JPS59165002A - 光学素子及びこれを用いた光学装置 - Google Patents
光学素子及びこれを用いた光学装置Info
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- JPS59165002A JPS59165002A JP58039143A JP3914383A JPS59165002A JP S59165002 A JPS59165002 A JP S59165002A JP 58039143 A JP58039143 A JP 58039143A JP 3914383 A JP3914383 A JP 3914383A JP S59165002 A JPS59165002 A JP S59165002A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
プレイ等に使用される光学素子及びこれを応用したソＣ
学装置に関する。
学装置に関する。
従来、レーザビームプリンター等で使用される光束は、
光源であるレーザ光のもつガウス型の強「支分布のよう
にその周辺部よりその中心部の方の強度が高いものより
も、その中心部よりその周辺部の強度がほぼ同等もしく
は高い強度をもつような強朋分布である方が、その光束
のスボソトの周辺のエッヂ部が強調されてプリントアウ
ト等したものが高ｒｑｒｙ像にできることが一般的に知
られている，、このようなレーザビームプリンター専一
やこれらに用いている光変調素子に用いる不向きな入射
光束の強度分布を適当な強度分布に変換する光学素子と
して代表的なものは２箇の円Ｊ、 Ｌ／ンズを絹みあわ
せたものがあるが、これを偏毛・のないように加工した
り、これの面の光軸に対するイ頃きの角度を設定内に設
けるためにこれを配置δ１□′４整することは困雌で実
用的でない。寸だ、このような入射光束の強度分布を光
束変換する光学素子は光ンヤンターアレイ等の照明光学
系としても必要とされる。即ち、レーザ光を照明光源と
してそのま＼の光の強度分布で用いた場合、その照明光
束の周辺部の光の堕）度がその中心部のそれ［ｌこ比・
１１交して低いため（に被照明体に照明ｙＣ，Ｆｉ、む
らガく夕１−シる４、これを除去する／ζめＧ（はレー
ザ光の光束径を被照明体（・で比べて充分大きく拡大し
、実用上均一と見誠される領域を用いて照明する方法が
知られているが・照明光のエネルギーの内、被照明体を
照明していない部分の照明光のエネルギーの、かなりの
部分が無駄になる。まｌこ、上記せるような円曲Ｖンズ
を用いると同様な不具合いか生じる。
光源であるレーザ光のもつガウス型の強「支分布のよう
にその周辺部よりその中心部の方の強度が高いものより
も、その中心部よりその周辺部の強度がほぼ同等もしく
は高い強度をもつような強朋分布である方が、その光束
のスボソトの周辺のエッヂ部が強調されてプリントアウ
ト等したものが高ｒｑｒｙ像にできることが一般的に知
られている，、このようなレーザビームプリンター専一
やこれらに用いている光変調素子に用いる不向きな入射
光束の強度分布を適当な強度分布に変換する光学素子と
して代表的なものは２箇の円Ｊ、 Ｌ／ンズを絹みあわ
せたものがあるが、これを偏毛・のないように加工した
り、これの面の光軸に対するイ頃きの角度を設定内に設
けるためにこれを配置δ１□′４整することは困雌で実
用的でない。寸だ、このような入射光束の強度分布を光
束変換する光学素子は光ンヤンターアレイ等の照明光学
系としても必要とされる。即ち、レーザ光を照明光源と
してそのま＼の光の強度分布で用いた場合、その照明光
束の周辺部の光の堕）度がその中心部のそれ［ｌこ比・
１１交して低いため（に被照明体に照明ｙＣ，Ｆｉ、む
らガく夕１−シる４、これを除去する／ζめＧ（はレー
ザ光の光束径を被照明体（・で比べて充分大きく拡大し
、実用上均一と見誠される領域を用いて照明する方法が
知られているが・照明光のエネルギーの内、被照明体を
照明していない部分の照明光のエネルギーの、かなりの
部分が無駄になる。まｌこ、上記せるような円曲Ｖンズ
を用いると同様な不具合いか生じる。
本発明は上記の点に鑑み、上記欠点を解消するためにな
されたもので、光束を振ｌ陥分割し、この振幅分割され
た光束を空間的に重ねあわせることにより、入射光束の
強度分布を所望の出射光束の強度分布に変換する光学素
子を提供することを目的とする６、 壕だ、本発明の別の目的（は、光の強度分イ（デの変換
を行なう光学素子を用いた光学装置を提供することを目
的とする。
されたもので、光束を振ｌ陥分割し、この振幅分割され
た光束を空間的に重ねあわせることにより、入射光束の
強度分布を所望の出射光束の強度分布に変換する光学素
子を提供することを目的とする６、 壕だ、本発明の別の目的（は、光の強度分イ（デの変換
を行なう光学素子を用いた光学装置を提供することを目
的とする。
第１図は本発明の原理を示す一実施例で、■。
２はプリズムであり貼り合わせ、接合している。。
１反は、エアーギャップを持って接合−させる事も町・
柑である５、この接合面１１は／・−フミラー、プリズ
ム２の外面１２は全反射ミラーの機能をそれそ７Ｌ有し
ている。図中ではこの光学素子に対して平１−］″光束
は下部から入射する。、初めに、プリズム１゛へ入射し
た平行光束について説明すると、破線で記す光路を経て
接合面１１の作用を受けて、半分の光、吊、に減しられ
た平行光束がプリズム１かも図中右へ射出する。残り半
分の光量の平行光束はプリズム２へ進み外面１２により
全反射されてプリズム２からやはり図中右へ平行光束と
して射出するゝ。次にプリズム２ＩＣ直接入射した残り
平行光束は一点鎖線で示す光路を経て入射した光量の半
分ずつがそれそ扛プリズム１．２か、ら平行光束とし射
出する。即し、プリズム２に入射した光束は外面１２に
より全反射されて図中右方向へ向かう。、この光束は接
合ｉｒ＋ｉ １１により振幅分割され、その半分の光束
はそのま１接合而１１を透過し、プリズム１の図中右の
外方へと射出する１、一方、接合面１１ｖｃより反射さ
れたその残り半分の光束は外面１２によって１Ｊｆび全
反射されてグリスｌ、２の図中右の外方へと射出する３
、第２図＆、Ｊ、カウスノ（１）の強度分布を有する平
行光束とほぼ均一な強度外；（Ｉｉの平行光束１で変換
する原理の説明１＞１である５、第１図に示した光学素
子に紙面と平行な面内で光の入射方向から児た第２図（
、）に示したガウス型の強度分布をもつ平行光束が入射
するものとする。この場合、プリズム１へ入射する半分
の光束の強度分布を破線で、プリズム２へ入射する残り
半分の光束の強度分布を一点鎖線で示しである（但し、
光の強度のピーク値は２ Ｌ、 ）。プリズム１へ入射
した半分の入射光束の内、振幅分割されてプリズム１゜
２から夫々射出する光束の強度分布を光の射出方向から
見た場合を第２図（１））の破線で示しである。
柑である５、この接合面１１は／・−フミラー、プリズ
ム２の外面１２は全反射ミラーの機能をそれそ７Ｌ有し
ている。図中ではこの光学素子に対して平１−］″光束
は下部から入射する。、初めに、プリズム１゛へ入射し
た平行光束について説明すると、破線で記す光路を経て
接合面１１の作用を受けて、半分の光、吊、に減しられ
た平行光束がプリズム１かも図中右へ射出する。残り半
分の光量の平行光束はプリズム２へ進み外面１２により
全反射されてプリズム２からやはり図中右へ平行光束と
して射出するゝ。次にプリズム２ＩＣ直接入射した残り
平行光束は一点鎖線で示す光路を経て入射した光量の半
分ずつがそれそ扛プリズム１．２か、ら平行光束とし射
出する。即し、プリズム２に入射した光束は外面１２に
より全反射されて図中右方向へ向かう。、この光束は接
合ｉｒ＋ｉ １１により振幅分割され、その半分の光束
はそのま１接合而１１を透過し、プリズム１の図中右の
外方へと射出する１、一方、接合面１１ｖｃより反射さ
れたその残り半分の光束は外面１２によって１Ｊｆび全
反射されてグリスｌ、２の図中右の外方へと射出する３
、第２図＆、Ｊ、カウスノ（１）の強度分布を有する平
行光束とほぼ均一な強度外；（Ｉｉの平行光束１で変換
する原理の説明１＞１である５、第１図に示した光学素
子に紙面と平行な面内で光の入射方向から児た第２図（
、）に示したガウス型の強度分布をもつ平行光束が入射
するものとする。この場合、プリズム１へ入射する半分
の光束の強度分布を破線で、プリズム２へ入射する残り
半分の光束の強度分布を一点鎖線で示しである（但し、
光の強度のピーク値は２ Ｌ、 ）。プリズム１へ入射
した半分の入射光束の内、振幅分割されてプリズム１゜
２から夫々射出する光束の強度分布を光の射出方向から
見た場合を第２図（１））の破線で示しである。
ｆだ、プリズム２０入射した半分の入射光束の内、振’
ｌ’ｉｉｉ分割されてプリズム１．２から夫々射出する
ツＬ泉の強度分イ［デを光の射出方向から児た」栃合を
第２図（ｂ）の一点鎖勝て示しである３、寸だ、第２図
（ｂ）の太線で示した曲線は、プリズム１，２から夫々
↓（」出した光束が空間て訃成烙れだ時の光の強）Ｗ分
イ１」を示している。プリズム１への半分の入射光束の
内、プリズム１の接合面１１によって反射されてプリズ
ム１から射出してくる光束の強度分布及び残りの入射光
束で接合面１１を透過して外面１２ｉ（こよって反射さ
れて後プリズム２から射出してぐる光束の強度分布は、
丁度、入射光束の強度分布を反転ｌまた形の相似形状を
なす１、まだ、プリズム２への残り半分の入射光束の内
、外１ｆ］１１２ＶＣよって反射されて接合面１１を透
過してプリズムエから射出するブＣ束の強度分布及び残
りの入射光束で外聞１２１Ｃよって全反射され、次に１
多合曲１１によって反射され、再び外面１２ｖＣよって
全反射されてプリズム２から射出してくる光束の強度分
布は入射光束の強度分布を反転した形の相１以形状をな
す。これらの光束の強度分布（・ま夫々のプリズム１も
しくは２１において左右対称形状をなすので、これら光
束の強度分布を合成した光栄の１．′！′Ｉｉ度分布は
第２図（ｂ）の実勝てボず如くほぼ均一 となる３、な
お１、紙面と平行な１川内でなくとも第２図（ａ）に示
した強度分１１ｉ ’ｃ有する光束が入射した：Ｒ＋’
ｉｉ装Ａ５２図（ｂ）に示した強度分布を、イ１する
光束方向を出することは明らかである０、 ところで、光源としてレーザ光のように四”干渉・四の
よいものケ月４いる１８合には４）ｊ；Ｈ＋！６射面」
−で細かい干渉縞を生じる１、この光源を用いる１ヲ１
的によってはこの干渉ｍができないようにする′〃１、
ｆ’７が１；茫じるが、この場合に（は１光源として直
π’Ｊｉ １４Ｉｆ ｙｔを冗生するレーザ光源を用い
て、第１図に詮けるプ“・リズム１もしくは２のどちら
か一方の入射１１１１端ｉｆ＋ｊ Ｕこ偏光方向帖直角
に回転させる、罠とえはλ／２板のような１反長板を設
けて、プリズム１に入射する光束とプリズム２に入射す
る光束の１扁メ自方向を直交させることにより干渉縞を
生じなくすることが可能でめ、６っ 説明の簡浄化の為、第１図では、２動のプリズムからな
る光学素子を７３ｅしたが、より多くのプリズムを用い
て光の強度分布の変換及び光束径の変倍を行うことかｆ
ｊＪ能であることを第３図ｉｃ ；３ｅした本発明に係
る光学素子の他の一実施例を用いて示ず６、第３図（（
於て、３１ 、３２ 、 ：３３はプリズムであり、４
１．４２は夫々反射４； Ｒ４＋ （透過率（ｌ−Ｒａ
） ） ＋ Ｒ，＋２（透礪率（］−ｆ（、＋２）
）の振幅分割ミラーで夫１．プリズム３１と３２及びプ
リズム３２と３３は接合面ケなしている。４３はプリズ
ム３３の外ＩＣ１に設けられた全反射ミラーである。面
Ａ。
ｌ’ｉｉｉ分割されてプリズム１．２から夫々射出する
ツＬ泉の強度分イ［デを光の射出方向から児た」栃合を
第２図（ｂ）の一点鎖勝て示しである３、寸だ、第２図
（ｂ）の太線で示した曲線は、プリズム１，２から夫々
↓（」出した光束が空間て訃成烙れだ時の光の強）Ｗ分
イ１」を示している。プリズム１への半分の入射光束の
内、プリズム１の接合面１１によって反射されてプリズ
ム１から射出してくる光束の強度分布及び残りの入射光
束で接合面１１を透過して外面１２ｉ（こよって反射さ
れて後プリズム２から射出してぐる光束の強度分布は、
丁度、入射光束の強度分布を反転ｌまた形の相似形状を
なす１、まだ、プリズム２への残り半分の入射光束の内
、外１ｆ］１１２ＶＣよって反射されて接合面１１を透
過してプリズムエから射出するブＣ束の強度分布及び残
りの入射光束で外聞１２１Ｃよって全反射され、次に１
多合曲１１によって反射され、再び外面１２ｖＣよって
全反射されてプリズム２から射出してくる光束の強度分
布は入射光束の強度分布を反転した形の相１以形状をな
す。これらの光束の強度分布（・ま夫々のプリズム１も
しくは２１において左右対称形状をなすので、これら光
束の強度分布を合成した光栄の１．′！′Ｉｉ度分布は
第２図（ｂ）の実勝てボず如くほぼ均一 となる３、な
お１、紙面と平行な１川内でなくとも第２図（ａ）に示
した強度分１１ｉ ’ｃ有する光束が入射した：Ｒ＋’
ｉｉ装Ａ５２図（ｂ）に示した強度分布を、イ１する
光束方向を出することは明らかである０、 ところで、光源としてレーザ光のように四”干渉・四の
よいものケ月４いる１８合には４）ｊ；Ｈ＋！６射面」
−で細かい干渉縞を生じる１、この光源を用いる１ヲ１
的によってはこの干渉ｍができないようにする′〃１、
ｆ’７が１；茫じるが、この場合に（は１光源として直
π’Ｊｉ １４Ｉｆ ｙｔを冗生するレーザ光源を用い
て、第１図に詮けるプ“・リズム１もしくは２のどちら
か一方の入射１１１１端ｉｆ＋ｊ Ｕこ偏光方向帖直角
に回転させる、罠とえはλ／２板のような１反長板を設
けて、プリズム１に入射する光束とプリズム２に入射す
る光束の１扁メ自方向を直交させることにより干渉縞を
生じなくすることが可能でめ、６っ 説明の簡浄化の為、第１図では、２動のプリズムからな
る光学素子を７３ｅしたが、より多くのプリズムを用い
て光の強度分布の変換及び光束径の変倍を行うことかｆ
ｊＪ能であることを第３図ｉｃ ；３ｅした本発明に係
る光学素子の他の一実施例を用いて示ず６、第３図（（
於て、３１ 、３２ 、 ：３３はプリズムであり、４
１．４２は夫々反射４； Ｒ４＋ （透過率（ｌ−Ｒａ
） ） ＋ Ｒ，＋２（透礪率（］−ｆ（、＋２）
）の振幅分割ミラーで夫１．プリズム３１と３２及びプ
リズム３２と３３は接合面ケなしている。４３はプリズ
ム３３の外ＩＣ１に設けられた全反射ミラーである。面
Ａ。
１３は夫々プリズム３．１．３２の光束の入射１１１１
の面で必シ、［ｕ Ｃ、Ｄ 、 Ｅは夫々プリズム３１
，３２゜３３の光束の射出ＩＨυの面である。、その方
向が破線で示されているように而Ａ ＶＣ入射した光束
１ｄ振幅分割ミラー４１及び４２ｖこよって順次振幅分
割をうけたｒグ、囲Ｃ，Ｄ、Ｅから夫々射出する１７才
だ、そのＢ向か一点鎖称で示されてい乙ように而１３
ＶＣ人躬した光束は振幅分割ミラ４１．．４．２により
、振幅分割炉れた後、１ｌｌｌ Ｃ、Ｄ 、 Ｅから夫
々旧１冒する。これらｉｎｉ ｃ 、 Ｉ） 、 １＞
から射出した夫々の光束は空間的（屹合１戊されて光の
９（度か布の変Ｊ央及び光栄径の変倍が１１なわれる。
の面で必シ、［ｕ Ｃ、Ｄ 、 Ｅは夫々プリズム３１
，３２゜３３の光束の射出ＩＨυの面である。、その方
向が破線で示されているように而Ａ ＶＣ入射した光束
１ｄ振幅分割ミラー４１及び４２ｖこよって順次振幅分
割をうけたｒグ、囲Ｃ，Ｄ、Ｅから夫々射出する１７才
だ、そのＢ向か一点鎖称で示されてい乙ように而１３
ＶＣ人躬した光束は振幅分割ミラ４１．．４．２により
、振幅分割炉れた後、１ｌｌｌ Ｃ、Ｄ 、 Ｅから夫
々旧１冒する。これらｉｎｉ ｃ 、 Ｉ） 、 １＞
から射出した夫々の光束は空間的（屹合１戊されて光の
９（度か布の変Ｊ央及び光栄径の変倍が１１なわれる。
介、１力ＩＡより入射した光束で面Ｃ，’Ｄ、ＩＣから
夫々射出する光束の人ＲＪ光栄の強度Ｖこ対する率（１
００％の時を１とする）を人々ＣＡ、 １）Ａ 、 ｌ
＞＋Ｘとすると、づ膜幅分割ミラー／１ ］ＶＣよって
反射σＩｔ而Ｃから射出する光束の強度の率（′ま、Ｃ
Ａ二Ｒ４１ 振幅分割ミラー４１を透過する光栄の＋ｔコツ：１−Ｒ
ｌｌ であるから振］１届分割ミラー４２によって反体
ｊされＩＪ′Ｉ］Ｄから射出する光栄のり虫度の＋（ｄ
゛１つＡ ＝（１−Ｉえ、１２ Ｊえ４２振１１覇分
割ミラー４２の透過率１寸に、 １− Ｒ−＋２）だか
ら振幅分割ミラー４２を透過し全反射ミラー４３で反射
されて而Ｅから射出する光束の強度の率（ｄＥＡ ＝（
１〜１煽）（Ｉ Ｒ４２）同ｑ沃ｔｃ、ｒ＝ Ｉ３ｘ
り入ｒ＞ｔシた光束ＴＩＪＩＩＣ、Ｄ 、 Ｅカら夫々
射出する光束の入射光束の強度に対する率（１００％の
時を１とする）を夫々Ｃｎ ＋ Ｄｏ 、 Ｅｏ Ｌす
ると 倣’：’！ｉｊ分割ミラー４２により反射され振幅分割
ミラー４１を透過して而Ｃがら射出する光束の強度の率
は ＣＩ＋二ｌえ。２（１−■尤。Ｉ） 振’１’ｉｉ！分割ミラー４２によって反射さ九、更に
振＋ｌｌｉπ≦Ｈ；ＩＪ ６ラー４１によって反射さｌ
Ｌる光束の強度の、１・・（Ｊ１克１２ 、 Ｒ，１、
であり、この光束が振１１覇分割ミラー＝ｌ ２ （Ｉ
Ｃよって反射されて而りがら射出するンに束の強ｊ−ツ
の率（はＲ，ｎ Ｘ Ｒ，；’２である１、また、この
光束が振（１届分割ミラー４２を透過して全反射ミラー
１１３によって全没ｑ」されて、而Ｅから射出する光束
の強度の率（ｌｒｉ、■も４１ Ｒ，Ｉ□（ＩＲ４２）
である。寸だ、振幅分割ミラー４２を透過し全反射ミラ
ー４３によって全ｈ Ｊ７ｔ ａれる光束の強度の率（
・ま（１Ｒ４２）で、更’に撮１１’ｉ＋ｉ分Ｉｌｌ
ｓ、 ９−４２を透過Ｌ 而Ｄ カラ！４４ Ｂ」Ｊ−
る光束の強度の率ｉ−１（１−Ｒ４□）２である３９寸
だ、振幅分割ミラー４２で反射され、次に全反射ミラー
４３で全反射されて而Ｅから射出する光束の強度の率（
ｄ、）化４２ （１ｊ１４２）である１、故にＤＩｌ
＝ Ｒ４１−Ｉｔ、”、 ＋（’Ｉ Ｉえ４２）′ま
た、 Ｅ＋３’＝Ｒロ ・ Ｒ４２（１−Ｒ４２、） ＋ｌ
え４２ （Ｉ Ｒ，＋２ ）ところで、はぼ等強
度の出射光束であるだめにはＣＡ 、ＤＡ ＋ ＥＡ
、ＣＢ 、ＤＩｌ 、ｈＢ は、はぼ１／３ｅコ宿しく
なけれはならない。１／３に等しいとすると、」−記よ
り、 Ｒ４１十０．３３３ 、 ’Ｒ１二０．５である１、上
記、実施例から判るように３箇のプリズムからなる光学
素子では１１４＋及びＲ４２を」＝記値１１こ設定する
ことにより射出光の均一な光の強度分布をうることが可
能であり、また、プリズム３１３２の鋭角部分を４５°
に設定゛してあれば１ｆｊｉ Ａ 、’ Ｂから入射し
た光束の径は而Ｃ，Ｄから射出する光束の径と同じであ
る３３シかし、本実施例の場合曲Ｅからも光束が射出す
るのでそれだけの分、光束の径が入射する光束の径に対
して拡大したことになる。第４図は第３図の光学素子に
入射するガウス型の断面強度分布を有する光束（強度の
ビーり値３Ｌ１）が射出しだ時の光束の断面強度分布が
均一イヒする状態を示しており、破線で示す曲線はｊｒ
ｊ Ａから入射し而Ｃ，Ｄ、Ｅから夫々射出する光の強
度分布を示し′ている。捷だ一点鎖線で示す曲線は而Ｂ
かし入射し曲Ｃ，Ｄ、Ｅから夫々射出する光の強度分布
を示している。更に、実線で示しだ曲線はこれら光束の
強度分布が空間的に合成された時の強））！分布を示し
ている、第４図の説明については自明のン′こめ説明を
省略する１、（捷だ、上記実施例の場合も°第１図で説
明した実施例と同じく３次元的（・こ山形のガウス型の
強度分布をもつ光束が本実施−することは明らかである
。）また、プリズムが４１Ｌ１以］二の光学素子につい
ても上記と同様に設計することにより構成することが可
能でめる。まだ、こればかりでなく Ｒ４＋ ’＋ Ｒ
４２を適当に選択するととによりいかなる光束の強度分
イ［ｊの変換も？ｊＪ能となる。更に、一定の強度分布
の光束からガウス型の強度分布をほしい時には第１図及
び第３図に示した光学素子の入射側１を射出側に、射出
ｍｉｌ＋を人ｒ＋ｔイ＋ｔｇにすれ１はよい０、 第５図は本発明に係る光学系Ｑて応用する光変調素子の
一例の部分断面図である１、 ４′は絶縁性の基板、５’ａ 、 ５′ｂ、 ５’ｃ
、 ５’ｄ 。
夫々射出する光束の人ＲＪ光栄の強度Ｖこ対する率（１
００％の時を１とする）を人々ＣＡ、 １）Ａ 、 ｌ
＞＋Ｘとすると、づ膜幅分割ミラー／１ ］ＶＣよって
反射σＩｔ而Ｃから射出する光束の強度の率（′ま、Ｃ
Ａ二Ｒ４１ 振幅分割ミラー４１を透過する光栄の＋ｔコツ：１−Ｒ
ｌｌ であるから振］１届分割ミラー４２によって反体
ｊされＩＪ′Ｉ］Ｄから射出する光栄のり虫度の＋（ｄ
゛１つＡ ＝（１−Ｉえ、１２ Ｊえ４２振１１覇分
割ミラー４２の透過率１寸に、 １− Ｒ−＋２）だか
ら振幅分割ミラー４２を透過し全反射ミラー４３で反射
されて而Ｅから射出する光束の強度の率（ｄＥＡ ＝（
１〜１煽）（Ｉ Ｒ４２）同ｑ沃ｔｃ、ｒ＝ Ｉ３ｘ
り入ｒ＞ｔシた光束ＴＩＪＩＩＣ、Ｄ 、 Ｅカら夫々
射出する光束の入射光束の強度に対する率（１００％の
時を１とする）を夫々Ｃｎ ＋ Ｄｏ 、 Ｅｏ Ｌす
ると 倣’：’！ｉｊ分割ミラー４２により反射され振幅分割
ミラー４１を透過して而Ｃがら射出する光束の強度の率
は ＣＩ＋二ｌえ。２（１−■尤。Ｉ） 振’１’ｉｉ！分割ミラー４２によって反射さ九、更に
振＋ｌｌｉπ≦Ｈ；ＩＪ ６ラー４１によって反射さｌ
Ｌる光束の強度の、１・・（Ｊ１克１２ 、 Ｒ，１、
であり、この光束が振１１覇分割ミラー＝ｌ ２ （Ｉ
Ｃよって反射されて而りがら射出するンに束の強ｊ−ツ
の率（はＲ，ｎ Ｘ Ｒ，；’２である１、また、この
光束が振（１届分割ミラー４２を透過して全反射ミラー
１１３によって全没ｑ」されて、而Ｅから射出する光束
の強度の率（ｌｒｉ、■も４１ Ｒ，Ｉ□（ＩＲ４２）
である。寸だ、振幅分割ミラー４２を透過し全反射ミラ
ー４３によって全ｈ Ｊ７ｔ ａれる光束の強度の率（
・ま（１Ｒ４２）で、更’に撮１１’ｉ＋ｉ分Ｉｌｌ
ｓ、 ９−４２を透過Ｌ 而Ｄ カラ！４４ Ｂ」Ｊ−
る光束の強度の率ｉ−１（１−Ｒ４□）２である３９寸
だ、振幅分割ミラー４２で反射され、次に全反射ミラー
４３で全反射されて而Ｅから射出する光束の強度の率（
ｄ、）化４２ （１ｊ１４２）である１、故にＤＩｌ
＝ Ｒ４１−Ｉｔ、”、 ＋（’Ｉ Ｉえ４２）′ま
た、 Ｅ＋３’＝Ｒロ ・ Ｒ４２（１−Ｒ４２、） ＋ｌ
え４２ （Ｉ Ｒ，＋２ ）ところで、はぼ等強
度の出射光束であるだめにはＣＡ 、ＤＡ ＋ ＥＡ
、ＣＢ 、ＤＩｌ 、ｈＢ は、はぼ１／３ｅコ宿しく
なけれはならない。１／３に等しいとすると、」−記よ
り、 Ｒ４１十０．３３３ 、 ’Ｒ１二０．５である１、上
記、実施例から判るように３箇のプリズムからなる光学
素子では１１４＋及びＲ４２を」＝記値１１こ設定する
ことにより射出光の均一な光の強度分布をうることが可
能であり、また、プリズム３１３２の鋭角部分を４５°
に設定゛してあれば１ｆｊｉ Ａ 、’ Ｂから入射し
た光束の径は而Ｃ，Ｄから射出する光束の径と同じであ
る３３シかし、本実施例の場合曲Ｅからも光束が射出す
るのでそれだけの分、光束の径が入射する光束の径に対
して拡大したことになる。第４図は第３図の光学素子に
入射するガウス型の断面強度分布を有する光束（強度の
ビーり値３Ｌ１）が射出しだ時の光束の断面強度分布が
均一イヒする状態を示しており、破線で示す曲線はｊｒ
ｊ Ａから入射し而Ｃ，Ｄ、Ｅから夫々射出する光の強
度分布を示し′ている。捷だ一点鎖線で示す曲線は而Ｂ
かし入射し曲Ｃ，Ｄ、Ｅから夫々射出する光の強度分布
を示している。更に、実線で示しだ曲線はこれら光束の
強度分布が空間的に合成された時の強））！分布を示し
ている、第４図の説明については自明のン′こめ説明を
省略する１、（捷だ、上記実施例の場合も°第１図で説
明した実施例と同じく３次元的（・こ山形のガウス型の
強度分布をもつ光束が本実施−することは明らかである
。）また、プリズムが４１Ｌ１以］二の光学素子につい
ても上記と同様に設計することにより構成することが可
能でめる。まだ、こればかりでなく Ｒ４＋ ’＋ Ｒ
４２を適当に選択するととによりいかなる光束の強度分
イ［ｊの変換も？ｊＪ能となる。更に、一定の強度分布
の光束からガウス型の強度分布をほしい時には第１図及
び第３図に示した光学素子の入射側１を射出側に、射出
ｍｉｌ＋を人ｒ＋ｔイ＋ｔｇにすれ１はよい０、 第５図は本発明に係る光学系Ｑて応用する光変調素子の
一例の部分断面図である１、 ４′は絶縁性の基板、５’ａ 、 ５′ｂ、 ５’ｃ
、 ５’ｄ 。
５’ ｅ ・は列状に配列されたインジウムデインオ
キザイド等の薄膜からなる発熱安素としての発熱抵抗体
、９′は絶縁層、３′はミラー、２′は彼ＩＪ１１熱体
としてのたとえは有機溶剤からなる１１ダ層、白は透明
な保護板で、これらがこの順序で４ｔＴ層さ？して光変
調素子８′が構成されている１、また、６’ａ 、 ６
′ｂ 。
キザイド等の薄膜からなる発熱安素としての発熱抵抗体
、９′は絶縁層、３′はミラー、２′は彼ＩＪ１１熱体
としてのたとえは有機溶剤からなる１１ダ層、白は透明
な保護板で、これらがこの順序で４ｔＴ層さ？して光変
調素子８′が構成されている１、また、６’ａ 、 ６
′ｂ 。
６’ ｃ はスイッチで、夫々発熱抵抗体５’ａ、５
’ｂ。
’ｂ。
５′ｃ に接才完されている１、スイッチ６’ａ、
６’ｌ） 。
６’ｌ） 。
６’ ｃ・・・が閉成されていない時は発〃ｌ（抗体５
′ａ。
′ａ。
５’ｂ、５’ｃ・・（ｄ通電加熱されないので液層２′
の温度は一様であり、従って、ある角度で入射してき。
の温度は一様であり、従って、ある角度で入射してき。
′た光はミラー３′によって正反射されて一定の角度で
光変調素子８′外へ射出する。しかし、スイッチ６”ｃ
が閉成烙れて発熱抵抗体５′Ｃが通電加熱すると、この
熱をうけた液層２′は局部的に’ｌＬ度上昇し、この温
度上昇に伴なって屈折率が他の散層２′の部分と異なっ
たグラティエンド・インチ１ツクス領域７′が生しる。
光変調素子８′外へ射出する。しかし、スイッチ６”ｃ
が閉成烙れて発熱抵抗体５′Ｃが通電加熱すると、この
熱をうけた液層２′は局部的に’ｌＬ度上昇し、この温
度上昇に伴なって屈折率が他の散層２′の部分と異なっ
たグラティエンド・インチ１ツクス領域７′が生しる。
従って、この領域７′に入射する光は屈折等されてその
光路を変更され図示の如く拡がりのある発散光となって
光変調素子から射出する。
光路を変更され図示の如く拡がりのある発散光となって
光変調素子から射出する。
今、ここでは反射型の光変調素子として説明したがミラ
ー３′をなくし基板４′や絶縁層９′を透光性にするこ
とにより透過型の光変調素子もｉｉＪ能である。
ー３′をなくし基板４′や絶縁層９′を透光性にするこ
とにより透過型の光変調素子もｉｉＪ能である。
−また、液層２′を局部約諾加熱して沸騰させ、この中
に蒸気泡を形成し、この蒸気泡ｉ、ｃより光路を変化さ
げることにより光変調してもよい１９寸だ、発熱抵抗体
の代りに赤外４１５！吸収層を用いて赤外線をあてるこ
とにより発熱させてもよい。まだ、上記実施例では光路
変化用の部伺として液体を用いたが固体でめってもよい
。なお、これら光変Ａ素子の詳細な原理及び構成につい
ては特願昭５７−１０２２９３及び特願昭５７〜１’
７８１５４等に記載されているのでこれ以上詳述しない
６．なお、本実施例の場合、発熱抵抗体５’ａ 、 ５
’ｂ 、 ５’ｃの配列方向の断面内Ｏて入射し、反射
する光の場合について説明したが、発熱抵抗体５’ａ
、 ５’ｌ） 、 ５′ｃの配列方向と直交する方向の
面１内で入射１〜、反射する光の場合についても上記と
同じ原理により同様なことがいえる。、なお、発屑弓ｌ
（抗体５′Ｃの・中型が断たれればグラティエンド・イ
ンテックス領域７′は冷却されて自然消滅するし、蒸気
泡（・こついても同様である。
に蒸気泡を形成し、この蒸気泡ｉ、ｃより光路を変化さ
げることにより光変調してもよい１９寸だ、発熱抵抗体
の代りに赤外４１５！吸収層を用いて赤外線をあてるこ
とにより発熱させてもよい。まだ、上記実施例では光路
変化用の部伺として液体を用いたが固体でめってもよい
。なお、これら光変Ａ素子の詳細な原理及び構成につい
ては特願昭５７−１０２２９３及び特願昭５７〜１’
７８１５４等に記載されているのでこれ以上詳述しない
６．なお、本実施例の場合、発熱抵抗体５’ａ 、 ５
’ｂ 、 ５’ｃの配列方向の断面内Ｏて入射し、反射
する光の場合について説明したが、発熱抵抗体５’ａ
、 ５’ｌ） 、 ５′ｃの配列方向と直交する方向の
面１内で入射１〜、反射する光の場合についても上記と
同じ原理により同様なことがいえる。、なお、発屑弓ｌ
（抗体５′Ｃの・中型が断たれればグラティエンド・イ
ンテックス領域７′は冷却されて自然消滅するし、蒸気
泡（・こついても同様である。
第６図は本発明に係る光学素子を光−下）・１、ｊ、／
ｆとしての一隊形成装置に応用した一実施ｐｉｌｌて１
リリ、その上親図である。
ｆとしての一隊形成装置に応用した一実施ｐｉｌｌて１
リリ、その上親図である。
５１は１／−ザ光６東で、たとえばガウス型の強度分布
を有する光束を発生する５、５２は：１リメータレンズ
、５３は本発明に係る光学素子で木す、チ施例の場合第
３図ｒｃ示した１１４成の光学素子を用いた。１５４は
シリンドリカルレンズ、８′は光変調二材子の一一例で
本実施例の場合第５図に示した＋ＩＩｆ戒のものを用い
だが、ここでは発熱抵抗体５’ ａ 、 ５’ ｂ ’
、 ５′ｃからなるヒーターアレイ５′等を１γ１ゴ略
的（Ｃ示している。、５６は光変調素子８′からの正反
射光のみを遮光するたけの大きさ金持つ遮光板、５７は
光変調す子８′からの発散光を投影する投影用１／ンス
、５８は感光ドラムで図示矢印方向（（回転しているも
のとし、この感光ドラム５８の表面の位置１・１投影用
１／ンズ５７を介して発熱抵抗体列５′と光学的に共役
な位置である。
を有する光束を発生する５、５２は：１リメータレンズ
、５３は本発明に係る光学素子で木す、チ施例の場合第
３図ｒｃ示した１１４成の光学素子を用いた。１５４は
シリンドリカルレンズ、８′は光変調二材子の一一例で
本実施例の場合第５図に示した＋ＩＩｆ戒のものを用い
だが、ここでは発熱抵抗体５’ ａ 、 ５’ ｂ ’
、 ５′ｃからなるヒーターアレイ５′等を１γ１ゴ略
的（Ｃ示している。、５６は光変調素子８′からの正反
射光のみを遮光するたけの大きさ金持つ遮光板、５７は
光変調す子８′からの発散光を投影する投影用１／ンス
、５８は感光ドラムで図示矢印方向（（回転しているも
のとし、この感光ドラム５８の表面の位置１・１投影用
１／ンズ５７を介して発熱抵抗体列５′と光学的に共役
な位置である。
次（／Ｃ１第５図及び第６図を参照して本実施例のｉ“
ｆカイ”ｌ” ｔｒｊＱ ’！１１をする。レーザ光源
５１からのレーザ光はフリメータレンズ５２により平行
光束とされた後、光学素子５：ｌ？：より第３図の説明
で述べたようにほぼ均一り強度分布を不する平行光束て
変換される、３この光学素子５３がら射出する平行光束
（，１、／リントリカルレンズ５４によりヒーターアレ
イ５′上のミラー３′」二に線状に集光される３、この
時、光学素子５３にょシ１υを面強度分布の光束の変換
を行なった方向と線状の集光方向とをほぼ一致させる。
ｆカイ”ｌ” ｔｒｊＱ ’！１１をする。レーザ光源
５１からのレーザ光はフリメータレンズ５２により平行
光束とされた後、光学素子５：ｌ？：より第３図の説明
で述べたようにほぼ均一り強度分布を不する平行光束て
変換される、３この光学素子５３がら射出する平行光束
（，１、／リントリカルレンズ５４によりヒーターアレ
イ５′上のミラー３′」二に線状に集光される３、この
時、光学素子５３にょシ１υを面強度分布の光束の変換
を行なった方向と線状の集光方向とをほぼ一致させる。
ヒーターアレイ５′が通電加熱さ九でない時、この線状
ｔｉｃ集光された光束はミラー３′にょシ正・反射され
て遮光板５６にょシ全て遣尤窟れ乞、今、光変調素子８
′のヒーターアレイ５′の内、発熱逝抗体５’ｃが通電
加熱キＪｔたとすると、この上の液層２の部分にグラテ
ィエンド・インデックス領域もしくは蒸気泡が形成され
る。この部分０で人材し射出・する光は図示破線で示し
た如く発散光となり、この発散光の大部分は遮光板５６
により遮光されず投影用レンズ５７により感光ドラノ、
５８に点像として結像される。、従って、ヒーターアＩ
／イ５′ヲ両豫抽号１で応して、駆動することにより、
Δ（に光ドラム５８の表面の図示矢印で示す方向−，１
，： ｌ＋（両イ７ミイ１４号に応じた点１盈の１１−
合体からなる［夕が１１つＩＪｋさｊＬる４、この走査
を繰り返すととにより、゛セ＆尤トジト５８の表面に２
次元のｒＫ＜光１安が形成される１−１後（・１公知の
手段により感光ドラム５８ＶＣ形成きれた静′市ン符像
を適当に処理して用紙等に両区全形成すればよい３、な
お、光変調素子８′のヒータープレイ５′を走査するこ
となく同時にヒーターアレイ５′の所要の発熱抵抗体を
通電加熱して感光ドラノ・５８に線状の点像の集合体を
同時６て形成してもよい９、また、感光トラム５８の代
りＶこスクリーンを配置し、このスクリーンと投影用１
／ンス５６の間にヒーターアレ・イ５′のアレイ方向と
直交する方向に走査さぜるガルバノミラーを、更に収差
補１Ｅ±必要ならばガルバノミラ−とスクリーンとの間
に結１象レンズを配置することによりスクリーンに２次
元画像を・形成して表示することも可能である。
ｔｉｃ集光された光束はミラー３′にょシ正・反射され
て遮光板５６にょシ全て遣尤窟れ乞、今、光変調素子８
′のヒーターアレイ５′の内、発熱逝抗体５’ｃが通電
加熱キＪｔたとすると、この上の液層２の部分にグラテ
ィエンド・インデックス領域もしくは蒸気泡が形成され
る。この部分０で人材し射出・する光は図示破線で示し
た如く発散光となり、この発散光の大部分は遮光板５６
により遮光されず投影用レンズ５７により感光ドラノ、
５８に点像として結像される。、従って、ヒーターアＩ
／イ５′ヲ両豫抽号１で応して、駆動することにより、
Δ（に光ドラム５８の表面の図示矢印で示す方向−，１
，： ｌ＋（両イ７ミイ１４号に応じた点１盈の１１−
合体からなる［夕が１１つＩＪｋさｊＬる４、この走査
を繰り返すととにより、゛セ＆尤トジト５８の表面に２
次元のｒＫ＜光１安が形成される１−１後（・１公知の
手段により感光ドラム５８ＶＣ形成きれた静′市ン符像
を適当に処理して用紙等に両区全形成すればよい３、な
お、光変調素子８′のヒータープレイ５′を走査するこ
となく同時にヒーターアレイ５′の所要の発熱抵抗体を
通電加熱して感光ドラノ・５８に線状の点像の集合体を
同時６て形成してもよい９、また、感光トラム５８の代
りＶこスクリーンを配置し、このスクリーンと投影用１
／ンス５６の間にヒーターアレ・イ５′のアレイ方向と
直交する方向に走査さぜるガルバノミラーを、更に収差
補１Ｅ±必要ならばガルバノミラ−とスクリーンとの間
に結１象レンズを配置することによりスクリーンに２次
元画像を・形成して表示することも可能である。
第６図に示す光学装置としての１１ｊＨｉ像形成装置に
於いて重四な事は本発明に係る光学素子５３を用いる’
ＪＴにより光束がヒーターアレイ５′の並ひ方向に均一
な強度分布を持ち、且つ、ヒーターアレイ５′を１−分
に全面１１６射し得るだけの１〕に板；げられている点
にある５、従って、感光トラム５８上（て形成される点
像の強度はほぼ均一で、高解像の画像が１′（すられる
、。
於いて重四な事は本発明に係る光学素子５３を用いる’
ＪＴにより光束がヒーターアレイ５′の並ひ方向に均一
な強度分布を持ち、且つ、ヒーターアレイ５′を１−分
に全面１１６射し得るだけの１〕に板；げられている点
にある５、従って、感光トラム５８上（て形成される点
像の強度はほぼ均一で、高解像の画像が１′（すられる
、。
以上述へてきたように本発明に係る光学素子は朗１１ｉ
な構成で光束の強度分布を／Ｍ望の光の強度分１ｆｌｉ
ｉＣ変換ししかも光束径の変換も容易に行ないうる、
本発明ｒ（係る光学素子を具備した光プリンター、ディ
スプレ・イ等の画像］に成製）首はムラのない且つ高Ｉ
Ｉｌ’Ｆ ｆｔの高品位な画質を１是供し得る３゜
な構成で光束の強度分布を／Ｍ望の光の強度分１ｆｌｉ
ｉＣ変換ししかも光束径の変換も容易に行ないうる、
本発明ｒ（係る光学素子を具備した光プリンター、ディ
スプレ・イ等の画像］に成製）首はムラのない且つ高Ｉ
Ｉｌ’Ｆ ｆｔの高品位な画質を１是供し得る３゜
第１図（ｌま本発明に係る光学素子の原Ｊ！４１を説明
するための説明］沼、第２図は第１図を説１す］するだ
めの光の強ｊ及分布のＨａｔ ’、ｌ’１図、第３図は
本発明Ｖこ係る光学素子の他の一実施例の説１す１図、
第４図は第３図を祝］夕］するだめの光の強度分布の血
明図、第５１′″！、目す本発明に係る光学装置に用い
る光変調素子の部分断面図、第６図は本発明に係る光学
素子を用いた光学装置の一実施例の」−二親図である３
゜１．２，３１．３２．３３はプリズム、４１゜４２は
振幅分割ミラー、４３（（ｉ全反射ミラー、Ａ 、
Ｂ 、 Ｃ、Ｄ 、 Ｅ は面、 ２′はイ
夜Ｊ酌、 ３′は ミ ラー、５’ａ、 ５’ｂ 、
５’ｃ−は発熱抵抗体、５′はヒーターアレイ、８′は
光変調素子、５１は１／−ザ光源、５２はコリメータレ
ンズ、５３は光学素子、Ｋ・２ ５４は７リントリカルレンス、５６は遮光板、５７は投
影用Ｉ／ンス、５８は感光トラトムである１、ｑ、′ｆ
許出出願人ギヤノン株式会７１・第 ３ 図 （ａ） 第 ４ 図 （ｂ
）第 ５ 図
するための説明］沼、第２図は第１図を説１す］するだ
めの光の強ｊ及分布のＨａｔ ’、ｌ’１図、第３図は
本発明Ｖこ係る光学素子の他の一実施例の説１す１図、
第４図は第３図を祝］夕］するだめの光の強度分布の血
明図、第５１′″！、目す本発明に係る光学装置に用い
る光変調素子の部分断面図、第６図は本発明に係る光学
素子を用いた光学装置の一実施例の」−二親図である３
゜１．２，３１．３２．３３はプリズム、４１゜４２は
振幅分割ミラー、４３（（ｉ全反射ミラー、Ａ 、
Ｂ 、 Ｃ、Ｄ 、 Ｅ は面、 ２′はイ
夜Ｊ酌、 ３′は ミ ラー、５’ａ、 ５’ｂ 、
５’ｃ−は発熱抵抗体、５′はヒーターアレイ、８′は
光変調素子、５１は１／−ザ光源、５２はコリメータレ
ンズ、５３は光学素子、Ｋ・２ ５４は７リントリカルレンス、５６は遮光板、５７は投
影用Ｉ／ンス、５８は感光トラトムである１、ｑ、′ｆ
許出出願人ギヤノン株式会７１・第 ３ 図 （ａ） 第 ４ 図 （ｂ
）第 ５ 図
Claims (2)
- （１）複数のプリズムにより構成され、該プリズム同士
の接合面に設けられた振「１〕分割ミラーにより振巾分
割された光束と該光束の一部″を外１１１１１の該プリ
ズムに設けられた全反射ミラーによって全反射された光
束とを空間的に合成することによって該プリズムへの入
射光束の断面強度分布の変換を行なうことを特徴とする
光学素子、−１ - （２）上記光学素子と該光学素子から割出する光束を縁
状に集光する集光手段と一方向に配置された発熱要素の
加熱による被加熱体の力」）υ〒率分布の変化を利用す
る光変調素子を構成波素とし２、該光学素子により光の
断面強度分布の変換を行な゛りた光束の方向を該集光手
段を介して該光変調素子の加熱要素の配置方向に一致さ
ぜることを！Ｉ♀徴とする走査光学系。 ｆ３） 十９己光学素子と該光学素子から射出する光
束を縁状に集光する集光手段と一方向に配置された発熱
要素の加熱如よる被加熱体の蒸気泡を利用する光変調素
子を構成要素とし、該光学素子によシ光の断面強度分布
の変換を行なった光束の方向を該集光手段を介して該光
変調素子の加熱要素の配置方向に一致させることを特徴
とする走査光学系。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58039143A JPS59165002A (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | 光学素子及びこれを用いた光学装置 |
| US06/586,971 US4641920A (en) | 1983-03-11 | 1984-03-07 | Optical element having the function of changing the cross-sectional intensity distribution of a light beam |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58039143A JPS59165002A (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | 光学素子及びこれを用いた光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59165002A true JPS59165002A (ja) | 1984-09-18 |
| JPH0546526B2 JPH0546526B2 (ja) | 1993-07-14 |
Family
ID=12544879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58039143A Granted JPS59165002A (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | 光学素子及びこれを用いた光学装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4641920A (ja) |
| JP (1) | JPS59165002A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02168205A (ja) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 複合プリズム |
| JP2016090802A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | セイコーエプソン株式会社 | 光学素子、光学素子の製造方法、光学装置および表示装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63283355A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 垂直光入射型画像読取装置 |
| US5289313A (en) * | 1988-09-28 | 1994-02-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical head using semiconductor laser array as light source |
| US5002365A (en) * | 1989-10-16 | 1991-03-26 | Eastman Kodak Company | Beam splitter for color imaging apparatus |
| FR2795877B1 (fr) * | 1999-06-30 | 2001-10-05 | Photonetics | Composant optique partiellement reflechissant et source laser incorporant un tel composant |
| DE10324111B3 (de) * | 2003-05-26 | 2005-01-13 | Usoskin, Olga, Dr. | Verfahren und Vorrichtung zur Verteilung der Stromdichte eines Lichtstroms |
| US11126006B2 (en) * | 2017-12-06 | 2021-09-21 | Institut National D'optique | Optical component for transforming a Gaussian light beam into a light sheet |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
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|---|---|
| US4641920A (en) | 1987-02-10 |
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