JPS59204480A - 超音波モーター - Google Patents

超音波モーター

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JPS59204480A
JPS59204480A JP58079411A JP7941183A JPS59204480A JP S59204480 A JPS59204480 A JP S59204480A JP 58079411 A JP58079411 A JP 58079411A JP 7941183 A JP7941183 A JP 7941183A JP S59204480 A JPS59204480 A JP S59204480A
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JP
Japan
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rotor
surface wave
elastic body
wave motor
pressure contact
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JP58079411A
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JPH057952B2 (ja
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Tadao Takagi
忠雄 高木
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Nippon Kogaku KK
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は超音波振動を利用した表面波モーターに関する
ものである。
従来より最も一般的に用いられている。X磁力を利用し
たモーターは、形状や材料に対する制約が大きく、また
、構造的にも巻き線や、小型で高出力を得るために希土
類の永久磁石を用いる等、コスト的にも限界を有してい
た。
この様な状況に対し、従来よりの電磁式モーターに代わ
るべくアクチュエーターの開発が行なわれ、その1つと
して、超音波振動を利用したモーターが提案さnl、こ
の超音波振動を利用したモーター(以後、超音波モータ
ーと呼ぶ)の試作例として、圧′−素子等を用いて弾性
体表面に表面波を発生させて、この表面に圧接されたロ
ーターを駆動させる表面波型の超音波モーター(以後0
表面波モーターと呼ぶ)が考案され、既に発表された。
このような表面波モーターの基本構成は。
例えば第1a図(平面図)及び第1b図(第1a図のX
−X矢視断面図)に示すように。
円環状に配置さnた圧i!累子(3)0円環状の弾性体
(11及び円環状のローター(21からなり、その駆動
原理は次のように説明されている。
即ち、圧電素子(3)に通電すると1弾性体+11上に
表面波が発生する。そして、第2図に示すように弾性体
(1)の表面の1つの点Aに着目すると点Aは長軸a、
短軸すの楕円状の軌跡を描く。その結果、ローター(2
)は弾性体(1)との摩擦力で表面波の進行方向(矢印
N)と逆方向(矢印M)iこ駆動される。
しかしながら、この様な表面波モーターは。
弾性体(1)とローター(2)間が常時圧接されながら
、 t!hいている為1弾性体(1)とローター(2)
との間の圧接面に摩耗が生じ、その摩耗Cどよって削ら
れた粉が圧接面に付着するという欠点を有していた。そ
のため、使用している間に効率が著しく低下してしまう
という不都合があった。
本発明は以−ヒの欠点を解決し、駆動中摩耗によって生
じる弾性体もしくはローターの削られた粉を、常時排出
する事により、高効率を維持しうる表面波モーターを提
供することを目的とする。
本発明は、ローターと弾性体との圧接面に付着物除去手
段を設けた事により0弾性体表面に付着する摩耗による
付着物を冨時付廿物除去手段である例えば凹部の角もし
くは四部に設けた部1等で削り取り同時に排出しうる様
になした事を技術的要点としている。
(実施例) 第3図は本発明の第1実施例を示し1表面波モーターの
分解斜視図を示す。第6図に示す円環状弾性体(4)1
円環状ローター(5)、圧電素子(6)は第1図及び第
2図の従来例で説明した構成と基本的2こは同様である
。従来例との違いはローター(5)の構成であり、以下
、第6図を用いて説明する。第3図は説明が理解しやす
いようにローター(5)と弾性体(4)、圧・′−素子
(6)とを分解して示しである。ローター(5)は弾性
体(4)の圧接面(4a)と圧接する圧接面(5a)を
有し、圧接面(5a)の一部には凹部(5b)(付着物
除去手段)が設けられている。いま、圧電素子(6)l
こより弾性体(4)を励振させてローター(5)を回動
させたものとする。この時、ローター(5)は不図示の
加圧部材により弓単性体(4)に圧接されながら回動す
る為。
弾性体(4)とローター(5)の圧接面に摩耗が生じ。
それによって生じた粉(付着物)が圧接面に付着する。
ところが、ローター(5)の圧接面(5a)はその一部
が凹状(凹部5b)に加工されている為、上述の付着物
はローター(5)の回動中に凹部(5b)のエツジC角
部)(5c)もしくは(5d)により削り取らjる。エ
ツジ(5c)により付着物が削り取られるのはローター
(5)が反時計方向に回動させられたときであり、エツ
ジ(5d)により付着物が削り取られるのはローター(
51が時計方向に回動させられたときである。その際、
ローター(6)の凹部(5b)の数は1個以上形成され
てあればよいが、ローター(51のバランス上1円周上
に等間隔に配設されているものの方がより望ましく本実
施例では2個設けである。また、付着物除去手段である
凹部(5b)は本実施例ではローター(5)に設けてあ
り、その理由は1弾性体(4)に設けるとすると駆動力
として働く弾性体(4)の表面波に悪影響を及ぼすこと
が考えられるのでローター(51if−設幻てた。しか
し1本実施例の付着物除去手段の凹部はローター(5)
に設けると限定されるものではなく1弾性体(4)に設
けることも可能である。
したがって1弾性体(4)上をローター(5)が駆動さ
れたときは弾性体(4)の圧接面(4a)とローター(
5)の圧接面(5a)との摩擦により両圧接血で摩耗が
起こり、その摩耗により生じた粉が両圧接面上に付着物
として生じ1表面波モーターの駆動効率を低下させてい
たが。
凹部(5b)を設けたことによりそのエツジ(5c)あ
るいはエツジ(5d)により上記付着物を常に削り取り
外部に排出することができた。そのため1表面波モータ
ーは上記付着物による効率の低下を最小限に防止する事
が可能となった。更に、凹部(5b)のエツジ(5c)
及び(5d)のエツジ方向(第3図の矢印E方向)はロ
ーター(5)の゛半径方向に対して1両エツジ方向それ
ぞれ外側に開く方向に少し傾いた状態となるように凹部
(5b)はローター(5)に形成されている。
次に1本発明の第2実施例を第4図を用いて説明する。
第4図は表面波モーターの分解斜視図を示す。第2実施
例の弾性体(4)、圧電素子(6)は従来例及び第1実
施例と同様な構成であるので説明を省略する。ローター
7には凹部(7b)と穴(7c)が加工されている。
そして、この凹部(7b)には、付着物除去部材(8)
が1組み込まれる。この時、付着物除去部材(8)の円
柱部(8a)が、バネ(9)を通して穴(7c)に挿入
される。したがって、付着物除去部材(8)の面(8b
)は弾性体(4;の圧接面(4a)にバネ(9+により
圧接されながら。
付着物除去部材(8)はローター(7)と共に回動する
。この時1弾性体(4)の圧接面(4a)に付むした付
着物は付着物除去部材(8)のエツジ(8c)もしくは
(8d)Jこより削り収られ外部に排出される。ただし
、バネ(9)のバネ力はローター(力の不図示の加圧部
材lどよる加圧力より弱くなっている。第1実施例で説
明したようにエツジ(5c)及び(5d)と同様にエツ
ジ(8c)及び(8d)の付着物除去の働きはローター
(7)の回転方向lごよって決まる。
したがって0弾性体(4)上をローター(力が駆動され
たときは前述したように圧接面(4a)と圧接面(7a
)との摩擦によって生じた付着物は付着物除去部材(8
)で排除ざn、る。この時、付着物除去部材(8)はバ
ネ(9iにより[l14(8b)が弾性体(4)の圧接
面(4a)に押圧されているので圧接面(4a)上に付
線してくる付着物をより良く排除できる。+11により
1表面波モーターは付着物による効率の低下を最小限に
防止する事が可能となった。
尚1図示した実施例により本発明を説明したが2本発明
は上記の実施例に限定されるものではなく1例えば1回
転型以外のリニア型表面波モーターなどの場合にも適宜
変更可能である。
以上の様に本発明によれば、ローターと弾性体との間の
圧接面に付着物除去手段を設け。
表面波モーターを駆動中に蝉性体表面及びローター表面
に付肴する摩耗による付着物を常時、付着物除去手段で
ある例えば凹部のエツジもしくは凹部に設けた部杓など
により削り取り、同時に排出しうる様lとなした事によ
り。
高効率を維持しうる表面波モーターが提供されたことに
なる。
【図面の簡単な説明】
第1a図は従来の表面波モーターの主要部を示す平面図
であり。 第1b図は第1a図のX−X矢視断面図である。 第2図は1表面波モーターの原理を説明する模式図であ
る。 第6図は1本発明の第1の実施例を示す表面波モーター
の分解斜視図である。 第4図は0本発明の第2の実施例を示す表面波モーター
の分解斜視図である。 〔主要部分の符号の説明〕 1;4・・・・・・弾性体 2;5;7・・・ローダ− 3;6・・・・・・圧電素子 出 願 人 : 日本光学工業株式会社手続補正書 昭和58年11月 1 日 特許庁長官若杉和夫 殿 】事件の表示昭和58年 特許願第79411  号2
 発明の名称 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所  東京都千代田区丸の内6丁目2番3号氏名 (
411)  日本光学工業株式会社(名称) 4代理人 5、補正の対象(1)明細書の「発明の詳細な説明」の
欄(2)明細書の「図面の簡単な説明」の欄(3)[図
  百  4  、・ 6、補正の内容   別紙のとおり  ;”’;、  
1. 、 1(1) (1)明細書第6頁第5行目と第6行目との間に下記を
挿入する。 [−上記表面波モーターの構成及び動作を具体的に述べ
る。ただし、」―射弾性体(1)は、以下述べる弾性リ
ング(16)に対応し、また同様に」−記ローター(2
)はローター(17)に、上記圧電素子(ロ)は圧電素
子(P)に対応する。 この表面波モーター(M)の基本構成は第1C図。 第1d図に示すように、圧電素子(P)(すなわち、リ
ング状圧電体(i i )、リング状電極(12)、セ
グメント電極群(13))弾性リング(16)、ロータ
ー(17)から成り、そして圧電素子(P)と弾性リン
グ(16)とは導電性を有する接着剤(15)により接
着されている。 第1図に示すリング状圧電体(11)はその一方の面全
体にリング状電極(12)がコートされており、その他
方の面にはセグメント電極群(13)がコートされてい
る。このセグメンI・電極群(13)は16個のセグメ
ント電極(15a)〜(15p)から構成されている。 このセグメント電極(1aa)は円周方向%λの長さを
有しくλは屈曲振動波長)、その電極(13a)から1
80度ずれたセグメント電極(13b)は同様に1の長
さを有する。このセグメント電極(138)と(13b
)との間に一方の側には十の長さのセグメント電極(1
3c)〜(13i)λ が位置しており、他方の側にはlの長さのセグメント電
極(15j)〜(131))が位置している。 前記セグメント電極(15c)〜(15i)及び(13
j)〜(13p)が接している圧電体(11)の各領域
は隣接する領域どうし分極方向が異なるように分極され
ている。例えば、セグメント電極(13C)が接してい
る圧電体(11)の領域と、セグメント電極(15d)
が接している圧電体(11)の領域とでは分極方向が逆
になっている。第1c図において、■と■とは分極方向
が逆であることを示している。これらのセグメント電極
(1ろC)〜(1己I)及び(13j)〜(1ap)は
駆動(入力)交流印加用電極であ【〕、互いに導電性ペ
イスト(14a)及び(14b)により互いに接続され
、これらは入力端子(F)及び(■])から入力交流電
圧が印加されている。セグメント電極(13a)は圧電
体(11)の外周端に塗布された導電性ペイスト(14
C)によりリング状電極(12)と接続されている。こ
のセグメント電極(15a)には接地端子(G)より接
地電位が印加される。すなわち、このセグメント電極(
13a)はリング状電極(12)の引出し電極として働
く。また、セグメント電極(13b)はセグメント電極
群の作成工程で形成されるもので本発明では特に作用を
持つものではない。圧電体(11)のリング状電極(1
2)側には接着剤(15)により黄銅等からなる弾性リ
ング(16)が固着されている。ローター(17)はこ
の弾性リング(16)に対しである接触圧で圧接されて
いる。 端子(Ii’)、  (G)間と端子(H)、(G)間
とに互いに90度位相のずれた交流電圧を加えることに
より圧電体(11)と弾性リング(16)とに波長λの
屈曲振動が生じ9口−ター(17)が回転される。即ち
、圧電素子(P)に通電すると弾性リング(16)上に
表面波が発生する。その表面波を利用して。 ローター(17)を表面波の進行方向と逆方向に駆動さ
せる。」 (2)明細書第4頁第7〜10行目の 「第5図に示す・・・・・・・・・基本的には同様であ
る。」を次のように訂正する。 [第5図に示す円環状弾性体(4)2円環状ローター(
5)、圧電素子(6)は、第1a図〜第1d図及び第2
図に示す弾性体(1)(弾性リング(16))、 ロー
ター(2)(ローター(17))、圧電素子(5)(リ
ング状圧電体(11)及びリング状電極(12)及びセ
グメント電極群(13))で説明した構成と基本的には
同様である。」 (3)同」1第9頁第14行目と第15行目との間に上
記を挿入する。 [第1C図は@1a図に示す表面波モーターの具体例の
平面図であり。 第1d図は第1C図に示す表面波モーターの断面図であ
り、」 (4)第1 、c図及び第1d図を追加する。 ■添付書類の目録

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 円環状弾性体と、該円環状弾性体に対し回転中心軸方向
    から圧接さnた円環状ローターとを備え、該円環状弾性
    体に発生する表面波によって該円環状ローターを回動せ
    しめる様に構成された表面波モーターにおいて。 該円環状ローターと該円環状弾性体との圧接面に付着物
    除去手段を設けた事を特徴とする表面波モーター。
JP58079411A 1983-05-09 1983-05-09 超音波モーター Granted JPS59204480A (ja)

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JP58079411A JPS59204480A (ja) 1983-05-09 1983-05-09 超音波モーター

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JPH057952B2 JPH057952B2 (ja) 1993-01-29

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Cited By (2)

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JPH057952B2 (ja) 1993-01-29

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