詳細な説明か
ら、上述の実施例に対して本発明の範囲から逸脱するこ
となくさまざまな改良および改変を施しつることがわか
るはずである。ここに説明した実施例は、単に例示的な
ものであり、本発明の全てを包含するものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の相対移動検出装置を用いた、通常の
産業用ロボットの斜視図である。 第２図は、第１図に示されている相対移動検出装置の、
部分断面拡大正面図である。 第３Ａ図は、第２図の相対移動検出装置の分解斜視図で
るる。 第３Ｂ図は、本発明の相対移動検出装置内のばね状可撓
性パッドの１つの正面断面図である。 第４Ａ図は、本発明の相対移動検出装置を用いた、軸的
不整合を有する部品を挿入しようとしているロボットア
ームの部分の初期位置を示す概略図である。 第４Ｂ図は、部品を関連の受入穴内に部分的に挿入して
いる、第４Ａ図の装置を示す概略図である。 第５Ａ図は、部品を部品受入穴に対し鋭角をなすように
保持する部品挿入ロボットアームの部分の初期位置を示
す概略図である。 ｉＳＢ図は、部品を関連の部品受入穴内へ部分的に挿入
している、第５Ａ図の装置を示す概略図である。 第６Ａ図は、本発明の相対移動検出装置に用いられる光
検出装置の概略断面図である。 第６Ｂ図は、２軸形ホトダイオードの外部ハウジングの
概略図で、４つの外部接続と、その光検出面のＸおよび
Ｙ座標とを示している。 第７図は、位置検出動作モードで動作する、本発明の移
動検出装置の情報流ブロック図である。 第８図は、力発生／検出動作モードで動作する、本発明
の移動検出装置の情報流ブロック図である。 １０・・・ロボットアーム装置 ２８・・・手首継手 ３０・・・つかみ器 ３２・・・相対移動検出装置 ３８・・・２軸形横効果ホトダイオード５２Ａ、５２Ｂ
・・・可撓性取付パッド６０・・・高強度赤外発光ダイ
オード ６２・・・光学レンズ 代理人　浅　村　　　皓 ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、７ ＦＩＧ、８

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）被動入力部分と負荷に係合する出力部分とを有し
   、作業機構の少なくとも選択された軸に沿って作用する
   負荷力全検出する装置であって、前記入力部分と前記出
   力部分とが少なくとも１つの一定軸に泪って弾性的に相
   対移動しうるように該入力部分と該出力部分とを連結す
   る装置と、少なくとも前記一定軸に平行な方向に治った
   前記両部会の相対変位を検出して該変位と前記連結装置
   の弾性との関数として前記出力部分に対し該方向に作用
   する負荷力を決定するための相対変位検出装置であって
   、該方向に延長する光検出面を有し前記両部会の一方に
   固定取付けされた位置検出用光検出器と、前記両部会の
   他方に対する一定位置から該検出器へ光点盆送り該検出
   器上における該光点の位置が前記両部会の前記方向にお
   ける相対変位の関数であるようにする装置と、分有する
   前記相対変位検出装置と、を備えている′負荷力検出装
   置。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記連結装置が
   、前記一定軸に対してほぼ垂直に延長し両端部を前記入
   力部分と前記出力部分とにそれぞ扛固定取付けされた少
   なくとも１つのエラストマー要素を備えており、該エラ
   ストマー要素が、前記一定軸に垂直な軸に沿って作用す
   る比較的大きい負荷力を受けても該垂直軸に沿った前記
   両部会の変位を本質的に起こさないような比較的大きい
   縦方向はね定数を有し、かつ前記一定軸に沿った前記両
   部会の変位は比較的小さい負荷力によっても起こすよう
   な比較的小さい横方向はね定数を有している、負荷力検
   出装置。 （３）特許請求の範囲第２項において、前記作業機構が
   ロボットのアームであり、前記入力部分が前記連結装置
   によって前記出力部分に連結さ′ｎた延長部材であシ、
   前記一定軸が該入力部材の縦軸にほぼ垂直になっている
   、負荷力検出装置。 （４）特許請求の範囲第１項において、前記入力部分を
   変位させる付勢自在制御装置をさらに含んでおり、該制
   御装置が前記検出器上の前記光点の変位に応じて少なく
   とも前記−市軸に平行な方向における前記入力部分の変
   位を制御する装置を含んでいる、負荷力検出装置。 （５）特許請求の範囲第４項において、前記制御装置が
   前記検出器上における前記光点の無負荷位置からの変位
   が一定の最大距離を超えた時前記入力部分のそれ以上の
   変位を停止せしめる装置を含んでいる、負荷力検出装置
   。 （６）特許請求の範囲第１項において、前記連結装置が
   少なくとも一定平面内における前記両部会の弾性的相対
   変位を可能ならしめる装置を含んでおり、前記位置検出
   用検出器が該一定平面内の直交２方向に延長する２次元
   光検出面を備えていて該直交２方向によって画定される
   該２次元面上における変位および該２次元面に沿って作
   用する負荷力を検出しうるようになっている、負荷力検
   出装置。 （７）　　％許請求の範囲第６項において、前記光検出
   面が、前記一定平面に実質的に平行に取付けられ、該一
   定平面に沿った前記出力部分の変位および前記出力部分
   に作用する負荷力を検出するようになっている平形部材
   である、負荷力検出装置。 （８）被動入力部材と負荷に係合する出力部材とを有す
   るロボットアーム用力検出装置であって、少なくとも一
   定平面内において弾性的に相対変位しうるように該両部
   材を連結する装置と、該一定平面内における該両部材の
   相対変位を検出して該変位と前記連結装置の該平面に沿
   った弾性との関数として前記出力部材に対し該一定平面
   内において作用する負荷力を決定するための相対変位検
   出装置であって、該平面に平行な方向に延長する光検出
   面を有し前記両部材の一方に固定取付けされた位置検出
   用光検出器と、前記両部側の他方に対する固定位置から
   該検出器へ光点を送り該検出器上における該光点の位置
   が前記両部材の前記方向における相対変位の関数である
   ようにする装置と、を有する前記相対変位検出装置と、
   を備えているロボットアーム用力検出装置。 （９）特許請求の範囲第８項において、前記連結装置が
   、前記一定平面に対してほぼ垂直に延長し両端部を前記
   入力部材と前記出力部材とにそれぞれ固定取付けさｎた
   少なくとも１つのエラストマー要素を備えており、該エ
   ラストマー要素が、前記一定平面に垂直な軸に沿って作
   用する比較的大きい負荷力を受けても該垂直軸に治った
   前記両部材の変位を本質的に起こさない、！：つな比較
   的大きい縦方向ばね定数を有し、かつ前記一定平面内に
   おける前記両部材の変位は比較的小さい負荷力によって
   も起こすような比較的小さい横方向ばね定数を有してい
   る、ロボットアーム用力検出装置。 ００１　　特許請求の範囲第９項において、前記入力部
   材が延長部材であり、前記一定平面が該入力部材の縦軸
   に対して本質的に垂直になっている、ロボットアーム用
   力検出装置。 圓　特許請求の範囲第１０項において、前記アームを変
   位させる付勢自在制御装置をさらに含んでおり、該制御
   装置が前記検出器上の前記光点の変位に応じて少なくと
   も前記一定平面に平行な方向における前記アームの変位
   を制御する装置を含んでいる、ロボットアーム用力検出
   装置。 （１２、特許請求の範囲第５項において、前記１１制御
   装置が前記検出器上における前記光点の変位が一定の最
   大距離を超えた時前記アームのそれ以上の変位を停止せ
   しめる装置を含んでいる、ロボットアーム用力検出装置
   。 （１３）相対移動検出装置であって、光源と、第１部材
   と、該第１部材に対して相対移動自在に該第１部材上に
   弾性的に取付けられた第２部材と、該両部材の一方に対
   する固定位置に取付けらｔ該両部材間の相対位置を表わ
   す電気信号を発生する装置を含んでいる光検出面を有す
   る光検出装置と、前記両部材の他方に対する特定位置か
   ら前記光源からの光の一部を前記光検出面上の特定位置
   へ送る装置と、全備えている、相対移動検出装置。 ■　特許請求の範囲第１６項において、前記光源からの
   光の一部を送る前記装置が光集束レンズである、相対移
   動検出装置。 （１５）　　特許請求の範囲第１６項において、前記第
   ２部材を前記第１部材上に弾性的に取付ける装置が多数
   の平形円板を備えた高可撓性ばねを含み、それぞれの該
   円板の平表面は他の円板の平表面に隣接しており、該諸
   円板の表面は特定軸の方向にほぼ直交しており、該諸円
   板はエラストマー柱内に包み込ま扛ていて、前記ｅよね
   に対して該軸方向に関する横方向の力が加えらｎると該
   横方向へのかなりの円板移動を生じ、該特定軸方向に沿
   っては無視しつる円板移動しか生じないようになってい
   る、相対移動検出装置。 ｕ６）　　ロボットアームの駆動力中断装置であって、
   光源と、伺勢自在のロボットアーム駆動部材と、該駆動
   部材に対して相対移動自在に該駆動部材上に弾性的に取
   付けられたロボットアーム被動部材と、該両部材の一方
   に対する固定位階に取付けら扛該両部材間の相対位置を
   表わす電気信号を発生する装置を含んでいる光検出面を
   有する光検出装置と、前記両部材の他方に対する特定位
   置から前記光源からの光の一部を前記光検出面上の特定
   位置へ送る装置と、前記相対位置信号に応答して該信号
   が所定の大きさに等しく、またはそれよシ太になった時
   前記ロボットアーム駆動部材を無能力化する装置と、を
   備えている、ロボットアームの駆動力中断装置。 （Ｉ７）駆動力強度調整装置であって、光源と、付勢自
   在の駆動部材と、既知のはね定数を有するばね部材によ
   って該駆動部材に対して可動であるように該駆動部材上
   に取付けられた被動部材と、該両部材の一方に対する固
   定位置に取付けられた該両部材間の相対位置を表わす電
   気信号を発生する装置を含んでいる光検出面を有する光
   検出装置と、前記両部材の他方に対する特定位置から前
   記光源からの光の一部を前記光検出面上の特定位置へ送
   る装置と、前記相対位置信号に応答して前記駆動部材の
   移動を制御しそれによって前記被動部材が生じる駆動力
   強度を制御する装置と、を（６ｆｉえている、駆動力強
   度調整装置。 （Ｉ８）特許請求の範囲第１３項において、前記第２部
   材を前記第１部材上に弾性的に取付ける装置が複数の可
   撓性パッドを含んでいる、相対移動検出装置。 （Ｌ９）特許請求の範囲第１６項または第１７項記載の
   装置において、前記第２部材を前記第１部材上に取付け
   る装置が複数の可撓性パッドを含んでいる装置。 （２、特許請求の範囲第１６項、第１６項、第１７項の
   いずれかに記載の装置において、前記光検出装置が横効
   果ホトダイオードである装置。 営υ　駆動部材に対して弾性的に移動しうるように該駆
   動部材上に取付けられている被動部材の該駆動部材に対
   する位置偏移の検出装置であって、該検出装置（・３２
   ）が、一方の前記部材（１’　３０　））　Ｋ取付けら
   れた光ビームを発生するための光源（丸６０・）と、他
   方の前記部材（ｉ　３６１）に取付けられた該光ビーム
   を受ける光検出面を有する光検出装置（！　３８　））
   と、該光検出面上における光ビーム入射位置に応答して
   少なくとも該入射位置が所定位置と異なった時に信号を
   発生する制御装置（３４・）と、を備えていることを特
   徴とする、被動部材の駆動部材に対する位置偏移の検出
   装置。