JPS59142547A - 溶解速度差現像液の像鮮明性増大剤 - Google Patents

溶解速度差現像液の像鮮明性増大剤

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JPS59142547A
JPS59142547A JP1591383A JP1591383A JPS59142547A JP S59142547 A JPS59142547 A JP S59142547A JP 1591383 A JP1591383 A JP 1591383A JP 1591383 A JP1591383 A JP 1591383A JP S59142547 A JPS59142547 A JP S59142547A
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Masami Kakuchi
覚知　正美
Hiroshi Asakawa
浩 浅川
Osamu Kogure
小暮　攻
Tsuneo Fujii
藤井　恒男
Takayuki Deguchi
出口　隆行
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Daikin Industries Ltd
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Daikin Industries Ltd
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Daikin Kogyo Co Ltd
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
    • G03F7/32—Liquid compositions therefor, e.g. developers
    • G03F7/325—Non-aqueous compositions

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