JPS59195205A - 多層膜ミラ− - Google Patents
多層膜ミラ−Info
- Publication number
- JPS59195205A JPS59195205A JP6962483A JP6962483A JPS59195205A JP S59195205 A JPS59195205 A JP S59195205A JP 6962483 A JP6962483 A JP 6962483A JP 6962483 A JP6962483 A JP 6962483A JP S59195205 A JPS59195205 A JP S59195205A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- refractive index
- layers
- contact
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）発明の分野
本発明は電子写真複写機用のフィルタを兼ねた結像系の
ミラーに関する。
ミラーに関する。
（ロ）発明の背量
電子写真複写機において、感光体として５ｅ−ＡＳ感光
体、アモルファスノリコン感光体等を用いる場合、これ
らの感光体が波長５５０ 、ｎ ｍ（；Ｊ近を中心とし
て長波長側にも短波長側にも感度を有しているため、ハ
ロゲンランプ等の白色光源をｊ刊いると、原稿における
赤色及び青色の部分の写りが悪くなると云う問題がある
。この対策として通常は色ガラスフィルタ或は干渉膜フ
ィルタを組合せて、短波長側の光と長波長側の光を夫々
カットするようにしているが、フィルタを２枚以上組合
せるので、光計の損失が増し、コストも上昇すると云う
難点があった。この点はバンドパスフィルタの特性を４
−１だせた多層膜ミラーを用いることによって一応解決
できるか、従来の多層膜ミラーのバンドパスフィルタで
は特性上不満足な点があった。この点についてもう少し
詳しく説明する。
体、アモルファスノリコン感光体等を用いる場合、これ
らの感光体が波長５５０ 、ｎ ｍ（；Ｊ近を中心とし
て長波長側にも短波長側にも感度を有しているため、ハ
ロゲンランプ等の白色光源をｊ刊いると、原稿における
赤色及び青色の部分の写りが悪くなると云う問題がある
。この対策として通常は色ガラスフィルタ或は干渉膜フ
ィルタを組合せて、短波長側の光と長波長側の光を夫々
カットするようにしているが、フィルタを２枚以上組合
せるので、光計の損失が増し、コストも上昇すると云う
難点があった。この点はバンドパスフィルタの特性を４
−１だせた多層膜ミラーを用いることによって一応解決
できるか、従来の多層膜ミラーのバンドパスフィルタで
は特性上不満足な点があった。この点についてもう少し
詳しく説明する。
第１図は従来の多層膜ミラーの膜構成を示す。
Ｇはガラス基板で、Ａは外部の空気領域である。
Ｈは高屈折率層、Ｌは低屈折率層で、各層は図示のよう
に全部λ０／４の光学的厚さく実際の厚さに屈折率ｉ゛
川けた値） ＶＣなっている。こ＼でλＯは反射域の中
心波長である。層の＋２ｉｊ成はガラス基板に接する層
と空気に接する層が高屈折率で、その間はＨ１Ｌ各層が
交互に重なっている。このような膜（Ｉ′４成のミラー
の分光反射率特性を第２図に示す。同図に示されている
ように反射特性はバンドパスフィルタの特性を呈してい
るが、バンド域の両側にリップルが現れている。このリ
ップル部分−：感光体が感光するので、原稿の赤色部及
び青色部の再現性は余り改善されない。
に全部λ０／４の光学的厚さく実際の厚さに屈折率ｉ゛
川けた値） ＶＣなっている。こ＼でλＯは反射域の中
心波長である。層の＋２ｉｊ成はガラス基板に接する層
と空気に接する層が高屈折率で、その間はＨ１Ｌ各層が
交互に重なっている。このような膜（Ｉ′４成のミラー
の分光反射率特性を第２図に示す。同図に示されている
ように反射特性はバンドパスフィルタの特性を呈してい
るが、バンド域の両側にリップルが現れている。このリ
ップル部分−：感光体が感光するので、原稿の赤色部及
び青色部の再現性は余り改善されない。
第２図に示されるような分光反射特性の改善の試みもな
されている。第３図がその一例で、第１図の膜構成で、
ガラス基板に接するＨ層と空気に接する■（層とを夫々
光学的厚さをλ０／８にしたものである。このようにす
ると分光反射率特性は第４図のようになり、長波長側の
リップルは消えるが短波長側のリップルは第１図の構成
より却って強められてし丑う。第３図の膜構成でＨとＬ
を入れ換えた関係の構成にすると、今度は短波長側のリ
ップルは除去されるが長波長側のリップルが第２図の特
性より増強されてし甘う。
されている。第３図がその一例で、第１図の膜構成で、
ガラス基板に接するＨ層と空気に接する■（層とを夫々
光学的厚さをλ０／８にしたものである。このようにす
ると分光反射率特性は第４図のようになり、長波長側の
リップルは消えるが短波長側のリップルは第１図の構成
より却って強められてし丑う。第３図の膜構成でＨとＬ
を入れ換えた関係の構成にすると、今度は短波長側のリ
ップルは除去されるが長波長側のリップルが第２図の特
性より増強されてし甘う。
（ハ） 目 的
本発明は電子写真複写機において、多層膜ミラーを用い
る場合の分光反射率特性の改善を目的とする。
る場合の分光反射率特性の改善を目的とする。
（ニ） Ｉ’ｌｌ’ 成
本発明はガラス基板に接する層を高屈折率、空気に接す
る層を低屈折率とし、中間に高、低各屈折率の層を交互
に偶数層重ねて配置し、ガラス基板に接する層と空気に
接する層の光学的厚さをλ０／８、カラス基板に接する
Ｈ層に接する次の低Ｊ１１（折率層の光学的厚さをλ０
／４以下、他の各層の光学的厚さをλｏ ／ ４とした
多層膜ミラーを提供する。
る層を低屈折率とし、中間に高、低各屈折率の層を交互
に偶数層重ねて配置し、ガラス基板に接する層と空気に
接する層の光学的厚さをλ０／８、カラス基板に接する
Ｈ層に接する次の低Ｊ１１（折率層の光学的厚さをλ０
／４以下、他の各層の光学的厚さをλｏ ／ ４とした
多層膜ミラーを提供する。
（ホ）実施例
第５図及び第６図に本発明の一実施例を示す。
第］−図と同じくＧはガラス基板、Ａは外部の空気、Ｈ
は高力１）折率層、Ｌは低屈折率層である。以下説明の
便宜上各層に番号をつけ、ガラス基板Ｇに接する層から
順番に第１層、第２層等と呼び、最後の空気に接する層
を最外層と呼ぶことにする。
は高力１）折率層、Ｌは低屈折率層である。以下説明の
便宜上各層に番号をつけ、ガラス基板Ｇに接する層から
順番に第１層、第２層等と呼び、最後の空気に接する層
を最外層と呼ぶことにする。
丑だ高屈折率層はＨ層、低屈折率層はＬ層と呼び、層の
厚さは一々断らないが光学的厚さを示す。λ○は設計波
長で例えば５５０ｎｍに選定される。
厚さは一々断らないが光学的厚さを示す。λ○は設計波
長で例えば５５０ｎｍに選定される。
Ｈ層としてけＺｒＯ２，Ｔｊ、０２．ＺｎＳ、ＣｅＯ２
等を用いる。Ｌ層としてはＭｇＦ２，５ｉ０２．氷晶石
等を用いる。ガラス基板Ｇの屈折率ば１・５２程度のも
のを用いる。
等を用いる。Ｌ層としてはＭｇＦ２，５ｉ０２．氷晶石
等を用いる。ガラス基板Ｇの屈折率ば１・５２程度のも
のを用いる。
第５図の実施例は第１層のＨ層と最外層のＬ層とが厚さ
λｏ／８、他の層は全部λｏ／４の層厚にしである。第
７図がこの実施例のミラーの分光反射率特性で第２図と
比較すれば明かなようにバンド域の両側のリップルが減
少している。
λｏ／８、他の層は全部λｏ／４の層厚にしである。第
７図がこの実施例のミラーの分光反射率特性で第２図と
比較すれば明かなようにバンド域の両側のリップルが減
少している。
第６図の実施例では第２層のＬ層の厚さをλ０／４より
稍薄くし、０．２３λＯとした。実際問題として同層の
厚さは０．２３〜０．２λＯの範囲が好ましい。この実
施例による分光反射率特性を第８図に示す。長波長側の
リップルが第５図の実施例より更に減少しているのが認
められる。この実施例は長波長側のリップルをより一層
抑えるのがに［的であるが、第２層を余り薄くして０．
２λＱ以下にすると短波長側のリップルが強くなって来
て反射率が２５％以上となり青の再現性が低下して来る
。０，２３λ０〜０．２５λ０の範囲では第５図の実施
例との差が余り認められない。この実施例は第５図のも
のより赤色側の再現性をより高めようとしたものである
が、５ｅ−Ａｓ感光体の場合、赤色光だけでなく、近赤
外光にかけて感度を有し、単に赤色部分の再現を低下さ
せるだけでなく、メモリ効果等の作像プロセスに悪影響
を与える効果が現れるので、このような場合に長波長側
のリップルを特に抑えだ第６図の構成が有効となる。
稍薄くし、０．２３λＯとした。実際問題として同層の
厚さは０．２３〜０．２λＯの範囲が好ましい。この実
施例による分光反射率特性を第８図に示す。長波長側の
リップルが第５図の実施例より更に減少しているのが認
められる。この実施例は長波長側のリップルをより一層
抑えるのがに［的であるが、第２層を余り薄くして０．
２λＱ以下にすると短波長側のリップルが強くなって来
て反射率が２５％以上となり青の再現性が低下して来る
。０，２３λ０〜０．２５λ０の範囲では第５図の実施
例との差が余り認められない。この実施例は第５図のも
のより赤色側の再現性をより高めようとしたものである
が、５ｅ−Ａｓ感光体の場合、赤色光だけでなく、近赤
外光にかけて感度を有し、単に赤色部分の再現を低下さ
せるだけでなく、メモリ効果等の作像プロセスに悪影響
を与える効果が現れるので、このような場合に長波長側
のリップルを特に抑えだ第６図の構成が有効となる。
第９図は本発明ミラーを用いた電子写真複写機の構成の
一例を示す。ｌは原稿台のガラス板、２．３は走査鏡で
、走査鏡３は走査鏡２の移動距離の半分の距離を移動す
る。４は結像レンズ、５が本発明に係るミラーで共に位
置固定であり、６が感光体ドラムである。機能上本発明
ミラーは２゜３．５の各ミラーのうち何れに採用されて
もよいが、常時結像レノンの近＜Ｋあるミラー５が面積
が最も小さくてよいから、ミラー５（で本発明を採１［
」するのが製造上有利である。
一例を示す。ｌは原稿台のガラス板、２．３は走査鏡で
、走査鏡３は走査鏡２の移動距離の半分の距離を移動す
る。４は結像レンズ、５が本発明に係るミラーで共に位
置固定であり、６が感光体ドラムである。機能上本発明
ミラーは２゜３．５の各ミラーのうち何れに採用されて
もよいが、常時結像レノンの近＜Ｋあるミラー５が面積
が最も小さくてよいから、ミラー５（で本発明を採１［
」するのが製造上有利である。
（へ） 効 果
本発明多層膜ミラーは上述したように第１層とか屈折率
において一方がＨなら他方がＬと云う点て従来例と異な
り、夫々の厚さをλｏ／８とすることでハント域の両側
のリップルを従来より低くすることに成功し２、電子写
真のＹｆ色、赤色の両方（でおける丙現件の改善が２種
Ｊ以上のフィルタを組合せると云ったｍ１１ｆ′１１さ
なしに実現でき、史に第２層の厚さをλｏ／４以下とす
ることで、長波長側のリップルをより一層抑圧し、近赤
外まで感度を有する感光体におけるメモリ効果の防止も
実現できだ。
において一方がＨなら他方がＬと云う点て従来例と異な
り、夫々の厚さをλｏ／８とすることでハント域の両側
のリップルを従来より低くすることに成功し２、電子写
真のＹｆ色、赤色の両方（でおける丙現件の改善が２種
Ｊ以上のフィルタを組合せると云ったｍ１１ｆ′１１さ
なしに実現でき、史に第２層の厚さをλｏ／４以下とす
ることで、長波長側のリップルをより一層抑圧し、近赤
外まで感度を有する感光体におけるメモリ効果の防止も
実現できだ。
第１図は従来の多層膜ミラーの一例の膜構成を示す図、
第２図は上記ミラーの分光反射率特性のグラフ、第３図
は他の従来例のミラーの膜構成を示す図、第４−Ｎ−、
同ミラーの分光反射率特性のグラフ、第５図は本発明の
一実施例ミラーの膜（（１４成図、第６図は本発明の他
の実′ｊＪ角例ミラーのカ蔗描成図、第′７図は第５図
のミラーの分光反射率特性のグラフ、第８図は第６図の
ミラーの分光反射率特性図、第９図は本発明ミラーを用
いた電子写真複写機の一例の要部他面図である。 Ｇ ・ガラス基板、Ａ ・外部空気領域、Ｈ・高屈折率
１１゛乞 ］・・・・低）ｒｒ’＋折率層。 代理人 弁理士 縣 浩 介
第２図は上記ミラーの分光反射率特性のグラフ、第３図
は他の従来例のミラーの膜構成を示す図、第４−Ｎ−、
同ミラーの分光反射率特性のグラフ、第５図は本発明の
一実施例ミラーの膜（（１４成図、第６図は本発明の他
の実′ｊＪ角例ミラーのカ蔗描成図、第′７図は第５図
のミラーの分光反射率特性のグラフ、第８図は第６図の
ミラーの分光反射率特性図、第９図は本発明ミラーを用
いた電子写真複写機の一例の要部他面図である。 Ｇ ・ガラス基板、Ａ ・外部空気領域、Ｈ・高屈折率
１１゛乞 ］・・・・低）ｒｒ’＋折率層。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (2)
- （１） ガラス基板に接する第１層を高屈折率、外部
の空気に接する最外層を低屈折率とし、これら両層の光
学的厚さを夫々設計波長λＯ［］してλＯ／８とし、上
記両層の間に第１層の側から順に低ＪＩＴｉ折率層と高
屈折率層とを交互に爬数層介在さぜこれら介在層におい
て、上記８１！１層と接する低屈折率層の光学的厚さを
λＯ／４以下とし、他の各層の光学的厚さをλｏ／４と
したことを肋−徴とする多層膜ミラー。 - （２）ガラス基板に接する第１層に接する層の光学的厚
さを０．２３λ０〜０．２λＯとしだ向−８ｉ訂請求の
範囲第１項記載の多層膜ミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6962483A JPS59195205A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | 多層膜ミラ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6962483A JPS59195205A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | 多層膜ミラ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195205A true JPS59195205A (ja) | 1984-11-06 |
| JPH045164B2 JPH045164B2 (ja) | 1992-01-30 |
Family
ID=13408204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6962483A Granted JPS59195205A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | 多層膜ミラ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195205A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4805989A (en) * | 1986-09-18 | 1989-02-21 | Hoya Corporation | Multi-layered back reflecting mirror |
| US4856019A (en) * | 1987-02-26 | 1989-08-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Reflector for excimer laser and excimer laser apparatus using the reflector |
| US4865405A (en) * | 1987-12-10 | 1989-09-12 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Optical filter |
| WO2010128605A1 (ja) | 2009-05-07 | 2010-11-11 | コニカミノルタオプト株式会社 | 光特性測定プローブ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104138A (en) * | 1976-01-20 | 1977-09-01 | Ricoh Co Ltd | Short pass filter |
-
1983
- 1983-04-19 JP JP6962483A patent/JPS59195205A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104138A (en) * | 1976-01-20 | 1977-09-01 | Ricoh Co Ltd | Short pass filter |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4805989A (en) * | 1986-09-18 | 1989-02-21 | Hoya Corporation | Multi-layered back reflecting mirror |
| US4856019A (en) * | 1987-02-26 | 1989-08-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Reflector for excimer laser and excimer laser apparatus using the reflector |
| US4865405A (en) * | 1987-12-10 | 1989-09-12 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Optical filter |
| WO2010128605A1 (ja) | 2009-05-07 | 2010-11-11 | コニカミノルタオプト株式会社 | 光特性測定プローブ |
| US8687928B2 (en) | 2009-05-07 | 2014-04-01 | Konica Minolta Opto, Inc. | Optical characteristic measuring probe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH045164B2 (ja) | 1992-01-30 |
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