JPS59204480A - 超音波モーター - Google Patents
超音波モーターInfo
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- JPS59204480A JPS59204480A JP58079411A JP7941183A JPS59204480A JP S59204480 A JPS59204480 A JP S59204480A JP 58079411 A JP58079411 A JP 58079411A JP 7941183 A JP7941183 A JP 7941183A JP S59204480 A JPS59204480 A JP S59204480A
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- JP
- Japan
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- rotor
- surface wave
- elastic body
- wave motor
- pressure contact
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- Granted
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波振動を利用した表面波モーターに関する
ものである。
ものである。
従来より最も一般的に用いられている。X磁力を利用し
たモーターは、形状や材料に対する制約が大きく、また
、構造的にも巻き線や、小型で高出力を得るために希土
類の永久磁石を用いる等、コスト的にも限界を有してい
た。
たモーターは、形状や材料に対する制約が大きく、また
、構造的にも巻き線や、小型で高出力を得るために希土
類の永久磁石を用いる等、コスト的にも限界を有してい
た。
この様な状況に対し、従来よりの電磁式モーターに代わ
るべくアクチュエーターの開発が行なわれ、その1つと
して、超音波振動を利用したモーターが提案さnl、こ
の超音波振動を利用したモーター(以後、超音波モータ
ーと呼ぶ)の試作例として、圧′−素子等を用いて弾性
体表面に表面波を発生させて、この表面に圧接されたロ
ーターを駆動させる表面波型の超音波モーター(以後0
表面波モーターと呼ぶ)が考案され、既に発表された。
るべくアクチュエーターの開発が行なわれ、その1つと
して、超音波振動を利用したモーターが提案さnl、こ
の超音波振動を利用したモーター(以後、超音波モータ
ーと呼ぶ)の試作例として、圧′−素子等を用いて弾性
体表面に表面波を発生させて、この表面に圧接されたロ
ーターを駆動させる表面波型の超音波モーター(以後0
表面波モーターと呼ぶ)が考案され、既に発表された。
このような表面波モーターの基本構成は。
例えば第1a図(平面図)及び第1b図(第1a図のX
−X矢視断面図)に示すように。
−X矢視断面図)に示すように。
円環状に配置さnた圧i!累子(3)0円環状の弾性体
(11及び円環状のローター(21からなり、その駆動
原理は次のように説明されている。
(11及び円環状のローター(21からなり、その駆動
原理は次のように説明されている。
即ち、圧電素子(3)に通電すると1弾性体+11上に
表面波が発生する。そして、第2図に示すように弾性体
(1)の表面の1つの点Aに着目すると点Aは長軸a、
短軸すの楕円状の軌跡を描く。その結果、ローター(2
)は弾性体(1)との摩擦力で表面波の進行方向(矢印
N)と逆方向(矢印M)iこ駆動される。
表面波が発生する。そして、第2図に示すように弾性体
(1)の表面の1つの点Aに着目すると点Aは長軸a、
短軸すの楕円状の軌跡を描く。その結果、ローター(2
)は弾性体(1)との摩擦力で表面波の進行方向(矢印
N)と逆方向(矢印M)iこ駆動される。
しかしながら、この様な表面波モーターは。
弾性体(1)とローター(2)間が常時圧接されながら
、 t!hいている為1弾性体(1)とローター(2)
との間の圧接面に摩耗が生じ、その摩耗Cどよって削ら
れた粉が圧接面に付着するという欠点を有していた。そ
のため、使用している間に効率が著しく低下してしまう
という不都合があった。
、 t!hいている為1弾性体(1)とローター(2)
との間の圧接面に摩耗が生じ、その摩耗Cどよって削ら
れた粉が圧接面に付着するという欠点を有していた。そ
のため、使用している間に効率が著しく低下してしまう
という不都合があった。
本発明は以−ヒの欠点を解決し、駆動中摩耗によって生
じる弾性体もしくはローターの削られた粉を、常時排出
する事により、高効率を維持しうる表面波モーターを提
供することを目的とする。
じる弾性体もしくはローターの削られた粉を、常時排出
する事により、高効率を維持しうる表面波モーターを提
供することを目的とする。
本発明は、ローターと弾性体との圧接面に付着物除去手
段を設けた事により0弾性体表面に付着する摩耗による
付着物を冨時付廿物除去手段である例えば凹部の角もし
くは四部に設けた部1等で削り取り同時に排出しうる様
になした事を技術的要点としている。
段を設けた事により0弾性体表面に付着する摩耗による
付着物を冨時付廿物除去手段である例えば凹部の角もし
くは四部に設けた部1等で削り取り同時に排出しうる様
になした事を技術的要点としている。
(実施例)
第3図は本発明の第1実施例を示し1表面波モーターの
分解斜視図を示す。第6図に示す円環状弾性体(4)1
円環状ローター(5)、圧電素子(6)は第1図及び第
2図の従来例で説明した構成と基本的2こは同様である
。従来例との違いはローター(5)の構成であり、以下
、第6図を用いて説明する。第3図は説明が理解しやす
いようにローター(5)と弾性体(4)、圧・′−素子
(6)とを分解して示しである。ローター(5)は弾性
体(4)の圧接面(4a)と圧接する圧接面(5a)を
有し、圧接面(5a)の一部には凹部(5b)(付着物
除去手段)が設けられている。いま、圧電素子(6)l
こより弾性体(4)を励振させてローター(5)を回動
させたものとする。この時、ローター(5)は不図示の
加圧部材により弓単性体(4)に圧接されながら回動す
る為。
分解斜視図を示す。第6図に示す円環状弾性体(4)1
円環状ローター(5)、圧電素子(6)は第1図及び第
2図の従来例で説明した構成と基本的2こは同様である
。従来例との違いはローター(5)の構成であり、以下
、第6図を用いて説明する。第3図は説明が理解しやす
いようにローター(5)と弾性体(4)、圧・′−素子
(6)とを分解して示しである。ローター(5)は弾性
体(4)の圧接面(4a)と圧接する圧接面(5a)を
有し、圧接面(5a)の一部には凹部(5b)(付着物
除去手段)が設けられている。いま、圧電素子(6)l
こより弾性体(4)を励振させてローター(5)を回動
させたものとする。この時、ローター(5)は不図示の
加圧部材により弓単性体(4)に圧接されながら回動す
る為。
弾性体(4)とローター(5)の圧接面に摩耗が生じ。
それによって生じた粉(付着物)が圧接面に付着する。
ところが、ローター(5)の圧接面(5a)はその一部
が凹状(凹部5b)に加工されている為、上述の付着物
はローター(5)の回動中に凹部(5b)のエツジC角
部)(5c)もしくは(5d)により削り取らjる。エ
ツジ(5c)により付着物が削り取られるのはローター
(5)が反時計方向に回動させられたときであり、エツ
ジ(5d)により付着物が削り取られるのはローター(
51が時計方向に回動させられたときである。その際、
ローター(6)の凹部(5b)の数は1個以上形成され
てあればよいが、ローター(51のバランス上1円周上
に等間隔に配設されているものの方がより望ましく本実
施例では2個設けである。また、付着物除去手段である
凹部(5b)は本実施例ではローター(5)に設けてあ
り、その理由は1弾性体(4)に設けるとすると駆動力
として働く弾性体(4)の表面波に悪影響を及ぼすこと
が考えられるのでローター(51if−設幻てた。しか
し1本実施例の付着物除去手段の凹部はローター(5)
に設けると限定されるものではなく1弾性体(4)に設
けることも可能である。
が凹状(凹部5b)に加工されている為、上述の付着物
はローター(5)の回動中に凹部(5b)のエツジC角
部)(5c)もしくは(5d)により削り取らjる。エ
ツジ(5c)により付着物が削り取られるのはローター
(5)が反時計方向に回動させられたときであり、エツ
ジ(5d)により付着物が削り取られるのはローター(
51が時計方向に回動させられたときである。その際、
ローター(6)の凹部(5b)の数は1個以上形成され
てあればよいが、ローター(51のバランス上1円周上
に等間隔に配設されているものの方がより望ましく本実
施例では2個設けである。また、付着物除去手段である
凹部(5b)は本実施例ではローター(5)に設けてあ
り、その理由は1弾性体(4)に設けるとすると駆動力
として働く弾性体(4)の表面波に悪影響を及ぼすこと
が考えられるのでローター(51if−設幻てた。しか
し1本実施例の付着物除去手段の凹部はローター(5)
に設けると限定されるものではなく1弾性体(4)に設
けることも可能である。
したがって1弾性体(4)上をローター(5)が駆動さ
れたときは弾性体(4)の圧接面(4a)とローター(
5)の圧接面(5a)との摩擦により両圧接血で摩耗が
起こり、その摩耗により生じた粉が両圧接面上に付着物
として生じ1表面波モーターの駆動効率を低下させてい
たが。
れたときは弾性体(4)の圧接面(4a)とローター(
5)の圧接面(5a)との摩擦により両圧接血で摩耗が
起こり、その摩耗により生じた粉が両圧接面上に付着物
として生じ1表面波モーターの駆動効率を低下させてい
たが。
凹部(5b)を設けたことによりそのエツジ(5c)あ
るいはエツジ(5d)により上記付着物を常に削り取り
外部に排出することができた。そのため1表面波モータ
ーは上記付着物による効率の低下を最小限に防止する事
が可能となった。更に、凹部(5b)のエツジ(5c)
及び(5d)のエツジ方向(第3図の矢印E方向)はロ
ーター(5)の゛半径方向に対して1両エツジ方向それ
ぞれ外側に開く方向に少し傾いた状態となるように凹部
(5b)はローター(5)に形成されている。
るいはエツジ(5d)により上記付着物を常に削り取り
外部に排出することができた。そのため1表面波モータ
ーは上記付着物による効率の低下を最小限に防止する事
が可能となった。更に、凹部(5b)のエツジ(5c)
及び(5d)のエツジ方向(第3図の矢印E方向)はロ
ーター(5)の゛半径方向に対して1両エツジ方向それ
ぞれ外側に開く方向に少し傾いた状態となるように凹部
(5b)はローター(5)に形成されている。
次に1本発明の第2実施例を第4図を用いて説明する。
第4図は表面波モーターの分解斜視図を示す。第2実施
例の弾性体(4)、圧電素子(6)は従来例及び第1実
施例と同様な構成であるので説明を省略する。ローター
7には凹部(7b)と穴(7c)が加工されている。
例の弾性体(4)、圧電素子(6)は従来例及び第1実
施例と同様な構成であるので説明を省略する。ローター
7には凹部(7b)と穴(7c)が加工されている。
そして、この凹部(7b)には、付着物除去部材(8)
が1組み込まれる。この時、付着物除去部材(8)の円
柱部(8a)が、バネ(9)を通して穴(7c)に挿入
される。したがって、付着物除去部材(8)の面(8b
)は弾性体(4;の圧接面(4a)にバネ(9+により
圧接されながら。
が1組み込まれる。この時、付着物除去部材(8)の円
柱部(8a)が、バネ(9)を通して穴(7c)に挿入
される。したがって、付着物除去部材(8)の面(8b
)は弾性体(4;の圧接面(4a)にバネ(9+により
圧接されながら。
付着物除去部材(8)はローター(7)と共に回動する
。この時1弾性体(4)の圧接面(4a)に付むした付
着物は付着物除去部材(8)のエツジ(8c)もしくは
(8d)Jこより削り収られ外部に排出される。ただし
、バネ(9)のバネ力はローター(力の不図示の加圧部
材lどよる加圧力より弱くなっている。第1実施例で説
明したようにエツジ(5c)及び(5d)と同様にエツ
ジ(8c)及び(8d)の付着物除去の働きはローター
(7)の回転方向lごよって決まる。
。この時1弾性体(4)の圧接面(4a)に付むした付
着物は付着物除去部材(8)のエツジ(8c)もしくは
(8d)Jこより削り収られ外部に排出される。ただし
、バネ(9)のバネ力はローター(力の不図示の加圧部
材lどよる加圧力より弱くなっている。第1実施例で説
明したようにエツジ(5c)及び(5d)と同様にエツ
ジ(8c)及び(8d)の付着物除去の働きはローター
(7)の回転方向lごよって決まる。
したがって0弾性体(4)上をローター(力が駆動され
たときは前述したように圧接面(4a)と圧接面(7a
)との摩擦によって生じた付着物は付着物除去部材(8
)で排除ざn、る。この時、付着物除去部材(8)はバ
ネ(9iにより[l14(8b)が弾性体(4)の圧接
面(4a)に押圧されているので圧接面(4a)上に付
線してくる付着物をより良く排除できる。+11により
1表面波モーターは付着物による効率の低下を最小限に
防止する事が可能となった。
たときは前述したように圧接面(4a)と圧接面(7a
)との摩擦によって生じた付着物は付着物除去部材(8
)で排除ざn、る。この時、付着物除去部材(8)はバ
ネ(9iにより[l14(8b)が弾性体(4)の圧接
面(4a)に押圧されているので圧接面(4a)上に付
線してくる付着物をより良く排除できる。+11により
1表面波モーターは付着物による効率の低下を最小限に
防止する事が可能となった。
尚1図示した実施例により本発明を説明したが2本発明
は上記の実施例に限定されるものではなく1例えば1回
転型以外のリニア型表面波モーターなどの場合にも適宜
変更可能である。
は上記の実施例に限定されるものではなく1例えば1回
転型以外のリニア型表面波モーターなどの場合にも適宜
変更可能である。
以上の様に本発明によれば、ローターと弾性体との間の
圧接面に付着物除去手段を設け。
圧接面に付着物除去手段を設け。
表面波モーターを駆動中に蝉性体表面及びローター表面
に付肴する摩耗による付着物を常時、付着物除去手段で
ある例えば凹部のエツジもしくは凹部に設けた部杓など
により削り取り、同時に排出しうる様lとなした事によ
り。
に付肴する摩耗による付着物を常時、付着物除去手段で
ある例えば凹部のエツジもしくは凹部に設けた部杓など
により削り取り、同時に排出しうる様lとなした事によ
り。
高効率を維持しうる表面波モーターが提供されたことに
なる。
なる。
第1a図は従来の表面波モーターの主要部を示す平面図
であり。 第1b図は第1a図のX−X矢視断面図である。 第2図は1表面波モーターの原理を説明する模式図であ
る。 第6図は1本発明の第1の実施例を示す表面波モーター
の分解斜視図である。 第4図は0本発明の第2の実施例を示す表面波モーター
の分解斜視図である。 〔主要部分の符号の説明〕 1;4・・・・・・弾性体 2;5;7・・・ローダ− 3;6・・・・・・圧電素子 出 願 人 : 日本光学工業株式会社手続補正書 昭和58年11月 1 日 特許庁長官若杉和夫 殿 】事件の表示昭和58年 特許願第79411 号2
発明の名称 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区丸の内6丁目2番3号氏名 (
411) 日本光学工業株式会社(名称) 4代理人 5、補正の対象(1)明細書の「発明の詳細な説明」の
欄(2)明細書の「図面の簡単な説明」の欄(3)[図
百 4 、・ 6、補正の内容 別紙のとおり ;”’;、
1. 、 1(1) (1)明細書第6頁第5行目と第6行目との間に下記を
挿入する。 [−上記表面波モーターの構成及び動作を具体的に述べ
る。ただし、」―射弾性体(1)は、以下述べる弾性リ
ング(16)に対応し、また同様に」−記ローター(2
)はローター(17)に、上記圧電素子(ロ)は圧電素
子(P)に対応する。 この表面波モーター(M)の基本構成は第1C図。 第1d図に示すように、圧電素子(P)(すなわち、リ
ング状圧電体(i i )、リング状電極(12)、セ
グメント電極群(13))弾性リング(16)、ロータ
ー(17)から成り、そして圧電素子(P)と弾性リン
グ(16)とは導電性を有する接着剤(15)により接
着されている。 第1図に示すリング状圧電体(11)はその一方の面全
体にリング状電極(12)がコートされており、その他
方の面にはセグメント電極群(13)がコートされてい
る。このセグメンI・電極群(13)は16個のセグメ
ント電極(15a)〜(15p)から構成されている。 このセグメント電極(1aa)は円周方向%λの長さを
有しくλは屈曲振動波長)、その電極(13a)から1
80度ずれたセグメント電極(13b)は同様に1の長
さを有する。このセグメント電極(138)と(13b
)との間に一方の側には十の長さのセグメント電極(1
3c)〜(13i)λ が位置しており、他方の側にはlの長さのセグメント電
極(15j)〜(131))が位置している。 前記セグメント電極(15c)〜(15i)及び(13
j)〜(13p)が接している圧電体(11)の各領域
は隣接する領域どうし分極方向が異なるように分極され
ている。例えば、セグメント電極(13C)が接してい
る圧電体(11)の領域と、セグメント電極(15d)
が接している圧電体(11)の領域とでは分極方向が逆
になっている。第1c図において、■と■とは分極方向
が逆であることを示している。これらのセグメント電極
(1ろC)〜(1己I)及び(13j)〜(1ap)は
駆動(入力)交流印加用電極であ【〕、互いに導電性ペ
イスト(14a)及び(14b)により互いに接続され
、これらは入力端子(F)及び(■])から入力交流電
圧が印加されている。セグメント電極(13a)は圧電
体(11)の外周端に塗布された導電性ペイスト(14
C)によりリング状電極(12)と接続されている。こ
のセグメント電極(15a)には接地端子(G)より接
地電位が印加される。すなわち、このセグメント電極(
13a)はリング状電極(12)の引出し電極として働
く。また、セグメント電極(13b)はセグメント電極
群の作成工程で形成されるもので本発明では特に作用を
持つものではない。圧電体(11)のリング状電極(1
2)側には接着剤(15)により黄銅等からなる弾性リ
ング(16)が固着されている。ローター(17)はこ
の弾性リング(16)に対しである接触圧で圧接されて
いる。 端子(Ii’)、 (G)間と端子(H)、(G)間
とに互いに90度位相のずれた交流電圧を加えることに
より圧電体(11)と弾性リング(16)とに波長λの
屈曲振動が生じ9口−ター(17)が回転される。即ち
、圧電素子(P)に通電すると弾性リング(16)上に
表面波が発生する。その表面波を利用して。 ローター(17)を表面波の進行方向と逆方向に駆動さ
せる。」 (2)明細書第4頁第7〜10行目の 「第5図に示す・・・・・・・・・基本的には同様であ
る。」を次のように訂正する。 [第5図に示す円環状弾性体(4)2円環状ローター(
5)、圧電素子(6)は、第1a図〜第1d図及び第2
図に示す弾性体(1)(弾性リング(16))、 ロー
ター(2)(ローター(17))、圧電素子(5)(リ
ング状圧電体(11)及びリング状電極(12)及びセ
グメント電極群(13))で説明した構成と基本的には
同様である。」 (3)同」1第9頁第14行目と第15行目との間に上
記を挿入する。 [第1C図は@1a図に示す表面波モーターの具体例の
平面図であり。 第1d図は第1C図に示す表面波モーターの断面図であ
り、」 (4)第1 、c図及び第1d図を追加する。 ■添付書類の目録
であり。 第1b図は第1a図のX−X矢視断面図である。 第2図は1表面波モーターの原理を説明する模式図であ
る。 第6図は1本発明の第1の実施例を示す表面波モーター
の分解斜視図である。 第4図は0本発明の第2の実施例を示す表面波モーター
の分解斜視図である。 〔主要部分の符号の説明〕 1;4・・・・・・弾性体 2;5;7・・・ローダ− 3;6・・・・・・圧電素子 出 願 人 : 日本光学工業株式会社手続補正書 昭和58年11月 1 日 特許庁長官若杉和夫 殿 】事件の表示昭和58年 特許願第79411 号2
発明の名称 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都千代田区丸の内6丁目2番3号氏名 (
411) 日本光学工業株式会社(名称) 4代理人 5、補正の対象(1)明細書の「発明の詳細な説明」の
欄(2)明細書の「図面の簡単な説明」の欄(3)[図
百 4 、・ 6、補正の内容 別紙のとおり ;”’;、
1. 、 1(1) (1)明細書第6頁第5行目と第6行目との間に下記を
挿入する。 [−上記表面波モーターの構成及び動作を具体的に述べ
る。ただし、」―射弾性体(1)は、以下述べる弾性リ
ング(16)に対応し、また同様に」−記ローター(2
)はローター(17)に、上記圧電素子(ロ)は圧電素
子(P)に対応する。 この表面波モーター(M)の基本構成は第1C図。 第1d図に示すように、圧電素子(P)(すなわち、リ
ング状圧電体(i i )、リング状電極(12)、セ
グメント電極群(13))弾性リング(16)、ロータ
ー(17)から成り、そして圧電素子(P)と弾性リン
グ(16)とは導電性を有する接着剤(15)により接
着されている。 第1図に示すリング状圧電体(11)はその一方の面全
体にリング状電極(12)がコートされており、その他
方の面にはセグメント電極群(13)がコートされてい
る。このセグメンI・電極群(13)は16個のセグメ
ント電極(15a)〜(15p)から構成されている。 このセグメント電極(1aa)は円周方向%λの長さを
有しくλは屈曲振動波長)、その電極(13a)から1
80度ずれたセグメント電極(13b)は同様に1の長
さを有する。このセグメント電極(138)と(13b
)との間に一方の側には十の長さのセグメント電極(1
3c)〜(13i)λ が位置しており、他方の側にはlの長さのセグメント電
極(15j)〜(131))が位置している。 前記セグメント電極(15c)〜(15i)及び(13
j)〜(13p)が接している圧電体(11)の各領域
は隣接する領域どうし分極方向が異なるように分極され
ている。例えば、セグメント電極(13C)が接してい
る圧電体(11)の領域と、セグメント電極(15d)
が接している圧電体(11)の領域とでは分極方向が逆
になっている。第1c図において、■と■とは分極方向
が逆であることを示している。これらのセグメント電極
(1ろC)〜(1己I)及び(13j)〜(1ap)は
駆動(入力)交流印加用電極であ【〕、互いに導電性ペ
イスト(14a)及び(14b)により互いに接続され
、これらは入力端子(F)及び(■])から入力交流電
圧が印加されている。セグメント電極(13a)は圧電
体(11)の外周端に塗布された導電性ペイスト(14
C)によりリング状電極(12)と接続されている。こ
のセグメント電極(15a)には接地端子(G)より接
地電位が印加される。すなわち、このセグメント電極(
13a)はリング状電極(12)の引出し電極として働
く。また、セグメント電極(13b)はセグメント電極
群の作成工程で形成されるもので本発明では特に作用を
持つものではない。圧電体(11)のリング状電極(1
2)側には接着剤(15)により黄銅等からなる弾性リ
ング(16)が固着されている。ローター(17)はこ
の弾性リング(16)に対しである接触圧で圧接されて
いる。 端子(Ii’)、 (G)間と端子(H)、(G)間
とに互いに90度位相のずれた交流電圧を加えることに
より圧電体(11)と弾性リング(16)とに波長λの
屈曲振動が生じ9口−ター(17)が回転される。即ち
、圧電素子(P)に通電すると弾性リング(16)上に
表面波が発生する。その表面波を利用して。 ローター(17)を表面波の進行方向と逆方向に駆動さ
せる。」 (2)明細書第4頁第7〜10行目の 「第5図に示す・・・・・・・・・基本的には同様であ
る。」を次のように訂正する。 [第5図に示す円環状弾性体(4)2円環状ローター(
5)、圧電素子(6)は、第1a図〜第1d図及び第2
図に示す弾性体(1)(弾性リング(16))、 ロー
ター(2)(ローター(17))、圧電素子(5)(リ
ング状圧電体(11)及びリング状電極(12)及びセ
グメント電極群(13))で説明した構成と基本的には
同様である。」 (3)同」1第9頁第14行目と第15行目との間に上
記を挿入する。 [第1C図は@1a図に示す表面波モーターの具体例の
平面図であり。 第1d図は第1C図に示す表面波モーターの断面図であ
り、」 (4)第1 、c図及び第1d図を追加する。 ■添付書類の目録
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 円環状弾性体と、該円環状弾性体に対し回転中心軸方向
から圧接さnた円環状ローターとを備え、該円環状弾性
体に発生する表面波によって該円環状ローターを回動せ
しめる様に構成された表面波モーターにおいて。 該円環状ローターと該円環状弾性体との圧接面に付着物
除去手段を設けた事を特徴とする表面波モーター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58079411A JPS59204480A (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | 超音波モーター |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58079411A JPS59204480A (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | 超音波モーター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59204480A true JPS59204480A (ja) | 1984-11-19 |
JPH057952B2 JPH057952B2 (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=13689116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58079411A Granted JPS59204480A (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | 超音波モーター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59204480A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61167437A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Hitachi Maxell Ltd | 真空槽内駆動装置 |
US5300850A (en) * | 1989-02-14 | 1994-04-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5326911A (en) * | 1976-08-25 | 1978-03-13 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Pulse motor |
JPS59201685A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-15 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
-
1983
- 1983-05-09 JP JP58079411A patent/JPS59204480A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5326911A (en) * | 1976-08-25 | 1978-03-13 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Pulse motor |
JPS59201685A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-15 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61167437A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Hitachi Maxell Ltd | 真空槽内駆動装置 |
JPH0661447B2 (ja) * | 1985-01-21 | 1994-08-17 | 日立マクセル株式会社 | 真空槽内駆動装置 |
US5300850A (en) * | 1989-02-14 | 1994-04-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH057952B2 (ja) | 1993-01-29 |
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