JPS59152735U - 熱処理炉 - Google Patents

熱処理炉

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Publication number
JPS59152735U
JPS59152735U JP4721183U JP4721183U JPS59152735U JP S59152735 U JPS59152735 U JP S59152735U JP 4721183 U JP4721183 U JP 4721183U JP 4721183 U JP4721183 U JP 4721183U JP S59152735 U JPS59152735 U JP S59152735U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat treatment
treatment furnace
furnace body
furnace
length direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4721183U
Other languages
English (en)
Inventor
中井　宗一郎
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は高温熱処理炉の側断面構造図、第２図は従来の
炉体の透視断面図、第３図は本考案にかかる一実施例の
炉体の透視断面図、第４図はその、　　ＡＡ断面図、第
５図は他の実施例の透視断面図、第６図は本考案にかか
る高温熱処理炉の配置側図である。 図中、１，１１・・・炉体、ＩＩＡ、１”ＩＢは分割炉
体、２，１２．２２はヒータ、３は反応管、３１はウェ
ハー挿入口、４は半導体ウェハー、４１は除塵室、４２
は普通の空気調節室を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 反応管が収容される炉体の長さ方向に配線され、該ヒー
    タを収納した円筒形炉体が、炉体の長さ方向に半円状に
    二分割される構造を有することを特徴とする熱処理炉。
JP4721183U 1983-03-30 1983-03-30 熱処理炉 Pending JPS59152735U (ja)

Priority Applications (1)

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JP4721183U JPS59152735U (ja) 1983-03-30 1983-03-30 熱処理炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4721183U JPS59152735U (ja) 1983-03-30 1983-03-30 熱処理炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59152735U true JPS59152735U (ja) 1984-10-13

Family

ID=30177761

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4721183U Pending JPS59152735U (ja) 1983-03-30 1983-03-30 熱処理炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59152735U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5036071A (ja) * 1973-08-03 1975-04-04
JPS5721744A (en) * 1980-07-15 1982-02-04 Fuji Electric Co Ltd Apparatus for heat treatment at high temperature

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5036071A (ja) * 1973-08-03 1975-04-04
JPS5721744A (en) * 1980-07-15 1982-02-04 Fuji Electric Co Ltd Apparatus for heat treatment at high temperature

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