JPS59156930A - 多孔質ガラス体の製造方法 - Google Patents
多孔質ガラス体の製造方法Info
- Publication number
- JPS59156930A JPS59156930A JP3001583A JP3001583A JPS59156930A JP S59156930 A JPS59156930 A JP S59156930A JP 3001583 A JP3001583 A JP 3001583A JP 3001583 A JP3001583 A JP 3001583A JP S59156930 A JPS59156930 A JP S59156930A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass body
- electrode
- burner
- soot
- growth surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/46—Comprising performance enhancing means, e.g. electrostatic charge or built-in heater
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/62—Distance
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は外付CVD法による多孔質ガラス体の製造方法
に係わる。
に係わる。
外付CVD法と称する方法により多孔質ガラス体を製造
する方法には、回転する棒状出発部材があり、この出発
部材に、ガラスのすすを気相により横方向から吹き付け
、前記出発部材の長さ方向に順次すすを堆積させて行く
ような方法および第1図、第2図に示すように、回転す
る出発部材の回転軸線方向にガラスのすすを気相により
吹き付けて順次成長堆積させるような方法がある。
する方法には、回転する棒状出発部材があり、この出発
部材に、ガラスのすすを気相により横方向から吹き付け
、前記出発部材の長さ方向に順次すすを堆積させて行く
ような方法および第1図、第2図に示すように、回転す
る出発部材の回転軸線方向にガラスのすすを気相により
吹き付けて順次成長堆積させるような方法がある。
前記二つの方法のうち後者’1VAD法(気相軸付法)
と呼んでいるが、第1図はこの例を示すものである。図
において、多重管バーナー2よりのガラス原料ガスを含
む酸水素焔3を回転する出発部材1の軸方向に吹出し、
回転軸線方向にガラスのすす4全堆積させる。
と呼んでいるが、第1図はこの例を示すものである。図
において、多重管バーナー2よりのガラス原料ガスを含
む酸水素焔3を回転する出発部材1の軸方向に吹出し、
回転軸線方向にガラスのすす4全堆積させる。
この際、堆積するガラスのすす4の収率向上をはかるた
め、多重管バーナー2と出発部材1との間に直流電源5
により、吹出すガラス原料ガスを含む酸水素焔に影響を
及ばずように電界を加える方法がすでに提案されている
。
め、多重管バーナー2と出発部材1との間に直流電源5
により、吹出すガラス原料ガスを含む酸水素焔に影響を
及ばずように電界を加える方法がすでに提案されている
。
この場合、すす4の堆積、成長に従って、多重管バーナ
ー2はすす4の成長面との間隔を一定に保持する必要性
から、電界のかかっている出発部材1そのものが、多重
管バーナー2より次第に離れて行くことになり、期待す
るすすの収率の低下が免れないばかりでなく、更に多重
管バーナτ2よりのガラス原料ガスがドーパント濃度、
種類の異なった複数のガラス原料ガスよりなジ、これら
のガラス原料ガスを区分して吹出し1、最終的に所望の
屈折率分布を有する多孔質ガラス体を製造するような場
合、製造中における電界の変動は製造される多孔質ガラ
ス体の長さ方向各断面における半径方向の予定される屈
折率分布に変動を与える結果とな°る。
ー2はすす4の成長面との間隔を一定に保持する必要性
から、電界のかかっている出発部材1そのものが、多重
管バーナー2より次第に離れて行くことになり、期待す
るすすの収率の低下が免れないばかりでなく、更に多重
管バーナτ2よりのガラス原料ガスがドーパント濃度、
種類の異なった複数のガラス原料ガスよりなジ、これら
のガラス原料ガスを区分して吹出し1、最終的に所望の
屈折率分布を有する多孔質ガラス体を製造するような場
合、製造中における電界の変動は製造される多孔質ガラ
ス体の長さ方向各断面における半径方向の予定される屈
折率分布に変動を与える結果とな°る。
本発明は以上説明したような加える電界の変動をなくす
ため、外付CVD法によりすすを堆積するに際し、バー
ナーとすす成長面の外周近傍に配設した電極との間に直
流電圧を印加し、前記すす成長面と電極およびバーナー
の相対的間隔’k 一定に保持しながら多孔質ガラス体
を製造しようとするものである。
ため、外付CVD法によりすすを堆積するに際し、バー
ナーとすす成長面の外周近傍に配設した電極との間に直
流電圧を印加し、前記すす成長面と電極およびバーナー
の相対的間隔’k 一定に保持しながら多孔質ガラス体
を製造しようとするものである。
第2図は本発明の一実施例を示す。第1図と同一部分に
は同一符号を用いている。
は同一符号を用いている。
図において4は図示していない回転する出発部材の軸線
方向に成長、堆積した多孔質ガラス体である。2は多重
管バーナーであり、6はリング状の電極である。また7
は多重管バーナー2の先端より突出させた先端針状の電
極であり、通常多重管バーナー2と同電位に維持する。
方向に成長、堆積した多孔質ガラス体である。2は多重
管バーナーであり、6はリング状の電極である。また7
は多重管バーナー2の先端より突出させた先端針状の電
極であり、通常多重管バーナー2と同電位に維持する。
図示していないが、多重管バーナー2は金属製隔壁また
は金属製隔壁と無機材質の隔壁の組合せよりなり、一定
間隔を隔てて同心配置される多重管バーナー2と電極6
の間に電気的絶縁を、施し、場合に応じ、必要な一定間
隔を保って固定できるような機構により、一定の間隔お
いて保持される。
は金属製隔壁と無機材質の隔壁の組合せよりなり、一定
間隔を隔てて同心配置される多重管バーナー2と電極6
の間に電気的絶縁を、施し、場合に応じ、必要な一定間
隔を保って固定できるような機構により、一定の間隔お
いて保持される。
多重管バーナー2を構成する各隔壁8区分による管路よ
りガラス原料ガスSiCg4. GeCl4. POC
(13,BBr3等が気相で供給され、これに燃料とし
てのH2ガスおよび02ガス、更に不活性ガスとしてA
r、Heガス等が供給される。
りガラス原料ガスSiCg4. GeCl4. POC
(13,BBr3等が気相で供給され、これに燃料とし
てのH2ガスおよび02ガス、更に不活性ガスとしてA
r、Heガス等が供給される。
前記のように、多重管バーナー2の先端より突出させた
電極7のかわりに、前記多重管バーナー2の金属製の隔
壁8を若干突出させ電極9とするとともできる。
電極7のかわりに、前記多重管バーナー2の金属製の隔
壁8を若干突出させ電極9とするとともできる。
前記出発部材側に配置される電極6と多重管バーナー2
側の電極間に直流高電圧を電源5により印加する。図に
示すように直流高電圧は出発部材側が十の極性となって
いるが、′これを逆にすることもある。電極6の位置は
図に示すように、多孔質ガラス体4の成長面の外周近傍
にあるように配置され、これに対して、多重管バーナー
2は多孔質ガラス体4の成長面に対して、火焔によりガ
ラス原料ガスの吹伺は作業を行う際、電界をかけた状態
でガラス原料ガスよりのガラスのすすが多孔質ガラス体
の成長面に到達するような間隔をとって、以後多重管バ
ーナー2と電極6とは相対的に一定の間隔を保って維持
され、多重管バーナー2と多孔質ガラス体4の成長面と
も相対的に一定間隔を保つようにされ、多重管バーナー
2より、すでに説明したガラス原料ガス、燃料としての
ガス、不活性ガスが常に一定量供給される状態で作業を
行う。このような状態で、多重管バーナー2を点火し、
火焔中にガラス原料ガス等を送り出せば、送シ出された
気体および酸化微粒子(すす)の一部または全部が帯電
されるが、その移動中に帯電した気体および酸化微粒子
は一部中和してイオンを失う。しかし、帯電の量と、電
界−の極性全選択することにより、前記酸化微粒子は帯
電した状□態で多孔質ガラス体4の表面に到達して付着
し、多孔質ガラス体4をその回転軸線方向に成長させる
。
側の電極間に直流高電圧を電源5により印加する。図に
示すように直流高電圧は出発部材側が十の極性となって
いるが、′これを逆にすることもある。電極6の位置は
図に示すように、多孔質ガラス体4の成長面の外周近傍
にあるように配置され、これに対して、多重管バーナー
2は多孔質ガラス体4の成長面に対して、火焔によりガ
ラス原料ガスの吹伺は作業を行う際、電界をかけた状態
でガラス原料ガスよりのガラスのすすが多孔質ガラス体
の成長面に到達するような間隔をとって、以後多重管バ
ーナー2と電極6とは相対的に一定の間隔を保って維持
され、多重管バーナー2と多孔質ガラス体4の成長面と
も相対的に一定間隔を保つようにされ、多重管バーナー
2より、すでに説明したガラス原料ガス、燃料としての
ガス、不活性ガスが常に一定量供給される状態で作業を
行う。このような状態で、多重管バーナー2を点火し、
火焔中にガラス原料ガス等を送り出せば、送シ出された
気体および酸化微粒子(すす)の一部または全部が帯電
されるが、その移動中に帯電した気体および酸化微粒子
は一部中和してイオンを失う。しかし、帯電の量と、電
界−の極性全選択することにより、前記酸化微粒子は帯
電した状□態で多孔質ガラス体4の表面に到達して付着
し、多孔質ガラス体4をその回転軸線方向に成長させる
。
図に示すように、多重管バーナー2より突出した電極7
を備える構成をとるときは、火焔を生成させたとき、火
焔中に電極7が入ることに・夕り、このようにすれば、
電極7の近傍に電界の集中を生じ、周辺を通過する酸化
微粒子がイオン化しやすい。
を備える構成をとるときは、火焔を生成させたとき、火
焔中に電極7が入ることに・夕り、このようにすれば、
電極7の近傍に電界の集中を生じ、周辺を通過する酸化
微粒子がイオン化しやすい。
なお一般的にいって、火焔とともに送出された気体およ
び酸化微粒子は電界がなくても一部帯電の状態で存在す
るものと推定される。そして多重管バーナー2の先端を
絞ったり、ノズル状とすることにより、送り出される気
体や酸化微粒子の帯−の量の多寡を調整できるものと推
定される。
び酸化微粒子は電界がなくても一部帯電の状態で存在す
るものと推定される。そして多重管バーナー2の先端を
絞ったり、ノズル状とすることにより、送り出される気
体や酸化微粒子の帯−の量の多寡を調整できるものと推
定される。
第3図実施例は回転する・出発部材1の長さ方向に、順
次すす全堆積させる方法の例である。図におけて多重管
バーナー2と電極6の間隔および多重管バーナー2の多
孔質ガラス体4の成長面に対する間隔は一定に維持され
ている。実際には、ある組成のガラス原料ガスで一渡9
のすすの堆積を終ったあと他の組成のガラス原料ガスで
さきの組成とは異ったすすを順次堆積させる。
次すす全堆積させる方法の例である。図におけて多重管
バーナー2と電極6の間隔および多重管バーナー2の多
孔質ガラス体4の成長面に対する間隔は一定に維持され
ている。実際には、ある組成のガラス原料ガスで一渡9
のすすの堆積を終ったあと他の組成のガラス原料ガスで
さきの組成とは異ったすすを順次堆積させる。
以上説明し、たように、本発明はガラスすす全堆積させ
て多孔質ガラス体を作るに当り、多孔質ガラス体の成長
面の外周近傍に配置される電極と多重管バーナーとの間
に電界をかけた際、前記電極と多重管バーナーと多孔質
ガラス体の成長面の相対間隔を一定に保って作業を行う
ため、すすの堆積収率を上げることができるのと同時に
、結果的に多孔質ガラス体を熱処理延線してできるガラ
スファイバーに極めて精度の高い屈折重分゛布をもたせ
ることができる。
て多孔質ガラス体を作るに当り、多孔質ガラス体の成長
面の外周近傍に配置される電極と多重管バーナーとの間
に電界をかけた際、前記電極と多重管バーナーと多孔質
ガラス体の成長面の相対間隔を一定に保って作業を行う
ため、すすの堆積収率を上げることができるのと同時に
、結果的に多孔質ガラス体を熱処理延線してできるガラ
スファイバーに極めて精度の高い屈折重分゛布をもたせ
ることができる。
第1図は電界をかけた気相軸付法の説明図である。
第2図は本発明の実施例を示す。
第3図は本発明の他の実施例を示す。
1・・出発部材、2・・多重管バーナー、3・・・ガラ
ス原料ガスを含む酸水素焔、4・・多孔質ガラス体、5
・直流高圧電源、6・・電極、7・・・先端針状電極
、8 多重管バーナーの隔壁、9・電極。
ス原料ガスを含む酸水素焔、4・・多孔質ガラス体、5
・直流高圧電源、6・・電極、7・・・先端針状電極
、8 多重管バーナーの隔壁、9・電極。
Claims (1)
- (1) 外付CVD法によりすすを堆積するに際し、
バーナーとすす成長面の外周近傍に配設した電極との間
に直流電圧を印加し、前記すす成長面と電極およびバー
ナーの相対的間隔を一定に保持すること全特徴とする外
付CVD法による多孔質ガラス体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3001583A JPS59156930A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 多孔質ガラス体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3001583A JPS59156930A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 多孔質ガラス体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59156930A true JPS59156930A (ja) | 1984-09-06 |
JPS63382B2 JPS63382B2 (ja) | 1988-01-06 |
Family
ID=12292028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3001583A Granted JPS59156930A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 多孔質ガラス体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59156930A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05105470A (ja) * | 1991-10-22 | 1993-04-27 | Fujikura Ltd | 光フアイバ母材の製造装置 |
US6003342A (en) * | 1991-10-25 | 1999-12-21 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for production of optical fiber preform |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63185187U (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-29 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5314723A (en) * | 1976-07-27 | 1978-02-09 | Sumitomo Electric Industries | Process for preparing highhpurity glass |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP3001583A patent/JPS59156930A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5314723A (en) * | 1976-07-27 | 1978-02-09 | Sumitomo Electric Industries | Process for preparing highhpurity glass |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05105470A (ja) * | 1991-10-22 | 1993-04-27 | Fujikura Ltd | 光フアイバ母材の製造装置 |
US6003342A (en) * | 1991-10-25 | 1999-12-21 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for production of optical fiber preform |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63382B2 (ja) | 1988-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4627867A (en) | Method for producing highly pure glass preform for optical fiber | |
US4259101A (en) | Method for producing optical fiber preform | |
JPS59156930A (ja) | 多孔質ガラス体の製造方法 | |
US6003342A (en) | Apparatus for production of optical fiber preform | |
JPS6311541A (ja) | プラズマト−チ及び該プラズマト−チを用いた光フアイバ用ガラス母材の製造方法 | |
JPH0570166A (ja) | 光フアイバ用多孔質母材の製造装置 | |
JP3517848B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JP3133392B2 (ja) | 光ファイバ用スート母材の製造方法 | |
JPS58161936A (ja) | 外付cvd法による光フアイバ−のプレフオ−ム製造方法ならびに装置 | |
JPS58217448A (ja) | 気相軸付法による光フアイバ−用多孔質母材の製造方法ならびに装置 | |
JPS569230A (en) | Manufacture of high purity quartz glass pipe | |
JPS62223037A (ja) | 多孔質ガラス層の形成方法 | |
JPH03112820A (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法 | |
US6673396B2 (en) | Method for producing an SiO2 blank by adjusting shape of deposition burner flame | |
JPS582171B2 (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
JPS58217447A (ja) | 気相軸付法による光フアイバ−用多孔質母材の製造方法ならびに装置 | |
NL2021543B1 (en) | Method, heating device and system for heating an elongate silica cylinder for use in the manufacturing of optical fibers. | |
JP3131087B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
JPH10330129A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造方法 | |
JPS6168330A (ja) | 光学ガラス微粒子の生成方法 | |
JP2986453B1 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置および製造方法 | |
JPH05116968A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
JPS6465040A (en) | Production of porous optical fiber preform | |
JPS60264336A (ja) | 光学系ガラス母材の製造方法 | |
JPS55113635A (en) | Manufacture of glass fiber base material |