JPS59163857A - GaAs論理集積回路 - Google Patents

GaAs論理集積回路

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JPS59163857A
JPS59163857A JP58037500A JP3750083A JPS59163857A JP S59163857 A JPS59163857 A JP S59163857A JP 58037500 A JP58037500 A JP 58037500A JP 3750083 A JP3750083 A JP 3750083A JP S59163857 A JPS59163857 A JP S59163857A
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fet
gaas
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井川 康夫
Akimichi Hojo
北條 顕道
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/02Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components
    • H03K19/08Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices
    • H03K19/094Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors
    • H03K19/0952Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors using Schottky type FET MESFET
    • HELECTRICITY
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    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/0008Arrangements for reducing power consumption
    • H03K19/0013Arrangements for reducing power consumption in field effect transistor circuits

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はGaAs論理集積回路に関するものである。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来GaAs論理集積回路(以下GaAsICと略称)
の回路構成法としては、BFL(Buffered F
ETLogic)、SDFL(Schottky Di
ode FET Logic)又はDCFL(Dire
ct Coupled FET T,ogic)と呼ば
れるものが知られ各所で精力的な研究開発が行なわれ伊
:摂も重要なFETとしてはショットキーダート型FE
T(MES FET)を用いるが、これには大別して2
種類ある。すなわちノーマリオン型FETとノーマリオ
フ型FETである。前者はケゝ−ト電圧がソース電極に
対し零の時ドレイン・ソース間が導通状態にあり、デグ
レション型とも呼ばれ、後者は、ケ゛−ト電圧零〇時非
導通状態に必りエンハンスメント型とも呼称されている
。以下、ノーマリオン型FETをDFET )ノーマリ
オフ型FETをEFETと呼ぶ。DFETを基本FET
としだ回路がBFL 、 5DFLであり、EFETを
基本FETとしだ回路がDCFLである。第1図にBF
L 、第2図に5DFL M第3図にDCFLの回路構
成を示す。
第1図のBFLにおいては、ドライバとなるDFET7
7 (11,〜114 )と負荷となるDFET7.?
を直列に配し、入力信号VINを反転させる。この反転
した信号レベルは、次段の入カケゞ−トがDFETで構
成されているためそのitで−”′は使えず、レベルシ
フトを行なう必要がある。
4−そのため出力段に、ソースフォロアDFET 13
、; 5′シヨツトキーダイオード14(141〜143 )
シフト回路を設けている。このレベルシフト回路には電
流源としてのDFET15によって常に電流がmL:)
′しており従って消費電力は太きい。
第2図に示す5DFLにおいては、DFET21をドラ
イバ、DFET22を負荷としてインバータを構成する
が、その入力部で入力信号のレベルシフトを行う。即ち
、論理ケ8−ト用ショットギーダイオード23(231
,232)、レベルシフト用ショットキーダイオード2
4および′就流源用DFET25により入力部レベルシ
フト回路を構成して、インバータのドライバEFET2
1を動作させる信号レベルを得ている。これはBFLの
ソースフォロワFETに相当するFBTかないこと、論
理ケ8−トとしてBFLのようにFET群11を使わず
にショットキーダ・fオード23を用いていることのた
めにBFLに比べ消費電力は小さくなるが、しかしやは
りレベルシフトのために電力を消費せざるを得ない。
第3図に示すDCFLにおいては、ドライバにEFET
 31を用い、負荷にDF’ET 32を用いる。こ4
− のため出力信号V。U、のレベルは次段のダートを動作
させることができ、入力信号v1Nとレベルコンパティ
プルにすることができる。従って、BFLや5DFLの
場合のようなレベルシフト回路が不要でそれだけ低消費
電力で動作させることができる。その反面、EFETを
ドライバとしているため、低レベルを出力するためには
負荷のDFETとしてドライバより電流容量の小さいも
のを用いなければならず、従ってドライブ能力にかけ、
動作速度がやや遅くなるという難点がある。
第4図に、現在まで報告されている各柚論理集積回路の
r−)当り遅延時間と消費電力の関係を示す。GaAs
ではDCFLが最も低消費電力であることが明らかであ
るが、DFETを用いるBFLや5DFLに比べて動作
速度はやや遅いという傾向がある。消費電力については
、GaAIIはStのようにMO8構造の実現が困難で
あるためCMO8回路が得られず、DCFLでさえもS
t−0MO8より1桁以上大きくなっている。
5− ところでGaAs I CQ高集積化を考えた場合、I
Cの放熱条件を考えると1チツプaD :tw程度と考
えるのが、実用上の上限である。これはる。そこで、数
1000ケ゛−ト規模以上のGaAsLSIを実現しよ
うとすれば、r−1−当りの消費電力は数100μW以
下にする必要がある。BFLや5DFLでこれを実現す
るのは無理であるし、DCFLを用いても、困難を伴な
うことが予想される。またDCFLの場合、集積度が大
きくなった時増大する負荷のために動作速度の遅くなシ
方が激しいという問題がある。これはDCFLのドライ
ブ能力の小ささに起因している。従ってダート当りの伝
播遅延時間τpdの負荷依存性はDCFLの場合大きい
。このことはICの高集積化にとってもう一つの問題と
なる。即ちLSIにおいては1つの論理ダートから次の
論理ダートまで信号を伝えるための配線長は平均で数嗣
にも及ぶよ6− うになるため、接地面との間の容量は大きな負荷となる
し、又、多層配線のクロスオーバ一部の容量も負1d工
となる。その上、1つの論理ダートの出力は一般にいく
つかの崗理ダートの入力に接続されることが回路構成上
必要で、この次段の入力容量も大きな負荷となる。これ
らの容量負荷は、幅4μmの配線で100〜200fF
烏。
4μmX4μmのクロスオーバーでは5〜10fF/個
、ファンアウト1つ当り100〜200fF程度と見積
られ、IC中の平均配線長を3鑓、平均ファンアウトを
3、平均クロスオーバー召−20個とすると、を論理ダ
ートが負う出力容tj′は0,7〜1.4 pFとなる
。これはダート長1μm1ダート回路は内部回路の容量
負荷より1桁以上大きな負荷を駆動する必要が生じる。
この出力回路においてICの速度を損わないようにする
と、出力回路のFETの駆動市、流は叔10niA以上
必要となシ、電源電圧1〜3VとしてもICの出力数1
0〜20個でも出力回路だけの消費電力がIW程度にな
ってしまう。
以上のように、低消費電力性と高速性を保ちながらなお
かつ、LSIレベルの集積度ヲGaAsIcで実:9i
、 I、ようとすると、現在知られている回路構成では
極めて困知を伴なうことがわかる。
〔発明の目的〕
本発明は、これら従来のGaAs I C回路構成の欠
点に錯みなされたもので、ダート当シの消費電力が小さ
く、なおかつ負荷増大にも血]えうるドライブ能力の大
きな基本r−1−回路構成を提供することを目的とする
〔発明の概要〕
−本発明け、ドライバとしてEFET 、負荷として1
1、DFETを用いたインバータ回路を基本とし、その
1; 一オフさせ、疑似相補型の動作を行わせる。具体的には
ドライバとしてのEFET (第]のGaA s FE
T )と負荷としてのDFET (第2のGaAs+ 
FET )の間にレベルシフト用のショットキーGaA
aダイオ−rを1個以上介在させたインバータを構成し
、入 “力信号により制御されて所定の制御電源を第2
のGaAs FETのダートに選択的に供給するDF’
ET(第3のGaAg FET )を設けると共に、第
2のGaA+s FETのドレイン・ダート間にr−)
・ソース間を共通接続したDFET (第4のGaAs
 FET )を介在させる。そして、各素子特性および
各部の電位関係を設定することによシ、■入力信号が高
レベルで第1のGaAa FETがオンとなるとき、第
3のGaAs FETをオンにして第2のGaAa F
ETにそのグー)・・ソース間電圧がピンチオフ電圧以
下となるような制御電圧を与えて、第2のGaAsFE
Tをオフにする。例えば第3のGaAs FETの飽和
ドレイン電流(ダート・ソース間電圧が苓の□、ときの
ドレイン電流)を第4のGaAs FETのそれ〕・ □より大きくしておけは、前記制御電源をほぼそのまま
第2のGaAs FETのf−トに与えてこれをオフに
することができる。■また入力信号が低9− レベルで第1のGaAs FETがオフになるとき、第
3のGaAs FETをオフにして第4のGaAs F
ETを介して第2のGaAs FET0ケ“−トに主電
源電圧を与えてこれをオンにする。
〔発明の効果〕
本発明に係る回路は、上述のようにドライバFETがオ
ンのとき負荷FETがオフ、ドライノぐFETがオフの
とき負荷FETがオンという相補型動作を行わせる。こ
の結果、ドライバFETがオンのときも貫通電流が流れ
ることはない。またDCFLと異なり、負荷FETの電
流容量を大きくできるから、ドライバFETがオフのと
きに次段に十分な負荷電流を供給できるドライブ能力を
持たせ得る。址だ負荷F”ETを制御するだめの第3゜
第4のGaAs FETの回路部分は負荷FE’I’の
みを負荷とするので駆動能力の小さい低消費電力構造と
しても高速性が損われ々い。
従って本発明によれば、低消費電力でかつ高速動作が可
能なGaAs LSIを実現することができ〔発明の実
施例〕 次に本発明を、実施例を示しながら詳Mfflに説明す
る。第5図に一実施例の回路を示す。ドライバとなるE
FET (第1のGaAs FET ) 51と負荷と
なるDFET (第2のGaAsFET ) 52を主
電源VflDと接地間に直列接続してインバータを構成
するのが基本である。EFET51のドレインとDFE
T 52のソース間にはレベルシフト用のショットキー
GaAgダイオードs 4(s4. 、s4□)を設け
ている。負荷としてのDFET、52のケ゛−トはDF
ET (第3のGaAaFET ) 53を介して制御
電源v8sに接続すると共に、ゲート・ソース間を共通
接続したDFET (第4のGaAsFET ) 55
を介してドレイン、即ち主電源■DDに接続している。
ここでDFET、5.9はその飽和ドレイン電流がDF
ET 55のそれより大きくなるように設定されている
。捷だ制御電源V8sは主電源VDDに対してO<vs
s<VDDなる所定の値に設定されている。入力信号V
1NはショットキーGaAsダイオード56を介してE
FET51のデートに供給されると同時に、DFET5
3のダートにも直接供給されるようになっている。出力
信号V。UTはEFET51のドレインから取出される
1 との回路の動作は次のように説明できる。
まず入力信号vINが篩レベル■□であると、ドライバ
のEFET、57とDFET、5.9はオン(導通状態
)となる。その条件は、DFET52のピンチオフ電’
、c −t v、 、EFET s 1のスレッショル
ド電圧を′1゜ Vthとすると、 ・・  v、 > v88+ v、         
   ■■H”1)>Vth            
(拶と表わされる。但し、■、2は負、Vthは正であ
り、また■9はダイオード56の両端電圧(はぼ立上シ
ミ圧)である。
このとき、DFET53がオンであって、その飽和ドレ
イン電流がDFET55のそれよシ大きいことから、D
FET5.9のドレイン電位はほぼvSsとなり、これ
が負荷のDFET、52のケ“−トに印加される。一方
、EFET 51がオンで耳〉るから、もしDFET 
52がオンであれQづ:主’#lに源VDDからDFE
T、’j、?→ダイオード541.542→EFET5
7を通って接地へと電流が流れる。このとき出力端知5
位をvoUTl、ダイオード541,542’ での電
圧降下を2×VDとすると、DFET、52のソース電
位はvoUT、+2×VD である。DFET、52のピンチオフ電圧をv、1(負
)、とすれば、 1Vss<VoUT1+2×VD+V、1    ■が
成立するとDFET5.?はオフ(非導通状態)と□゛
なる。そのだめの十分条件は、Vooア≧0であるて、
DFET 52の過去の状態の如伺にかかわらず、入力
信号V工、が高レベルvl(のとき、EFET51はオ
ン、DFE’ll’ 52はオフとなる。
次に入力信号■XNが低レベルvLであると、DFET
 53とEFET、5Zはオンとなる。その条件ばVL
 (vs8+■r)2            ■13
− vL−vD<vth             <gと
表わされる。このとき、DFET 53がオフとなるの
でそのドレイン電位IJ:はぼ主電動vDD電位となり
、これがDFET52のダートに印加される。
これによりDFET52はオンとなシぞのソース電位は
はホVDDとなる。従って出力イh号V。UT2はvo
UT2=vI)D−2×■o        ■となる
以上のように、入力がA L/ペルVH″′Cあると出
力はほぼ0(接地電位)、入力が低レベルVLであると
出力は0式で表わされる高レベルとなる。
以上の動作をする条件をまとめると、 v、、 ) vSs+ V、            
■v、、 −v。> Vth           ■
v、8〈2×VD十V、1       ■I■L <
 vsS −ト vT12             
                 ■■L−VD<v
th■ V、E:V   =V  −2XV、     ■H0
UT2      DD V =V   よO■ I+     0UT1 となる。以上の式において回路中にはダイオ−14− ド順方向の立上り電圧相当の電位が発生していることが
前提となるが、これを満たすには微小′電流がダイオ−
1゛に流れているだけで十分でろる。
この実施例では、■CFET57とI)FET52は一
方がオンのどき他方がオフであって、主%、 +2Q 
”Dn−+DFET 52 →ダイオード54. 、5
42−+EFET 52→接地と流れる電流は殆んどな
い。クーまりEFET 51とDFET、52とは相補
型動作をするので、ここでの消費電力は極めて小さい。
まだ出力部の駆動能力を増すにはDFET 52 、E
FET 5 Zの電流駆動能力を増せばよいが、駆動能
力を増しても上述のように相補型動作をするため、この
部分での消費電力増加はわずかである。
一方、主電源VDD+DFET 55−+DFET 5
3−+制拘1電源Vs8の回路部は糸本的には反転動作
とレベルシフト動作を行うものであるが、その負荷はD
F′B2T52のr−1・たけなので、駆動能力の小さ
い低消費電力構造としても高速性が損われることがない
次に検討すべき(徒前段からの電流の流れ込み(次段へ
の′電流の流れ出しと等価)による電力消費についてで
ある。これは、入力信号vINが冒レベル■1にのとき
にのみ問題となる。この点については、EFE’l’、
!i 1のクランf電圧(r−トからソースへ電流が流
れ出すときのダート・ソース間電圧)をV。1、とする
と、 v1□〈VD十■。L■ を満たすことにより、電流の流れ込みがなく電力消費を
なくすことができる。
以上のように本実施例の回路は、大駆動能力かつ低消費
電力という特徴を有することが明らかとなった。具体的
には例えば、 ■p+=  0.5V vT12 ”” −0,5V vth=  O?2V v  =  0.8V v  =−0,7V L V=:3V D v=iv S に設定すると1.■〜■の全ての式を満足するととがで
き、本実施例回路のインバータ動作が正常に行われる。
次に上記動作条件を考慮して、インバータ回1 、路とこれを用いたリングオシレータ回路を試作−゛(
(じ、負荷容量を負わせた場合につき、そのダー自ト当
りの伝播遅延時間および消費電力を測定し、まだ比較の
ため第3図のE/D型DCFLを用いたリングオシレー
タ回路を試作してその特性を測定した。そのデータを以
下に説明する。FETおよびショットキーダイオード用
の活性層の形成はCrドープ半絶縁性GaAs基板への
 Sl  の直接イオン注入により行った。注入条件は
第1表に示すとおシである。壕だ実施例回路のデバイス
寸法は第2表、比較例回路のデバイス寸法は第3表にそ
れぞれ示した。所望のFET 、ショットキーダイオー
ド特性を得るだめにこのあと、AsHa(1%)十Ar
の雰囲気下で850℃、15分間のキ′ヤップレスアニ
ールを行なった。次に、AuGeオーミック電極を形成
しこのあとFETのショットキーゲート電極、ショット
キ〜ダイオー17− ドのショットキー電極としてptを蒸着し4. O0℃
のタンタ処理を用いてFETのピンチオフ電圧、スレッ
シュホールド電圧の制御を行ない、EFETのスレッシ
ュホールド電圧を0.2 V 、 DFETのピンチオ
フ電圧を−0,5VK設定した。
第1表 第2表 18− 第   3   表 リングオシレータ回路は15段であり、各段に容量負荷
として1辺50μmの正方形のショットキーダイオード
を出力ラインと接地端間に挿入した。その回路図を第6
図に示す。
、、−、,1,? c′伝播遅1時間“p゛・消費電力
2°・論理振幅、・、、二、4Vを求めた結果を第4表
に示す。
第4表 リングオシレータ各段の負荷容量は数pF〜1゜pF程
度であり、高集1GaAs LSIで想定される回路内
部の負荷、外部回路の負荷条件に近いものでd−1って
、第4表の411]定結果は実際のGaAs LSI中
の特性を示したものと考えてよい。本実施例の回路は、
τpd−Pd槓という指標でみれば、E/D型DCFL
に比べて115以下であり、高速性、低消費電力性に優
れた回路であることが明らかとなった。しかも論理振幅
は1.4− I Vと犬きく、DCFLに比べて2.5
倍になっている。当然、雑音余裕が大きいことが推定さ
れるが、本実施例回路の直流トランスファ曲線を測定し
たところ、第7図のようになった。図から明らかなよう
に、極めて良好な特性であり、雑音余裕も低レベル・1
) 1、、:本実施例の回路において、EFET5Zとり、
FET52−の相補型動作のためにはDFET55は本
質的ではないが、このDFET5.5ばDFET5,9
をオフからオンにするときの動作を高速にする上で大き
な意味をもつ。筐たショットキーダイオ=+p s 6
も同様に本質的ではないが、論理振幅が大きいためにこ
れがないとEFET51のフランジ効果により、入力信
号レベルがEFETのり2ンゾ電圧以上になると電流の
流れ込みが生じて消費電力増大をもたらす。従って低消
費電力性造とする上でこのショットキーダイオード56
は有効に機能している。
また第5図から明らかなように、本実施例の回路では製
造上プロセス制御が難しいEFETは1個しか用いてい
す、他は全て製造の容易なりFETである。
その結果、本実施例回路の製造歩留シはE/D型DCF
Lと基本的に同一レベルと考えてよく、ICの性能/価
格比は高いものとなる。このように製造歩留゛必要性は
本発明の利点を減じるものではない。
i’;i       −21一 部で例えばショットキーダイオードにょシ主電源vDD
の電圧を落とすことで制御電源v8.を得ることができ
、IC外部からは単一電源動作のようにして動作させ得
るからである。
本発明の回路は、電源電圧V、V、シヨDD     
  88 ットキーダイオード54.56の個数や逆方向飽和電流
(これはダイオード接合面積による)、DFKTのピン
チオフ電圧、EFETのスレッショルド電圧などを変え
ることで論理振幅を大きくすることもできる。従ってT
TLコン′バチプルのレベルで動作させることも可能で
あp、GaAs I Cと他の回路とのインタフェース
方式の問題も解決できる。
またラインドライブなどのためドライブ能力を増したい
場合には、EFET51 、 DFET、52のダート
幅を大きくすればよく、それにもかかわらず相補型動作
のため消費電力は大きくならないという利点をもつ。
以上詳述したように本発明によれば、従来のBFLや5
DFL、並みのデバイス数とDCFL並みのゾ22− ロセス技術でこれらの回路より格段に優れた高速性、大
駆動能力および低消費電力性を実現することが可能とな
り、GaAs I CのLSI化に果たす役割は極めて
太きい。
なお、以上の説明では専らGaAs I Cを用いた例
を示したが、MES FETを構成FETとしている点
から、他の半導体材料、例えばInP 、 Sl等を用
いた場合にも本発明を適用することが可能である。まだ
第5図においてDFET55はDFFI:T5Jの負荷
としての役割をもつものであるから、これを抵抗に置換
しても同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図はBFLと呼ばれるGaAs MES FETを
用い論理ケ1−ト回路の回路図、第2図ば5DFLと呼
ばれるGaAs MES FETを用いた論理ダート回
路の回路図、第3図はDCFLと呼ばれるGaAs M
ES FETを用いた論理ダート回路の回路図、第4図
は従来の各積論理回路の速度消費電力の領域を示した図
、第5図は本発明の一実施例のGaAg I C用の基
本論理回路の回路図、第6図は第5図の回路により試作
したリングオシレータを示す図、第7図は同じく第5図
の回路を実際に試作して測定した入力−出力特性を示す
図である。 5 ノーEFET  (*  1  のGaA、s F
ET  )  、  5 2−DFBT(第2のGaA
s FET )、53−1)FET (第3のGaAs
FET )、s 5−DFET (第4のGaAs F
ET )、541 。 542 、56 =・ショットキーGaAsダイオード
、VDD・・・主電源”ss・・・iII御電源。 出願人 工業技術院長 石板誠−

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  インバータ回路のドライバと々るノーマリオ
    フ型の第1のGaAs FETおよび負荷となるノーマ
    リオン型の第2のGaAs FETと、これら第1゜第
    2のGaAs FET0間に介在させたレベルシフト用
    のGaAsダイオードと、前記第1のGaAs FET
    の+”−トに供給される入力信号により制御されて所定
    の制御電源を選択的に前記第2のGaAs FETのダ
    ートに供給するノーマリオン型の第3のGaAa FE
    Tと、ダート・ソース間を共通接続して前記第2のGa
    As FETのドレイン・ケゝ−ト間に介在させたノー
    マリオン型の第4のGaA、s FETとを集積して構
    成され、前記入力信号が高レベルのとき前記第1および
    第3のGaAs FETがオン、第2のGaAs FE
    Tがオフとなシ、前記入力信号が低レベルのとき前記第
    1および第3のGaAs FETがオフ、第2のGaA
    s FETがオンとなるように各部の電位関係を設定し
    たことを特徴とするGaAs論理集積回路。
  2. (2)  前記第3のGaAs FETは、その飽和ド
    レイン電流が前記第4のGaAs FETのそれよシ大
    きく設定されている特許請求の範囲第1項記載のGaA
    s論理集積回路。
JP58037500A 1983-03-09 1983-03-09 GaAs論理集積回路 Granted JPS59163857A (ja)

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