JPS5918680Y2 - 半導体チツプ収容器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は複数個の半導体チップを収容してその電気的
特性を測定する半導体チップ収容器の改良に関するもの
である。

一般に、メサ形サイリスタなどの半導体素子においては
、複数個の半導体チップが形成された半導体ウェーハの
状態で上記各半導体チップの電気的特性を精密に測定す
ることができないので、上記半導体ウェーハを個々の半
導体チップに分割し、分割された個々の半導体チップを
プラスチックなどの電気的絶縁物からなる半導体チップ
収容器に収容して個々の半導体チップの電気的緒特性を
測定し、それぞれの測定結果にもとづいて良品と不良品
とに選別していた。

第１図は従来のメサ形サイリスタの半導体チップ収容器
の一例を示す斜視図、第２図は上記従来例の要部を示す
断面図である。

図において、１はメサ形サイリスタの半導体チップ収容
器を構成する絶縁体である。

２は絶縁体１の表面部にその縦および横方向にそれぞれ
複数個設けられメサ形サイリスタの半導体チップが挿入
されるポケット、３はポケット２の底面に設けられ絶縁
体１を貫通する貫通孔、第２図に破線で示す４はメサ形
サイリスタの半導体チップである。

次に、絶縁体１の各ポケット２に挿入された半導体チッ
プ４の電気的特性を測定する測定装置の動作機構を第３
図に示す断面図で説明する。

図において、５ａおよび５ｂはそれぞれポケット２内の
半導体チップ４のカソード電極におよびゲート電極Ｇに
加圧接触するカソード測定針およびゲート測定針、６は
カソード測定針５ａおよびゲート測定針５ｂが固定され
上下運動可能なカソード・ゲート測定子（以下ＫＧ測定
子と呼ぶ）、７はポケット２内の半導体チップ４のアノ
ード電極Ａに貫通孔３内を通して加圧接触するアノード
測定針、８はアノード測定針７が固定され上下運動可能
なアノード測定子（以下Ａ測定子と呼ぶ）である。

なお、上記測定針５ａ、５ｂ、および７はそれぞれ測定
器（図示せず）に接続されている。

また、絶縁体１はＫＧ測定子６とＡ測定子８との中間部
に介在し前後左右に各ポケット２の相互間の距離ずつ間
欠送りができるようになっている。

このような動作機構を有する測定装置によって、各ポケ
ット２に挿入された半導体チップ４の電気的特性を測定
し、それぞれの測定結果にもとすいて良品と不良品とを
選別することかで”きる。

しかしながら、上記測定装置の処理能力の増大を図るた
めに、絶縁体１のポケット２の数を多くすると、その数
に比例して絶縁体１の外形寸法も大きくなるので、絶縁
体１の前後左右の間欠送り機構をはじめとする装置全体
の機械精度が低下するという問題があった。

このために、例えば、ポケット２の数が２０ Ｘ ２０
＝ ４００個ポケット２の相互間の距離が８ｍｍ、絶
縁体１の外形寸法が２００ｍｍ角である場合には、Ａ測
定子８のアノード測定針７が支障なく通り得る貫通孔３
の許容最小孔径は約２ｍｍであった。

このような孔径２ｍｍの貫通孔３内を通してアノード測
定針７によって測定される半導体チップ４の外形寸法は
３ｍｍ角以上であることが必要であった。

例えば半導体チップ４の外形寸法が２．５ｍｍ角以下で
ある場合には、これをポケット２内へ挿入するとき、半
導体チップ４の隅が貫通孔３内に落ち込み破損したり、
測定時のわずかな振動でも、半導体チップ４の隅が貫通
孔３内に落ち込み逆立ちになり測定そのものが不可能に
なったりした。

更に、ＫＧ測定子６の測定針５ａ、５ｂとＡ測定子８の
測定針７とが半導体チップ４に接触するときのタイミン
グおよび圧力のバランスがとれていないと、半導体チッ
プ４が傾きその隅が貫通孔３内に落ち込みその電気的特
性の測定が困難になる。

このように、従来の半導体チップ収容器では、ポケット
２内に開口する貫通孔３の孔径を半導体チップ４の外形
寸法に合わせて小さくすることができないので、外形寸
法の小さな半導体チップの電気的特性を容易に測定する
ことができないという問題があった。

この考案は、上述の問題点に鑑みてなされたもので各ポ
ケットの底面に開口する貫通孔を設けることなく、上記
各ポケットの底面に一端が露出する導体とこの導体の他
端に接続された測定端子とが設けられた構造にすること
によって、外形寸法の小さい半導体チップでもその電気
的特性を容易に測定することができる半導体チップ収容
器を提供することを目的とする。

第４図はこの考案の半導体チップ収容器の第１の実施例
の要部を示す断面図である。

図において、９は各ポケット２の底面に一方の端部が露
出し各ポケット２に挿入された半導体チップ４のアノー
ド電極Ａに接触するように絶縁体１内に埋設された導電
性のよい導体、１０は導体９の他方の端部に接続され絶
縁体１の各ポケット２が設けられた表面と対向する表面
部にそれぞれ露出面を有するように設けられた測定端子
である。

この実施例の半導体チップ収容器では、従来例のように
、各ポケット２の底面に開口する貫通孔がないので、外
形寸法の小さい半導体チップ４でも、その隅が貫通孔内
に落ち込むおそれがない。

またＡ測定子８のアノード測定針７を測定端子１０に接
触させればよいので、測定端子１０の露出面積を大きく
することによって、Ａ測定子８の送り機構の機械的精度
を上げることなく、外形寸法の小さい半導体チップ４の
電気的特性を測定することができる。

第５図はこの考案の半導体チップ収容器の第２の実施例
の要部を示す断面図である。

図において、９は各ポケット２の底面に一方の端部が露
出し各ポケット２内に挿入された半導体チップ４のアノ
ード電極Ａに接触するように絶縁体１内に埋設された導
体、１０は導体９の他方の端部に接続され絶縁体１の各
ポケット２の相互間の表面部にそれぞれ露出面を有する
ように設けられた測定端子である。

この実施例の半導体チップ収容器では、第４図に示した
第１の実施例と同様の効果がある上に、ＫＧ測定子６と
Ａ測定子８とを一体にすることができる。

このため、半導体チップ４の電気的特性を測定する測定
装置の構造の簡単化を図り得る。

上記第１および第２の実施例では、各ポケッ、トにそれ
ぞれ対応する測定端子を設けたが、必ずしもその要がな
く、各ポケットの底面に一端が露出した各導体の他端に
共通に接続された一個の測定端子を絶縁体に設けるよう
にしてもよい。

なお、これまで、メサ形サイリスタの半導体チップを例
にとり説明したが、この考案はこれに限らず、この他の
半導体素子の半導体チップについても適用することか′
できる。

以上説明したように、この考案によれば、それぞれ被測
定半導体チップを収容する複数個のポケットを絶縁体の
一表面に整列させて設け、上記各ポケットの底面にそれ
ぞれ一方の端部が露出し上記半導体チップに接するよう
に上記絶縁体に埋設された導体と、これらの導体の他方
の端部に接続されるとともに上記絶縁体の表面部に設け
られこの表面部に上記半導体チップの電気的特性を測定
する測定針が加圧接触することができる露出面を有する
測定端子とが設けられているので、上記半導体チップの
外形寸法が小さい場合でも、従来例のように、上記半導
体チップの隅が貫通孔内に落ち込むおそれがない。

よって、外径寸法の小さい半導体チップの電気的特性を
容易に測定できる半導体チップ収容器を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】 第１図は従来のメサ形サイリスタの半導体チップ収容器
の一例を示す斜視図、第２図は上記従来例の要部を示す
断面図、第３図は上記従来例のポケット内に挿入された
半導体チップの電気的特性を測定する測定装置の動作機
構を説明するための断面図、第４図はこの考案の半導体
チップ収容器の第１の実施例の要部を示す断面図、第５
図はこの考案の半導体チップ収容器の第２の実施例の要
部を示す断面図である。 図において、１は絶縁体、２はポケット、３は貫通孔、
４は半導体チップ、５ａ、５ｂ、７はそれぞれ測定針、
６はＫＧ測定子、８はＡ測定子、９は導体、１０は測定
端子である。 なお、図中同一符号はそれぞれ同一もしくは相当部分を
示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体チップを収容する複数個のポケットが表面に整列
   されて設けられた絶縁体、この絶縁体の各ポケットの底
   面にそれぞれ一方の端部が露出し上記各ポケット内に収
   容された半導体チップに接触するように上記絶縁体に埋
   設された導体、およびこれら導体の他方の端部に接続さ
   れるとともに上記絶縁体の上記表面側またはその反対側
   の表面部に設けられ上記半導体チップの電気的特性を測
   定する測定針が加圧接触できる露出面を有する測定端子
   を備えた半導体チップ収容器。