JPS6258646B2 - - Google Patents

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JPS6258646B2
JPS6258646B2 JP58043629A JP4362983A JPS6258646B2 JP S6258646 B2 JPS6258646 B2 JP S6258646B2 JP 58043629 A JP58043629 A JP 58043629A JP 4362983 A JP4362983 A JP 4362983A JP S6258646 B2 JPS6258646 B2 JP S6258646B2
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JP
Japan
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ceramic
resin film
ceramic green
layer structure
layer
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JP58043629A
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Japanese (ja)
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Mitsuo Hamuro
Yukio Sakabe
Goro Nishioka
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

発明の分野 この発明は、セラミツク積層コンデンサの製造
方法に関するもので、特に、小型大容量のコンデ
ンサを得るための製造方法に関するものである。 先行技術の説明 セラミツク積層コンデンサの製造を実施する場
合、セラミツクスラリーをドクターブレード等で
薄膜化し、乾燥後、パラジウムや銀−パラジウム
などの金属粉末ペーストを内部電極として印刷
し、これらを多数枚積重ねて圧着し、一体化す
る。これを、1100℃〜1350℃で焼成して、磁器化
させ、外部電極を塗布して、セラミツク積層コン
デンサのチツプが得られる。 上述のような製造工程の中間段階において得ら
れる内部電極を印刷したセラミツクグリーンシー
トは第1図に示されている。第1図において、1
はセラミツクグリーンシートであり、2は内部電
極である。 上述した製造工程において、特にセラミツクグ
リーンシートの製造の局面について詳しく説明す
ると、次のとおりである。鏡面のステンレス板ま
たはプラスチツクテープ上に、ドクターブレード
で、誘電体粉末とバインダ、分散剤、溶剤の混合
液であるスラリーを塗工し、乾燥後、剥離して、
厚み35〜60μmのセラミツクグリーンシートを得
ていた。コンデンサの単位体積あたりの静電容量
は、セラミツク誘電体の誘電率、内部電極の総面
積、一層あたりの誘電体層の厚みの2乗により定
まるが、小形で大容量のコンデンサを得るために
は、誘電体層の厚みを薄くする必要がある。しか
しながら、以下の理由から、従来、セラミツクグ
リーンシートの厚みは、35μm程度が限度であつ
た。すなわち、この限界よりさらに薄くすると、 (1) セラミツクグリーンシート中の微小欠陥、た
とえばピンホールが電極間をシヨートさせると
いつた致命的な不良に発展すること、 (2) セラミツクグリーンシートの引張強度が弱く
なつて取り扱い性が悪く、セラミツクグリーン
シートの剥離や、内部電極の印刷や、セラミツ
クグリーンシートの乾燥などを連続したシート
状で自動的に加工すること等ができないこと、
および (3) 内部電極ペーストの溶剤浸透によるセラミツ
クグリーンシートの変形が生じ、後工程で不都
合が生じること、 などである。 発明の目的 それゆえに、この発明の目的は、セラミツクグ
リーンシートの取扱いに際して、それが極めて薄
い状態であつても、引張強度が向上され、内部電
極の印刷や、セラミツクグリーンシートの乾燥工
程などの自動化を可能にする。セラミツク積層コ
ンデンサの製造方法を提供することである。 この発明の他の目的は、セラミツクグリーンシ
ート中の微小欠陥による致命的な欠陥への発展を
最小限に留めることができるセラミツク積層コン
デンサの製造方法を提供することである。 この発明のさらに他の目的は、内部電極が印刷
された後において変形を生じることが防止される
セラミツク積層コンデンサの製造方法を提供する
ことである。 発明の概要 この発明では、次のようなステツプを踏んでセ
ラミツク積層コンデンサが得られる。まず、セラ
ミツクスラリー中のバインダと密着性の良いたと
えばポリエステルフイルム(第2図…3)が用意
される。この樹脂フイルムは、できるだけ薄い方
が好ましいが、引張強度との関連でその厚みが決
定される。たとえば、ポリエステルの樹脂フイル
ムの場合には、厚み1.5〜14μm程度のものが用
いられる。このような樹脂フイルムの両面に、セ
ラミツクスラリーの層(第2図…1)が形成さ
れ、3層構造シート(第2図4)とされる。セラ
ミツクスラリーの層を形成する方法としては、ド
クターブレード法を樹脂フイルムの両面にそれぞ
れ適用することによつても可能であるが、セラミ
ツクスラリー中に樹脂フイルムを通す引き上げ法
は、同時に樹脂フイルムの両面にセラミツクスラ
リーの層を形成できる点で能率的である。この3
層構造シート4は適宜乾燥される。次に、セラミ
ツクスラリーの層を樹脂フイルムから剥離するこ
となく、このような3層構造シートの一方面に内
部電極(第2図…2)が形成される。この内部電
極は、好ましくは、自動印刷され、印刷された内
部電極の乾燥が行なわれる。その後、この3層構
造シートを複数枚、従来の場合と同様に、内部電
極が交互に異なる端部に導出されるように積重ね
られ、必要に応じて圧力により一体化される。こ
れを焼成することにより、各3層構造シートの中
間に位置していた樹脂フイルムは燃失する。樹脂
フイルムがある厚み以下であれば、それが存在し
ていた層は、樹脂フイルムの燃失と同時に、上下
のセラミツクが一体的に接合され実質的には隙間
層として残らない。上述のようにして得られた積
層焼結体の端面に内部電極と電気的に接続する外
部電極を形成して、セラミツク積層コンデンサチ
ツプを得る。 発明の効果 この発明によれば、機械的に軟弱な薄膜のセラ
ミツクグリーンシートの取扱いは、樹脂フイルム
を介在させた状態の3層構造シートとして行なう
ことができるため、引張強度を高めることがで
き、取扱いが容易となり、内部電極の印刷や、セ
ラミツクグリーンシートの乾燥工程を自動化する
ことも容易となる。また、このような取扱い上の
有利さから、セラミツク誘電体層の厚みも当然薄
くすることが可能となり、小形で大容量のセラミ
ツク積層コンデンサの製造が可能となる。たとえ
ば、従来のセラミツクグリーンシートの引張強度
は、平均、20〜40g/mm2であつたのに対し、この
発明による3層構造シートでは、10000〜20000
g/mm2まで上げることが可能となつた。また、セ
ラミツクグリーンシートの形成が、樹脂フイルム
を介在させた、いわば2層に分けて行なわれるの
で、各2層において発生する微小欠陥が、厚み方
法に整列する確率は極めて稀となり、貫通ピンホ
ールの発生という致命的な欠陥をほとんど零にす
ることができる。 実施例の説明 BaTiO389重量%、CaZrO310重量%、および
MgTiO31.0重量%よりなる高誘電率誘電体組成物
粉末に、有機バインダとしてアクリル水溶系バイ
ンダ10%と、分散剤0.1%を添加し、等重量の純
水を用いて、湿式混合を12時間行なつた。得られ
たスラリーを真空容器内で脱泡した後、ステンレ
ス製の容器に移した。次に、後の第1表で示すよ
うな1.5〜20μmの範囲の各厚みを有し、幅15cm
のポリエステルフイルムを、上述のステンレス容
器中のスラリー中に通し、垂直に一定速度で引上
げ、ポリエステルフイルムの両面に均一なスラリ
ーの層を形成した。このスラリーは、熱乾燥さ
れ、ポリエステルフイルム3の両面にそれぞれセ
ラミツクグリーンシート1が密着した3層構造シ
ート4が得られた(第3図)。この3層構造シー
トにおけるセラミツクグリーンシートの厚みは、
それぞれ、第1表に示すとおりである。これらの
3層構造シート4は、金型により7.0×10.0cmの
長方形に打抜かれ、これにスクリーン印刷機によ
り、パラジウムペーストを印刷して内部電極2を
形成し(第3図)、乾燥後、交互に対向した内部
電極となるようにして、印刷済の3層構造シート
410枚と、上下に印刷されていない3層構造シー
ト4a各10枚を積重ねた(第4図)。これを、金
型中に入れ、40〜80℃、0.5〜2ton/cm2の条件で
圧着し、一体化させた。一体化した積層体から、
コンデンサの単一素子をたとえば第4図の切断線
5に沿つてブレードで切り出し、200〜500℃で5
〜15時間の条件で、バインダを燃焼させた後、
1340℃で2時間焼成して、磁器化させた。焼成後
のチツプ6に、外部電極7として銀ペーストを塗
布し(第5図)、800℃で焼付けた。このチツプの
寸法は、厚み0.2〜0.5mm、縦5.0mm、横4.0mmであ
つた。 このようにして得られる各試料についての特性
が、第1表に示される。第1表において、各試料
のポリエステルフイルムの厚み(μm)、セラミ
ツクグリーンシートの両面合計厚み(μm)、セ
ラミツクグリーンシートの1cm幅あたりの引張強
度(Kg)、セラミツクグリーンシート中に発生し
たスルーホール欠陥数(15cm×1mあたり)、焼成
後の積層体内の層状欠陥(デラミネーシヨン)発
生数(試料個数100個あたりの発生数)、焼成後の
誘電体1層の厚み(μm)、平均静電容量が示さ
れる。各試料は、100個用意され、第1表中の数
値は、その平均値を表わしている。 なお、比較例として、従来の製造方法によるセ
ラミツク積層コンデンサのいくつかの試料につい
ての同様のデータを測定し、これを第2表に示
す。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a ceramic multilayer capacitor, and particularly to a method of manufacturing a small-sized, large-capacity capacitor. Explanation of Prior Art When manufacturing ceramic multilayer capacitors, ceramic slurry is made into a thin film using a doctor blade, etc., and after drying, metal powder paste such as palladium or silver-palladium is printed as internal electrodes, and a large number of these are stacked. Crimp and integrate. This is fired at 1100°C to 1350°C to turn it into porcelain, and external electrodes are applied to obtain ceramic multilayer capacitor chips. A ceramic green sheet printed with internal electrodes obtained at an intermediate stage of the manufacturing process as described above is shown in FIG. In Figure 1, 1
is a ceramic green sheet, and 2 is an internal electrode. In the above-mentioned manufacturing process, the aspects of manufacturing the ceramic green sheet will be explained in detail as follows. A slurry, which is a mixture of dielectric powder, binder, dispersant, and solvent, is applied onto a mirrored stainless steel plate or plastic tape using a doctor blade, and then peeled off after drying.
Ceramic green sheets with a thickness of 35 to 60 μm were obtained. The capacitance per unit volume of a capacitor is determined by the dielectric constant of the ceramic dielectric, the total area of the internal electrodes, and the square of the thickness of each dielectric layer, but in order to obtain a small capacitor with large capacity, , it is necessary to reduce the thickness of the dielectric layer. However, for the following reasons, the thickness of ceramic green sheets has conventionally been limited to about 35 μm. In other words, if the ceramic green sheet is made thinner than this limit, (1) micro defects in the ceramic green sheet, such as pinholes, will develop into fatal defects such as shortening between the electrodes, and (2) the tensile strength of the ceramic green sheet will decrease. The ceramic green sheets become weak and difficult to handle, and it is not possible to automatically perform processes such as peeling off the ceramic green sheets, printing internal electrodes, and drying the ceramic green sheets in a continuous sheet form.
and (3) deformation of the ceramic green sheet due to penetration of the solvent into the internal electrode paste, causing inconvenience in subsequent processes. Purpose of the Invention Therefore, the purpose of the present invention is to improve the tensile strength when handling ceramic green sheets even when they are extremely thin, and to automate the printing of internal electrodes and the drying process of ceramic green sheets. enable. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic multilayer capacitor. Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic multilayer capacitor that can minimize the development of minute defects in ceramic green sheets into fatal defects. Still another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic multilayer capacitor in which deformation of the internal electrodes after printing is prevented. Summary of the Invention In this invention, a ceramic multilayer capacitor can be obtained by following the steps below. First, a polyester film (FIG. 2...3), which has good adhesion to the binder in the ceramic slurry, is prepared. Although it is preferable for this resin film to be as thin as possible, its thickness is determined in relation to tensile strength. For example, in the case of a polyester resin film, one having a thickness of about 1.5 to 14 μm is used. A layer of ceramic slurry (FIG. 2...1) is formed on both surfaces of such a resin film to form a three-layer structure sheet (FIG. 2, 4). A layer of ceramic slurry can be formed by applying the doctor blade method to both sides of the resin film, but the pulling method, in which the resin film is passed through the ceramic slurry, can simultaneously apply the doctor blade method to both sides of the resin film. It is efficient in that a layer of ceramic slurry can be formed on the surface. This 3
The layered structure sheet 4 is dried as appropriate. Next, an internal electrode (FIG. 2...2) is formed on one side of such a three-layer structure sheet without peeling off the ceramic slurry layer from the resin film. The internal electrodes are preferably automatically printed and the printed internal electrodes are dried. Thereafter, as in the conventional case, a plurality of sheets having this three-layer structure are stacked so that the internal electrodes are alternately led out from different ends, and are integrated by pressure if necessary. By firing this, the resin film located in the middle of each three-layer structure sheet is burnt out. If the thickness of the resin film is less than a certain thickness, the layer in which it existed will be joined together with the upper and lower ceramics at the same time as the resin film burns out, and will not substantially remain as a gap layer. External electrodes electrically connected to internal electrodes are formed on the end faces of the laminated sintered body obtained as described above to obtain ceramic laminated capacitor chips. Effects of the Invention According to the present invention, since the mechanically weak thin ceramic green sheet can be handled as a three-layer structure sheet with a resin film interposed, the tensile strength can be increased. It is easier to handle, and it is also easier to automate the printing of internal electrodes and the drying process of ceramic green sheets. Further, due to such advantages in handling, it is naturally possible to reduce the thickness of the ceramic dielectric layer, and it becomes possible to manufacture a small-sized, large-capacity ceramic multilayer capacitor. For example, while the average tensile strength of conventional ceramic green sheets was 20 to 40 g/ mm2 , the three-layer structure sheet according to the present invention has a tensile strength of 10,000 to 20,000 g/mm2.
It has now become possible to increase it to g/mm 2 . In addition, since the ceramic green sheet is formed in two layers with a resin film interposed between them, the probability that micro defects occurring in each two layers are aligned in the thickness direction is extremely rare, resulting in penetrating pinholes. The fatal defect of occurrence of this can be reduced to almost zero. DESCRIPTION OF EXAMPLE BaTiO 3 89% by weight, CaZrO 3 10% by weight, and
10% of an acrylic water-soluble binder as an organic binder and 0.1% of a dispersant were added to a high permittivity dielectric composition powder consisting of 1.0% by weight of MgTiO 3 and wet-mixed for 12 hours using an equal weight of pure water. I did it. The obtained slurry was defoamed in a vacuum container and then transferred to a stainless steel container. Next, each thickness is in the range of 1.5 to 20 μm as shown in Table 1 later, and the width is 15 cm.
A polyester film was passed through the slurry in the stainless steel container described above and pulled up vertically at a constant speed to form a uniform layer of slurry on both sides of the polyester film. This slurry was heat-dried to obtain a three-layer structure sheet 4 in which the ceramic green sheets 1 were adhered to both sides of the polyester film 3 (FIG. 3). The thickness of the ceramic green sheet in this three-layer structure sheet is
Each is as shown in Table 1. These three-layer structure sheets 4 were punched into a rectangle of 7.0 x 10.0 cm using a mold, and palladium paste was printed on this using a screen printer to form internal electrodes 2 (Fig. 3). After drying, 410 printed three-layer structure sheets and 10 each of unprinted three-layer structure sheets 4a on top and bottom were stacked so that internal electrodes were alternately opposed (FIG. 4). This was put into a mold and crimped under conditions of 40 to 80°C and 0.5 to 2 ton/cm 2 to integrate. From the integrated laminate,
For example, a single element of a capacitor is cut out with a blade along cutting line 5 in Fig. 4, and heated at 200 to 500°C.
After burning the binder under conditions of ~15 hours,
It was fired at 1340°C for 2 hours to form porcelain. After firing, a silver paste was applied to the chip 6 as an external electrode 7 (FIG. 5), and the chip 6 was fired at 800°C. The dimensions of this chip were 0.2 to 0.5 mm thick, 5.0 mm long, and 4.0 mm wide. The properties of each sample thus obtained are shown in Table 1. In Table 1, the thickness of the polyester film of each sample (μm), the total thickness of both sides of the ceramic green sheet (μm), the tensile strength per 1 cm width of the ceramic green sheet (Kg), and the through holes generated in the ceramic green sheet. Number of defects (per 15cm x 1m), number of layer defects (delamination) occurring in the laminate after firing (number of occurrences per 100 samples), thickness of one dielectric layer after firing (μm), average static Capacity is indicated. 100 samples were prepared for each sample, and the values in Table 1 represent the average values. As a comparative example, similar data were measured for several samples of ceramic multilayer capacitors produced by conventional manufacturing methods, and are shown in Table 2.

【表】【table】

【表】 第1表に示したデータから明らかなように、ポ
リエステルフイルムは薄い方が好ましい。ポリエ
ステルフイルムが14μmより厚いと、半数以上の
焼結体内に層状欠陥(デラミネーシヨン)が生
じ、静電容量が設計通りに得られなくなることが
ある。また、第1表と第2表との対比から明らか
なように、従来の方法による場合のセラミツクグ
リーンシートの強度は、この発明によるセラミツ
クグリーンシートの強度に比べて、1桁以上弱
く、自動印刷工程に対して不適当であり、また、
30μm以下の薄いシートでは、微小な貫通ピンホ
ール欠陥数が多く、完成品にした場合、シヨート
不良発生頻度が高い。 上述の実施例の説明では、樹脂フイルムとし
て、ポリエステルフイルムが用いられた。このポ
リエステルフイルムは、引張強度が高く、耐熱性
の点において他の樹脂フイルムに比べて優れてい
る。そのため、たとえばセラミツクスラリーの層
の乾燥時における耐熱性にも優れていることにな
り、寸法安定性を保有したまま、セラミツクスラ
リーの層を薄くすることができるという利点があ
る。したがつて、内部電極間に介在する誘電体の
層を薄くすることができ、結果として、大容量を
得ることができるのである。しかしながら、樹脂
フイルムは、このようなポリエステルフイルムに
は限らず、他の材料からなる樹脂フイルム、たと
えば、ポリエチレンなどのフイルムであつてもよ
い。
[Table] As is clear from the data shown in Table 1, the thinner the polyester film, the better. If the polyester film is thicker than 14 μm, layer defects (delamination) will occur in more than half of the sintered body, making it impossible to obtain the designed capacitance. Furthermore, as is clear from the comparison between Table 1 and Table 2, the strength of the ceramic green sheet produced by the conventional method is more than an order of magnitude weaker than the strength of the ceramic green sheet produced by the present invention. unsuitable for the process, and
Thin sheets of 30 μm or less have a large number of minute through-pinhole defects, and when they are made into finished products, shot defects occur frequently. In the description of the above embodiments, a polyester film was used as the resin film. This polyester film has high tensile strength and is superior to other resin films in terms of heat resistance. Therefore, for example, the ceramic slurry layer has excellent heat resistance during drying, and there is an advantage that the ceramic slurry layer can be made thin while maintaining dimensional stability. Therefore, the dielectric layer interposed between the internal electrodes can be made thinner, and as a result, a large capacity can be obtained. However, the resin film is not limited to such a polyester film, but may be a resin film made of other materials, such as a polyethylene film.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の方法によるセラミツク積層コン
デンサの積層体の一構成要素である内部電極が形
成されたセラミツクグリーンシートを示す斜視図
である。第2図はこの発明の実施により得られる
セラミツク積層コンデンサの一構成要素である内
部電極が形成されたセラミツクグリーンシートを
示す斜視図である。第3図ないし第5図は、この
発明によつてセラミツク積層コンデンサを得るた
めの工程を順次示すものであつて、第3図は内部
電極を付与した1枚のセラミツクグリーンシート
の断面図、第4図はこれらを複数枚重ね一体化し
たブロツクの断面図、第5図は第4図中の切断線
5で切断し焼成された単一チツプに外部電極を設
けた積層コンデンサの断面図である。 図において、1はセラミツクグリーンシートま
たはスラリーの層、2は内部電極、3は樹脂フイ
ルムまたはポリエステルフイルム、4は3層構造
シート、6はコンデンサチツプ、7は外部電極で
ある。
FIG. 1 is a perspective view showing a ceramic green sheet on which internal electrodes, which are one component of a laminate of a ceramic multilayer capacitor, are formed by a conventional method. FIG. 2 is a perspective view showing a ceramic green sheet on which internal electrodes, which are one component of a ceramic multilayer capacitor, are formed according to the present invention. 3 to 5 sequentially show the steps for obtaining a ceramic multilayer capacitor according to the present invention, in which FIG. 3 is a sectional view of one ceramic green sheet provided with internal electrodes, and FIG. Figure 4 is a sectional view of a block made by stacking and integrating a plurality of these, and Figure 5 is a sectional view of a multilayer capacitor in which external electrodes are provided on a single chip cut and fired along cutting line 5 in Figure 4. . In the figure, 1 is a ceramic green sheet or a layer of slurry, 2 is an internal electrode, 3 is a resin film or polyester film, 4 is a three-layer structure sheet, 6 is a capacitor chip, and 7 is an external electrode.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 セラミツクスラリー中のバインダとの密着性
の良い樹脂フイルムを用意し、 前記樹脂フイルムの両面にセラミツクスラリー
の層を形成して3層構造シートとし、 前記3層構造シートの一方面に内部電極を形成
し、 前記内部電極が形成された3層構造シートを、
前記内部電極が交互に異なる端部に導出されるよ
うに、複数枚積層して積層体とし、 前記積層体を焼成すると同時に前記樹脂フイル
ムを燃焼させて複数の内部電極を含有する磁器焼
結体とし、 前記焼成された積層体の外表面に前記内部電極
と電気的に接続される外部電極を形成するセラミ
ツク積層コンデンサの製造方法。
[Claims] 1. Prepare a resin film that has good adhesion to the binder in the ceramic slurry, form a layer of ceramic slurry on both sides of the resin film to form a three-layer structure sheet, and prepare a three-layer structure sheet. An internal electrode is formed on one side, and a three-layer structure sheet on which the internal electrode is formed,
A porcelain sintered body containing a plurality of internal electrodes is obtained by laminating a plurality of sheets to form a laminate so that the internal electrodes are alternately led out to different ends, and burning the resin film at the same time as firing the laminate. A method for manufacturing a ceramic multilayer capacitor, comprising: forming an external electrode electrically connected to the internal electrode on the outer surface of the fired multilayer body.
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