JPS628400U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS628400U JPS628400U JP9998685U JP9998685U JPS628400U JP S628400 U JPS628400 U JP S628400U JP 9998685 U JP9998685 U JP 9998685U JP 9998685 U JP9998685 U JP 9998685U JP S628400 U JPS628400 U JP S628400U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressurizing chamber
- vibrators
- oscillator
- ultrasonic pump
- pump according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
第1図は本考案の1実施例の超音波ポンプの断
面図、第2図は本考案の第2実施例の超音波ポン
プの断面図、第3図は第1図及び第2図で使われ
る他の実施例の振動子の平面図である。 1……基板、2,2a,2b……加圧室、3…
…振動子、4……電極、5……発振器、6a,6
b……櫛型電極、7……組合わせ電極。
面図、第2図は本考案の第2実施例の超音波ポン
プの断面図、第3図は第1図及び第2図で使われ
る他の実施例の振動子の平面図である。 1……基板、2,2a,2b……加圧室、3…
…振動子、4……電極、5……発振器、6a,6
b……櫛型電極、7……組合わせ電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一本の管の管壁の1個所または複数個所に
おいて斜めに突出した加圧室と、該加圧室の底部
に設けられ、それぞれ片面または両面に電極が設
けられた複数の振動子と、該振動子の電極に接続
された発振器とからなることを特徴とする超音波
ポンプ。 (2) 上記発振器は位相変調型であることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の超音
波ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9998685U JPS628400U (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9998685U JPS628400U (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS628400U true JPS628400U (ja) | 1987-01-19 |
Family
ID=30969376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9998685U Pending JPS628400U (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS628400U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59183100A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-18 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波ポンプ |
-
1985
- 1985-06-29 JP JP9998685U patent/JPS628400U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59183100A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-18 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波ポンプ |