JPS59200242A - 光導電ドラムの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は光導電ドラムの表面欠陥の補修方法に関する。

〔発明の背景〕

電子写真技術を応用した複写機或いはノンインパクトプ
リンタの感光体としてセレン及びセレン系合金の蒸着膜
が用いられる。このような感光体はアルミニウムなどの
金属の円筒の外表面に蒸着したものが用いられ、その大
きさは面積で１０００〜３０００　ｃａと比較的大面積
である。

セレンドラムは第１図に示すようなマンドレル型蒸着装
置を用いて作製される。ベルジャ内はマンドレル、蒸発
ボート、シや熱板等で構成されている。しや熱板はマン
ドレルへの蒸発ボートからの輻射熱及びボート周辺部か
らのセレンの再蒸発をしやへいするものである。蒸発ボ
ートは赤外線ヒータによる間接加熱でセレン及びセレン
系合金を加熱蒸発させるものである。ベルジャ内は蒸着
時１．３〜６．６　ｍ　ｐ　、の真空に保持される。

マンドレルは蒸発ボートの上部に位置し、そこにアルミ
ニウム円筒が装着され、回転しながら、表面にセレン及
びセレン系合金が蒸着される。

電子写真用の感光体としてのセレンドラムの性能は最終
的には印字試験で評価されるがその際、画質に関する感
光膜の均一性が一つの重要な評価項目である。

すなわち、印字試験で紙面が部分的に黒ずむ１かぶシ〃
と呼ばれる現象とトナーがじみとなって付着する１黒点
〃と呼ばれる現象があるが、この黒点の発生は感光膜の
表面欠陥に由来することがわかっている。このような表
面欠陥を可能な限シ少なくするための方策として、１）
基板洗浄を完全にする、２）ベルジャ内の粉塵を除去す
る、３）ベルジャ内の排気に伴なう乱気流を抑える、４
）蒸発源の突沸を抑えるなどの事柄があるが、数千平方
糎の蒸着膜面に対して上記の原因による表面欠陥を皆無
とするのは不可能に近い。

実際に、直径２６０＋＋＋ｍ、長さ４２０ｒａｎのセレ
ンドラムを作製した例（個数２４）で表面欠陥を調べた
結果を第１表に示した。ここで表面欠陥として数えたも
のは直径が０．１　ｗｎ以上の突起或いはくぼみである
。

第　　１　表 このような表面欠陥を有するセレンドラムで印字試験を
行なうとドラムの表面欠陥の位置に対応して黒点が発生
するものである。複写機、プリンター等において、黒点
の発生は好ましくない。できる限シ減らすことが必要と
なる。そのために必要によっては表面欠陥の少ないセレ
ンドラムを選別して使用することとなる。このような場
合、セレンドラムの良品歩留りは低下し、また、表面欠
陥の皆無を要求される場合においては良品の生産は不可
能となる。

〔発明の目的〕

本発明は以上のような点に鑑み、セレンドラムの表面欠
陥の補修方法を提供し、セレンドラムの製造上の歩留シ
の改良を行なったものである。

〔発明の概要〕

セレン感光体の表面欠陥の外観を顕微鏡で観察すると中
心部に突起を有するくぼみである。第２図に表面欠陥の
断面プロフィルを模型的に示す。

このような表面欠陥の発生は蒸着中に基板上に飛来する
セレン蒸気以外の異物の付着が原因である。

異物の多くは真空蒸着装置の内壁等に付着したセレンが
剥離し、粉塵化したものでアシ、このような異物が付着
するとその上に堆積する無定形セレン膜の生長に異常が
生じ、第２図に示したような断面プロフィルの表面欠陥
を生ずることになると解される。

表面欠陥の部分は無定形セレンとしては異質でアシ帯電
能が小さい。トナーは感光体の帯電特性と同極性の電荷
をもって行なわれるのが普通であるから、このような帯
電能の小さい表面欠陥の部分にトナーが付着し、黒点と
して転写される。

表面欠陥部分のセレン膜の帯電能が小さいことはセレン
の結晶化と関係がある。すなわち、元来無定形であるべ
きセレンが結晶化し、金属に近い電気的性質を帯びるこ
とがその原因である。

以上の事柄η）られがるように表面欠陥の補修は単にく
ぼみ或いは突起と云った形状に関したことでは解決せず
、結晶化したセレンを無定形セレンに変えることが必要
である。

結晶化したセレンを無定形セレンに変えるには一旦、融
点以上の高温にさらし、そこから急冷することで可能と
なる。表面欠陥部の局所的な溶融とその後に続く急冷凝
固にレーザビームの照射で行なうのが本発明の特徴でア
シ、これによりセレンドラムの表面欠陥を補修する。以
下、実施例により内容を説明する。

〔発明の実施例〕

マンドレル型セレン蒸着１ｔｉｔを用いて、セレンドラ
ムを作製した。ドラム基板はアルミニウムでアシ、基板
加熱は６０ｔｒとし、セレンの堆積速度は０．９−Ｘ　
１０−　”　ｒａｎ１分で、膜厚約６０Ｘｌｏ−ｓ閣の
感光層を有するセレンドラムを得た。セレンドラムの膜
面の大きさは約３５００　ｃｄ７であシ、直径０．１　
ｔｒａｎ以上の表面欠陥は１２個存在した。表面欠陥の
部分をスポット状にレーザ光で溶融するために第３図に
示す構成のレーザ光照射装置を用いた。

装置の構成を説明すると１はセレンドラムであシ、１０
はドラムを回転並びに平行移動す込ものでドラム表面の
希望する位置にレーザ光を当てるだめの位置決め機構で
ある。５はレーザヘッドであシ、レーザはＹＡＧロッド
をクリプトンアークランプで連続励起する形式のもので
ある。レーザヘッドよシ出た光はビームシャッター６を
経て、ダイクロミックミラー３で反射され、対物集光レ
ンズ２を経てドラム上に当る。８は顕微鏡ポデー９は接
眼レンズ、７は補正レンズであシ、これらは照射面を顕
微鏡でのぞきながら位置ぎめをするためのものである。

４及び４′はスポットサイズを調整するだめのレンズで
ある。操作手順は補修個所を顕微鏡で捉え、位置ぎめを
したあとシャンターを下ろし、レーザを発振させて、そ
の位置を照射する。

レーザによるセレン膜の局部的溶融にはビーム出力、ビ
ーム径、ビーム照射時間等の糸件が関係　　　゛する。

照射条件の予備的検討によシ蒸着セレ／膜の表面欠陥の
補修に関して、ビーム出力１０ワツト、ビーム径０．２
■、照射時間４ｍ５ｅｃの条件が適することを確認し、
この条件を用いた。

セレンドラムの表面欠陥１２個所についてレーザビーム
を照射し、これらを上述の方法で溶融後急冷して補修し
たのち印字試験に供した。印字試験において、補修を行
なわないときに見られるような表面欠陥による黒点の発
生は認められなかった。また、レーザビームによって補
修した個所は周囲と平均化されて、くぼみ並びに突起は
なくなシ、平滑となシ、表面欠陥が観察されず、また、
顕微鏡観察によっても材料組織上の異常は認められなか
った。

上述したように、レーザビームによる表面欠陥υ の補修によシ、セレンドラムの品質が向上し、電子写真
技術に用いられる感光体としての価値が上昇した。他の
方法によって、無欠陥のセレンドラムを作ろうとするこ
とに対して、本発明の方法は実際的で優れた方法である
と考えられる。

レーザ１てよシ、固体表面を加熱することの特徴は、局
部的に照射エネルギーを集中することができ、局部的な
急熱が実現できることと同時に熱の放散が良好な基板上
では急冷条件を可能とすることにある。すなわち、アル
ミニウム等の金属基板上に堆積した薄い膜を非晶質層に
変えることが可能である。急熱急冷によシ光導電特性が
改良されるセレン系、セレンテルル系、セレンテルル磁
素系、シリコン水素系などの金属基板上に形成された非
晶質膜の微小な表面欠陥の補修に本方法は応用される。

〔発明の効果〕

非晶質層で構成されるセレン系感光体の表面欠陥の補修
に対して本発明は応用され、これら感光体の性能向上並
びに製造における良品歩留シの向上に役立つ。

【図面の簡単な説明】

第１図はセレン感光体ドラムを製造するためのマンドレ
ル型蒸着装置の概略図、第２図は蒸着セレン膜における
表面欠陥部分の断面プロフィルの典型例を示す図、第３
図は本発明の実施例に用いたレーザ光照射装置の構成図
である。 １・・・セレンドラム、２・・・対物第九レンズ、３・
・・ダイクロイックミラー、４・・・スポットサイズ調
節レンズ、５・・・レーザヘッド、６・・・シャッター
、７・・・補正レンズ、８・・・顕微鏡、９・・・接眼
レンズ、ｌＯ第　１　図 Ｙ３　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、非晶質層で構成されるセレン層を有する感光体ドラ
   ムの製法において（表面欠陥を補修する方法として、表
   面欠陥の存在する表面の微少部分）前記セレン層をレー
   ザビームで照射し、溶融後凝固させることを特徴とする
   光導電ドラムの製造法。 ２、特許請求の範囲第１項において、表面欠陥部を顕微
   鏡によシ位置決めを行ない当該個所にレンズによシ集束
   した高エネルギー密度のレーザビームを照射することを
   特徴とする光導電ドラムの製造法。