JPS59175715A - コンデンサ装置 - Google Patents
コンデンサ装置Info
- Publication number
- JPS59175715A JPS59175715A JP22187483A JP22187483A JPS59175715A JP S59175715 A JPS59175715 A JP S59175715A JP 22187483 A JP22187483 A JP 22187483A JP 22187483 A JP22187483 A JP 22187483A JP S59175715 A JPS59175715 A JP S59175715A
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- Japan
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- ceramic capacitors
- capacitor device
- capacitor
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は１例えばエキシマレーザ発生装置のイぐルス整
形回路等を構成するのに好適な超高圧のコンデンサ装置
に関する。エキシマレーザは、半導体のアニーリング、
光エンチング、表面加工、光化学、ウランの同位体濃縮
もしくは核融合等に利用される。更には、高電圧、大電
流の電気素子の試験等にも使用することができる。
形回路等を構成するのに好適な超高圧のコンデンサ装置
に関する。エキシマレーザは、半導体のアニーリング、
光エンチング、表面加工、光化学、ウランの同位体濃縮
もしくは核融合等に利用される。更には、高電圧、大電
流の電気素子の試験等にも使用することができる。
従来技術
第１図は希ガス−ハライドエキシマレーザ発生装置の゛
准気回路接続図である。図において、Ｒは入力抵抗、Ｃ
はコンデンサ、ＳＧＩはスパークギャップ、ＰＦＬはパ
ルス整形回路、ＳＧ２はレールキャンプ、Ａは希カスー
ハライドエキシマレーザ管である。パルス整形回路ＰＦ
Ｌは一種のコンデンサ装置であって、入力端（イ）側の
内周電極２をスパークキャップＳＧ１に、また外周電極
３をコンデンサＣに接続すると共に、出力端（ロ）側の
内周電極２をレールキャンプＳＧ２に、外周電極３を希
カスーハライドエキシマレーザ管Ａの電極にそれぞれ接
続しである。
准気回路接続図である。図において、Ｒは入力抵抗、Ｃ
はコンデンサ、ＳＧＩはスパークギャップ、ＰＦＬはパ
ルス整形回路、ＳＧ２はレールキャンプ、Ａは希カスー
ハライドエキシマレーザ管である。パルス整形回路ＰＦ
Ｌは一種のコンデンサ装置であって、入力端（イ）側の
内周電極２をスパークキャップＳＧ１に、また外周電極
３をコンデンサＣに接続すると共に、出力端（ロ）側の
内周電極２をレールキャンプＳＧ２に、外周電極３を希
カスーハライドエキシマレーザ管Ａの電極にそれぞれ接
続しである。
１−記の希ガスーハライドエキシマレーサ発生装置にお
いて、入力抵抗Ｒを通して高圧を供給し、コンデンサＣ
を充゛取した後、スパークギャップＳ０１を閉じ、パル
ス整形回路ＰＦＬをパルス充電する。パルス整形回路Ｐ
ＦＬのパルス充電電圧が一定の値になり、レールキャッ
プＳＧ’２が閉じると、パルス整形回路ＰＦＬの中を電
圧波が往復し、矩形波パルスが希ガス−ハライドエキシ
マレーザ’ｆ Ａに印加され、紫外線領域のエキシマレ
ーザが発生する。
いて、入力抵抗Ｒを通して高圧を供給し、コンデンサＣ
を充゛取した後、スパークギャップＳ０１を閉じ、パル
ス整形回路ＰＦＬをパルス充電する。パルス整形回路Ｐ
ＦＬのパルス充電電圧が一定の値になり、レールキャッ
プＳＧ’２が閉じると、パルス整形回路ＰＦＬの中を電
圧波が往復し、矩形波パルスが希ガス−ハライドエキシ
マレーザ’ｆ Ａに印加され、紫外線領域のエキシマレ
ーザが発生する。
第２図は前記パルス整形回路の正面断面図、第３図は同
じくその側面図であり、適当な誘電体磁器材料を用いて
形成した円筒状の磁器コンデンサ１の内周面及び外周面
に、それぞれ内周電極２及び外周電極３を形成した構造
となっている。
じくその側面図であり、適当な誘電体磁器材料を用いて
形成した円筒状の磁器コンデンサ１の内周面及び外周面
に、それぞれ内周電極２及び外周電極３を形成した構造
となっている。
従来技術の問題点
ところで、パルス整形回路の入力端（イ）と出力端（ロ
）との間のインピーダンスＺ、出力端（ロ）てのパルス
１唱で及び容１ｃは、Ｚ ＝ ６０ （１／Ｆ］］−）
ｉｎ （ｒ２／ｒｌ）ΩＴ ＝ ２ Ｌ ＦＴ「／
ｖ ５ｅｃＣ＝ ０ 、５６ ｅｒ Ｌ
／ｎｎ （ｒ２／ｒｌ） ＰＦ但し、ｒｌは磁器コンデ
ンサ１の内径 ｒ２は磁器コンデンサ１の外径 りは磁器コンデンサ１の長さ ｅｒは磁器コンデンサ１の比誘 電率 Ｖは光速 となる。−Ｌ温式τ＝２Ｌ Ｆ１］−／ｖから明らかな
ように、パルス幅ではパルス整形回路を構成する磁器コ
ンデンサ１の長さＬに比例する。したがって、磁器コン
デンサ１の長さＬを調節することにより、パルス幅でも
調節することかできる。しかし、第２図及び第３図に示
した如く、一本の磁器コンデンサ１を用いる構造では、
製造し得る長さに製造技術１−からの限度があり、必要
とする長さか７１１られない場合かある。
）との間のインピーダンスＺ、出力端（ロ）てのパルス
１唱で及び容１ｃは、Ｚ ＝ ６０ （１／Ｆ］］−）
ｉｎ （ｒ２／ｒｌ）ΩＴ ＝ ２ Ｌ ＦＴ「／
ｖ ５ｅｃＣ＝ ０ 、５６ ｅｒ Ｌ
／ｎｎ （ｒ２／ｒｌ） ＰＦ但し、ｒｌは磁器コンデ
ンサ１の内径 ｒ２は磁器コンデンサ１の外径 りは磁器コンデンサ１の長さ ｅｒは磁器コンデンサ１の比誘 電率 Ｖは光速 となる。−Ｌ温式τ＝２Ｌ Ｆ１］−／ｖから明らかな
ように、パルス幅ではパルス整形回路を構成する磁器コ
ンデンサ１の長さＬに比例する。したがって、磁器コン
デンサ１の長さＬを調節することにより、パルス幅でも
調節することかできる。しかし、第２図及び第３図に示
した如く、一本の磁器コンデンサ１を用いる構造では、
製造し得る長さに製造技術１−からの限度があり、必要
とする長さか７１１られない場合かある。
また、内周゛電極２及び外周電極３に電極引出端ｒを連
結するに当って、磁器コンデンサ１と電極引出端子との
間の熱膨張収縮力の差異等から、磁器コンデンサ４か破
損したり、或いは電極引出端ｒ−が剥離脱落したりする
ことがないよう、その地利は構造には充分に注意する必
要がある。
結するに当って、磁器コンデンサ１と電極引出端子との
間の熱膨張収縮力の差異等から、磁器コンデンサ４か破
損したり、或いは電極引出端ｒ−が剥離脱落したりする
ことがないよう、その地利は構造には充分に注意する必
要がある。
本発明の目的
本発明は上述する問題点を解決し、電極取出端子の剥魔
［または磁器コンデンサの破損もしくは割れ等を生じる
ことなく、複数個のものを必要な個数だけ連結し、必要
とする長さを自由に選定することが可能であり、エキシ
マレーザ発生装置のパルス整形回路用として好適な超高
圧のコンデンサ装置を提供することを目的とする。
［または磁器コンデンサの破損もしくは割れ等を生じる
ことなく、複数個のものを必要な個数だけ連結し、必要
とする長さを自由に選定することが可能であり、エキシ
マレーザ発生装置のパルス整形回路用として好適な超高
圧のコンデンサ装置を提供することを目的とする。
本発明の構成
ｌ−記目的を達成するため、本発明に係るコンデンサ装
置は、内周及び外周にそれぞれ電極を被Ａ形成した複数
個の円筒状磁器コンデンサと、該複数個の磁器コンデン
サの内径部内を、内周電極に圧接して貫通する弾力性の
ある金属製内周電極引出端子と、前記複数個の誘電体磁
器の外周に套装されて外周電極を伍いに導通させる外周
゛電極引出端子とを備えることを特徴とする。
置は、内周及び外周にそれぞれ電極を被Ａ形成した複数
個の円筒状磁器コンデンサと、該複数個の磁器コンデン
サの内径部内を、内周電極に圧接して貫通する弾力性の
ある金属製内周電極引出端子と、前記複数個の誘電体磁
器の外周に套装されて外周電極を伍いに導通させる外周
゛電極引出端子とを備えることを特徴とする。
実施例
第４図は本発明に係るコンデンサ装置の正面断面図、第
５図は第４図のＡｌ−Ａ１線ヒにおける断１翔図である
。図において、４は円筒状に形成された磁器コンデンサ
であり、複数個備えられる。磁器コンデンサ４の個数は
、例えばエキシマレーザ装置のパルス整形回路として利
用する場合には、必要とするパルス幅から計算して設定
ごれる。これらの複数個の磁器コンデンサ４の各々は、
内周面及び外周面に内周電極４１及び外周型Ｆｊｉ４２
を被着形成すると共に、輔方向の両端面に適当な絶縁被
覆層４３を施し、両端面における沿面絶縁破壊を絶縁被
覆層４３によって防１卜する構造となっている。
５図は第４図のＡｌ−Ａ１線ヒにおける断１翔図である
。図において、４は円筒状に形成された磁器コンデンサ
であり、複数個備えられる。磁器コンデンサ４の個数は
、例えばエキシマレーザ装置のパルス整形回路として利
用する場合には、必要とするパルス幅から計算して設定
ごれる。これらの複数個の磁器コンデンサ４の各々は、
内周面及び外周面に内周電極４１及び外周型Ｆｊｉ４２
を被着形成すると共に、輔方向の両端面に適当な絶縁被
覆層４３を施し、両端面における沿面絶縁破壊を絶縁被
覆層４３によって防１卜する構造となっている。
５は前記複数個の磁器コンデンサ４の内径部内を、内周
電極４１に圧接して貫通する弾力性のある金属材料で成
る内周電極引出端子である。磁器コンデンサ４の各々は
軸方向に並べられた状態で、この内周電極引出端子５の
ヒで一体的に結合される。−・体内に結合された状態で
は、複数個の磁器コンデンサ４の各々の内周電極４が内
周電極引出端子５の外周面に圧接して電気的に導通する
。内周電極引出端子５に弾力性を持たせるに当って、こ
の実施例では、金属パイプの肉厚部にｌｌｌ１１１方向
に沿う割り５１を設けである。
電極４１に圧接して貫通する弾力性のある金属材料で成
る内周電極引出端子である。磁器コンデンサ４の各々は
軸方向に並べられた状態で、この内周電極引出端子５の
ヒで一体的に結合される。−・体内に結合された状態で
は、複数個の磁器コンデンサ４の各々の内周電極４が内
周電極引出端子５の外周面に圧接して電気的に導通する
。内周電極引出端子５に弾力性を持たせるに当って、こ
の実施例では、金属パイプの肉厚部にｌｌｌ１１１方向
に沿う割り５１を設けである。
］−述のように、本発明においては、内周電極引出端子
５」−で複数個の磁器コンデンサ４を軸方向に結合させ
て行くだけで、必要とする長さが得られるので、エキシ
マレーザ発生装置のパルス整形回路等のように、長い磁
器コンデンサを必要とする場合でも、従来問題となって
いた製造上の技術的困難性を伴うことがない。しかも、
複数個の磁器コンデンサ４の各々の内径部内に弾力性の
ある内周電極引出端子５を密着して嵌合させる構造であ
るから、内周電極４１に内周電極引出端子５の外周面を
電気的に確実に導通させると同時に、組立時の嵌合力ま
たは組立後の熱１膨張収縮による熱的ストレスを内周電
極引出端子５によって吸収し、磁器コンデンサ４の破損
、割れ等を防ＩＩ−することができる。更に、磁器コン
デンサ４の各々を金属パイプで成る内周電極引出端子５
により内側から補強する構造となるので、機械的強度が
増大する。
５」−で複数個の磁器コンデンサ４を軸方向に結合させ
て行くだけで、必要とする長さが得られるので、エキシ
マレーザ発生装置のパルス整形回路等のように、長い磁
器コンデンサを必要とする場合でも、従来問題となって
いた製造上の技術的困難性を伴うことがない。しかも、
複数個の磁器コンデンサ４の各々の内径部内に弾力性の
ある内周電極引出端子５を密着して嵌合させる構造であ
るから、内周電極４１に内周電極引出端子５の外周面を
電気的に確実に導通させると同時に、組立時の嵌合力ま
たは組立後の熱１膨張収縮による熱的ストレスを内周電
極引出端子５によって吸収し、磁器コンデンサ４の破損
、割れ等を防ＩＩ−することができる。更に、磁器コン
デンサ４の各々を金属パイプで成る内周電極引出端子５
により内側から補強する構造となるので、機械的強度が
増大する。
内周電極引出端子５によって軸方向に一体化された磁器
コンデンサの外周面には、金属網体で成る外周電極引出
端子６を套装してあり、該外周電極引出端子６によって
磁器コンデンサ４の各外周型Ｆｉｉ４２を互いに導通接
続させである。
コンデンサの外周面には、金属網体で成る外周電極引出
端子６を套装してあり、該外周電極引出端子６によって
磁器コンデンサ４の各外周型Ｆｉｉ４２を互いに導通接
続させである。
このように、外周電極引出端子６を金属網体によって構
成すると、外周電極４２に電極引出端子６を取伺けるに
当って、磁器コンデンサ４に無理な力が加わることがな
いし、また組立後の熱膨張収縮量の差異に基づく熱的ス
）・レスが、金属網体で構成された外周電極引出端子６
によって吸収されるので、磁器コンデンサ４の破損を防
止することかできる。
成すると、外周電極４２に電極引出端子６を取伺けるに
当って、磁器コンデンサ４に無理な力が加わることがな
いし、また組立後の熱膨張収縮量の差異に基づく熱的ス
）・レスが、金属網体で構成された外周電極引出端子６
によって吸収されるので、磁器コンデンサ４の破損を防
止することかできる。
更に、電気絶縁性を向上させるため、外周電極引出端子
６の１−から熱収縮性絶縁チューブ７を被せ、全体を絶
縁／＼ウシング８内に収納した構造となっている。絶縁
／＼ウジング８内のコンデンサ装置の周囲には、絶縁油
、絶縁カス、シリコンゴム等を漏たし、沿面絶縁破壊を
防１１−シである。ただし、電圧が低い場合は、絶縁ノ
＼ウジング８は省略してもよい。
６の１−から熱収縮性絶縁チューブ７を被せ、全体を絶
縁／＼ウシング８内に収納した構造となっている。絶縁
／＼ウジング８内のコンデンサ装置の周囲には、絶縁油
、絶縁カス、シリコンゴム等を漏たし、沿面絶縁破壊を
防１１−シである。ただし、電圧が低い場合は、絶縁ノ
＼ウジング８は省略してもよい。
本発明の効果
以１−述べたように、本発明に係るコンデンサ装置は、
内周及び外周にそれぞれ電極を被着形成した複数個の円
筒状磁器コンデンサと、該複数個の磁器コンデンサの内
径部内を貫通し、これらを軸方向に結合させると同時に
内周電極を７１、いに導通させる弾力性のある金属製内
周電極引出端子と、前記複数個の誘電体磁器の外周に套
装されて外周電極を！ｊ：いに導通させる外周電極引出
端子とを備えることを特徴とするから、電極取出端子の
剥離または磁器コンデンサの破損もしくは割れ等を生し
ることなく、複数個のものを８黄な個数たけ連結し、８
黄とする長さを自由に選定することが＝Ｔ能であり、エ
キシマレーザ発生装置のパルス整形回路用として好適な
超高圧のコンデンサ装置６を提供することができる。
内周及び外周にそれぞれ電極を被着形成した複数個の円
筒状磁器コンデンサと、該複数個の磁器コンデンサの内
径部内を貫通し、これらを軸方向に結合させると同時に
内周電極を７１、いに導通させる弾力性のある金属製内
周電極引出端子と、前記複数個の誘電体磁器の外周に套
装されて外周電極を！ｊ：いに導通させる外周電極引出
端子とを備えることを特徴とするから、電極取出端子の
剥離または磁器コンデンサの破損もしくは割れ等を生し
ることなく、複数個のものを８黄な個数たけ連結し、８
黄とする長さを自由に選定することが＝Ｔ能であり、エ
キシマレーザ発生装置のパルス整形回路用として好適な
超高圧のコンデンサ装置６を提供することができる。
第４図はエキシマレーザ発生装置の電気回路接続図、第
２図は同じくパルス整形回路の正面断面図、第３図は同
しくその側面断面図、第４図は木考案に係るコンデンサ
装置の１ｆ面断面図、第５図は第４図のＡｌ−Ａ１線十
における断ｌｎｊ図である。 ４・・・磁器コンデンサ ４１・・・内周電極４２・・
・外周電極 ４３・・・絶縁被覆５・・・内周電極
引出端子 ６・・・外周電極引出端子 特許出願人 渡 部 俊 人 部手続補正
書 昭和５９年４月２４日 １、事件の表示 昭和５８年 特許願 第２２１８７４号２、発明の名称 コンデンサ装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 千葉県相市松葉町４−７−６−１０６氏名
顕部 俊太部 ４、代理人 Ｔ１２５ Ｔ１１．０３ （６００）
５０９０住所 東京都葛飾区東金町１丁目３７番２
号５、補正命令の 日付 昭和５９年３月７日
６、補正により増加する発明の数 Ｏ補正の
内容 １、明細書第１０頁第７行から同頁第８行に、「第４図
はエキシマレーザ発生装置の電気回路接続図、」とある
のを、「第１図はエキシマレーザ発生装置の電気回路接
続図、」と補正する。
２図は同じくパルス整形回路の正面断面図、第３図は同
しくその側面断面図、第４図は木考案に係るコンデンサ
装置の１ｆ面断面図、第５図は第４図のＡｌ−Ａ１線十
における断ｌｎｊ図である。 ４・・・磁器コンデンサ ４１・・・内周電極４２・・
・外周電極 ４３・・・絶縁被覆５・・・内周電極
引出端子 ６・・・外周電極引出端子 特許出願人 渡 部 俊 人 部手続補正
書 昭和５９年４月２４日 １、事件の表示 昭和５８年 特許願 第２２１８７４号２、発明の名称 コンデンサ装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 千葉県相市松葉町４−７−６−１０６氏名
顕部 俊太部 ４、代理人 Ｔ１２５ Ｔ１１．０３ （６００）
５０９０住所 東京都葛飾区東金町１丁目３７番２
号５、補正命令の 日付 昭和５９年３月７日
６、補正により増加する発明の数 Ｏ補正の
内容 １、明細書第１０頁第７行から同頁第８行に、「第４図
はエキシマレーザ発生装置の電気回路接続図、」とある
のを、「第１図はエキシマレーザ発生装置の電気回路接
続図、」と補正する。
Claims (4)
- （１） 内周及び外周にそれぞれ電極を被着形成した複
数個の円筒状磁器コンデンサと、該複数個の磁器コンデ
ンサの内径部内を、内周電極に圧接して貫通する弾力性
のある金属材料で成る内周電極引出端子と、前記複数個
の誘電体磁器の外周に套装されて外周電極を互いに導通
させる外周電極引出端子とを備えることを特徴とするコ
ンデンサ装置。 - （２） ｎｉＪ記内周内周電極引出端子厚部に軸方向
に沿う割りを入れることにより弾力性を持たせたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のコンデンサ装
置。 - （３） 前記外周電極引出端子は金属網体で成ることを
特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のコンデンサ装
置。 - （４） 前記複数個の磁器コンデンサの各々は、軸力向
の両端面に絶縁被覆層を有することを特徴とする特許請
求の範囲第１項に記載のコンデンサ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22187483A JPS59175715A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | コンデンサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22187483A JPS59175715A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | コンデンサ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59175715A true JPS59175715A (ja) | 1984-10-04 |
Family
ID=16773531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22187483A Pending JPS59175715A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | コンデンサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59175715A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6038276U (ja) * | 1983-08-25 | 1985-03-16 | 山名 成正 | 底押上式テイシュペ−パ−ケ−ス |
-
1983
- 1983-11-24 JP JP22187483A patent/JPS59175715A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6038276U (ja) * | 1983-08-25 | 1985-03-16 | 山名 成正 | 底押上式テイシュペ−パ−ケ−ス |
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