JPS59165357A - 走査形電子顕微鏡の像形成方法 - Google Patents
走査形電子顕微鏡の像形成方法Info
- Publication number
- JPS59165357A JPS59165357A JP3737483A JP3737483A JPS59165357A JP S59165357 A JPS59165357 A JP S59165357A JP 3737483 A JP3737483 A JP 3737483A JP 3737483 A JP3737483 A JP 3737483A JP S59165357 A JPS59165357 A JP S59165357A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detected
- grid
- sample
- detector
- secondary electrons
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、走査形電子顕微鏡の像形成に係シ、特に形状
に起因する像のコントラストのみを分離表示する方式に
関する。
に起因する像のコントラストのみを分離表示する方式に
関する。
走査形電子顕微鏡像のコントラストの生々原因は形状差
と材質差である。一般の走査形電子顕微鏡の像形成は第
１図に示すような、ものである。ここでは、−次電子Ｉ
Ｋよって試料６から励起放出された２次電子２が検出器
３のシンチレータ４に印加された高電圧によって吸引さ
れ、シンチレータ４を光らする。これをホトマル５で検
出し、陰極線管７の輝度を変調する（ここでは走査像の
形成原理は省略した）。しかし、得られた像から両者の
コントラストを識別することは不可能で、しばしば像の
解釈を誤ってしまうのが実状である。
と材質差である。一般の走査形電子顕微鏡の像形成は第
１図に示すような、ものである。ここでは、−次電子Ｉ
Ｋよって試料６から励起放出された２次電子２が検出器
３のシンチレータ４に印加された高電圧によって吸引さ
れ、シンチレータ４を光らする。これをホトマル５で検
出し、陰極線管７の輝度を変調する（ここでは走査像の
形成原理は省略した）。しかし、得られた像から両者の
コントラストを識別することは不可能で、しばしば像の
解釈を誤ってしまうのが実状である。
この検出法では、励起された２次電子の総量を検出して
おシ、得られた像から形状のコントラストのみを分離す
ることは、もはや不可能である。
おシ、得られた像から形状のコントラストのみを分離す
ることは、もはや不可能である。
本発明の目的は、２次電子の検出方法の改良と、映像信
号を作ることによシ、試料の形状コントラストを分離強
調する手段を提供することにある。
号を作ることによシ、試料の形状コントラストを分離強
調する手段を提供することにある。
１次電子励起による２次電子の放出は、鏡面反射のよう
な方向性をもつものではないが、試料に垂直方向に最大
強度をもっている（Ｃｏｓｉｎ分布）。
な方向性をもつものではないが、試料に垂直方向に最大
強度をもっている（Ｃｏｓｉｎ分布）。
たとえば、右斜面では右側に、左斜面では左側に多く放
出する。これらの信号を分離検出し、両者の信号の比を
作ることによシ、形状コントラストを強調表示できるこ
とを発見した。本願発明はかかる発見にもとづき、これ
を利用した新規な像の形成方法を提供するものである。
出する。これらの信号を分離検出し、両者の信号の比を
作ることによシ、形状コントラストを強調表示できるこ
とを発見した。本願発明はかかる発見にもとづき、これ
を利用した新規な像の形成方法を提供するものである。
以下、本発明の一実施例を第２図によシ説明する。
本発明では、まず方向性をもって放出した２次電子をそ
れぞれの方向に設置された検出器で分離検出する。試料
６の真上に半球状のグリッド１０を設ける。このグリッ
ド１０は、アース電位あるいは正電位（〜５０■）にな
っている。仁の構成では、たとえば、右側方向に放出し
た２次電子１１は、放出方向に直進しグリッド１０を通
過する。グリッド１０を通過すると、電子はシンチレー
タ４忙印加された電圧に吸引され、シンチレータ５で検
出される。左側に向いた２次電子１２は検出器９で検出
される。
れぞれの方向に設置された検出器で分離検出する。試料
６の真上に半球状のグリッド１０を設ける。このグリッ
ド１０は、アース電位あるいは正電位（〜５０■）にな
っている。仁の構成では、たとえば、右側方向に放出し
た２次電子１１は、放出方向に直進しグリッド１０を通
過する。グリッド１０を通過すると、電子はシンチレー
タ４忙印加された電圧に吸引され、シンチレータ５で検
出される。左側に向いた２次電子１２は検出器９で検出
される。
さらに、このように放出方向を分離して検出した信号の
比をとる。例えば割算器１３を用いて検出器９の信号を
検出器８の信号で割算する。割算の結果形状コントラス
トが強調されることになる。
比をとる。例えば割算器１３を用いて検出器９の信号を
検出器８の信号で割算する。割算の結果形状コントラス
トが強調されることになる。
以下、２種の材質を含み、かつ凹凸のある試料を例とし
て説明する。
て説明する。
材質ＡとＢとからなシ、かつ表面に凸部をもった試料を
観察した場合を考えてみる。Ａ材質はＢされ、右斜面で
は主に右側検出器１０に検出される。この様子を（イ）
、（ロ）に示した。（イ）と←）の信号では材質差の部
分でもコントラストが生じていることはもちろんである
。（ハ）は（イ）を（ロ）で割った信号である。（ハ）
においては、形状によるコントラストのみが残シ、材質
差のコントラストが消えることがわかる。しかも、形状
のコントラストが著しく強調されている。左右検出器の
差をとる方法はすでに知られている。しかし差分によシ
、上記の状況を実現できる条件は、左右の検出感度が同
一である場合のみでこのバランスが狂っていると材質差
コントラストを消すことはできない。換言すれば、左右
バランスを変化させるといろいろのコントラストが出現
し、かえって像の判断を誤る結果になる。
観察した場合を考えてみる。Ａ材質はＢされ、右斜面で
は主に右側検出器１０に検出される。この様子を（イ）
、（ロ）に示した。（イ）と←）の信号では材質差の部
分でもコントラストが生じていることはもちろんである
。（ハ）は（イ）を（ロ）で割った信号である。（ハ）
においては、形状によるコントラストのみが残シ、材質
差のコントラストが消えることがわかる。しかも、形状
のコントラストが著しく強調されている。左右検出器の
差をとる方法はすでに知られている。しかし差分によシ
、上記の状況を実現できる条件は、左右の検出感度が同
一である場合のみでこのバランスが狂っていると材質差
コントラストを消すことはできない。換言すれば、左右
バランスを変化させるといろいろのコントラストが出現
し、かえって像の判断を誤る結果になる。
さらに、本発明では、電子ビームの変動に対しても、出
力は変化せず、試料の形状のみに反映している。差分法
では、ビーム変動もコントラストとして像の中に現われ
る。段差の小さい微細な凹凸を観察をすることの多い走
査形電子顕微鏡では、この特性は非常に有効なものであ
る。
力は変化せず、試料の形状のみに反映している。差分法
では、ビーム変動もコントラストとして像の中に現われ
る。段差の小さい微細な凹凸を観察をすることの多い走
査形電子顕微鏡では、この特性は非常に有効なものであ
る。
以上、説明したごとく、本発明によれば、複雑に人シ混
った走査形電子顕微鏡の像信号の中から、形状によるコ
ントラストのみを分離し、さらに強調することが可能と
なる等、産業への寄与が大きい。
った走査形電子顕微鏡の像信号の中から、形状によるコ
ントラストのみを分離し、さらに強調することが可能と
なる等、産業への寄与が大きい。
第１図は、従来形走査電子顕微鏡の２次電子検出法を示
した図、第２図は、本発明の検出法、第３図は、本発明
の詳細な説明した図である。 １・・・１次′醒子線、２・・・２次電子、３・・・検
出器、４・・・シンチレータ、５・・・ホトマル、６・
・・試料、７・・・陰極線管、８，９・・・検出器、ｌ
Ｏ・・・半球形グリノ￥５１ 図
した図、第２図は、本発明の検出法、第３図は、本発明
の詳細な説明した図である。 １・・・１次′醒子線、２・・・２次電子、３・・・検
出器、４・・・シンチレータ、５・・・ホトマル、６・
・・試料、７・・・陰極線管、８，９・・・検出器、ｌ
Ｏ・・・半球形グリノ￥５１ 図
Claims (1)
- １、試料に対し、対称の位置に置かれた一対の検出器を
備え、両者の検出器の出力の比を計算し、この比を用い
て像を形成することを特徴とする走査形電子顕微鏡の像
形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3737483A JPS59165357A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 走査形電子顕微鏡の像形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3737483A JPS59165357A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 走査形電子顕微鏡の像形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59165357A true JPS59165357A (ja) | 1984-09-18 |
Family
ID=12495737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3737483A Pending JPS59165357A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 走査形電子顕微鏡の像形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59165357A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161644A (ja) * | 1984-12-31 | 1986-07-22 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 試料の正確な像を表わす合成信号を形成する装置 |
| US4751384A (en) * | 1986-02-17 | 1988-06-14 | Hitachi, Ltd. | Electron beam metrology system |
| US4818874A (en) * | 1987-04-17 | 1989-04-04 | Jeol Ltd. | Scanning electron microscope |
| US10080689B2 (en) | 2007-12-06 | 2018-09-25 | Smith & Nephew Plc | Wound filling apparatuses and methods |
-
1983
- 1983-03-09 JP JP3737483A patent/JPS59165357A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161644A (ja) * | 1984-12-31 | 1986-07-22 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 試料の正確な像を表わす合成信号を形成する装置 |
| US4751384A (en) * | 1986-02-17 | 1988-06-14 | Hitachi, Ltd. | Electron beam metrology system |
| US4818874A (en) * | 1987-04-17 | 1989-04-04 | Jeol Ltd. | Scanning electron microscope |
| US10080689B2 (en) | 2007-12-06 | 2018-09-25 | Smith & Nephew Plc | Wound filling apparatuses and methods |
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