JPS59203906A - 平面の傾斜検出装置 - Google Patents
平面の傾斜検出装置Info
- Publication number
- JPS59203906A JPS59203906A JP7850283A JP7850283A JPS59203906A JP S59203906 A JPS59203906 A JP S59203906A JP 7850283 A JP7850283 A JP 7850283A JP 7850283 A JP7850283 A JP 7850283A JP S59203906 A JPS59203906 A JP S59203906A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- plane
- slit
- inclination
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、物体平面の2次元的な傾きを光学的に検出す
る平面の傾斜検出装置に関する。
る平面の傾斜検出装置に関する。
物体平面の傾斜を検出する技術は、たとえば産業用ロボ
ットを用いる組立作業において重要である。すなわち、
舞声検出装置をロボットの手先に取シ付け、これを用い
て手先に対する対象物体平面の傾きを横細し、ロボット
の手先姿勢の位置決めをする。これまで各種方式の研究
が進められているが、光学的に物体平面の傾斜を検出す
る手段としては、第1図に示すような装置が知られてい
る。図において、(1)は光源、(2a)、(2b)は
、光検出器、(3)は集光レンズ、(4)は光源(1)
から放射されるビームに対して垂直に位置する検出対象
物、(5)は光源(1)から放射されるビームに対して
一定の勾配を有する検出対象物である。(6)は検出対
象物(4)から反射されると光量分布で、(7)は検出
対象物体(5)から反射される光量分布である。ところ
で、光源(1)から放射される光ビームは、集光レンズ
(3)よシ、検出対象物(4)または(5)上に結像さ
れる。光源(1)からの投射軸が検出対象物(4)の平
面と直交している場合には、検出対象物(4)の平面か
らの反射強度分布は光量分布(6)で示されるようにな
る。このため、集光レンズ(3)付近に設置された光検
出器(2a)%(2b)の出力が等しくなる。また、検
出対象物(5)の平面が光投射軸に対して勾配を有する
場合は、検出対象物(5)の平面からの反射強度分布が
光量分布(7)で示されるようになシ、このため光検出
器(2b)の出力方が光検出器(2a)の出方よシも大
きな値となる。すなわち、反射強度分布に非対称性が生
ずるため、光検出器(2a )(2b)の出力の差を検
出することで検出対象物(5)の平面の傾斜を検出する
ことが可能となる。
ットを用いる組立作業において重要である。すなわち、
舞声検出装置をロボットの手先に取シ付け、これを用い
て手先に対する対象物体平面の傾きを横細し、ロボット
の手先姿勢の位置決めをする。これまで各種方式の研究
が進められているが、光学的に物体平面の傾斜を検出す
る手段としては、第1図に示すような装置が知られてい
る。図において、(1)は光源、(2a)、(2b)は
、光検出器、(3)は集光レンズ、(4)は光源(1)
から放射されるビームに対して垂直に位置する検出対象
物、(5)は光源(1)から放射されるビームに対して
一定の勾配を有する検出対象物である。(6)は検出対
象物(4)から反射されると光量分布で、(7)は検出
対象物体(5)から反射される光量分布である。ところ
で、光源(1)から放射される光ビームは、集光レンズ
(3)よシ、検出対象物(4)または(5)上に結像さ
れる。光源(1)からの投射軸が検出対象物(4)の平
面と直交している場合には、検出対象物(4)の平面か
らの反射強度分布は光量分布(6)で示されるようにな
る。このため、集光レンズ(3)付近に設置された光検
出器(2a)%(2b)の出力が等しくなる。また、検
出対象物(5)の平面が光投射軸に対して勾配を有する
場合は、検出対象物(5)の平面からの反射強度分布が
光量分布(7)で示されるようになシ、このため光検出
器(2b)の出力方が光検出器(2a)の出方よシも大
きな値となる。すなわち、反射強度分布に非対称性が生
ずるため、光検出器(2a )(2b)の出力の差を検
出することで検出対象物(5)の平面の傾斜を検出する
ことが可能となる。
上記のように構成した従来の傾斜検出装置によれば、検
出対象物の表面が均一な反射特性を持っている場合には
精度よく傾斜度を検出できる。しかしながら、検出対象
物の平面によごれ、しみ、あるいは錆びなどの外乱があ
る場合には、反射強度分布にひずみが生じ検出値に誤差
が生じたシ、定量的な傾斜角の測定がおこなえないなど
の欠点があった。
出対象物の表面が均一な反射特性を持っている場合には
精度よく傾斜度を検出できる。しかしながら、検出対象
物の平面によごれ、しみ、あるいは錆びなどの外乱があ
る場合には、反射強度分布にひずみが生じ検出値に誤差
が生じたシ、定量的な傾斜角の測定がおこなえないなど
の欠点があった。
本発明は上記のような欠点を解決するためになされたも
ので、検出対象平面の傾斜角を精度よく検出する傾斜検
出装置を得ることを目的とする。
ので、検出対象平面の傾斜角を精度よく検出する傾斜検
出装置を得ることを目的とする。
本発明は上記の目的を達成するため、集光された光ビー
ムをスリット状の先後に変換して放射する第1の光源、
第1の光源の投光軸と交叉する受光軸を持つ2次元撮像
素子、前記交叉点において第1の光源によ多形成される
スリット状の光像と直交するスリット状の光源によ多形
成されるスリット状の光像と直交するスリット状の光像
を放射する第2の光源、2次元撮像素子の出力信号から
スリット状の光像対を抽出する手段及び2次元撮像素子
の検出スリット形状対の位置情報から検出対象物平面の
2方向の傾きを判断し処理する手段を備えた平面の傾針
検出装置を提供するものである。以下、図面をもちいて
本発明を説明する。
ムをスリット状の先後に変換して放射する第1の光源、
第1の光源の投光軸と交叉する受光軸を持つ2次元撮像
素子、前記交叉点において第1の光源によ多形成される
スリット状の光像と直交するスリット状の光源によ多形
成されるスリット状の光像と直交するスリット状の光像
を放射する第2の光源、2次元撮像素子の出力信号から
スリット状の光像対を抽出する手段及び2次元撮像素子
の検出スリット形状対の位置情報から検出対象物平面の
2方向の傾きを判断し処理する手段を備えた平面の傾針
検出装置を提供するものである。以下、図面をもちいて
本発明を説明する。
第2図は本発明の実施例を示す斜視図である。
図において、(9a)、(9b)はスリット状の光像を
放射する光源、CLOは2次元撮像装置、(ロ)は基台
である。(12a)、(12b)は、光源(9a)、(
9b)から放射されるスリット状の結像された光像で、
(至)は検出対象物である、またα◆は2次元撮像装置
(至)からの画像信号を2値化する2値化回路であシ、
(至)は2値化回路α◆によって出力されたスリット状
光源(12a)%(12b)の位置情報から検出対象物
(至)の平面の傾きを判断処理する判断処理部である。
放射する光源、CLOは2次元撮像装置、(ロ)は基台
である。(12a)、(12b)は、光源(9a)、(
9b)から放射されるスリット状の結像された光像で、
(至)は検出対象物である、またα◆は2次元撮像装置
(至)からの画像信号を2値化する2値化回路であシ、
(至)は2値化回路α◆によって出力されたスリット状
光源(12a)%(12b)の位置情報から検出対象物
(至)の平面の傾きを判断処理する判断処理部である。
なお、光源(9a)と光源(9b)のスリットは2次元
撮像装置Ooの受光面平面内において、互いに90°の
角度をなすように設置されている。また、光源(9a)
及び光源(9b)の投光軸は、2次元撮像装置(至)の
受光軸上の一点において又又するよう配置されている。
撮像装置Ooの受光面平面内において、互いに90°の
角度をなすように設置されている。また、光源(9a)
及び光源(9b)の投光軸は、2次元撮像装置(至)の
受光軸上の一点において又又するよう配置されている。
さらに二次元撮像装置(転)、光源(9a)、(9b)
は基台(ロ)内に固定されている。
は基台(ロ)内に固定されている。
上記のように構成した本発明の詳細な説明すれば次の通
シである。光源(9a)、 (9b)から放射される光
ビームは、検出対象物(至)の平面上にスリット状の光
像(12a、)、(12b)を形成する。これらの光像
は、2次元撮像装置(至)によシミ気信号に変換され、
2値化回路α4において適当なしきい値と比較され、ス
リット状光源のみが抽出される。
シである。光源(9a)、 (9b)から放射される光
ビームは、検出対象物(至)の平面上にスリット状の光
像(12a、)、(12b)を形成する。これらの光像
は、2次元撮像装置(至)によシミ気信号に変換され、
2値化回路α4において適当なしきい値と比較され、ス
リット状光源のみが抽出される。
ところで、光源(9a)、(9b)は、2次元撮像装置
α0の受光面座標系のX軸及びY軸上忙配置されておシ
、かつそれぞれの光源(9a)、(9b)は受光軸上の
あらかじめ定められた距離に投射軸が交叉するように構
成されているので、上記の設定距離上に検出対象物(至
)がアシ、かつ検出対象物(至)の平面の法線方向と、
2次元撮像装置αOの受光軸とが一致している場合には
、撮像装置(至)の出力として、第6図に示す形状が検
出される。図において、16a、 16bは、スリット
像でアシ、受光面座標系のX軸、Y軸上にあって直交し
ている。
α0の受光面座標系のX軸及びY軸上忙配置されておシ
、かつそれぞれの光源(9a)、(9b)は受光軸上の
あらかじめ定められた距離に投射軸が交叉するように構
成されているので、上記の設定距離上に検出対象物(至
)がアシ、かつ検出対象物(至)の平面の法線方向と、
2次元撮像装置αOの受光軸とが一致している場合には
、撮像装置(至)の出力として、第6図に示す形状が検
出される。図において、16a、 16bは、スリット
像でアシ、受光面座標系のX軸、Y軸上にあって直交し
ている。
次に第4図に示すように検出対象物(至)の平面が、撮
像装置■の受光軸に対してYo軸まわシの回転を生じた
ときは、撮像装置αOの検出する画像は第5図に示すよ
う忙なる。従って、検出対象物(至)の平面の傾きαは
、第5図におけるスリット像(16a)のX−Y座標系
での回転角rに反映される。
像装置■の受光軸に対してYo軸まわシの回転を生じた
ときは、撮像装置αOの検出する画像は第5図に示すよ
う忙なる。従って、検出対象物(至)の平面の傾きαは
、第5図におけるスリット像(16a)のX−Y座標系
での回転角rに反映される。
また、第6図に示すように、検出対象物的の平面のん軸
まわシの傾きが生じた場合には、第7図に示す形状が撮
像装置Q0によシ検出される。このとき、検出対象平面
の傾斜角は検出されたスリット像(16b)の回転δに
反映される。
まわシの傾きが生じた場合には、第7図に示す形状が撮
像装置Q0によシ検出される。このとき、検出対象平面
の傾斜角は検出されたスリット像(16b)の回転δに
反映される。
以上にのべた平面の傾斜検出装置によれば、判断処理部
(ト)はマイクロコンピュータなどからなるプログラム
可能な装置でメ夛、2値化回路α尋によシ2値化された
画像情報をメモリに貯えこれを解析する。すなわち、検
出した画像データから各スリット形状の端点位置 A
(Xa、Ya )、B (Xb、Yb )+C(XC,
YC)、 D(Xd、 Yd)を求め、以下に示す式
によシ検出対象物(至)の平面の撮像装置(10K対す
る2方向の傾きを求めることができる。
(ト)はマイクロコンピュータなどからなるプログラム
可能な装置でメ夛、2値化回路α尋によシ2値化された
画像情報をメモリに貯えこれを解析する。すなわち、検
出した画像データから各スリット形状の端点位置 A
(Xa、Ya )、B (Xb、Yb )+C(XC,
YC)、 D(Xd、 Yd)を求め、以下に示す式
によシ検出対象物(至)の平面の撮像装置(10K対す
る2方向の傾きを求めることができる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば対象平
面の表面反射特性による影響を受けずに対象平面の傾き
を精度よく確実に検出できる等の顕著な効果をあげるこ
とができる。
面の表面反射特性による影響を受けずに対象平面の傾き
を精度よく確実に検出できる等の顕著な効果をあげるこ
とができる。
第1図は従来の傾斜検出装置の一例を示す平面図、第2
図5、第4図、第6図はそれぞれ本発明の一実施例を示
す斜視図、正面図及び正面図、第6図、第5図及び第7
図は検出対象物がそれぞれ第2図、第4図及び第6図で
示した位置にある場合に本発明装置が検出した画像図で
ある。 9a、9b・・・光源、 10・・・2次元撮像装置
13・・・検出対象物 14・・・2値化回路 15・
・・判断処理部 代理人大岩増雄 第6図 90 第7図 手続補正書(0発) 特許庁長官殿 1・事件の表示 特願昭58−78502号2、発
明の名称 平面の傾斜検出装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号名
称 (601)三菱電機株式会社代表者片山仁八部 4、代理人 5、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 6、補正の内容 (1)明細書第6頁第6行の「出力方が」を「出力の方
が」と補正する。 (2)明細書第6頁第20行の「先後に」を1元像に」
と補正する。 (3)明細書第4頁第4行の「光源によシ形成されるス
リット状の光像と直交するスリット状の」を削除する。 (4)明細書第4頁第10行の1傾針検出装置」を「傾
斜検出装置」と補正する。 (5)明細書第5頁第15行の「スリット状光源」全ス
リット状元像」と補正する、 以上
図5、第4図、第6図はそれぞれ本発明の一実施例を示
す斜視図、正面図及び正面図、第6図、第5図及び第7
図は検出対象物がそれぞれ第2図、第4図及び第6図で
示した位置にある場合に本発明装置が検出した画像図で
ある。 9a、9b・・・光源、 10・・・2次元撮像装置
13・・・検出対象物 14・・・2値化回路 15・
・・判断処理部 代理人大岩増雄 第6図 90 第7図 手続補正書(0発) 特許庁長官殿 1・事件の表示 特願昭58−78502号2、発
明の名称 平面の傾斜検出装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号名
称 (601)三菱電機株式会社代表者片山仁八部 4、代理人 5、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 6、補正の内容 (1)明細書第6頁第6行の「出力方が」を「出力の方
が」と補正する。 (2)明細書第6頁第20行の「先後に」を1元像に」
と補正する。 (3)明細書第4頁第4行の「光源によシ形成されるス
リット状の光像と直交するスリット状の」を削除する。 (4)明細書第4頁第10行の1傾針検出装置」を「傾
斜検出装置」と補正する。 (5)明細書第5頁第15行の「スリット状光源」全ス
リット状元像」と補正する、 以上
Claims (1)
- 集光された光ビームをスリット状の光像に変換して放射
する第1の光源、第1の光源の投光軸と交叉する受光軸
を持つ2次元撮像素子、前記交叉点において前記第1の
光源にょシ形成されるスリット状の光像と直交するスリ
ット状の光像を放射する第2の光源、前記2次元撮像素
子の出方信号から前記スリット状の光像対を抽出する手
段及び前記2次元撮像素子の検出スリット形状対の位置
情報から検出対象物平面の2方向の傾きを判断し処理す
る手段を備えた平面の傾斜検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7850283A JPS59203906A (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | 平面の傾斜検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7850283A JPS59203906A (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | 平面の傾斜検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59203906A true JPS59203906A (ja) | 1984-11-19 |
Family
ID=13663729
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7850283A Pending JPS59203906A (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | 平面の傾斜検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59203906A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03259705A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-19 | Amada Co Ltd | 折曲機の角度計測装置 |
EP0470263A1 (en) * | 1990-02-23 | 1992-02-12 | Amada Company Limited | Method and apparatus for measuring the angle of work |
JPH04145315A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-19 | Komatsu Ltd | 曲げ角度検出可能な折曲げ装置 |
JP2005017168A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 外観検査装置、外観検査方法、及び半導体チップの製造方法 |
JP2008145417A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-06-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 表面形状測定装置および応力測定装置、並びに、表面形状測定方法および応力測定方法 |
US9217633B2 (en) | 2012-04-19 | 2015-12-22 | Hseb Dresden Gmbh | Inspection arrangement |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5474770A (en) * | 1977-11-04 | 1979-06-15 | Radioelectrique Comp Ind | Method of and device for inspecting printing margin width and parallelism |
JPS5476179A (en) * | 1977-11-29 | 1979-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Method of optically detecting angle |
-
1983
- 1983-05-04 JP JP7850283A patent/JPS59203906A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5474770A (en) * | 1977-11-04 | 1979-06-15 | Radioelectrique Comp Ind | Method of and device for inspecting printing margin width and parallelism |
JPS5476179A (en) * | 1977-11-29 | 1979-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Method of optically detecting angle |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0470263A1 (en) * | 1990-02-23 | 1992-02-12 | Amada Company Limited | Method and apparatus for measuring the angle of work |
EP0470263B1 (en) * | 1990-02-23 | 1997-05-07 | Amada Company Limited | Method and apparatus for measuring the angle of work |
JPH03259705A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-19 | Amada Co Ltd | 折曲機の角度計測装置 |
JPH04145315A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-19 | Komatsu Ltd | 曲げ角度検出可能な折曲げ装置 |
JP2005017168A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 外観検査装置、外観検査方法、及び半導体チップの製造方法 |
JP2008145417A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-06-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 表面形状測定装置および応力測定装置、並びに、表面形状測定方法および応力測定方法 |
US9217633B2 (en) | 2012-04-19 | 2015-12-22 | Hseb Dresden Gmbh | Inspection arrangement |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6417839B1 (en) | System for position and orientation determination of a point in space using scanning laser beams | |
US4822163A (en) | Tracking vision sensor | |
US4897536A (en) | Optical axis displacement sensor with cylindrical lens means | |
KR960703231A (ko) | 고정밀 부품 얼라인먼트 센서 시스템(a high precision component alignment sensor system) | |
JPH0650720A (ja) | 高さ測定方法および装置 | |
JPH1068635A (ja) | 光学的位置検出装置 | |
US6392247B1 (en) | Sensor and detection system having wide diverging beam optics | |
JPS6312521B2 (ja) | ||
EP0498495B1 (en) | Device for optically measuring the height of a surface | |
JPH02165029A (ja) | 光導波路の光軸の位置を調べる方法および装置 | |
JPS59203906A (ja) | 平面の傾斜検出装置 | |
JPS59184804A (ja) | 光学式距離センサ | |
JP5487920B2 (ja) | 光学式3次元形状計測装置及び光学式3次元形状計測方法 | |
JPS5999203A (ja) | 光学距離計による段差点検出方法 | |
JPH07332954A (ja) | 変位傾斜測定方法および装置 | |
JPS6262208A (ja) | 距離測定装置および距離測定方法 | |
JPS5855804A (ja) | 物体検知装置 | |
JPH0575050B2 (ja) | ||
JPS62222117A (ja) | 多点距離計測センサ | |
JP2943498B2 (ja) | 走査型レーザ変位計 | |
JPH03160303A (ja) | 多重孔の検出方法 | |
JP2675051B2 (ja) | 光学式非接触位置測定装置 | |
JPS5826325Y2 (ja) | 位置検出装置 | |
JPS60111906A (ja) | 角度測定方法 | |
RU2315949C2 (ru) | Способ триангуляционного измерения поверхностей объектов и устройство для его осуществления |