JPS59152026A - ワイヤカツト放電加工用加工液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ワイヤ電極全使用したワイヤカット放電加工装置は、ワ
イヤ電極を一方の貯蔵リールから引き出し、一対の位置
決めガイドを有する加工部を経て他方のリールに引張り
ながら巻き取るが、回収容器に回収し、この一対の位置
決めガイド間に於て軸方向に更新移動するワイヤ電極の
軸に？７！は直角方向から被加工体を対向させて放電加
工間Ｎｔ−形成させ、この間隙に水、油等の加工液を供
給するとともに、間歇的な電圧パルスを繰り返し供給し
て放電パルスを発生させ、この放電を繰ジ返すことによ
ｐ抜力り１体を加工するが、このときワイヤ電極もしく
は被加工体に前記直角方向の平面上において相対的に所
定輪郭形状等の加工部ｊｌｌを与えることによって諸種
な形状の切断、抜き取り加工ができるものである。　使
用するワイヤ電極は、線径が通常００５〜０．５　ｍｍ
φ程度の＃１線が用いられ、これに軸方向の張力を充分
与えると共に軸方向に更新移動させながら被加工体との
間に微小間隙で対向させるため、加工部分は狭いスリッ
ト状で常に微小に維持される。

一方この加工部分に供給される加工液は、従来通常は被
加工体のワイヤ電極軸方向両側に於て加工部ワイヤ電極
の側方に設けたノズルから加工部分に向けて噴射するよ
うにして供給されていたものであるから、充分な量の加
工液を間隙部分に、特に被加工体板厚中央部分の間隙等
に充分供給することができない恐れがあった。　そして
この加工液の作用は、放電の媒体であると同時に、加工
部分の冷却及び洗浄、そして加工屑の外部排除を行うも
ので、これが間隙に充分供給され、かつ流通しないと、
間隙は加工液の分解ガス、蒸気及び空気等のガス媒体で
充満されるから、ガス中放電となってワイヤ電極が断線
していた。　また仮シに断線が防止できたとしても、ガ
ス中放電が発生する状態では、アーク放電になり易く、
また短絡したシして安定放電加工が行われず、加工電流
も増大できず、したがって加工速度の増大、７ＩＯ工精
度の向上は期待できないことになる。

このため前記加工液噴出ノズルとして、例えば特開昭５
０−５４．５３８号公報に記載されているようにワイヤ
電極を同軸状に包囲して同軸状に加工液を噴射供給する
同軸加工液噴射ノズル方式のものや例えば実開昭５４−
１６７．４９６号公報に記載されているように前記同軸
ノズルを高速度噴出の細いノズルとし、該ノズルと同軸
に低速度噴出ノズルを設けて周りの気体の吸込を防止す
る方式としたもの、或いはまた、特開昭４７−２０．７
９７号公報に記載されているように加工液中に被加工体
、従って加工部を浸漬して、さらにノズル噴射を行なう
もの等積々のものが提案されているが、未だ充分満足で
きるものがないのが実情である。

しかして、その原因につき思考すると、一般的に被加工
体の板厚が数１０ｍｍ以下の比較的薄いものや適度の板
厚の被加工体の場合には、加工電流の設定（放電繰返し
周波数２や加工、精度維持上等に問題が残るとしても加
工速度等の加工性能は殆んど問題なく高効率の加工が可
能であるが、被加工体の板厚が数１ｏｍｍ以上になると
、種々の加工条件設定に応じて種々の微妙に異なる加工
状態が生じ、前述の如き従来型式の加工液噴出ノズルで
は充分な対応ができず、加工性能、特に加工速度が、例
えば被加工体の板厚に成る割合でほぼ比例するように上
らず、加工精度、特に角部や小さな曲率半径のコーナ部
等の加工精度が出にくく、また加工速度を向上させよう
とすると、ワイヤ電極の断線事故が多くなる等の問題が
あった。

本発明は、斜上の如き点に鑑みて提案されたもので、ワ
イヤ電極による放電加工により被加工体中に形成された
加工溝の加工進行方向に対するワイヤ電極の加工面の背
面側に、その加工溝の幅とほぼ同一か又はその幅よりも
小さい幅を有する長尺管状体であって、前記ワイヤ電極
と対向する側に前記長尺方向に沿って開口を有す、る棒
状加工液ノズルをワイヤ電極から適宜微小距離離隔する
と共にほぼ平行に、そして被加工体板厚のほぼ全長等適
宜の長さ部分にわたるように挿設して成り、該棒状加工
層ノズルに加工液を加圧供給するように構成するととも
に、該ノズルをワイヤ電極軸の廻りに回動し得るように
構成し、他方前記加工送りの加工進行方向を検知する検
知装置を設け、該装置の検知信号によって前記棒状加工
液ノズルが前記加工溝中に於てワイヤ電極の加工面の背
面側にあるように回動制御しつつ加工を行なうことを特
徴とするものであり、さらに本発明は前述した従来のワ
イヤ電極と同軸の加工液噴出ノズルを被加工体の一方の
側には両方に設けると共に、前述の棒状力ロエ液ノズル
を設けるようにしたもので、加工状態が安定でワイヤ電
極断線事故が少なく、高い加工速度で加工精度の高い高
効率の加工が行なわれるようにぜんとするものである。

第１図は、従来型のワイヤカット放電力り工装置の機械
部分の概略構成を示す正面説明図で、１はベッド、２は
ベッド１に載置されたＸ−Ｙクロススライダ、３及び４
はクロススライダ２の各軸方向移動スライダ２Ａ、２Ｂ
の各駆動モータ、５は加工液受け、６はクロススライダ
２に結合して設けた被加工物７の支持加工テーブル、８
はベッド１上の一方の端部側に立てて設けられたカラム
、９及び１０は前記カラム８より水平方向に、かつその
先端部が、前記加工テーブル６と対応位置するように、
上下に離隔し、かつ平行に伸長して形成された上部及び
下部アーム、１１は上部アーム９に対し上下に移動設置
可能に設けた加工ヘッド。

１２及び１３は前記上部アーム９の加工ヘッド１１と下
部アーム１０とに鉛直方向に相対向するように設けたワ
イヤ電極ガイド、１４はワイヤ電極１５の貯蔵ドラム、
１６は同巻取りドラム、１７はワイヤ電極１５を引出し
走行させるキャプスタンとピンチローラ金偏えた引き出
し装置、１８は前記ワイヤ電極１５の引き出しに対して
ブレーキをかけて緊張張力を付与するブレーキドラムと
ピンチローラとから成る張力付与装置、１９及び２０は
前記加工ヘッド１１　と下部アーム１０に設けたガイド
１２及び１３よりも図示の如く被加工体７側又は前記ガ
イド１２及び１３全夫々内包するように、かつワイヤ電
極１５と同軸状に貫通させて上記加工ヘッド１１　と下
部アーム１０に設けた同−又は異口径の加工液ヂ射ノズ
ル、２１　及び２２は図示しない力ｌ１液供給装置から
各ノズル１９及び２０に同−又は夫々異なる所定の流量
、圧力の加工液を供給する加工液パイプ、矢印２３はワ
イヤ電極１５に対する被加工体７の加工送り方向、７Ａ
は前記加工送り方向２３に対応する被加工体７の加工溝
の一方の切断面、７Ｂは前記加工送ル方向　　　“２３
の加工面の輪郭を示したものである。

前記加工液噴射ノズル１９及び２０の各噴出開口１９Ａ
　及び２０Ａ　は第２図に正面図として示すようにほぼ
円形で、ワイヤ電極１５と同軸状であり、加工液はワイ
ヤ電極１５を同軸状に包皮した状態でワイヤ電極１５の
線にそって抜力日工体７との刀Ｕ工間隙及び該加工間隙
の通常反対側にある既に加工済の加工溝内に注入される
。

なお、加工液噴射ノズル１９及び２０は一方又は両方が
設けられ、両方設けられる場合の各加工液噴射圧は同−
又は異なる（通常下部ノズル２０側が高圧）場合静穏々
な場合がある。

なお、上記第１図の装置に於ては、ワイヤ電極１５が被
加工体７の下面から上面へ向は貫通更新送シされるよう
にワイヤ電極１５の更新送り装架機構が構成されている
が、被加工体７の上面から下面へ向は貫通更新送りされ
る上述のものと全く逆の構成であっても良い。

しかして、ワイヤ電極１５に付与される張力。

放電加工電圧パルス条件に対応して設定される加工送シ
送度等によっても変化するが、格別な目的等により加工
送り速度全加工速度よりも充分遅い値等に設定していな
い以上波力ロエ体７の板厚が数１０ｍｍよりも厚くなっ
てくると、第１図及び第６図に示したように、被加工体
７の加工面又は加工間隙面の断面輪郭線７Ｂは加工送シ
の向きに図示の如く円弧凸状等となるか、そのような状
態となる傾向にあり、之に対するワイヤ電極１５の部分
も、さらに流通介在加工液の作用や放電圧力等の加工間
隙圧力によシ同様に彎曲した状態で更新送りされている
状態にある。

そしてこのような加工部の状態により、ノズル１９及び
２０の各噴出開口１９Ａ　及び２ＯＡ　からワイヤ電極
１５にそって同軸状に噴出された加工液も前記のカロエ
間隙の輪郭７Ｂの影響を受けて加工溝内で、加工間隙と
反対側の加工済部分の溝方向を指向する噴流１９Ｂ及び
２０Ｂ　　となり、このため図示の場合は被加工体７の
板厚の約１７２　前後の部分、また通常は上部ノズル１
９と下部ノズル２゜との各噴流が被７１１１１工体７の
加工間隙及び加工溝内で、衝突して平衡する部分の前後
に於てヵロエ液の流れに滞りを生ずることもあるが、キ
ャビテーション作用を生じ、加工液の供給、更新が充分
でない、力ロエ液の存在しない間隙部分が生ずるヵｎ工
間隙の加工面から加工液が剥離する等何れにしても前記
のキャビテーション作用等が生ずる部分の前後（ワイヤ
電極１５の軸方向）部分に於ける加工作用が円滑でなく
阻害され、また気中放電等の発生によるワイヤ電極の断
線事故も生ずるようになる。　そして、このような現象
の発生及び作用は前述したような従来型の加工液噴射ノ
ズルによっては防止できなかった。

本発明は、かかる問題点を解決するために提案されたも
ので、前述の特徴的構成を有するものであり、以下之を
第４図の第１の実施例に基づいて説明する。

図面は要部の側断面図で、前述第１図乃至第３図と同一
符号を付した部分は同一物、又は実質上同一作用物を示
す。　上下一対のアーム９及び１０は前述カラムに設け
られている構成の外、例えば特開昭５！ｌ−１２９，４
００号公報に記載の１つの支腕１７を形成する構成のも
のであっても良い。

又一対の加工部位置決めガイド１２及び１３３は、この
図示実施例の場合ワイヤ電極１５の軸を中心として回動
する構成であるため、上記各ガイド１２及１３はダイス
ホルダによって保持されたダイスガイドが使用されてい
る。　そしてこのタイスホルダは後述棒状加工液ノズル
４０の両端を固定保持するホルダ部２６及び２７に保持
されている。

前記各ホルダ部２６及び２７はラジアル軸受２８及び２
９によって回転自在に上下アーム９及び１０に取９付け
られた筒状回転軸３０及び６１　に連結されていて、前
述位置決めガイド１２及び１５はホルダ部２６及び２７
と共に回転するが、前記回転軸３０及び３１の軸心を各
位置決めガイド１２及び１３のガイド中心軸とは一致さ
せて構成しである。　尤もこの位置決めガイド１２及び
１３は後述第２の実施例で示すように、ガイドローラ２
４及び２５並びに通電ビン又はローラ３８及び５９より
被加工体Ｚ側に、実質上アーム９及び１０等の固定部に
固設する構成あって良いものである。

６２及び３３は前記筒状回転軸３０及び５１に固定して
設けたウオーム歯車で、アーム９及び１０に設けた被制
御モータ３６及び５７の回転軸に図示しない適宜のギヤ
ボックス等を介して連結されるウオーム軸３４及び３５
により同一方向に同−角度及び同一速度で回転制御され
る。　尤も上記の場合一方の回転駆動機構１例えば下部
アーム１０側のウオーム歯車６３．ウオーム軸３５．及
びモータ３７等は設けられない場合があり、或いは更に
位置決めガイド以外の、例えばホルダ部２７も省略して
構成されることがある。

棒状加工液ノズル４０は、その両端がホルダ部２６及２
７の固定部２６Ａ　及び２７Ａ　に水密に、かつしっか
りと所定の張力を付与した状態で固定され。

かつ該固定部２（ＳＡ及び２７Ａ　に耐圧可撓性配管４
１及び４２を介して供給される加工液を、ワイヤ電極１
５の加工面の背面側から該ワイヤ電極１５へ向は噴出し
、ワイヤ電極１５と被加工体７間の加工間隙へ供給する
。　第５図は、第４図中Ｘ−Ｘ線断面部分を拡大して示
したもので、ワイヤ電極１５は加工済の加工溝７ｃ内全
矢符１５Ａ　の向きに抜力日工体７との間で相対的に加
工送りが与えられており、このワイヤ電極１５の直後に
所定の微小間隙を置いて一体に配置された状態にある棒
状加工液ノズル４０の加工液噴射開口４０Ａ　から矢印
のようにワイヤ電極１５の加工面の背面側から加工液を
噴出して、ワイヤ電極１５の直線性を改善させるように
押圧すると共に被加工体７との間の加工間隙に加工液を
流通介在せしめ、これ等の加工液は加工屑等を含みなが
ら被加工体７の両側のワイヤ電極１５に沿゛う部分から
外部へ噴出する。　　この場合、ワイヤ電極１５として
は種々の材料及び径のものが使用されるが１例えば銅又
は銅系合金の径約０．２ｍｍφのものを使用すると、加
工輪郭線中の直線部分の加工溝７ｃの幅Ｗは、被加工体
７の材買、板厚及び電圧、放電パルスのパルス幅、電流
振幅等の電気的加工条件、或いは更に加工の目的に従う
設定加工条件（例えば、加■送ジ速度全特別に遅く設定
するとかの設定条件〕等によって変化するものの、その
最大溝幅は加工輪郭線の直角乃至は鋭角折線部分や微小
半径円弧部分等の溝幅前後以内であって、通常の加工条
件では、ワイヤ電極１５径約０．２ｍｍφに対し、加工
直線部分の溝幅Ｗは約０．２７ｍｍ前後であるから。

棒状加工液ノズル４０の直径は、前記溝幅Ｗとほぼ同一
か、僅かに小さいものであれば良く、ステンレススチー
ル等の鉄系合金や銅−亜鉛合金等の銅系合金の円筒状や
加工進行方向に楕円状等長尺断面の筒体を、被加工体７
と或いはさらにワイヤ電極１５　と電気的に絶縁した状
態となるように設置構成するか、ノズル４０の外側面に
絶縁被覆処理して使用する。

第６図Ａ及びＢは、棒状加工液ノズル４０の加工液噴射
開口４０Ａ　の変更形状の例を示したものでＡ図はノズ
ル４０の軸方向に任意所望又は所定の間隔を置いて、任
意所望又は所定の口径の開口４０Ｂを形成した場合であ
って、またＢ図は軸方向のスリット状開口４０ｃ　　ｋ
形成した場合であり、２等開口４０Ａ、４０Ｂ、４００
の寸法、形状、及びノズル４０軸方向の形成配置等は、
ヵロ工輪郭線の形状や被加工体７の材質、板厚、加工条
件、或いは加工の目的等により選定構成される。　そし
て前記加工液噴射開口４０Ａ、４０Ｂ、及び４００　が
ワイヤ電極１５に背面側から作用させる液流のワイヤ電
極１５軸方向の力分布、又は液流速分布が、前記加工面
の輪郭線７Ｂをノズル４ｏ側に裏返した、即ち被加工体
７の板厚方向中心部付近が流速最大で、板厚方向両端に
行くに従って徐々に流速が低減する流速分布となるよう
に構成して、ワイヤ電極１５の加工部に於ける直線性を
改善するようにするのが望ましい。

前記第４図に於て、ワイヤ電極１５と被加工体７間の相
対的な図示しない数値制御による加工送りは、例えば前
述第１図の如く被加工体７保持テーブル６のＸ−Ｙクロ
ススライダ２に於ける各軸方向駆動モータ３及び４に対
する数値制御指令駆動によって行なわれるものであｐ、
その際の加工送シは数値制御装置に於ける設定定速送ジ
の外、放電加工状態を検出判別して制御するサーボ制御
送９、及び之等の組合せによる送９等によって行なわれ
るものである。　数値制御装置からの指令信号によリモ
ータ３及び４を駆動して加工を行なうと、加工輪郭憩の
彎曲又は屈折部に於て棒状加工液ノズル４０は加工溝７
０の両側の倒れかの面に接触、衝突することになるから
、そして棒状加工液ノズル４０による加工液噴射の方向
はワイヤ電極１５の加工面の背面側からずれることにな
るから、所望加工輪郭線の寸法、形状等に応じ、加工数
値制御指令のプログラムデータ中に、前記接触衝突等を
回避するホルダ部２６及び２７の回動作動指令を予めプ
ログシム設定しておき、これを加工の進行に従い順次読
み出してモータ３６及び３７を駆動し、棒状加工液ノズ
ル４０全ガイド１２及１６間中心軸、即ちワイヤ電極１
５軸を中心として回避回動させることにより、容易に実
現可能なものであり、この場合加工部ワイヤ電極１５軸
と棒状加工液ノズル４０の軸間の距離、即ち棒状加工液
ノズル４０の前記回避回動円弧の半径の長さが大きすぎ
ると、回動制御プログラム等を複雑にしたジする丈でな
く、加工輪郭線の角部等に於て例えば、加工液の加工間
隙への供給が円滑に行なわれない等の原因によって、加
工状態が悪化、ヵＵ工状態が不安定になる等の問題が生
ずる丈でなく加工精度を損いワイヤ電極１５の断線事故
等も生ずるから、前記の軸間距離は出来るだけ小さく好
ましくは、ワイヤ電極１５の径の２〜３倍前後又はそれ
以内に設置構成することが好ましい。

また、上記の如き回避回動作動は、上記の如き加工数値
制御情報に対する予めのプログラム設定。

データ、インの外加工輪郭形状送りモータ３及び４に対
する数値制御装置からの作動指令信号全検知して、該検
知信号を前記軸間距離等全加味して変調演算した信号に
よりモータ３６及び６７を制御する構成等によっても実
現可能な丈でなく、例えば特開昭５４−１７．５９４Ｓ
号公報記載の如く、棒状加工液ノズル４０の側面等適宜
の箇所に、電気的又は機械的な近接又は接触検知の探索
子を突出させて設けておき、該探索子の近傍又は接触検
知に応じて所定の必要な方向及び角度の回避回動を行な
わせるようにしても充分実現可能なものである。

そして、過剰ではないがよシ充分な加工液を加工間隙に
供給するには、該ノズル４０が細径のため第４図実施例
の如く、棒状加工液ノズル４０の両端から夫々配管４１
及び４２によシ加工液を供給する構成とすることが望ま
しいが、被加工体７の板厚が薄いものの場合や、特別の
カロエ目的で、例えばより遅い加工送り速度で加工する
場合等には、或いはさらに加工液噴射開口４０Ａ　の軸
方向の配置や寸法、形状を工夫することにより、ノズル
４０の一端側のみから・加工液を供給する構成として本
発ＢＡを実施することができる。　また、前述第１図の
ような被加工体７の上下両側にワイヤ電極１５と同軸等
に加工液噴射ノズルを設けた場合には、重力等の影響を
避けるために、一般的に上部ノズル１９よシも下部設置
ノズル２０の加工液供給噴出圧力を、少くとも約２０％
以上的２００−前後の上限まで高く設定して、良好な力
ロエ状態を確保するようにするものであるが、上記本発
明によれば、前述の加工液噴射開口４０Ａ、４０Ｂ、４
０Ｃのノズル４０軸方向に於ける寸法、形状、及びその
配置等によって相当程度の対応が可能であるが、さらに
必要ならば、配管４１　及び４２を供給液圧及び流量が
異なる別個の加工液供給源に接続するが、夫々の配管４
１及び４２を夫々別個の供給液圧及び流量調整器を介し
て一つのカロエ液供給源に連結し、配管４１及び４２か
ら異なる圧力。

さらには流量で加工液ノズル４０に供給するように構成
することができる。

そしてまた、上記カロエ液ノズル４０に対する両端から
の供給加工液の圧力、流量等が調整設定可能に構成した
場合には、上記棒状加工液ノズル４０の軸方向の適宜の
位置で管路を上下に部分する分離栓を挿設して力ａ１液
ノズル４０の上部側と下部側とに於ける加工液の噴出圧
力及び流量等を判然と区別設定し得るように構成するこ
とが望ましくまた、上記部分分離栓の位置を加工液ノズ
ル４゜の軸方向の所定の位置に変更調整設定または加工
状態信号等によって変更制御し得る構成とすることが望
ましい。

第７図は、前記棒状加工液ノズル４ｏの加工液噴射開口
４０Ａ　　の開口が、所望調整設定、プログラム指令変
更、又は加工状態信号等によって変更制御しうるように
構成した１実施例の部分（ノズル４０の上半分の部分）
の側断面図を示したもので、ノズル４０に軸方向にほぼ
一定間隔で、はぼ同一の開口面積として複数の加工液噴
射開口４０Ｄ　が形成されてお９．之に対しノズル４ｏ
内には前記各開口４０Ｄ　に対応する開口４３Ａ　ｆｔ
有する弁体４５が挿設され、該弁体４３はホルダ部２６
の固定部２６Ａ　に設けられた昇降駆動装置４４に軸４
５Ｂｆｃ介して連結されており、端子４４Ａ　に入力す
る上記調整設定及び変°更制御信号等により装置４４を
作動させて弁体４３ｔ−昇降位置決め又は位置変更を行
なわせて、ノズル４ｏ全体から又はノズル４０軸方向の
各部に於ける加工液噴射の圧力流量等を変更設定又は制
御する。　例えば図示の状態では、ノズル４０の軸方向
中央にある開口４０Ｄの開度又は開口面積が最大で軸方
向上端側の開口４０Ｄ　程開口面積が小さくなっている
が、装置４４ヲ作動させて弁体４３を上昇させると、上
記中央の開口４０Ｄ　の開口面積が減少するのに対し、
上部２つの開口４０Ｄ　の開口面積が増大し、さらに弁
体＋３を上昇させるとノズル４ｏ軸方向各部の開口４０
Ｄ　の各開口面積がさらに変化するが如くである。　そ
してこのような構成は、ノズル４０の下半分の部分に於
ても全く同一が、或いは異なる調整ができるように構成
されているもので、また弁体４３の構成は加工液噴射開
口４０Ｄの寸法、形状、及びその配置の仕方等によって
、開口４５Ａ　　も種々変更構成されるものであジ、ま
た場合によっては開口４３Ａ　　を有しない板状等であ
つても良い。　弁体４６は前述の如く昇降させる構成の
ものではなく、ノズル４０内壁に摺接して回動する棒状
体や長尺円弧棒状体等であってもよく、ノズル４０に形
成された加工液噴射開口４０Ａを全体的に又は部分的に
調整できる構成であれば良い。　また第８図は、前記棒
状加工液ノズル４０をホルダ部２６及び固定部２６Ａ　
に対して軸方向に移動調整又は変更制御しうるように構
成した１実施例の上方部分の側面図を示したもので、ノ
ズル４０の上端に該ノズル４０と配管４１　とを連結す
るヘッダ２６Ｂ　　ｆ設けるとともにノズル４０を固定
部２６Ａに対して軸方向に嵌合摺接移動可能に取りつけ
（図示してないが、ノズル４０の下端部と固定部２７Ａ
　　との関連構成も同一とするか、又は自由端としても
良い。）前記ヘッダ２６Ｂ　に設けたラック４５Ａ　に
、固定部２６ｋ　　に設けたモータ４６の回転軸のピニ
オン４５Ｂ　　’（Ｈ係合させ。

該モータ４６を所望調整設定、グログラム指令変更、又
は加工状態信号等によって回動制御することにより、棒
状加工液ノズル４０を軸方向に固定部に対して、従って
被加工体７に対して昇降調整又は制御し、加工液噴射開
口４０．Ａ　の位置及び軸方向に沿って所定の力ロエ液
噴出特性を有するノズル４０の軸方向位置決め又は変更
制御してより最適な加工状態での加工を可能とするとか
、不安定又は異常状態となった加工を正常状態に復帰さ
せることを可能とするものである。

この実施例に於てはノズル４０を単に昇降位置決めさせ
る丈でなく、所定の周期及びストロークを有する比較的
低周波の往復移動又は振動を行なわせたり、さらにその
周期及びストロークの一方又は両方を所望により変更さ
せた＃）することができまたさらに比較的小さいストロ
ークで高周波の振動をさせたい場合には、モータ４６　
に代えて電磁又は電歪振動装置を設ければ良く、又之等
を適宜組合せた構成によジ組合せ運動を行なわせるよう
にすることもできる。

第９図は、本発明の第２の発明の実施例の部分要部の断
面図で、前述第１図及び第４図と同一符号を付した部分
は、同一物、又は実質上同一作用物を示す。　即ち、こ
の第２の発明は、上述第１の発明に於ける前述の如き棒
状加工液ノズル４ｏと共に一近時慣用化されつつあるワ
イヤ電極１５のガイド１２及び１３間加工部のワイヤ電
極に沿って、ワイヤ電極１５を同軸状に包皮するように
加工液を噴射供給する同軸加工液ノズル４７を被加工体
の一方の側又は両側に設けて、該同軸加工液ノズル４７
の加工液供給に対し前記棒状加工液ノズル４０による加
工液供給をアシスト的に作用せしめ、そしてさらに前記
加工部ワイヤ電極１５の直線化を計ることにより高速そ
して高精度のワイヤカット放電力ロエが行なわれるよう
にぜんとするものである。

図は、被加工体７の一方の側、即ち図示実施例は被加工
体７上部側の構成実施例で、通常は被加工体７の下部側
にもほぼ同様の構成の同軸加工液ノズル４７等が設けら
れるが、上部側又は好ましくは下部側の何れか一方に設
ける構成とすることができる。　なお、この実施例の同
軸ヵロエ液ノズル４７は、後述のようにノズル本体４８
に対して可動テあるが、本体４８と一体で不動の同軸ノ
ズルであっても良い。

４８は加工ヘッド１１に取付けられた筒状ノズル本体で
、加工部ワイヤ電極軸とはは同心の軸心両端にワイヤ電
極１５を挿通する開口４８Ａ　及び４８Ｂを有し、被加
工体Ｚ側の開口４８Ａ　Ｋは同軸加工液ノズル４７が同
軸状で軸方向に移動可能に、かつ必要に応じて設けられ
るスプリング４９　（図示しない下部側の同軸加工液ノ
ズルの場合には、該ノズル自体の重力が作用するため通
常スプリング４９を必要としない。）により弾性的に保
持されている。　また他方の開口４８Ｂ　　は小口径で
、ヘッド１１に設けたワイヤ電極１５の通電ビン３８と
対向し、該通電ビン６８のその近傍のワイヤ電極１５部
分を噴出加工液によって冷却し、また通電ビン３８部に
於てワイヤ電極１５断線の基になる付着滞留気泡を除去
する。　　５８Ａ　はワイヤ電極１５を通電ビン３８に
押し付ける押圧ビン又はローラ、’１２Ａ　はノズル本
体４８内に同軸、同心に固定して設けた先端にダイスガ
イド１２を取り付けてなる筒状ガイドホルダで、ガイド
１２を被加工体７によυ近く位置させるために同軸ノズ
ル４７内にまで延びており、またガイド１２及びホルダ
１２Ａ　に位置するワイヤ電極１５部分を冷却する液流
が形成されるよう側壁に穴１２Ｂ　が形成しである。　
　４８’Ｃはノズル本体４Ｂ内に力ａ１液を力目圧供給
する供給源に接続する配管で、ノズル本体４已に供給さ
れた加工液の一部が開口４８Ｂから通電ビン６８に噴射
される外は、当該部分から被加工体７に至るまでの部分
のワイヤ電極１５を冷却し、またガイド１２′ｆｃ冷却
し、スプリング４８Ａ　　に抗して同軸加工液ノズル４
７を押し下げて好ましくは先端を被加工体７上面に軽く
押し付けてより多く乃至は大部分の加工液をワイヤ電極
１５を包皮する同軸噴流として、加工間隙に有効に加工
液を流入介在せしめる。　　５０はノズル本体４８の先
端近くの外周に設けられたラジアル軸受で、円板状歯車
３２と棒状加工液ノズル４０のホルダ部２６の保持円板
５１　と全本体４８に対し、かつ本体４８の軸、即ち加
工部ワイヤ電極１５軸の廻りに回転自在に保持してお９
、ヘッド１１に保持されたモータ６６の回転により歯車
６２とかみ合う歯車′５４を駆動して歯車５２を回動さ
せると、歯車６２と結合筒５２で一体に結合された円板
５１が回動し、加工の進行に伴って加工進行方向が、直
角、鋭角、鈍角１円弧状、及び種々の曲線状に変化して
も、棒状加工液ノズル４０ｉ常にワイヤ電極１５の加工
面の背面側に位置せしめ、同軸加工液ノズル４７．第１
図に於てはノズル１９　及び２０による加工液噴射供給
では、剥離等が生じて充分でない加工間隙への加工液の
供給を棒状加工液ノズル４０からの噴射加工液で補給す
るとともに加工間隙部での加工液剥離を防止し、かつ加
工部のワイヤ電極１５を加工部輪郭形状及び加工放電に
伴う放電圧力作用による軸方向に種々な圧力分布特性等
の如何にかかわらず、前記棒状加工液ノズル４０からの
噴射加工液によって加工部ワイヤ電極１５の直線性を改
善するから、安定した加工状態で、ワイヤ電極の断線事
故の少ない高精度の高速加工全可能とする。

この第２の発明の場合は、同軸加工液ノズル４７と棒状
加工液ノズル４０とを種々の圧力流量関係に設定し得、
またその値全信号等によって変更することにより加工状
態の悪化の防止や断線事故の防止、安定加工状態の維持
等に寄与する丈でなく加工輪郭線の形状変化の繋ぎ目等
に於ても経験ｕｌに従う変更制御が有用であり、また上
下一対の同軸加工液ノズルと棒状加工液ノズルを設けた
場合には、下部同軸加工液ノズルの噴出カロエ液圧を上
部のそれの１５％乃至５００％と大きく設定し、之に対
し棒状加工液ノズルの噴出加工液圧を上記下部同軸加工
液ノズルのそれの５０％乃至同一程度又はそれ以上に選
定設定することが望ましい。

【図面の簡単な説明】

図面第１図は、従来型のワイヤカット放電加工機の概略
構成全説明するための正面図、第２図は同加工液噴射ノ
ズル部分の説明用断面図、第３図は加工部分のカロエ送
ジ方向の側断面説明図、第４図は本発明力ロエ液供給装
置の第１の発明の実施例構成の要部側断面図、第５図は
本発明加工液供給装置の原理的構成を説明するワイヤ電
極及びノズルの軸方向と直角方向の断面図、第６図Ａ、
Ｂは本発明加工液供給装置のノズル部分の異なる実施例
の正面図、第７図はノズル部分の変更構成例を示す部分
的断面図、第８図はノズル部分の保持構成の変更実施例
を示す部分的側面図、第９図は本発明加工液供給装置の
第２の発明の実施例構成を示す部分的側断面図である。 １２．１３はガイド、１５はワイヤ電極、７は被加工体
、７Ａ、７０は加工溝、４０は棒状ヵロエ液ノズル、４
ＤＡ、４０Ｂ、４０Ｃ，４０Ｄ　ｆｉヵＵ工液液噴射開
口４１．４２，４８０は加工液供給配管、　２８．２９
．３０゜３１．３２，３３，３４，３５，４９，５０，
５１．５２は回動機構、５６．３７は駆動モータ、４７
は同軸加工液ノズル。 代ヨＡ　　ｊＪ１２］：　　ヵ　い、１！４，５第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　　一対の間隔を置いて配置したガイド間にワイ
   ヤ電極を軸方向に更新送り移動せしめつつ前記ワイヤ電
   極の軸方向と直角方向から被加工体を微小間隙を介して
   相対向せしめ、該間隙に加工液を供給介在せしめつつ前
   記ワイヤ電極と被加工体間罠間歇的な電圧パルス金印加
   し発生する放電により刀口工を行い、前記ワイヤ電極と
   被加工体間に前記直角方向の平面上に於ける相対的加工
   送りを与えるワイヤカット放電加工に於て、前記ワイヤ
   電極による放電加工により被加工体中に形成された加工
   溝の加工進行方向に対するワイヤ電極の加工面の背面側
   にその加工溝の幅とほぼ同一か又はその幅よりも小さい
   幅を有する長尺管状体であって、前記ワイヤ電極と対向
   する側に前記長尺方向に沿って開口を有する棒状加工液
   ノズルをワイヤ電極から適宜微小距離離隔するとともに
   ほぼ平行に、そして被加工体板厚の所望の長さ部分にわ
   たって挿設して成シ、該棒状加工液ノズルに加工液を加
   圧供給するように構成すると共に、該ノズルをワイヤ電
   極軸の廻９に回動し得るように構成し、他方前記加工送
   シの加工進行方向を検知する検知装置を設け、該装置の
   検知信号によって前記棒状加工液ノズルが前記加工溝中
   に於てワイヤ電極の加工面の背面側にあるように回動制
   御しつつ加工を行（２）　　前記棒状加工液ノズルの開
   口が、前記長尺方向のスリット状開口である特許請求の
   範囲第１項記載のワイヤカット放電加工用加工液供給装
   置。 （３）　　前記棒状加工液ノズルの開口が、前記長尺方
   向に所望微小間隔を置いて形成された複数の微小開口で
   ある特許請求の範囲第１項記載のワイヤカット放電加工
   用加工液供給装置。 （４）前記棒状加工液ノズルの開口が、その大きさが調
   整可能な開口構成である特許請求の範囲第１項記載のワ
   イヤカット放電加工用加工液供給装置。 （５）　　前記棒状加工液ノズルが軸方向に移動調整可
   能に構成保持されている特許請求の範囲第１項記載のワ
   イヤカット放電加工用加工液供給装置。 （６）　　前記棒状加工液ノズルが被加工体を貫通し、
   両端がワイヤ電極の軸を中心として回動する前記被加工
   体の一方又は両側にある回動ホルダ部に連結保持されて
   いる特許請求の範囲第１項記載のワイヤカット放電加工
   用加工液供給装置。 （７）　　前記棒状加工液ノズルの一方の端部又は両端
   に加工液供給配管が連結されて成る特許請求の範囲第１
   項記載のワイヤカット放電加工用加工液供給装置。 （８）　　前記棒状力ｕ１液ノズルの軸方向所定の位置
   にノズル二分栓が挿設されている特許請求の範囲第１項
   記載のワイヤカット放電加工用加工液供給装置。 （９）　　一対の間隔を置いて配置したガイド間にワイ
   ヤ電極を軸方向に更新送り移動せしめつつ前記ワイヤ電
   極の軸方向と直角方向から被加工体全微小間隙を介して
   相対向せしめ、該間隙に加工液全供給介在せしめつつ前
   記ワイヤ電極と被加工体間に間歇的な電圧パルス金印加
   し発生する放電により加工を行ない、前記ワイヤ電極と
   被加工体間に前記直角方向の平面上に於ける相対的加工
   送りを与えるワイヤカット放電加工に於て、前記ワイヤ
   電極による放電加工により被加工体中に形成された加工
   溝の加工進行方向に対するワイヤ電極の加工面の背面側
   に、その加工溝の幅とほぼ同一が又はその幅よりも小さ
   い幅を有する長尺管状体であって前記ワイヤ電極と対向
   する側に前記長尺方向に沿って開ｉ：Ｉ全有する棒状加
   工液ノズル全ワイヤ電極から適宜微小距離離隔すると共
   にほぼ平行に、そして被加工体板厚の所望の味さ部分に
   わたって挿設して成り、該棒状加工液ノズルに加工液を
   加圧供給するように構成すると共に、該ノズルをワイヤ
   電極軸の廻りに回動じつるように構成し、他方前記加工
   送ジの力ｎ正進行方向全検知する検知装置を設け、該装
   置の検知信号によって前記棒状加工液ノズルが前記加工
   溝中に於てワイヤ電極の加工面の背面側にあるように回
   動制御される第１の加工液供給装置と、前記被加工体の
   一方側又は両側に設けられ、かつ加工液が加圧供給され
   る加工噴射ノズルであって、前記ガイド間加工部ワイヤ
   電極が同軸状で貫通するように設置され、ワイヤ電極を
   同軸状に包皮したワイヤ電極に沿う加工液噴流全形成す
   る同軸加工液ノズルから成る第２のカｎ工液供給装置を
   設けて成るワイヤカット放電加工用加工液供給装置。 Ｑｌ　　前記第２の加工液供給装置が、同軸加工液ノズ
   ルと該ノズルを被加工体へ向けて進退可動に保持する加
   工液ノズル本体から成る特許請求の範囲第９項記載のワ
   イヤカット放電加工用加工液供給装置。 ａη　前記第１の加工液供給装置の棒状加工液ノズルが
   、前記第２の力ｎ１液供給装置に対して、加工部ワイヤ
   電極軸の廻りに回動しうるように構成保持されている特
   許請求の範囲第９項記載のワイヤカット放電加工用加工
   液供給装置。