JPH01111388A - ガスレーザ装置におけるガス再生循環装置 - Google Patents
ガスレーザ装置におけるガス再生循環装置Info
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- JPH01111388A JPH01111388A JP26993187A JP26993187A JPH01111388A JP H01111388 A JPH01111388 A JP H01111388A JP 26993187 A JP26993187 A JP 26993187A JP 26993187 A JP26993187 A JP 26993187A JP H01111388 A JPH01111388 A JP H01111388A
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- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 title claims abstract description 20
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- 230000018044 dehydration Effects 0.000 claims description 12
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は一度放電したレーザガスを再利用するためのレ
ーザガス再生循環装置に係り、特に油ミストによるトラ
ブルから保護できるようにしたガスレーザ装置における
レーザガス再生循環装置に関する。
ーザガス再生循環装置に係り、特に油ミストによるトラ
ブルから保護できるようにしたガスレーザ装置における
レーザガス再生循環装置に関する。
（従来の技術）
一般に、炭酸ガスレーザ装置では放電部にＨｅ。
Ｎ２、ＣＯ２の混合ガスを循環させ、ここでグロー放電
させてレーザ光を発生させる。この放電によりレーザガ
スは、ＣＯ→ＣＯ＋１／２０２反応で解離される。した
がって、炭酸ガスレーザ装置ではＨｅ５Ｎ２、Ｃ０２の
新しい混合ガスを少しづつ供給し、古いガスを排出しな
がら運転している。
させてレーザ光を発生させる。この放電によりレーザガ
スは、ＣＯ→ＣＯ＋１／２０２反応で解離される。した
がって、炭酸ガスレーザ装置ではＨｅ５Ｎ２、Ｃ０２の
新しい混合ガスを少しづつ供給し、古いガスを排出しな
がら運転している。
しかしながら、レーザガスのうち高価なＨｅガスを排出
するのはランニングコストや省資源の点からも好ましく
ない。そのため、−度放電したレーザガスを再利用でき
るようにするため、ＣＯガスを酸化する触媒を用いたＣ
０２レーザガス再生循環装置が提案されている。
するのはランニングコストや省資源の点からも好ましく
ない。そのため、−度放電したレーザガスを再利用でき
るようにするため、ＣＯガスを酸化する触媒を用いたＣ
０２レーザガス再生循環装置が提案されている。
第２図はこの種の従来のレーザガス再生循環装置を示し
ている。符号３１はレーザ発信器を示し、この発信器３
１にはレーザガスを循環させる送風機と、放電により加
熱されたレーザガスを冷やすための熱交換器と、放電部
とが設けられている。
ている。符号３１はレーザ発信器を示し、この発信器３
１にはレーザガスを循環させる送風機と、放電により加
熱されたレーザガスを冷やすための熱交換器と、放電部
とが設けられている。
レーザ発信器３１にはバルブ３２、油回転ポンプ３３、
電磁式三方弁３５、並びにレーザガス再生装置３６を直
列に接続した循環系が設けられている。このレーザガス
再生装置３６は脱油部３７、脱水部３８、触媒部３９、
流量計４０、逆止弁４１、並びにバルブ４２を直列に接
続して構成されている。なお、４３は加熱ヒーターであ
る。
電磁式三方弁３５、並びにレーザガス再生装置３６を直
列に接続した循環系が設けられている。このレーザガス
再生装置３６は脱油部３７、脱水部３８、触媒部３９、
流量計４０、逆止弁４１、並びにバルブ４２を直列に接
続して構成されている。なお、４３は加熱ヒーターであ
る。
また、レーザ発信器３１にはレーザガスボンベ４５、流
量計４６、並びにバルブ４７からなるレーザガスの供給
系が設けられている。
量計４６、並びにバルブ４７からなるレーザガスの供給
系が設けられている。
レーザ発信器３１からのレーザガスは油回転ポンプ３３
により排出される。ここで、運転当初は循環系内の不純
物を排出するために、レーザガスは電磁式三方弁３５か
ら外部へ排出される。定常運転状態に移行すると、電磁
式三方弁３５が切換えられて、レーザガスは脱油部３７
、脱水部３８、触媒部３９、流量計４０、逆止弁４１、
並びにバルブ４２を通ってレーザ発信器３１へ戻り、こ
の循環系内でレーザガスの再生が行われる。
により排出される。ここで、運転当初は循環系内の不純
物を排出するために、レーザガスは電磁式三方弁３５か
ら外部へ排出される。定常運転状態に移行すると、電磁
式三方弁３５が切換えられて、レーザガスは脱油部３７
、脱水部３８、触媒部３９、流量計４０、逆止弁４１、
並びにバルブ４２を通ってレーザ発信器３１へ戻り、こ
の循環系内でレーザガスの再生が行われる。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、この種の従来のレーザガス再生循環装置
では、レーザガスが上記油回転ポンプ３３で循環される
ため、循環系内を、ガスと一緒に油ミストが循環して触
媒の表面に付着し、その結果、ＣＯ＋１１２０２→Ｃ０
２反応が減少してレーザ出力が下がってしまうという問
題がある。
では、レーザガスが上記油回転ポンプ３３で循環される
ため、循環系内を、ガスと一緒に油ミストが循環して触
媒の表面に付着し、その結果、ＣＯ＋１１２０２→Ｃ０
２反応が減少してレーザ出力が下がってしまうという問
題がある。
また、油ミストがレーザ発信器３１内へ入り込むような
ことがあれば、この発信器３１の性能は著しく低下して
しまう等の問題がある。
ことがあれば、この発信器３１の性能は著しく低下して
しまう等の問題がある。
さらに、油ミスト除去のため、活性炭フィルタを内蔵す
る脱油部３７が設けられているわけであるが、ここで１
００％除去することは難しく、しかも長時間運転すると
、従来のものでは脱油部３７の活性炭フィルタを定期的
に交換しなければならなくなる等の問題がある。
る脱油部３７が設けられているわけであるが、ここで１
００％除去することは難しく、しかも長時間運転すると
、従来のものでは脱油部３７の活性炭フィルタを定期的
に交換しなければならなくなる等の問題がある。
そこで、本発明の目的は、上述した従来の技術が有する
問題点を解消し、循環系内に油ミストが混入することの
ないガスレーザ装置におけるガス再生循環装置を提供す
ることにある。
問題点を解消し、循環系内に油ミストが混入することの
ないガスレーザ装置におけるガス再生循環装置を提供す
ることにある。
（問題点を解決するための手段とその作用）上記目的を
達成するために、本発明は、レーザガスの供給系とレー
ザ発信器とレーザガスの循環系とを備えたガスレーザ装
置において、上記レーザガスの循環系は上記レーザ発信
器からガスを排出させるための油を使用しないタイプの
ダイヤフラム式真空ポンプと、この真空ポンプからのガ
スに含まれる水分を除去するための脱水部と、この脱水
部からのガスを再生するための触媒部とを備えているこ
とを特徴とするものであり、本発明によれば、レーザ発
信器から排出されるガスが循環系内を循環される際、そ
の系内に油ミストが混入することはない。
達成するために、本発明は、レーザガスの供給系とレー
ザ発信器とレーザガスの循環系とを備えたガスレーザ装
置において、上記レーザガスの循環系は上記レーザ発信
器からガスを排出させるための油を使用しないタイプの
ダイヤフラム式真空ポンプと、この真空ポンプからのガ
スに含まれる水分を除去するための脱水部と、この脱水
部からのガスを再生するための触媒部とを備えているこ
とを特徴とするものであり、本発明によれば、レーザ発
信器から排出されるガスが循環系内を循環される際、そ
の系内に油ミストが混入することはない。
（実施例）
以下、本発明によるガスレーザ装置におけるガス再生循
環装置の一実施例を第１図を参照して説明する。
環装置の一実施例を第１図を参照して説明する。
第１図において、符号１はレーザ発信器を示し、この発
信器１にはレーザガスを循環させるための送風機と、放
電により加熱されたレーザガスを冷やすための熱交換器
と、放電部とが設けられている。
信器１にはレーザガスを循環させるための送風機と、放
電により加熱されたレーザガスを冷やすための熱交換器
と、放電部とが設けられている。
レーザ発信器１にはバルブ２並びに油回転真空ポンプ３
を直列に接続した排出系と、バルブ４、油を使用しない
タイプのダイヤフラム式真空ポンプ５、並びにレーザガ
ス再生装置６を直列に接続した循環系とが設けられてい
る。このレーザガス再生装置６は脱水部８、触媒部９、
冷却コイル１０、逆止弁１１．並びにバルブ１２を直列
に接続して構成されている。
を直列に接続した排出系と、バルブ４、油を使用しない
タイプのダイヤフラム式真空ポンプ５、並びにレーザガ
ス再生装置６を直列に接続した循環系とが設けられてい
る。このレーザガス再生装置６は脱水部８、触媒部９、
冷却コイル１０、逆止弁１１．並びにバルブ１２を直列
に接続して構成されている。
脱水部８はモレキュラーシーブス３Ａ（商品名）等の脱
水剤を含み、レーザ発信器１内部に微量に存在する水分
を除去するためのものであり、触媒部９は白金触媒を含
み、循環されるガスをＣＯ十１１２０２→ＣＯ２反応で
再生させるためのものである。この白金触媒は２００〜
２５０℃が効果的な温度であり、この触媒部９は加熱ヒ
ーター１３で加熱されている。また、冷却コイル１０は
触媒部９で加熱されたレーザガスを冷却するものである
。
水剤を含み、レーザ発信器１内部に微量に存在する水分
を除去するためのものであり、触媒部９は白金触媒を含
み、循環されるガスをＣＯ十１１２０２→ＣＯ２反応で
再生させるためのものである。この白金触媒は２００〜
２５０℃が効果的な温度であり、この触媒部９は加熱ヒ
ーター１３で加熱されている。また、冷却コイル１０は
触媒部９で加熱されたレーザガスを冷却するものである
。
また、レーザ発信器１にはレーザガスボンベ１５、流量
計１６、並びにバルブ１７からなるレーザガスの供給系
が設けられている。
計１６、並びにバルブ１７からなるレーザガスの供給系
が設けられている。
次に、本実施例の作用を説明する。
レーザ発振の通常運転時は、レーザ発信器１を約ＩＴｏ
ｒ ｒの真空状態にし、ここにレーザガスボンベ１５
から流量計１６を介して、Ｈｅ ｓ Ｎ ２、ＣＯ２の
混合ガスからなるレーザガスを供給する。
ｒ ｒの真空状態にし、ここにレーザガスボンベ１５
から流量計１６を介して、Ｈｅ ｓ Ｎ ２、ＣＯ２の
混合ガスからなるレーザガスを供給する。
ここに示されているレーザ発信器１は運転ガス圧約３０
〜５０Ｔｏ ｒ ｒのものである。このとき、レーザ発
信器１内のガス圧を一定に保持するために、バルブ２を
解放して油回転真空ポンプ３により内部のガスを少しづ
つ外部へ排出する。
〜５０Ｔｏ ｒ ｒのものである。このとき、レーザ発
信器１内のガス圧を一定に保持するために、バルブ２を
解放して油回転真空ポンプ３により内部のガスを少しづ
つ外部へ排出する。
レーザガス消費削減の目的で、レーザガス再生装置６を
動作させる際には、バルブ１７を閉じてレーザガスボン
ベ１５からの供給を停止し、循環系のバルブ４．１２を
解放する。レーザガス再生用のポンプ５は、油を使用し
ないタイプのダイヤフラム式真空ポンプ５であるので、
循環系内に油ミストが混入することはない。循環系内で
は、脱水部８で水分が除去され、触媒部９でＣＯ＋ １
／２０−ＣＯ□反応が促進される。この触媒部９では触
媒反応を促進させるため、加熱ヒーター１３により２０
０〜２５０℃に加熱されるが、後に冷却コイル１０で室
温程度にまで冷却されてレーザ発信器１へ戻される。
動作させる際には、バルブ１７を閉じてレーザガスボン
ベ１５からの供給を停止し、循環系のバルブ４．１２を
解放する。レーザガス再生用のポンプ５は、油を使用し
ないタイプのダイヤフラム式真空ポンプ５であるので、
循環系内に油ミストが混入することはない。循環系内で
は、脱水部８で水分が除去され、触媒部９でＣＯ＋ １
／２０−ＣＯ□反応が促進される。この触媒部９では触
媒反応を促進させるため、加熱ヒーター１３により２０
０〜２５０℃に加熱されるが、後に冷却コイル１０で室
温程度にまで冷却されてレーザ発信器１へ戻される。
この作用が連続して行われれば、安定したレーザ発振が
行われ、レーザの封じ切り再生運転が可能となり、ガス
の消費量は初期詰めのみとなり大幅な削減が可能となる
等の効果が得られる。また、第２図に示される従来のも
のと比較して、脱油部が不要になる等の効果も得られる
。
行われ、レーザの封じ切り再生運転が可能となり、ガス
の消費量は初期詰めのみとなり大幅な削減が可能となる
等の効果が得られる。また、第２図に示される従来のも
のと比較して、脱油部が不要になる等の効果も得られる
。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、レー
ザガスの循環系を、レーザ発信器からガスを排出させる
ための油を使用しないタイプのダイヤフラム式真空ポン
プと、この真空ポンプからのガスに含まれる水分を除去
するための脱水部と、この脱水部からのガスを再生する
ための触媒部とで構成しているので、循環系内に油ミス
トの混入する余地はない。したがって、安定したレーザ
発振の行われるガスレーザ装置を提供することができる
。
ザガスの循環系を、レーザ発信器からガスを排出させる
ための油を使用しないタイプのダイヤフラム式真空ポン
プと、この真空ポンプからのガスに含まれる水分を除去
するための脱水部と、この脱水部からのガスを再生する
ための触媒部とで構成しているので、循環系内に油ミス
トの混入する余地はない。したがって、安定したレーザ
発振の行われるガスレーザ装置を提供することができる
。
第１図は本発明によるガスレーザ装置におけるガス再生
循環装置の一実施例を示す系統図、第２図は従来のガス
レーザ装置におけるガス再生循環装置を示す系統図であ
る。 １・・・レーザ発信器、３・・・油回転真空ポンプ、５
・・・ダイヤフラム式真空ポンプ、６・・・レーザガス
再生装置、８・・・脱水部、９・・・触媒部、１０・・
・冷却コイル、１５・・・レーザガスボンベ。 出願人代理人 佐 藤 −雄
循環装置の一実施例を示す系統図、第２図は従来のガス
レーザ装置におけるガス再生循環装置を示す系統図であ
る。 １・・・レーザ発信器、３・・・油回転真空ポンプ、５
・・・ダイヤフラム式真空ポンプ、６・・・レーザガス
再生装置、８・・・脱水部、９・・・触媒部、１０・・
・冷却コイル、１５・・・レーザガスボンベ。 出願人代理人 佐 藤 −雄
Claims (1)
- レーザガスの供給系とレーザ発信器とレーザガスの循環
系とを備えたガスレーザ装置において、上記レーザガス
の循環系は上記レーザ発信器からガスを排出させるため
の油を使用しないタイプのダイヤフラム式真空ポンプと
、この真空ポンプからのガスに含まれる水分を除去する
ための脱水部と、この脱水部からのガスを再生するため
の触媒部とを備えていることを特徴とするガスレーザ装
置におけるガス再生循環装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26993187A JPH01111388A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | ガスレーザ装置におけるガス再生循環装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26993187A JPH01111388A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | ガスレーザ装置におけるガス再生循環装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01111388A true JPH01111388A (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=17479192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26993187A Pending JPH01111388A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | ガスレーザ装置におけるガス再生循環装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01111388A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04286171A (ja) * | 1991-03-14 | 1992-10-12 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザー用のガスを再生する装置 |
-
1987
- 1987-10-26 JP JP26993187A patent/JPH01111388A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04286171A (ja) * | 1991-03-14 | 1992-10-12 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザー用のガスを再生する装置 |
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