JPS59164973A - ロボツト用ペア形計測ヘツド - Google Patents

ロボツト用ペア形計測ヘツド

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JPS59164973A
JPS59164973A JP3824583A JP3824583A JPS59164973A JP S59164973 A JPS59164973 A JP S59164973A JP 3824583 A JP3824583 A JP 3824583A JP 3824583 A JP3824583 A JP 3824583A JP S59164973 A JPS59164973 A JP S59164973A
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JP
Japan
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light
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bright spot
light receiving
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JP3824583A
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English (en)
Inventor
Giichi Ito
義一 伊藤
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NIPPON TSUSHIN GIJUTSU KK
Original Assignee
NIPPON TSUSHIN GIJUTSU KK
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88Lidar systems specially adapted for specific applications

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は溶接用ロボットにおいて、作業対象物の形およ
び位置を測定するための計測ヘッドに関するもので、溶
接作業では溶接アークが妨害雑音光になるので、この妨
害を軽減するために、特別な変調を加えたレーザビーム
のごとき細い光線を被測定物表面に投射した時化ずる明
るい輝点ヲ一対の光学的受光器で受け、受光器の出力な
マイコンで処理して、被測定物上の輝点の位置を算出す
るようにし、このような多数の点の連らなりとして、被
測定物表面の形を求めるものである。
従来のロボット計測で物体の形状を求めるには、イメー
ジカメラで物体の像を撮像し、そ・の画像をコンピュー
タ処理して所要の特徴を抽出する方法が用いられてきた
が、この方法では物体の形状がλ次元的にしかとらえら
れないこと、および溶接アーク光の雑音光妨害の除去が
困難である等の欠点があった。また、アーク溶接では特
に磁気センサも用いられてきたが、被測定物の正確な形
はわからない等の欠点があった。
本発明は一対の受光系をもつ受光器とその出力を処理す
る測定回路とマイコン、および変調された細い元ビーム
を発射する投光系とからなる簡単な構成で、被測定物の
表面の形を3次元的に測定でき、かつ雑音光の妨害を軽
減できることが特徴である。以下その詳細につき説明す
る。
第1図に本発明の計測ヘッドの構成を示す。図において
Lは光ビームLsを発射する投光器、几′。
几′は全(同じ特性をもつ受光器で、集光レンズχ−′
・A″と受光素子アレーS警 S S Y備えている。
投光器の元ビームLsは計測ヘッドの正面方間OMを含
む一平曲内で、元ビームの方向を一定範囲内で、時間関
数θ(1)にしたがって変化する。投光器り、受光器几
I R’は計測ヘッドの本体Bに取付けられ左右対称な
構造を持っている。
投光器りより発せられた光ビームLsは被測定物表面J
に入射して輝点Aを生じ、Aで乱反射される。その反射
光の一部が受光器R′およびR′に入り、受光器内に輝
点の像を結ぶ。この結像面に、輝点像の移動方向と一致
する方向に受光素子、/17(i−/、、2.・・・n
)を並べて成る受光素子アレーSaが設げられている。
受光素子アレーSaとその素子−A、は、それらがR′
に属するか、R′に楓するかによりSム、S二、A:、
Δ′、パで示す。
第1図の計測ヘッドの光学的構成を抽出して第2図に示
す。計測ヘッドの中心軸をy軸にとり、計測ヘッドは左
右対称で、受光器のレンズX:、久:’の中心o’、 
o’を結ぶ直線をχ軸にとる。■′−■L=aとする。
L、は光ビームで被測定物表面Jに投射して輝点を生じ
、受光器几′、几′は輝点像う′・ソ゛′を受光素子ア
レー”a + S’a上に結ぶようになっている。輝点
像は受光素子アレーとレンズとの距離を調整して、常に
受光素子アレー上に結ぶようになっているものとする。
この焦点調整について゛は後に述べる。この状態は第2
図に示すごとくである。
輝点Aは元ビームの方向変化にともなって被測定物表向
上を移動する。輝点が移動すれば受光器内の評点像9゛
または夕″はそれぞれ受光素子アレ+ 84または8工
上で移動する。このノ′、9jJの位置は輝点像対応の
電気出力を生じた受光素子の位置を調べることにより求
められる。この輝点像の位置検出法を第3図に示した。
これについては後に説明する。
なお、実際には輝点と受光素子アレーとの交叉馨容易に
するため、輝点の形な細長の形にする方が望ましい。
上述のような構成をとり、輝点の位置座標を人、仏輝点
像ツ′の座標なχS I I’l b輝点像ノ′の座標
Y 瀉、 ?!;  とする。さらにまた、考え易くす
るために、 χ;;=a÷ξ1 :X、7ミーa+ξ7 とおけば、次の関係が得られる。
ξ′−ξ′ り1= f−−X?)=f(l−二)  ・・・・・・
・・・ (3)!a f:レンズの焦点距離 、C,Xr、あるいは、ξ1.ξτ は輝点像に対応す
る電気出力を生じた受光素子の位置を知ることによって
求められる。これらの値と上式を用いれば、輝点位置人
、り、および輝点像6結ぶ面のレンズからの距離1り1
1が求められる。
光ビームを被測定物に投射した時は、受光素子アレーは
ン(の位置にないから、受光出力を生じた素子から算出
したち+ l’ l ?”’は正しい値乞示さなイカ、
こ)yi’ Y−仄近似として受光素子アレーとレンズ
との距離を修正し、2回目の測定を行ない同様の修正を
行なう。このような過程を繰返せば、受光素子アレーの
位置は正しい輝点の結像mvc調整され、この時のへ、
?Aは正しい輝点の位置を示すことになる。
上記測定を元ビームの方向を変えて行なってゆけば被測
定物を元ビーム面で切断した切口の形状が求められる。
第3図は受光器の輝点像検出法を示す図である。
図においてS、ハ受光素子アレー、A、、A、、・・・
 。
イ・・・・ノ、Lはその受光素子を示す。各受光素子Δ
・の出力は切換スイッチSWで切換えて復調器d嵐に入
力される。切換スイッチswはスイッチコントロー 5
p 5W−0ONTにより適当なタイミングで切換えら
れる。図は原理を示しており、実際は電子的に高速度で
切換えられる。受光素子アレー〇位置がマイコンで算出
されると、その値は常にIIコントローラ(,7’; 
−0ONT )に入力されSa k yiの位置に調整
する。
実際の測定では、輝点Aは被測定物表面をかなりの速度
で移動し、測定が遂次性なわれていくので、島の調整に
十分な時間が得られぬおそれはあるが、物体の表面は大
てい連続的に変化していて、輝点移動に伴なうt:の変
化は割合に小さいので1次次と得られる>1の値を>’
、 −QC)NTに遂次入力していくようにすれば、実
用上差支えない程度の精度の測定を行なうことができる
。あるいはまた、過去のt;の測定値を用いて、次の)
1の値を推定してそれを用いることにより、さらに正確
な測定ができる。
次に、雑音の除去について説明する。アーク溶接におい
ては溶接アークが強い元を放射し、これが計測ヘッドの
投光器より発する元ビームすなわち信号光に対して雑音
光となって測定妨害になる。
この雑音光の妨害をなるべく少くするために次の3つの
手段□を講する。
(1)投光器の発する光ビーム(信号光)の波長を溶接
アーク光(雑音光)の波及と異る値に選ぶ。
これが不可能のMA会は雑音光のスペクトル強度の弱い
波長を選ぶようにする。
(11ン  受光器の入口に元ビーム(信号光)の波長
乞通過域にもつ光のバンドパスフィルタ’a? 用イ”
C1雑音元を除去する。
011)元ビーム(信号光)に、溶接アーク光(雑音光
)に含まれない形式の変調を加え、受光器の電気出力を
彷訳した時、復調出力に原信号(変藺波)が含まれるか
否かにより、受光素子が輝点なとらえたかどうかを識別
するよ5ICする。
上記(+)、 (ii)、 G111の手N’&講する
ことにより、雑音光の妨簀ヲ除去し、精度のよい測定を
行なうことができる。
次に本発明の測定系を第弘図について説明する。
図においてO20は発振器で正弦波ある□いは連続繰返
しのパルスを発振する。その出力は変調器MODによっ
て変調され、変調器の出力によって投光器りを駆動する
と、投光器から発する光ビームは変調器出力と同様な変
調を受けている。この光ビームが被測定物表面Jに入射
すると輝点Aを生じ、そこから乱反射され、この乱反射
光が受光器九′。
几′に入る受光器の出力側は第3図に示したように構成
されている。切換スイッチSWは受光素子の出力を高速
で順次切換えて、復調器DEM に入力する。DEMは
その入力を復調して、識別器DI8に入力する。DI8
は復調器出力に変調波成分が存在するかどうかを識別し
、変調波成分が存在する時にのみサンプリンクパルスを
出力する。この場合、変調波成分が存在することは、そ
れに対応する受光素子ICjilt点からの入力があっ
たことを示すものである。
スイッチコントロー9SW−0ONTは切換スイッチS
Wの端子の切換を制御する信号を発生して、その出力を
切換スイッチに入力してSWヲ制御するとともに、その
出力をスイッチ端子番号発生器5W−NOに入力して、
切換スイッチがオン(ON)になっている端子番号を発
生する。識別器DI8が変調波成分を認めたときに発生
したパルスは端子番号発生器5W−NOより端子番号t
サンプリングして、それをマイコンμm00M)’へ入
力する。この端子番号は輝点なとらえた受光素子の位置
に対応しているので1式(1)、(2)・(3)におけ
るχ;、X;  またはξ1.ξ1′ニ対応している。
したがって、端子番号発生器5W−NOの出力をマイコ
ンμm00M1’に入力すれば、μmUOMPは式(1
)、(2)、(3)により文、。
シA、’ iI”a’算出することができる。ここで、
μm00MPは?11を出力して、ν(馨支光累子アレ
ー位匝制御器バー (EON’I’に入力する。受光素
子アレー位置制御器>;−coN′rは、現実の受光素
子アレーの位置(ハ騙とμm00MI’からの入カク:
とな比較して。
(グI′)ac” ’p’iなる場合は受光素子アレー
の位置ケ−l;に修正するための出力を受光素子位置調
整器SQD・S1Dに入力し、受光素子アレーを輝点の
結像位置におくようにする。さらにまた、μm00MP
はあらかじめ設定されているプログラムにより。
、L、 、 弘  の値からロボット制御信号几−0O
NTを作成し出力する。
以上述べたところかられかるように、本発明の計測ヘッ
ドは次のような著しい特徴をもつ℃いる。
(1)測定系が割合簡単である。
(11)受光器の焦点調整(受光素子を輝点結像位置に
調整)を輝点走行にともなって自動連続的に行ってい(
ので、測定精度がよくなる。
G11)短時間で多数の測定点な遂次、継続的に得るこ
とができるので、アーク浴接のような連続作業に適して
いる。
(IV)  雑音光による妨害が大巾に軽減される。
なお、これまでの説明でわかるように、投光器の取付は
位置は第1図では計測ヘッドの中央に取付げ、計測ヘッ
ド全体をほぼ対称に構成しているが、投光器の取付位置
はどこであっても差支えない。これは式(1)、 (2
)、 (3)の中に投光器の位置が含まれていないこと
からも容易にわかることである。
また、本発明の中では、投光器の光ビームの方向を振っ
て被測定物表面を走査する形としているが、光ビームの
方向を振る代りに、計測ヘッド全体を回転しても測定可
能である等種々の変形があることは云うまでもないこと
である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のロボット用計測ヘッドの測定状況を示
す図、第2図は計測ヘッドの光学系の構成と測定原理を
示す図、第3図は計測ヘッド受光系の構成を示す図、第
≠図は計測ヘッドの測定系全体の構成概要1を示す図で
ある。 Bは測定ヘッドの本体、Lは投光器、几り、fLlは受
光器、χコ、フはレンズ Ql 、 Oyはレンズの中
心、S′a、S′lは受光素子アレー、L8は光ビーム
、1、/、、 L’は反射光、Aは輝点、Jは被測定物
表面、叉、グは座標軸で、0はその原点、FJ、 pl
はそれぞれレンズZ/ 、 /−/、の焦点、fはレン
ズiF−’ 、 /、:rの焦点距離、1.9”は輝点
像、その位置はそれぞれ(χ)、ケ(′)・(λτ 、
i′)、4・′・イf′はそれぞれ9′、ノア位置にあ
る受光素子、aは距離面’=oo’FILは光バンドパ
スフィルタ、oscは発振器、MODは変調器、DEM
は復調器、 SWは受光素子アレーの受光素子端子をサ
ーチする切換スイッチ、DISは復調器出力に変調波成
分の存否を識別するための識別器、8W−0ONTは切
換スイッチswk制御するスイッチコントローラ、5W
=−NOは切換スイッチがONになっている受光素子端
子番号を示すスイッチ端子番号発生器、8BD + %
Dは受光素子アレーの位置を補正するための調整器、 
y、ニーDONTはマイコンμm00MPより71″の
値?受は取っ℃、受光素子アレーの位置を補正するため
の出力を発生する受光素子アレー位置制御器、μm00
M)’は輝点位置および輝点結像位置テ1を計算すると
ともに、ロボットの制御信号を発生するマイコン。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  投光器および同じ構造と性能をもつ一対の受
    光器を備え、投光器は方向可変の細い元ビームを被測定
    物表面に投射し、その場合化ずる輝点で被測定物錬LI
    Iiを走査できるようにし、受光器は互に一定距Mをへ
    たてて、計測ヘッド本体に対称に取付けられ、かつ、レ
    ンズと受光素子アレー?備え、受光素子アレー上に結ぶ
    輝点1象の位置を受光素子アレーの受光素子の出、力に
    おきかえてマイコンに入力し、被測定物表面の輝点の位
    置を算出するとともに、レンズと輝点像の距離を算出し
    、この算出値を用いてレンズと受光素子アレーとの距離
    を輝点の結像位置に調整するようにしfこことを特徴と
    するロボット用ベア形計測ヘッド。
  2. (2)  前記特許請求の範囲第1項において、光ビー
    ムに変調を加え、受光器出力側では受光素子端子を切換
    スイッチで高速で切換えて、順次復調器に入力して復調
    し、この復調出力に変調波成分が含まれている場合は受
    光素子上に輝点像が結ばれたとしてサンプリングパルス
    を発生し、このパルスによって、切換スイッチがオン(
    ON)になっている受光素子端子の順番をサンプリング
    して、それをマイコンに入力し、輝点の位置および輝点
    像とレンズとの距離を算出するようにしたことを特徴と
    するロボット用ベア形計測ヘッド。
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Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0228773A (ja) * 1988-04-09 1990-01-30 Ntt Technol Transfer Corp 物体形状測定法
US5046851A (en) * 1987-03-18 1991-09-10 Davy Mckee (Poole) Limited Position sensing method and apparatus
US7706917B1 (en) 2004-07-07 2010-04-27 Irobot Corporation Celestial navigation system for an autonomous robot
US8239992B2 (en) 2007-05-09 2012-08-14 Irobot Corporation Compact autonomous coverage robot
US8253368B2 (en) 2004-01-28 2012-08-28 Irobot Corporation Debris sensor for cleaning apparatus
US8368339B2 (en) 2001-01-24 2013-02-05 Irobot Corporation Robot confinement
US8374721B2 (en) 2005-12-02 2013-02-12 Irobot Corporation Robot system
US8380350B2 (en) 2005-12-02 2013-02-19 Irobot Corporation Autonomous coverage robot navigation system
US8386081B2 (en) 2002-09-13 2013-02-26 Irobot Corporation Navigational control system for a robotic device
US8382906B2 (en) 2005-02-18 2013-02-26 Irobot Corporation Autonomous surface cleaning robot for wet cleaning
US8387193B2 (en) 2005-02-18 2013-03-05 Irobot Corporation Autonomous surface cleaning robot for wet and dry cleaning
US8390251B2 (en) 2004-01-21 2013-03-05 Irobot Corporation Autonomous robot auto-docking and energy management systems and methods
US8396592B2 (en) 2001-06-12 2013-03-12 Irobot Corporation Method and system for multi-mode coverage for an autonomous robot
US8412377B2 (en) 2000-01-24 2013-04-02 Irobot Corporation Obstacle following sensor scheme for a mobile robot
US8417383B2 (en) 2006-05-31 2013-04-09 Irobot Corporation Detecting robot stasis
US8418303B2 (en) 2006-05-19 2013-04-16 Irobot Corporation Cleaning robot roller processing
US8428778B2 (en) 2002-09-13 2013-04-23 Irobot Corporation Navigational control system for a robotic device
US8950038B2 (en) 2005-12-02 2015-02-10 Irobot Corporation Modular robot
US8972052B2 (en) 2004-07-07 2015-03-03 Irobot Corporation Celestial navigation system for an autonomous vehicle
US9008835B2 (en) 2004-06-24 2015-04-14 Irobot Corporation Remote control scheduler and method for autonomous robotic device
US9038233B2 (en) 2001-01-24 2015-05-26 Irobot Corporation Autonomous floor-cleaning robot
US9128486B2 (en) 2002-01-24 2015-09-08 Irobot Corporation Navigational control system for a robotic device
US9320398B2 (en) 2005-12-02 2016-04-26 Irobot Corporation Autonomous coverage robots
US10314449B2 (en) 2010-02-16 2019-06-11 Irobot Corporation Vacuum brush
US10470629B2 (en) 2005-02-18 2019-11-12 Irobot Corporation Autonomous surface cleaning robot for dry cleaning
WO2020017379A1 (ja) * 2018-07-18 2020-01-23 株式会社小糸製作所 測距装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5745406A (en) * 1980-09-03 1982-03-15 Hitachi Ltd Three-dimensional coordinate measuring device
JPS57207852A (en) * 1981-05-15 1982-12-20 Siemens Ag Method of detecting three-dimensional object

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5745406A (en) * 1980-09-03 1982-03-15 Hitachi Ltd Three-dimensional coordinate measuring device
JPS57207852A (en) * 1981-05-15 1982-12-20 Siemens Ag Method of detecting three-dimensional object

Cited By (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5046851A (en) * 1987-03-18 1991-09-10 Davy Mckee (Poole) Limited Position sensing method and apparatus
JPH0228773A (ja) * 1988-04-09 1990-01-30 Ntt Technol Transfer Corp 物体形状測定法
US8412377B2 (en) 2000-01-24 2013-04-02 Irobot Corporation Obstacle following sensor scheme for a mobile robot
US9144361B2 (en) 2000-04-04 2015-09-29 Irobot Corporation Debris sensor for cleaning apparatus
US9622635B2 (en) 2001-01-24 2017-04-18 Irobot Corporation Autonomous floor-cleaning robot
US8368339B2 (en) 2001-01-24 2013-02-05 Irobot Corporation Robot confinement
US9038233B2 (en) 2001-01-24 2015-05-26 Irobot Corporation Autonomous floor-cleaning robot
US8396592B2 (en) 2001-06-12 2013-03-12 Irobot Corporation Method and system for multi-mode coverage for an autonomous robot
US9128486B2 (en) 2002-01-24 2015-09-08 Irobot Corporation Navigational control system for a robotic device
US9949608B2 (en) 2002-09-13 2018-04-24 Irobot Corporation Navigational control system for a robotic device
US8386081B2 (en) 2002-09-13 2013-02-26 Irobot Corporation Navigational control system for a robotic device
US8428778B2 (en) 2002-09-13 2013-04-23 Irobot Corporation Navigational control system for a robotic device
US8854001B2 (en) 2004-01-21 2014-10-07 Irobot Corporation Autonomous robot auto-docking and energy management systems and methods
US8390251B2 (en) 2004-01-21 2013-03-05 Irobot Corporation Autonomous robot auto-docking and energy management systems and methods
US8253368B2 (en) 2004-01-28 2012-08-28 Irobot Corporation Debris sensor for cleaning apparatus
US8378613B2 (en) 2004-01-28 2013-02-19 Irobot Corporation Debris sensor for cleaning apparatus
US9008835B2 (en) 2004-06-24 2015-04-14 Irobot Corporation Remote control scheduler and method for autonomous robotic device
US8972052B2 (en) 2004-07-07 2015-03-03 Irobot Corporation Celestial navigation system for an autonomous vehicle
US7706917B1 (en) 2004-07-07 2010-04-27 Irobot Corporation Celestial navigation system for an autonomous robot
US8874264B1 (en) 2004-07-07 2014-10-28 Irobot Corporation Celestial navigation system for an autonomous robot
US8392021B2 (en) 2005-02-18 2013-03-05 Irobot Corporation Autonomous surface cleaning robot for wet cleaning
US8387193B2 (en) 2005-02-18 2013-03-05 Irobot Corporation Autonomous surface cleaning robot for wet and dry cleaning
US10470629B2 (en) 2005-02-18 2019-11-12 Irobot Corporation Autonomous surface cleaning robot for dry cleaning
US8382906B2 (en) 2005-02-18 2013-02-26 Irobot Corporation Autonomous surface cleaning robot for wet cleaning
US8855813B2 (en) 2005-02-18 2014-10-07 Irobot Corporation Autonomous surface cleaning robot for wet and dry cleaning
US8374721B2 (en) 2005-12-02 2013-02-12 Irobot Corporation Robot system
US10524629B2 (en) 2005-12-02 2020-01-07 Irobot Corporation Modular Robot
US8950038B2 (en) 2005-12-02 2015-02-10 Irobot Corporation Modular robot
US8380350B2 (en) 2005-12-02 2013-02-19 Irobot Corporation Autonomous coverage robot navigation system
US8954192B2 (en) 2005-12-02 2015-02-10 Irobot Corporation Navigating autonomous coverage robots
US9320398B2 (en) 2005-12-02 2016-04-26 Irobot Corporation Autonomous coverage robots
US9149170B2 (en) 2005-12-02 2015-10-06 Irobot Corporation Navigating autonomous coverage robots
US10244915B2 (en) 2006-05-19 2019-04-02 Irobot Corporation Coverage robots and associated cleaning bins
US8418303B2 (en) 2006-05-19 2013-04-16 Irobot Corporation Cleaning robot roller processing
US9955841B2 (en) 2006-05-19 2018-05-01 Irobot Corporation Removing debris from cleaning robots
US8417383B2 (en) 2006-05-31 2013-04-09 Irobot Corporation Detecting robot stasis
US10299652B2 (en) 2007-05-09 2019-05-28 Irobot Corporation Autonomous coverage robot
US10070764B2 (en) 2007-05-09 2018-09-11 Irobot Corporation Compact autonomous coverage robot
US8438695B2 (en) 2007-05-09 2013-05-14 Irobot Corporation Autonomous coverage robot sensing
US8239992B2 (en) 2007-05-09 2012-08-14 Irobot Corporation Compact autonomous coverage robot
US8839477B2 (en) 2007-05-09 2014-09-23 Irobot Corporation Compact autonomous coverage robot
US11072250B2 (en) 2007-05-09 2021-07-27 Irobot Corporation Autonomous coverage robot sensing
US11498438B2 (en) 2007-05-09 2022-11-15 Irobot Corporation Autonomous coverage robot
US10314449B2 (en) 2010-02-16 2019-06-11 Irobot Corporation Vacuum brush
US11058271B2 (en) 2010-02-16 2021-07-13 Irobot Corporation Vacuum brush
WO2020017379A1 (ja) * 2018-07-18 2020-01-23 株式会社小糸製作所 測距装置
JPWO2020017379A1 (ja) * 2018-07-18 2021-08-02 株式会社小糸製作所 測距装置

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