JPS59168623A - Method of producing ceramic laminated capacitor - Google Patents

Method of producing ceramic laminated capacitor

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JPS59168623A
JPS59168623A JP58043629A JP4362983A JPS59168623A JP S59168623 A JPS59168623 A JP S59168623A JP 58043629 A JP58043629 A JP 58043629A JP 4362983 A JP4362983 A JP 4362983A JP S59168623 A JPS59168623 A JP S59168623A
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ceramic
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羽室 光郎
行雄 坂部
西岡 吾朗
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分訃 この発明は、セラミック積層コンデン4ノーの製造方法
に関するもので、特に、小型大容量のコンデンサを得る
ための製造方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic multilayer capacitor, and more particularly to a method for manufacturing a small-sized, large-capacity capacitor.

先行技術の説明 セラミック積層コンデンサの製造を実施する場合、セラ
ミックスラリ−をドクターブレード等でN膜化し、乾燥
後、パラジウムや銀−パラジウムなどの金属粉末ペース
トを内部電極として印刷し、これらを多数枚積重ねて圧
着し、一体化する。これを、1100℃〜1350℃で
焼成して、磁器化させ、外部電極を塗布して、セラミッ
ク積層コンデンサのチップが得られる。
Description of Prior Art When manufacturing a ceramic multilayer capacitor, a ceramic slurry is made into an N film using a doctor blade, etc., and after drying, a metal powder paste such as palladium or silver-palladium is printed as an internal electrode, and many sheets of these are printed. Stack and crimp to integrate. This is fired at 1,100° C. to 1,350° C. to make it porcelain, and external electrodes are applied thereto to obtain a ceramic multilayer capacitor chip.

上述のような製造工程の中間段階において(qられる内
部電極を印刷したセラミックグリーンシートは第1図に
示されている。第1図において、1はセラミックグリー
ンシートであり、2ぼ内部電極である。
A ceramic green sheet printed with internal electrodes at an intermediate stage of the manufacturing process as described above is shown in Figure 1. In Figure 1, 1 is a ceramic green sheet and 2 is an internal electrode. .

上述した製造工程において、特にセラミックグリーンシ
ートの製造の局面について詳しく説明すると、次のとお
りである。鏡面のステンレス板またはプラスナックテー
プ上に、ドクターブレードで、誘電体粉末とバインダ、
分散剤、溶剤の混合液であるスラリーを塗工し、乾燥後
、剥離して、厚み35〜60μmのセラミックグリーン
シートを得ていた。コンデンサの単位体積あたりの静電
容量は、セラミック誘電体の誘電率、内部電極の総面積
、一層あたりの誘電体層の厚みの2乗により定まるが、
小形で大容量のコンデンサを得るためには、誘電体層の
厚みを薄くする必要がある。
In the above manufacturing process, the aspects of manufacturing the ceramic green sheet will be described in detail as follows. Using a doctor blade, apply the dielectric powder and binder onto a mirrored stainless steel plate or plastic snack tape.
A slurry, which is a mixture of a dispersant and a solvent, was applied, dried, and peeled off to obtain a ceramic green sheet with a thickness of 35 to 60 μm. The capacitance per unit volume of a capacitor is determined by the dielectric constant of the ceramic dielectric, the total area of the internal electrodes, and the square of the thickness of each dielectric layer.
In order to obtain a small capacitor with a large capacity, it is necessary to reduce the thickness of the dielectric layer.

しかしながら、以下の理由から、従来、セラミックグリ
ーンシートの厚みは、35μm程度が限度であった。す
なわち、この限界よりさらに薄くすると、 (1)セラミックグリーンシート中の微小欠陥、たとえ
ばピンホールが電極間をショートさせるといった致命的
な不良に発展すること、 (2)セラミックグリーンシートの引張強度か弱くなっ
て取り扱い性が悪く、セラミックグリーンシートの剥離
や、内部電極の印刷や、セラミックグリーンシートの乾
燥などを連続したシート状態で自動的に加工すること等
ができないこと、および (3)内部電極ペーストの溶剤浸透によるセラミックグ
リーンシートの変形が生じ、後工程で不都合が生じるこ
と、 などである。
However, for the following reasons, the thickness of ceramic green sheets has conventionally been limited to about 35 μm. In other words, if the ceramic green sheet is made thinner than this limit, (1) micro defects in the ceramic green sheet, such as pinholes, will develop into fatal defects such as shorting between electrodes, and (2) the tensile strength of the ceramic green sheet will weaken. (3) It is difficult to handle the internal electrode paste, and it is not possible to automatically perform processes such as peeling off the ceramic green sheet, printing internal electrodes, and drying the ceramic green sheet in a continuous sheet state. The ceramic green sheet may be deformed due to solvent penetration, causing inconvenience in subsequent processes.

発明の目的 それゆえに、この発明の目的は、セラミックグリーンシ
ートの取扱いに際して、それが極めて薄い状態であって
も、引張強度が向上され、内部電極の印刷や、セラミッ
クグリーンシートの乾燥工程などの自動化を可能にする
、セラミック積層コンデンサの製造方法を提供すること
である。
Purpose of the Invention Therefore, the purpose of the present invention is to improve the tensile strength when handling ceramic green sheets even when they are extremely thin, and to automate the printing of internal electrodes and the drying process of ceramic green sheets. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic multilayer capacitor that enables the following.

この発明の他の目的は、セラミックグリーンシート中の
微小欠陥による致命的な欠陥への発展を最小限に留める
ことができるセラミック積層コンデンサの製造方法を提
供することである。
Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic multilayer capacitor that can minimize the development of minute defects in ceramic green sheets into fatal defects.

この発明のさらに他の目的は、内部電極が印刷された後
において変形を生じることが防止されるセラミック積層
コンデンサの製造方法を提供することである。
Still another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic multilayer capacitor in which deformation of internal electrodes after printing is prevented.

発明の概要 この発明では、次のようなステップを踏んでセラミック
積層コンデンサが得られる。まず、セラミックスラリ−
中のバインダと密着性の良いたとえばポリエステルフィ
ルム(第2図・・・「3」)が用意される。この樹脂フ
ィルムは、できるだけ薄い方が好ましいが、引張強度と
の関連でその厚みが決定される。たとえば、ポリエステ
ルの樹脂フィルムの場合には、厚み1.5〜14μm程
度のものが用いられる。このような樹脂フィルムの両面
に、セラミックスラリ−の層(第2図・・・「1」)が
形成され、3層構造シー1−(第2図・・・「4」)と
される。セラミックスラリ−の層を形成する方法として
は、ドクターブレード法を樹脂フィルムの両面にそれぞ
れ適用することによっても可能であるが、セラミックス
ラリ−中に樹脂フィルムを通づ引き上げ法は、同時に樹
脂フィルムの両面にセラミックスラリ−の層を形成でき
る点で能率的である。この3層溝造シート4は適宜乾燥
される。
Summary of the Invention In the present invention, a ceramic multilayer capacitor is obtained through the following steps. First, ceramic slurry
For example, a polyester film ("3" in FIG. 2), which has good adhesion to the binder inside, is prepared. Although it is preferable for this resin film to be as thin as possible, its thickness is determined in relation to tensile strength. For example, in the case of a polyester resin film, one having a thickness of about 1.5 to 14 μm is used. Ceramic slurry layers (FIG. 2..."1") are formed on both surfaces of such a resin film, resulting in a three-layer structure sheet 1-(FIG. 2..."4"). The layer of ceramic slurry can be formed by applying the doctor blade method to both sides of the resin film, but the pulling method, which involves passing the resin film through the ceramic slurry, simultaneously forms the layer of the resin film. It is efficient in that a layer of ceramic slurry can be formed on both sides. This three-layer grooved sheet 4 is dried as appropriate.

次に、セラミックスラリ−の層を樹脂フィルムから剥離
することなく、このような3層構造シートの一方面に内
部電極(第2図・・・「2」)が形成される。この内部
電極は、好ましくは、自動印刷され、印刷された内部電
極の乾燥が行なわれる。その後、この3層1N造シート
を複数枚、従来の場合と同様に、内部電極が交互に異な
る端部に導出されるように積重ねられ、必要に応じて圧
力により一体化される。これを焼成することにより、各
3層Frl造シートの中間に位置していた樹脂フィルム
は燃失する。樹脂フィルムがある厚み以下であれば、そ
れが存在していた層は、樹脂フィルムの燃失と同時に、
上下のセラミックが一体的に接合され実質的には隙間層
として残らない。上述のようにして得られた積層焼結体
の端面に内部電極と電気的に接続する外部電極を形成し
て、セラミック積層コンデンサチップを得る。
Next, an internal electrode ("2" in FIG. 2) is formed on one side of such a three-layer structure sheet without peeling off the ceramic slurry layer from the resin film. The internal electrodes are preferably automatically printed and the printed internal electrodes are dried. Thereafter, as in the conventional case, a plurality of these three-layer 1N sheets are stacked so that the internal electrodes are alternately led out from different ends, and are integrated by pressure if necessary. By firing this, the resin film located in the middle of each three-layer Frl sheet is burnt out. If the thickness of the resin film is below a certain level, the layer in which it existed will burn out at the same time as the resin film.
The upper and lower ceramics are integrally bonded and virtually no gap layer remains. An external electrode electrically connected to the internal electrode is formed on the end face of the multilayer sintered body obtained as described above to obtain a ceramic multilayer capacitor chip.

発明の効果 この発明によれば、機械的に軟弱な簿膜のセラミックグ
リーンシートの取扱いは、樹脂フィルムを介在させた状
態の3層構造シートとして行なうことがCきるため、引
張強度を高めることができ、取扱いが容易となり、内部
電極の印刷や、セラミックグリーンシートの乾燥工程を
自動化することも容易どなる。また、このような取扱い
上の有利さから、セラミック誘電体層の厚みも当然薄く
することが可能となり、小形r大容量のセラミック積層
コンデンサの製造が可能となる。たとえば、従来のセラ
ミックグリーンシートの引張強疾は、平均、20〜40
0/mm2であったのに対し、この発明による3層構造
シートでは、10000〜20000(]/mm2まで
上げることが可能となった。また、セラミックグリーン
シートの形成が、樹脂フィルムを介在させた、いわば2
層に分けて行なわれるので、各2層において発生する微
小欠陥が、厚み方向に整列する確率は極めて稀となり、
目通ピンホールの発生という致命的な欠陥をはと/νど
零にすることができる。
Effects of the Invention According to this invention, the mechanically weak ceramic green sheet can be handled as a three-layer structure sheet with a resin film interposed, so that the tensile strength can be increased. It is easy to handle, and it is easy to automate the printing of internal electrodes and the drying process of ceramic green sheets. Further, due to such advantages in handling, it is naturally possible to reduce the thickness of the ceramic dielectric layer, and it becomes possible to manufacture a small-sized, large-capacity ceramic multilayer capacitor. For example, the average tensile strength of conventional ceramic green sheets is 20 to 40
0/mm2, but with the three-layer sheet according to the present invention, it has become possible to increase it to 10,000 to 20,000(]/mm2.In addition, the formation of the ceramic green sheet requires the interposition of a resin film. , so to speak 2
Since the process is carried out in layers, the probability that the micro defects occurring in each two layers will line up in the thickness direction is extremely rare.
The fatal defect of pinhole formation can be reduced to zero.

実施例の説明 sa T+  Os 89重量%、ca zr o−1
0%量%、およびMQ Ti Oa 1.0%量%より
なる高誘電率誘電体組成物粉末に、有機バインダとして
アクリル水溶系バインダ10%と、分散剤0.1%を添
加し、等重用の純水を用いて、湿式混合を12時間行な
った。行られたスラリーを真空容器内で脱泡した後、ス
テンレス製の容器に移した。次に、後の第1表で示すよ
うな1.5〜20μ■の範囲の各厚みを右し、幅15c
amのポリエステルフィルムを、上述のステンレス容器
中のスラリー中に通し、垂直に一定速度で引上げ、ポリ
エステルフィルムの両面に均一なスラリーの層を形成し
た。このスラリーは、熱乾燥さ4し、ポリエステルフィ
ルム(3)の両面にそれぞれセラミックグリーンシート
(1)が密着した3 RIt 造シート<4)が得られ
た(第3図)。この3層構造シー1〜におけるセラミッ
クグリーンシートの厚みは、それぞれ、第1表に示すと
おりである。これらの3層構造シート(4)は、金型に
より7.0X10.0cmの長方形に打抜かれ、これに
スクリーン印刷機により、パラジウムペーストを印刷し
て内部電極(2)を形成しく第3図)、乾燥後、交互に
対向した内部電極となるようにし−C1印刷済の3層構
造シート(4)10枚と、上下に印刷されていない3層
構造シー1〜(4a)各10枚を積重ねた(第4図)。
Description of Examples sa T+ Os 89% by weight, ca zr o-1
10% of an acrylic water-soluble binder as an organic binder and 0.1% of a dispersant were added to a high permittivity dielectric composition powder consisting of 0% mass% and MQ Ti Oa 1.0% mass%, and Wet mixing was performed for 12 hours using pure water. The resulting slurry was defoamed in a vacuum container and then transferred to a stainless steel container. Next, as shown in Table 1 below, each thickness in the range of 1.5 to 20μ■ is set, and the width is 15cm.
am polyester film was passed through the slurry in the above-mentioned stainless steel container and pulled up vertically at a constant speed to form a uniform layer of slurry on both sides of the polyester film. This slurry was heat-dried to obtain a 3 RIt sheet (Figure 3) in which the ceramic green sheets (1) were adhered to both sides of the polyester film (3). The thicknesses of the ceramic green sheets in these three-layer structure sheets 1 to 1 are as shown in Table 1. These three-layer structure sheets (4) were punched into a rectangle of 7.0 x 10.0 cm using a mold, and palladium paste was printed on this using a screen printer to form internal electrodes (2) (Figure 3). After drying, stack 10 sheets of 3-layer structure sheets (4) printed with -C1 and 10 sheets each of 3-layer structure sheets 1 to 4a (not printed on top and bottom) so that the internal electrodes alternately face each other. (Figure 4).

これを、金型中に入れ、40・−80’C,0,5〜2
ton /cm7の条件で圧着し、一体化させた。一体
化した@囲体から、コンデンサの単一素子をたとえば第
4図の切断線(5)に沿ってブレードで切り出し、20
0〜500℃で5〜15時間の条件で、バインダを燃焼
さけた後、1340℃で2時間焼成して、磁器化させた
。焼成後のチップ(6)に、外部電極く7)としく銀ペ
ーストを塗布しく第5図)、800’C″c焼付けた。
Put this in a mold, 40.-80'C, 0.5~2
They were crimped and integrated under the conditions of ton/cm7. For example, cut out a single element of a capacitor from the integrated enclosure with a blade along the cutting line (5) in FIG.
After avoiding burning the binder at 0 to 500°C for 5 to 15 hours, it was fired at 1340°C for 2 hours to form porcelain. After firing, a silver paste was applied to the chip (6) as an external electrode (7) and baked at 800'C''c (Fig. 5).

このチップの寸法は、厚み0、2〜0.5n+m、縦5
.QIRIII、横4.OLIlmであった。
The dimensions of this chip are thickness 0.2~0.5n+m, height 5.
.. QIRIII, horizontal 4. It was OLIlm.

このようにして得られる各試料についての特性が、第1
表に示される。第1表において、各試料のポリエステル
フィルムの厚み(μl11)、セラミックグリーンシー
トの両面合計厚み(μm)、セラミックグリーンシート
のI Cm@あたりの引張強度(k(+>、セラミック
グリーンシート中に発生したスルーホール欠陥数(15
cmx1mあたり)、焼成後のWi層体内の層状欠陥(
デラミネーション)発生数(試料個数100個あたりの
発生数)、焼成後の誘電体1層の厚み(μm)、平均静
電容量が示される。各試料は、100個用意され、第1
表中の数値は、その平均値を表わしている。
The characteristics of each sample obtained in this way are
Shown in the table. In Table 1, the thickness of the polyester film of each sample (μl11), the total thickness of both sides of the ceramic green sheet (μm), the tensile strength per I Cm of the ceramic green sheet (k(+>), Number of through-hole defects (15
cm x 1 m), layer defects in the Wi layer after firing (
The number of occurrences (delamination) (number of occurrences per 100 samples), the thickness (μm) of one dielectric layer after firing, and the average capacitance are shown. 100 pieces of each sample were prepared, and the first
The numerical values in the table represent the average values.

なお、比較例として、従来の製造方法によるセラミック
積層コンデンサのいくつかの試料についての同様のデー
タを測定し、これを第2表に示づ。
As a comparative example, similar data were measured for several samples of ceramic multilayer capacitors manufactured using conventional manufacturing methods, and are shown in Table 2.

第  1  表 第−U 第1表に示したデータから明らかなように、ポリエステ
ルフィルムは薄い方が好ましい。ポリエステルフィルム
が14μmより厚いと、半数以上の焼結体内に層状欠陥
(デラミネーション)が生じ、静電容量が設計通りに得
られなくなることがある。また、第1表と第2表との対
比から明らかなように、従来の方法による場合のセラミ
ックグリーンシートの強度は、この発明によるセラミッ
クグリーンシートの強度に比べて、1桁以上弱く、自動
印刷工程に対して不適当であり、また、30μm以下の
薄いシートでは、微小な貫通ピンホール欠陥数が多く、
完成品にした場合、ショート不良発生頻度が高い。
Table 1-U As is clear from the data shown in Table 1, the thinner the polyester film, the better. If the polyester film is thicker than 14 μm, layer defects (delamination) will occur in more than half of the sintered bodies, and the capacitance as designed may not be obtained. Furthermore, as is clear from the comparison between Table 1 and Table 2, the strength of the ceramic green sheet produced by the conventional method is more than an order of magnitude weaker than the strength of the ceramic green sheet produced by the present invention. It is unsuitable for the process, and thin sheets of 30 μm or less have a large number of minute through pinhole defects.
When made into a finished product, short-circuit defects occur frequently.

上述の実施例の説明では、樹脂フィルムとして、ポリエ
ステルフィルムが用いられた。このポリエステルフィル
ムは、引張強度が高く、耐熱性の点において他の樹脂フ
ィルムに比べて優れている。
In the description of the above examples, a polyester film was used as the resin film. This polyester film has high tensile strength and is superior to other resin films in terms of heat resistance.

そのため、たとえばセラミックスラリ−の層の乾燥時に
おける耐熱性にも優れていることになり、寸法安定性を
保有したまま、セラミックスラリ−の層を薄くすること
ができるという利点がある。
Therefore, for example, the ceramic slurry layer has excellent heat resistance during drying, and there is an advantage that the ceramic slurry layer can be made thin while maintaining dimensional stability.

したがって、内部電極間に介在する誘電体の層を薄くす
ることができ、結果として、大容吊を得ることができる
のである。しかしながら、樹脂フィルムは、このような
ポリエステルフィルムには限らず、仙の材料からなる樹
脂フィルム、たとえば、ポリエチレンなとのフィルムで
あってもよい。
Therefore, the dielectric layer interposed between the internal electrodes can be made thinner, and as a result, a larger capacity can be obtained. However, the resin film is not limited to such a polyester film, and may be a resin film made of a suitable material, such as a polyethylene film.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の方法によるセラミック積層コンデンサの
積層体の一構成要素である内部電極が形成されたセラミ
ックグリーンシートを示す斜視図である。第2図はこの
発明の実施により得られるセラミック積層コンデンサの
一構成要素である内部電極が形成されたセラミックグリ
ーンシートを示す斜視図である。第3図ないし第5図は
、この発明によってセラミック積層コンデンサを得るた
めの工程を順次示すものであって、第3図は内部電極を
付与した1枚のセラミックグリーンシー]〜の断面図、
第4図はこれらを複数枚重ね一体化したブロックの断面
図、第5図は第4図中の切断線5で切断し焼成された単
一チップに外部電極を設けた積層コンデンサの断面図で
ある。 図において、1はセラミックグリーンシートまたはスラ
リーの層、2は内部電極、3は樹脂フィルムまたはポリ
エステルフィルム、4は3層椙造シート、6はコンデン
サチップ、7は外部電極である。
FIG. 1 is a perspective view showing a ceramic green sheet on which internal electrodes, which are one component of a laminate of a ceramic multilayer capacitor, are formed by a conventional method. FIG. 2 is a perspective view showing a ceramic green sheet on which internal electrodes, which are one component of a ceramic multilayer capacitor, are formed according to the present invention. 3 to 5 sequentially show the steps for obtaining a ceramic multilayer capacitor according to the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of one ceramic green sheet provided with internal electrodes;
Figure 4 is a cross-sectional view of a block made by stacking and integrating multiple layers of these, and Figure 5 is a cross-sectional view of a multilayer capacitor in which external electrodes are provided on a single chip cut and fired along cutting line 5 in Figure 4. be. In the figure, 1 is a ceramic green sheet or a layer of slurry, 2 is an internal electrode, 3 is a resin film or polyester film, 4 is a three-layered sheet, 6 is a capacitor chip, and 7 is an external electrode.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 セラミックスラリ−中のバインダとの密着性の良い樹脂
フィルムを用意し、 前記樹脂フィルムの両面にセラミックスラリ−の層を形
成して5WIJ栴造シートとし、前記3層構造シー1〜
の一方面に内部電極を形成し、 前記内部電極が形成された3j!iI造シー1へを、前
記内部電極が交互に異なる端部に導出されるように、複
数枚積層して積層体とし、 前記積層体を焼成すると同時に前記樹脂フィルムを燃焼
させて複数の内部電極を含有する磁器焼結体とし、 前記焼成されたfI層体の外表面に前記内部電極と電気
的に接続される外部電極を形成するセラミック積層コン
デンサの製造方法。
[Claims] A resin film having good adhesion to a binder in a ceramic slurry is prepared, and a layer of ceramic slurry is formed on both sides of the resin film to form a 5WIJ Seizo sheet, and the three-layer structure sheet is 1~
An internal electrode is formed on one side of 3j! on which the internal electrode is formed. A plurality of sheets are laminated to form a laminate so that the internal electrodes are alternately led out to different ends of the iI manufactured sheet 1, and the resin film is burned at the same time as the laminate is fired to form a plurality of internal electrodes. A method for manufacturing a ceramic multilayer capacitor, comprising: forming a ceramic sintered body containing: an external electrode electrically connected to the internal electrode on the outer surface of the fired fI layer body;
JP58043629A 1983-03-14 1983-03-14 Method of producing ceramic laminated capacitor Granted JPS59168623A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63176147A (en) * 1987-01-19 1988-07-20 日本電気株式会社 Manufacture of laminate from electrode-forming ceramic green sheet
JP2022073499A (en) * 2020-11-02 2022-05-17 慧隆科技股▲ふん▼有限公司 Multilayer capacitor and manufacturing method for the same

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