JPS5918702Y2 - ガス再生循環装置を有する炭酸ガスレ−ザ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は炭酸ガスレーザ装置において、一度放電したレ
ーザガスを再び用いる炭酸ガスレーザ用ガス再生循環装
置を具備した炭酸ガスレーザ装置に関するものである。

炭酸ガスレーザ（以下Ｃ０２Ｌ／−ザという）において
は、放電によりＣＯ２→ＣＯ＋１／２０２の分解が起る
ので、放電したＣＯを含むレーザガスを管外に取り出し
、ＣＯ２が分解していない新鮮なレーザガスを連続的に
供給している。

ところが、レーザガスには、レーザ出力向上を目的とし
た高価なＨｅがレーザガスの７０％位も占めているので
、放電したＣＯを含むレーザガスを捨てることは、ラン
ニングコストの点からも、省資源の点からも望ましくな
い。

このためＣＯを酸化する触媒を主要構成部材とするＣＯ
２レーザ用ガス再生装置を用いＣＯをＣＯ２に戻し、ガ
ス再生装置、ガスレーザ管、ガス循環装置の順で流れる
ガス循環回路系で放電したＣＯを含むレーザガスを再利
用している。

一方、レーザガスをレーザ管から排気して、循環するた
めにガス循環装置として用いられる油ロータリーポンプ
から吐出されるオイルミストが、循環しているレーザガ
スに混入し、触媒の表面に付着する。

このため、触媒の能力は劣化し、ＣＯ＋１／２０２→Ｃ
Ｏ２の反応は減少し、レーザ出力が低下する。

これを防止するために定期的に触媒の交換が行われてい
た。

本考案の目的は、定期的な触媒の取替えを必要とせず、
また、レーザ出力の低下が生じないＣＯ２レーザ用ガス
再生循環装置を有するＣＯ２レーザ装置を提供すること
にある。

本考案によれば、ガスの流れの方向がレーザガス供給装
置、ＣＯ２レーザ用ガス再生循環装置のガス再生装置（
触媒部、脱水部、脱油部を含む）及びガス循環装置（油
ロータリーポンプ）の順で、又、ガス循環装置の排気口
（吐出口）が大気に開放されているガス回路を有するＣ
Ｏ２レーザ用ガス再生循環装置を用いたＣＯ２レーザ装
置が得られる。

次に、本考案を図面を用いて詳細に説明する。

第１図は、従来用いられているＣＯ２レーザ用ガス再生
循環装置を用いたＣＯ２レーザ装置のガス回路系である
。

。レーザガスはレーザガス供給装置３から供給され、レ
ーザ管１に導入される。

レーザ管１での放電で、レーザガス中のＣＯ２の一部が
ＣＯと０２に分解する。

ＣＯを含むレーザガスはガス循環装置（ロータリーポン
プ）２で排気され、排気口（吐出口）から排出される。

ガス循環装置２から出たＣＯを含むレーザガスはＣＯ２
レーザ用ガス再生循環装置のガス再生装置４に導入され
る。

ガス再生装置４は一般には脱水部５、脱油部６そしてＣ
Ｏ＋１／２０２→ＣＯ２の反応を行わせる触媒部７から
構成され、触媒部７には、ガス加熱のための加熱装置８
が具備されている。

ガス再生装置４を出た再生されたレーザガスは再びレー
ザ管１に導入され再利用される。

バルブ９，１０、及び、ガス逆流防止弁１１及び、ガス
圧を一定にするバルブ１２、電磁バルブ１３は、レーザ
ガスの再生循環のために必要部品であるが本考案と直接
関係がないので説明は省略する。

ガス循環装置（油ロータリーポンプ）２から出るレーザ
ガスには、ロータリーポンプの油がミスト状に混入され
る。

特にＣＯ２レーザ装置の場合はロータリーポンプの発熱
は大きく、ミストの発生は避けられないのでガス循環装
置２には当然オイルミストトラップが具備されているし
、また、脱油部６も設けられている。

しかし、１００％の油分の除去は難かしい。

除去されなかった油は、触媒に付着し、この結果触媒の
能力は低下し、ＣＯ２が減少しＣＯが増し、レーザ出力
は低下する。

触媒に付着する油分は、触媒の使用温度よりも高温に加
熱し、ガスを流しながら排気すれば、除去でき、触媒は
再生されるが、この構成のガス回路系においてはガス再
生装置４の上流はガス循環装置２なので、油を混入した
レーザガスしかガス再生装置４に導入することが出来ず
触媒の再生はできない。

したがってこの従来のガス回路系を用いたＣＯ２レーザ
装置においては、定期的に触媒を交換しなければいけな
い。

第２図は本考案の一実施例である。

ガス切替三方電磁弁３２．３４により、二つのガス回路
すなわち大気開放ガス回路系であるガス回路■とガス循
環回路系を含むガス回路■が切替えられる。

ガス回路■ガスレーザ管１、ガス循環装置２、ガス再生
装置４の順でガスが循環するガス循環回路系を含むは第
１図に示した従来のＣＯ２レーザの回路系で通常の動作
状態のときにはこのルートでガスの供給および再生が行
われる。

ガス再生装置４の触媒が劣化するとガス回路■のルート
を通ってガスが供給再生される。

ガス回路■においては、レーザガス供給装置２、ガス再
生装置４及びガスレーザ管１、ガス循環装置２とガスは
流れガス循環装置の吐出口（排気口）から大気に放出さ
れる。

ガス再生装置４は従来の例と同じく脱水部５、脱油部６
及び、加熱装置８を備えた触媒部７から構成されている
。

このガス回路系■を用いれば、触媒を加熱装置８で加熱
しながらガス供給装置３からガスを流し、ガス循環装置
２で排気でき、触媒は再生できる。

なおバルブ２９．３０、逆流防止弁３１．及びガス圧一
定バルブ３３のガス再生循環には必要部材であるが本案
と直接関係がないので説明は省略する。

以上、詳述した様に、本考案のＣＯ２レーザ用ガス再生
循環装置を用いたＣＯ２レーザ装置においては、触媒を
交換する必要がなく、レーガ出力の低下はない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のＣＯ２レーザ用再生循環装置を用いたＣ
Ｏ２レーザ装置のガス回路図、第２図は本考案のＣＯ２
レーザ用再生循環装置を用いたＣＯ２レーザ装置のガス
回路図である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. レーザガス供給装置と、ガスレーザ管と、ガス循環装置
   と、触媒を主要部材とする炭酸ガス再生装置とを含み、
   前記ガスレーザ管、前記ガス循環装置、前記炭酸ガス再
   生装置の順でガスを循環するガス循環回路系を有する炭
   酸ガスレーザ装置において、前記レーザガス供給装置、
   前記ガス再生装置、前記ガス循環装置の順でガスが流れ
   、前記ガス循環装置の吐出側を大気に開放した大気開放
   ガス回路系を有し、前記、ガス循環回路系を前記大気開
   放ガス回路系に切替え可能であることを特徴とする炭酸
   ガスレーザ装置。