JPS628399U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS628399U JPS628399U JP9998585U JP9998585U JPS628399U JP S628399 U JPS628399 U JP S628399U JP 9998585 U JP9998585 U JP 9998585U JP 9998585 U JP9998585 U JP 9998585U JP S628399 U JPS628399 U JP S628399U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- vibrator
- electrode
- vibrators
- around
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
第1図は本考案の1実施例の超音波ポンプの断
面図、第2図は第1図の振動子部分の断面図、第
3図は本考案の他の実施例の振動子の平面図であ
る。 1……基板、2a,2b……振動子、3……入
水穴、4……入水路ホース、5……電極、6……
発振器、7……加圧室、8……出水穴、9……出
水路ホース、10……分岐部。
面図、第2図は第1図の振動子部分の断面図、第
3図は本考案の他の実施例の振動子の平面図であ
る。 1……基板、2a,2b……振動子、3……入
水穴、4……入水路ホース、5……電極、6……
発振器、7……加圧室、8……出水穴、9……出
水路ホース、10……分岐部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 傾斜した側壁の絞られた側に出水路が接続
され拡出された側に基板が設けられた加圧室と、
上記基板にほぼ等間隔に設けられ、それぞれ片面
または両面に電極が設けられた複数の振動子と、
該振動子の電極に接続された発振器と、上記基板
のほぼ中心あるいは上記振動子の間または上記振
動子の外側周辺もしくは上記加圧室の周囲に設け
られた入水路とからなることを特徴とする超音波
ポンプ。 (2) 上記発振器は位相変調型であることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の超音
波ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9998585U JPS628399U (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9998585U JPS628399U (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS628399U true JPS628399U (ja) | 1987-01-19 |
Family
ID=30969374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9998585U Pending JPS628399U (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS628399U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008274932A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-11-13 | Canon Inc | マイクロ流体デバイスを用いた送液装置および送液方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59183100A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-18 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波ポンプ |
-
1985
- 1985-06-29 JP JP9998585U patent/JPS628399U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59183100A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-18 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波ポンプ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008274932A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-11-13 | Canon Inc | マイクロ流体デバイスを用いた送液装置および送液方法 |