JPS59183100A - 超音波ポンプ - Google Patents
超音波ポンプInfo
- Publication number
- JPS59183100A JPS59183100A JP5612283A JP5612283A JPS59183100A JP S59183100 A JPS59183100 A JP S59183100A JP 5612283 A JP5612283 A JP 5612283A JP 5612283 A JP5612283 A JP 5612283A JP S59183100 A JPS59183100 A JP S59183100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- supersonic
- ultrasonic
- vibrator
- phase
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、流路内の流体を外部からの強力超音波で駆動
する超音波ポンプに関するものである。
する超音波ポンプに関するものである。
一般に、管内における流体を駆動するＫけ、予めその管
の一端に機械的に駆動されるポンプやコンプレッサ等を
接続しなければならないが、その接続が困難であったシ
、事実上不可能な場合もある。
の一端に機械的に駆動されるポンプやコンプレッサ等を
接続しなければならないが、その接続が困難であったシ
、事実上不可能な場合もある。
一方、強力超音波によって流体中に流れが発生すること
は、音響流あるいけ水晶風として従来から知られている
。
は、音響流あるいけ水晶風として従来から知られている
。
本発明は、このような強力超音波により流体流が発生す
るという現象を利用し、機械的に駆動されるポンプやコ
ンプレッサ等を用いることなく、管の外部に配置した超
音波振動子の駆動によって管内に流体流を発生させ、し
かもその流体流の方向を制御できるようにした超音波ボ
／ブを提供することを目的とするものである。
るという現象を利用し、機械的に駆動されるポンプやコ
ンプレッサ等を用いることなく、管の外部に配置した超
音波振動子の駆動によって管内に流体流を発生させ、し
かもその流体流の方向を制御できるようにした超音波ボ
／ブを提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するため、本発明の超音波ポンプは、超
音波振動子を、中心に流体流路を設けた環状の圧電素子
における両端面に放射方向に区分された複数の電極対を
設けることにより構成し、この超音波振動子における複
数の電極対を、それらの間の超音波の位相を制御する位
相制御装置を介して、強力超音波を発生させるための超
音波発振装置に接続することによ多構成される。
音波振動子を、中心に流体流路を設けた環状の圧電素子
における両端面に放射方向に区分された複数の電極対を
設けることにより構成し、この超音波振動子における複
数の電極対を、それらの間の超音波の位相を制御する位
相制御装置を介して、強力超音波を発生させるための超
音波発振装置に接続することによ多構成される。
このような本発明の超音波ポンプによれば、管内の流体
を外部から、駆動できるだけでなく、駆動する方向も任
意に制御でき、特にフルイディクス素子等における流体
流の制御に有効に利用できるものである。
を外部から、駆動できるだけでなく、駆動する方向も任
意に制御でき、特にフルイディクス素子等における流体
流の制御に有効に利用できるものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
第１図において、１は中心に流体流路２を設けた環状の
超音波振動子で、円弧状に等分割された≠個の振動子片
１α〜１ｄを、任意の手段で連設するととＫよ多構成し
ている。上記各振動子片は、円弧状の圧電素子３ａ〜３
ｄにおける両端面に金属の蒸着等圧よって電極４ｃＬ〜
４ｄ及び５ａ〜５ｄを設け、これらＫよって電極対を形
設したものであり、従って各電極対は環状の超音波振動
子において放射方向に区分されたものとして構成され、
これらの複数の電極対はそれらの間の超音波の位相を制
御するる。
超音波振動子で、円弧状に等分割された≠個の振動子片
１α〜１ｄを、任意の手段で連設するととＫよ多構成し
ている。上記各振動子片は、円弧状の圧電素子３ａ〜３
ｄにおける両端面に金属の蒸着等圧よって電極４ｃＬ〜
４ｄ及び５ａ〜５ｄを設け、これらＫよって電極対を形
設したものであり、従って各電極対は環状の超音波振動
子において放射方向に区分されたものとして構成され、
これらの複数の電極対はそれらの間の超音波の位相を制
御するる。
なお、上記超音波振動子は、図示したｔ分割に限らず、
流体の流れを制御する方向等との関連において任意数に
分割することができる。
流体の流れを制御する方向等との関連において任意数に
分割することができる。
また、上記超音波振動子は、一体構成の環状の圧電素子
における両端面に放射方向に区分された複数の電極対を
設けることによ多構成することもできる。
における両端面に放射方向に区分された複数の電極対を
設けることによ多構成することもできる。
上記構成を有する超音波ポンプにおいては、位相制御装
置によって超音波振動子１における各振動子片１α〜１
ｄを同一位相で駆動し、強力超音波を発生させると、各
振動子片からの超音波が合成されて、第１図に破線Ａで
示したように、振動子面に垂直な方向に指向性をもつ強
力超音波が放射され、また振動子片１α、１ｂを摂動子
片１ｃ、１ｄに比べて位相的に遅らせて駆動すれば、同
図に実線Ｂで示すように、振動子片１α、ＩＪ側へ傾い
た方向への指向性を持った強力超音波が放射される。而
して、この強力超音波の指向方向に流体流が発生し、ｂ
。
置によって超音波振動子１における各振動子片１α〜１
ｄを同一位相で駆動し、強力超音波を発生させると、各
振動子片からの超音波が合成されて、第１図に破線Ａで
示したように、振動子面に垂直な方向に指向性をもつ強
力超音波が放射され、また振動子片１α、１ｂを摂動子
片１ｃ、１ｄに比べて位相的に遅らせて駆動すれば、同
図に実線Ｂで示すように、振動子片１α、ＩＪ側へ傾い
た方向への指向性を持った強力超音波が放射される。而
して、この強力超音波の指向方向に流体流が発生し、ｂ
。
ち強力超音波によるポンプ作用が生じることになる。ま
だ、この流体流は、特に環状の超音波振動子の中心に発
生するので、超音波振動子とその中心の流体流路を管等
によって分離することが可能となシ、従って必要があれ
ば超音波振動子を流体流から隔１ηｆｔシて他の流体雰
囲気に置くこともできる。
だ、この流体流は、特に環状の超音波振動子の中心に発
生するので、超音波振動子とその中心の流体流路を管等
によって分離することが可能となシ、従って必要があれ
ば超音波振動子を流体流から隔１ηｆｔシて他の流体雰
囲気に置くこともできる。
第２図は、超音波振動子１の中心のＭｔ体原流路Ｙ字状
に分岐した管１０によって形成した場合を示すもので、
位相制御装置によって第１図の実線Ｂの向きの強力超音
波を発生させれば、管１０内の流体は下方から上方にお
ける分岐管１１に向けて流れ乙ことになる。オた、上記
超音波振動子Ｉにおいて、上述したところとけ逆の方向
に傾むく強力超音波を発生させれば、流体流が分岐管１
２に向けて流れることになる。従って、これをフルイデ
ィクス素子として使用すれば、超音波振動子により流体
流そのものを発生させると同時にその流れの方向をも制
御することができる。
に分岐した管１０によって形成した場合を示すもので、
位相制御装置によって第１図の実線Ｂの向きの強力超音
波を発生させれば、管１０内の流体は下方から上方にお
ける分岐管１１に向けて流れ乙ことになる。オた、上記
超音波振動子Ｉにおいて、上述したところとけ逆の方向
に傾むく強力超音波を発生させれば、流体流が分岐管１
２に向けて流れることになる。従って、これをフルイデ
ィクス素子として使用すれば、超音波振動子により流体
流そのものを発生させると同時にその流れの方向をも制
御することができる。
第１図は本発明に係る超音波ポンプの実施例を示す斜視
図、第２図は他の実施例の斜視図である。 １・・・超音波振動子、 ２・・・ 流体流路、３α
〜３ｄ・・・圧電素子。
図、第２図は他の実施例の斜視図である。 １・・・超音波振動子、 ２・・・ 流体流路、３α
〜３ｄ・・・圧電素子。
Claims (1)
- １、超音波振動子を、中心釦流体流路を設けた環状の圧
電素子における両端面に放射方向に区分された複数の電
極対を設けることによシ構成し、この超音波振動子にお
ける複数の電極対を、それらの間の超音波の位相を制御
する位相制御装置を介して、強力超音波を発生させるだ
めの超音波発振装置に接続したことを特徴とする超音波
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5612283A JPS59183100A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 超音波ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5612283A JPS59183100A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 超音波ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59183100A true JPS59183100A (ja) | 1984-10-18 |
| JPS6250680B2 JPS6250680B2 (ja) | 1987-10-26 |
Family
ID=13018264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5612283A Granted JPS59183100A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 超音波ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59183100A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS628399U (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-19 | ||
| JPS628400U (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-19 | ||
| JP2008274932A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-11-13 | Canon Inc | マイクロ流体デバイスを用いた送液装置および送液方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0524074U (ja) * | 1991-02-02 | 1993-03-30 | 公男 斉藤 | ゴルフ練習用マツト |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP5612283A patent/JPS59183100A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS628399U (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-19 | ||
| JPS628400U (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-19 | ||
| JP2008274932A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-11-13 | Canon Inc | マイクロ流体デバイスを用いた送液装置および送液方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6250680B2 (ja) | 1987-10-26 |
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