JPS59180454A - 固体電解質酸素センサの製造方法 - Google Patents
固体電解質酸素センサの製造方法Info
- Publication number
- JPS59180454A JPS59180454A JP58056225A JP5622583A JPS59180454A JP S59180454 A JPS59180454 A JP S59180454A JP 58056225 A JP58056225 A JP 58056225A JP 5622583 A JP5622583 A JP 5622583A JP S59180454 A JPS59180454 A JP S59180454A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- oxygen
- electrode
- electro
- solid electrolyte
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/4065—Circuit arrangements specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は酸素センサの製造方法に係わり、特に、固体電
解質からなる酸素イオン導電板を用いた固体電解質酸素
センサの製造方法に関するものである。
解質からなる酸素イオン導電板を用いた固体電解質酸素
センサの製造方法に関するものである。
従来、被測定気体中の酸素濃度（酸素分圧）を測定する
ための酸素センサとして、例えば第１図に示す構造の固
体電解質酸素センサが知られているＯ この固体電解質酸素センサ（以下センサと略す）１は、
固体電解質からなる酵素イオン導電板（ＺｒＯ，＋こＹ
！ Ｕｓ 、Ｍ ｇ ｏ、 Ｃａ Ｏ等ｆ固溶させて安
定化させたものが一例として挙げられる）２の両面に、
白金等の多孔質金属からなる電極３を設けるとともｉこ
、一方の電極３ｆ糧って有底筒状のカプセル４を設け、
該カプセル４の頂板部４ａをこ微小径の拡散孔５を設け
た構成となっている。
ための酸素センサとして、例えば第１図に示す構造の固
体電解質酸素センサが知られているＯ この固体電解質酸素センサ（以下センサと略す）１は、
固体電解質からなる酵素イオン導電板（ＺｒＯ，＋こＹ
！ Ｕｓ 、Ｍ ｇ ｏ、 Ｃａ Ｏ等ｆ固溶させて安
定化させたものが一例として挙げられる）２の両面に、
白金等の多孔質金属からなる電極３を設けるとともｉこ
、一方の電極３ｆ糧って有底筒状のカプセル４を設け、
該カプセル４の頂板部４ａをこ微小径の拡散孔５を設け
た構成となっている。
そして、前述した構成を有するセンサ１によりて被測定
気体Ｇ中の酸素濃度全測定する場合（こついて説明すれ
ば次のとおりである。
気体Ｇ中の酸素濃度全測定する場合（こついて説明すれ
ば次のとおりである。
まず、第１図に示すようにセンサｌの両電極３・３間普
こ直流電源人、電圧計Ｂおよび電流計Ｃを接続しておき
、このセンサ１を被測定気体Ｇ中に設置して、カプセル
４内に被測定気体Ｇを充満させておくとともに、このセ
ンサ１ ｆ、 ６００°Ｃ以上ｆこ加熱する。
こ直流電源人、電圧計Ｂおよび電流計Ｃを接続しておき
、このセンサ１を被測定気体Ｇ中に設置して、カプセル
４内に被測定気体Ｇを充満させておくとともに、このセ
ンサ１ ｆ、 ６００°Ｃ以上ｆこ加熱する。
次いで面部Ｖ源Ａから酸素イオン導電板２へ、第１図の
矢印（イ）方向（すなわちセンサ１の外部から内部へ向
かう方向）に両１を極３を介して駆動電流を流すと、カ
プセル４内の酸素が酸素イオン導電板２を透過させられ
て、第１図の矢印（ロ）で示すよう（こ外部へ放出させ
られる現象、いわゆるポンピング′ＪＡｓが生じるとと
も（こ、カプセル４内（こ拡散孔５を介して外部の酸素
が拡散させられる現象が生じる。
矢印（イ）方向（すなわちセンサ１の外部から内部へ向
かう方向）に両１を極３を介して駆動電流を流すと、カ
プセル４内の酸素が酸素イオン導電板２を透過させられ
て、第１図の矢印（ロ）で示すよう（こ外部へ放出させ
られる現象、いわゆるポンピング′ＪＡｓが生じるとと
も（こ、カプセル４内（こ拡散孔５を介して外部の酸素
が拡散させられる現象が生じる。
ここで、前記酸素イオン４電板２を透過さぜられる酸素
量が前記拡散孔５から拡散させられる酸素量よりも大と
なるよう９こ、前記電流値を設定してやると、前記カプ
セル４内の酸素量が限りなく０１こ近づくとともに、酸
素イオン導電板２を透過させられるＩｆ２素量が限りな
くＯに近づき、この結果、ｍｌＷ酸素酸素イオン導板成
板２部抵抗が急増して、第２囚に示すよう蛋こ前記両１
を極３間の電圧Ｖが急増する現象が生じる。
量が前記拡散孔５から拡散させられる酸素量よりも大と
なるよう９こ、前記電流値を設定してやると、前記カプ
セル４内の酸素量が限りなく０１こ近づくとともに、酸
素イオン導電板２を透過させられるＩｆ２素量が限りな
くＯに近づき、この結果、ｍｌＷ酸素酸素イオン導板成
板２部抵抗が急増して、第２囚に示すよう蛋こ前記両１
を極３間の電圧Ｖが急増する現象が生じる。
そして、前述した電圧急増現象は、被測定気体Ｇ中の酸
素濃度、駆動Ｎ、流の大きさ、カプセル４内の容積およ
び拡散孔５の大きさ會こ基づき、ポンピング開始から一
定時間経過後ｆこ現われにとがデクられている。
素濃度、駆動Ｎ、流の大きさ、カプセル４内の容積およ
び拡散孔５の大きさ會こ基づき、ポンピング開始から一
定時間経過後ｆこ現われにとがデクられている。
そこで、前記カプセル４内の容積や拡散孔５の大きさ等
のセンサ１の形状条件を一定（こし、このセンサ１ｆこ
、前述した条件全満足しかつ一定した駆動電流を供給し
、この時（こ生じるポンピング時間、すなわち、第２図
に示ずよう（こ、ポンピング開始時刻ｔ、と前記篭１＠
３間の電圧■が急増する時刻ｔ、との差△ｔを検出す◇
Ｃと蚤こより、被測定気体Ｇ中の酸素濃度を測定するこ
とができる。
のセンサ１の形状条件を一定（こし、このセンサ１ｆこ
、前述した条件全満足しかつ一定した駆動電流を供給し
、この時（こ生じるポンピング時間、すなわち、第２図
に示ずよう（こ、ポンピング開始時刻ｔ、と前記篭１＠
３間の電圧■が急増する時刻ｔ、との差△ｔを検出す◇
Ｃと蚤こより、被測定気体Ｇ中の酸素濃度を測定するこ
とができる。
ところで前述したセンサ１）こありては、酸素濃度の測
定速度を速めるため（こ、前記センサ１の内部抵抗全可
及的（こ小さくすることが要望されている。
定速度を速めるため（こ、前記センサ１の内部抵抗全可
及的（こ小さくすることが要望されている。
そこで従来では、′電極３が設けられた酸素イオン導電
板２を非酸化雰囲気中でＡ電加熱処理して両者を活性化
することが知られている。
板２を非酸化雰囲気中でＡ電加熱処理して両者を活性化
することが知られている。
しかしながら、このような従来の方法にあっては、非酸
化雰囲気中で処理を行なわなければならないから、処理
が煩雑になり易く、また、非酸化雰囲気を形成するため
の諸設備が必袈であるから処理設備が複雑かつ大型化し
易い等の問題点を有している。
化雰囲気中で処理を行なわなければならないから、処理
が煩雑になり易く、また、非酸化雰囲気を形成するため
の諸設備が必袈であるから処理設備が複雑かつ大型化し
易い等の問題点を有している。
本発明は前述した従来の諸事情を考慮して提案されたも
ので、その目的とするところは、センサ番こ供給する駆
動電流をポンピング時間経過後においても継続供給して
、電極および酸素イオン導電板（こ゛電子電導を生じさ
せること（こより、前記電極および酸素イオン導電板を
容易に活性化することのできる固体電解質酸素センサの
製造方法を提供すること（こある。
ので、その目的とするところは、センサ番こ供給する駆
動電流をポンピング時間経過後においても継続供給して
、電極および酸素イオン導電板（こ゛電子電導を生じさ
せること（こより、前記電極および酸素イオン導電板を
容易に活性化することのできる固体電解質酸素センサの
製造方法を提供すること（こある。
以下、本発明について詳細（こ説明する。
ます、第１図１こ示すように組み上げられたセンサ１を
大気中に設置したのちに、６００℃以上に加熱する。こ
の加熱温度はセンサｌにポンピング動作を行なオ）せる
ことができる＠度で、好ましくは７００ ’Ｏ〜８３０
υの範囲である。
大気中に設置したのちに、６００℃以上に加熱する。こ
の加熱温度はセンサｌにポンピング動作を行なオ）せる
ことができる＠度で、好ましくは７００ ’Ｏ〜８３０
υの範囲である。
次いで前記センサ１の酸素イオン導電板２に電極３を介
して駆動電流を供給してポンピング動作を生じさせるこ
と船こより、カプセル４内の酸素を外部へ放出してこの
カプセル４内（特（こ電極近傍） −を酸素希薄状態
にする。この駆＠寛鑞は、前記カプセル４内を酸素希薄
状態にすることができる大きさで供給されるもので、好
ましくは、電極３１こ対し、毎平方ミリメートル（−）
当たり０．２ミリアンペア（ｍＡ）〜２．０ミＩＪアン
ペア（ｍＡ）の範囲である。
して駆動電流を供給してポンピング動作を生じさせるこ
と船こより、カプセル４内の酸素を外部へ放出してこの
カプセル４内（特（こ電極近傍） −を酸素希薄状態
にする。この駆＠寛鑞は、前記カプセル４内を酸素希薄
状態にすることができる大きさで供給されるもので、好
ましくは、電極３１こ対し、毎平方ミリメートル（−）
当たり０．２ミリアンペア（ｍＡ）〜２．０ミＩＪアン
ペア（ｍＡ）の範囲である。
次いで、前述したよう蛋こカプセル４内を酸素希薄状態
（こしたのちに、すなわち、ボンピング時間経過後普こ
、前記酸素イオン導電板２へ前記駆＠電流を継続して供
給し、前記酸素イオン導電板２および電極３に電子電導
を生じさせてこれらの酸素イオン導電板２および成極３
を活性化する。このポンピング時間経過後ζこ供給され
る駆＠電流の供給時間は、駆動電流の大きさによって変
更されるものであるが、前記ポンピング時間経過後、少
なくとも１分以上継続して供給することが好ましい０そ
して、紬述した工程を経て製造したセンサ１の内部抵抗
を測定したところ、第３図および第４図（こ示す結果が
得られた０ また、比較のため、本発明方法以外の方法で製造したセ
ンサ、すなわち活性化処理を施してない状態のセンサの
内部抵抗を測定したところほぼ１００（Ω）であった。
（こしたのちに、すなわち、ボンピング時間経過後普こ
、前記酸素イオン導電板２へ前記駆＠電流を継続して供
給し、前記酸素イオン導電板２および電極３に電子電導
を生じさせてこれらの酸素イオン導電板２および成極３
を活性化する。このポンピング時間経過後ζこ供給され
る駆＠電流の供給時間は、駆動電流の大きさによって変
更されるものであるが、前記ポンピング時間経過後、少
なくとも１分以上継続して供給することが好ましい０そ
して、紬述した工程を経て製造したセンサ１の内部抵抗
を測定したところ、第３図および第４図（こ示す結果が
得られた０ また、比較のため、本発明方法以外の方法で製造したセ
ンサ、すなわち活性化処理を施してない状態のセンサの
内部抵抗を測定したところほぼ１００（Ω）であった。
但し、両センサの形状は同一であって、その寸法は次の
と？っである。
と？っである。
・酸素イオン導電板の外径 ： ｇｌｌ ０ ミＩＪメ
ートル（ｍｘ ） ・電極の外径 ： ｌ ５ ミ＋）メートル（ＩＩｍ！
）・カプセル内の容積 ：ｌＯマイクロリットル（μ
ｌ） ・拡散孔の内径×長さ ：０．１ミＩＪメートル（訴秒
×２ミリメートル（扉→ 第３商は、８２０”０に加熱したセンサ１に、ポンピン
グ時間経過後（こ５分間継続して駆動電流を供給して活
性化した後の、センサ１の内部抵抗と供給した駆＃ｈ電
流の大きさとの関係を示したものである。また、第４図
は駆動電流の継続供給時間を５分間とし、かつ、駆動電
流の大きさ′！ｉ１−２０（人）、すなわち１．０ （
ｍＡ／ａｎ）に設定して活性化した後の、センサ１の内
部抵抗とこのセンサ１の温度との関係を示したものであ
る。
ートル（ｍｘ ） ・電極の外径 ： ｌ ５ ミ＋）メートル（ＩＩｍ！
）・カプセル内の容積 ：ｌＯマイクロリットル（μ
ｌ） ・拡散孔の内径×長さ ：０．１ミＩＪメートル（訴秒
×２ミリメートル（扉→ 第３商は、８２０”０に加熱したセンサ１に、ポンピン
グ時間経過後（こ５分間継続して駆動電流を供給して活
性化した後の、センサ１の内部抵抗と供給した駆＃ｈ電
流の大きさとの関係を示したものである。また、第４図
は駆動電流の継続供給時間を５分間とし、かつ、駆動電
流の大きさ′！ｉ１−２０（人）、すなわち１．０ （
ｍＡ／ａｎ）に設定して活性化した後の、センサ１の内
部抵抗とこのセンサ１の温度との関係を示したものであ
る。
これらの結果から明らかなようシこ、本発明方法をこよ
って製造したセンサ１にあっては、内部抵抗が４３（Ω
）〜７５（Ω）と大幅（こ改善される。
って製造したセンサ１にあっては、内部抵抗が４３（Ω
）〜７５（Ω）と大幅（こ改善される。
％ｌＣ、セフす１の＠度を７００°０近傍カら８００°
０近傍（こ設定し、かつ、ＦＩＡ勤電流を２０ （ｍＡ
）から４０ （ｒｒＡ）に設定して活性化した場合には
、その範囲内で安定した内部抵抗の低減が行なえ、かつ
、その抵抗値が４３（Ω）近傍となり、比較のため（こ
測定したセンサの内部抵抗の５０％以下（こすることが
できる。
０近傍（こ設定し、かつ、ＦＩＡ勤電流を２０ （ｍＡ
）から４０ （ｒｒＡ）に設定して活性化した場合には
、その範囲内で安定した内部抵抗の低減が行なえ、かつ
、その抵抗値が４３（Ω）近傍となり、比較のため（こ
測定したセンサの内部抵抗の５０％以下（こすることが
できる。
このように、本発明方法によってセンサ１の内部抵抗全
低減させることができるのは、ポンピング動作中側こお
ける酸素イオン導電板２内の′延部が、酸素イオンの流
れの結果として生じるの１こ対し、ポンピング時間経過
後（こ生じる電流が主に電源Ａからの電子の流れによっ
て生じ、この電子の克れ警こよりて酸素イオン導電板２
内の酸素イオン空格子）こ電子がトラップされること、
また、電極３自体やこの電極３と酸素イオン４％板２と
の界面がとも（こ活性化されること、さらに、これらの
活性化が、ＩＷ！素イガイオン４亀板２極３内警こ酸素
が存在していない状態で行なわれること等の相乗作用お
よび白金と固体ｔＳ質との付層面積が増大し見掛は上電
極面積が増大したことに起因すると考えられる。
低減させることができるのは、ポンピング動作中側こお
ける酸素イオン導電板２内の′延部が、酸素イオンの流
れの結果として生じるの１こ対し、ポンピング時間経過
後（こ生じる電流が主に電源Ａからの電子の流れによっ
て生じ、この電子の克れ警こよりて酸素イオン導電板２
内の酸素イオン空格子）こ電子がトラップされること、
また、電極３自体やこの電極３と酸素イオン４％板２と
の界面がとも（こ活性化されること、さらに、これらの
活性化が、ＩＷ！素イガイオン４亀板２極３内警こ酸素
が存在していない状態で行なわれること等の相乗作用お
よび白金と固体ｔＳ質との付層面積が増大し見掛は上電
極面積が増大したことに起因すると考えられる。
なお以上示された実施例ｆこあっては固体寛解＊４、へ
の酸素供給量がカプセル上の拡散孔ｆこよって制限され
ている０しかしこの酸素供給（あるいは拡散）量を制限
する手段は通電中にあって陰極側電極の少なくとも近傍
が酸素希薄状態になるものであったら何でもよいことは
勿論である。例えば上記以外の手段として次に示すもの
を採いることが可能である・ （１） ！密な細孔が形成された多孔質体にて電極面
上を被覆する。
の酸素供給量がカプセル上の拡散孔ｆこよって制限され
ている０しかしこの酸素供給（あるいは拡散）量を制限
する手段は通電中にあって陰極側電極の少なくとも近傍
が酸素希薄状態になるものであったら何でもよいことは
勿論である。例えば上記以外の手段として次に示すもの
を採いることが可能である・ （１） ！密な細孔が形成された多孔質体にて電極面
上を被覆する。
（２） カプセルの少なくとも一部を前記多孔質体ｔ
こて形成する。
こて形成する。
（３）前記多孔質体で形成された薄膜を適当に積層する
。
。
以上説明したようをこ本発明をこ係わる固体′電解質酸
素センサの製造方法）こよれば、ポンピング時間経過後
をこ駆動電流を継続して供給してセンサを活性化するも
のであるから、大気中での活性化処理を可能番こしてそ
の活性化処理を簡便なもの１こする等、楓々の優れた効
果を奏する。
素センサの製造方法）こよれば、ポンピング時間経過後
をこ駆動電流を継続して供給してセンサを活性化するも
のであるから、大気中での活性化処理を可能番こしてそ
の活性化処理を簡便なもの１こする等、楓々の優れた効
果を奏する。
図面中、第１図は固体′ｖＬ解質蝦素センサの一構造例
を示す縦断面図、第２図は第１図（こ示す固体電解質酸
素センサの酸素嬢（８）検出作用ｆ説明するための′成
圧変化曲嶽図、第３図および第４図は本発明方法１こよ
って製造した固体電解質酸素センサの内部抵抗を示す図
である。 １・・・・・（固体ｆｔ解質酸素）センサ、２・・・ｅ
索イオン導電板、３・・・・１に極、４・・・・・カプ
セル０出願人藤倉電線株式会社 第１図 第２図 時間 （（１） 槽陪Ｉ耽ン彪 乞〉１品度
を示す縦断面図、第２図は第１図（こ示す固体電解質酸
素センサの酸素嬢（８）検出作用ｆ説明するための′成
圧変化曲嶽図、第３図および第４図は本発明方法１こよ
って製造した固体電解質酸素センサの内部抵抗を示す図
である。 １・・・・・（固体ｆｔ解質酸素）センサ、２・・・ｅ
索イオン導電板、３・・・・１に極、４・・・・・カプ
セル０出願人藤倉電線株式会社 第１図 第２図 時間 （（１） 槽陪Ｉ耽ン彪 乞〉１品度
Claims (1)
- 固体電解質からなる酸素イオン導電、板（２）に駆動電
流供給用の２つの電極（３）を設けるとともに、この電
極の少なくとも一つを覆りて酸素拡散を制限する手段を
設けてなる固体電解質酸素センサ（１）を６００℃以上
（こ加熱し、次いで前記酸素イオン導電板に前記電極を
介して駆動電流を供給することｆこより、少なくとも酸
素イオン導電板の陰極近傍を酸素希薄状態となしたのち
さらに、前記駆動電流を継続して供給することにより、
これらの酸素イオン導電板、電極および両者の界面を活
性化することを特徴とする固体電解質酸素センサの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58056225A JPS59180454A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 固体電解質酸素センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58056225A JPS59180454A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 固体電解質酸素センサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59180454A true JPS59180454A (ja) | 1984-10-13 |
Family
ID=13021157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58056225A Pending JPS59180454A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 固体電解質酸素センサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59180454A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2575551A1 (fr) * | 1984-12-27 | 1986-07-04 | Brunel Gerald | Dispositif de sonde a oxygene et installation de regulation electronique de combustion equipee d'une telle sonde |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP58056225A patent/JPS59180454A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2575551A1 (fr) * | 1984-12-27 | 1986-07-04 | Brunel Gerald | Dispositif de sonde a oxygene et installation de regulation electronique de combustion equipee d'une telle sonde |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07209244A (ja) | 固体電解質基体上のプレーナ形センサ素子 | |
| JPH021539A (ja) | 加熱型酸素センサ | |
| EP1306666A3 (en) | Method and apparatus for measuring combustible gas component by burning the component | |
| JPH05196595A (ja) | グルコースセンサの製造方法 | |
| JPS62500742A (ja) | 電気的、例えば電気化学的測定方法に使用する装置及びその製造方法と使用、並びに装置を組込んだ複合アセンブリ− | |
| EP0058897B1 (en) | Oxygen sensing element having barrier layer between ceramic substrate and solid electrolyte layer | |
| ES2103197B1 (es) | Pasta conductora, electrodos y sensores electroquimicos que comprenden dicha pasta conductora, y su metodo de preparacion. | |
| DE19842735A1 (de) | Elektrochemischer Sensor mit direkt elektrisch heizbaren Elektrodenflächen | |
| EP0371774B1 (en) | A humidity measurement device by use of an electrochemical cell | |
| JPH08122287A (ja) | ガス成分の濃度の測定装置および方法 | |
| JP3094067B2 (ja) | 電気化学素子の処理方法 | |
| JP2003322636A (ja) | ＮＯｘ分解電極及びＮＯｘ濃度測定装置 | |
| JPS5958356A (ja) | ガス分析機器の製造方法 | |
| JPS59180454A (ja) | 固体電解質酸素センサの製造方法 | |
| JP2003322634A (ja) | ＮＯｘ分解電極及びＮＯｘ濃度測定装置 | |
| JPH0660884B2 (ja) | 湿度測定装置 | |
| EP0333246A3 (en) | Electrochemical sensor and method | |
| US3530046A (en) | Polarographic electrode and method of using same | |
| JPS6478148A (en) | Oxygen sensor | |
| Bronin et al. | Polarized‐Cell Measurements on Yttria‐Stabilized Zirconia Using an Anodically Blocked Electrode | |
| Delgadillo et al. | Photoacoustic technique for monitoring the thermal properties of porous silicon | |
| RU2030738C1 (ru) | Датчик газоанализатора | |
| JPH0812172B2 (ja) | 定電位電解型ガス検出器用電極体 | |
| US20210054493A1 (en) | Method of manufacturing a sensor element for a potentiometric sensor | |
| JPH07167832A (ja) | ガスセンサ |