JPS59141016A - 電−空変換器 - Google Patents
電−空変換器Info
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- JPS59141016A JPS59141016A JP1528083A JP1528083A JPS59141016A JP S59141016 A JPS59141016 A JP S59141016A JP 1528083 A JP1528083 A JP 1528083A JP 1528083 A JP1528083 A JP 1528083A JP S59141016 A JPS59141016 A JP S59141016A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- nozzle
- pressure
- piezoelectric element
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/42—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using fluid means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は、プロセス制御等に利用される電−突変換器
、特にノズルフラッパに圧電素子を用いた電−突変換器
に関する。
、特にノズルフラッパに圧電素子を用いた電−突変換器
に関する。
（０）背景
電−突変換器にはノズルフラッパに圧電素子を用いたも
のがある。この種の電−突変換器は従来。
のがある。この種の電−突変換器は従来。
入力信号に応じた一方向性（正極性）の直流電圧を圧電
素子フラッパに印加し、圧電素子フラッパを変位させる
ようにしているが、連続して一方向性の直流電圧を印加
すると圧電素子は発生する歪の方向に遡性変形し、動作
点がずれるという欠点があった。そこでこの欠点を解消
するため、この出願の発明者等は、圧電素子フラッパに
印加する制御電圧を、入力信号の中位レベルでＯｖ近辺
とし、入力信号が大、あるいは小になることに対応して
正、負両極となるようにした電−突変換器を創出し、す
でに出願した。この先願に係る電−突変換器は印加電圧
に応じて変位する圧電素子と。
素子フラッパに印加し、圧電素子フラッパを変位させる
ようにしているが、連続して一方向性の直流電圧を印加
すると圧電素子は発生する歪の方向に遡性変形し、動作
点がずれるという欠点があった。そこでこの欠点を解消
するため、この出願の発明者等は、圧電素子フラッパに
印加する制御電圧を、入力信号の中位レベルでＯｖ近辺
とし、入力信号が大、あるいは小になることに対応して
正、負両極となるようにした電−突変換器を創出し、す
でに出願した。この先願に係る電−突変換器は印加電圧
に応じて変位する圧電素子と。
一定の直流電圧を出力し、この直流電圧を前記圧電素子
に印加する第１の直流電圧源と、入力電気信号に応じて
変化し、かつ入力電気信号が予定変化範囲の中位レベル
の時、前記第１の直流電圧源の出力直流電圧と略同泣と
なる直流電圧を出力し。
に印加する第１の直流電圧源と、入力電気信号に応じて
変化し、かつ入力電気信号が予定変化範囲の中位レベル
の時、前記第１の直流電圧源の出力直流電圧と略同泣と
なる直流電圧を出力し。
この出力直流電圧を前記第１の直流電圧源よりの直流電
圧と相殺する態様で前記圧電素子に印加する第２の直流
電圧源と、前記圧電素子の変位部をフラッパとし、給気
圧を受は背圧を導出するノズルと、この背圧を出力圧に
変換するパイ四ツ１−弁と、前記出力圧を電気信号に変
換する回路と、この変換回路で変換された電気信号を前
記第２の直流電圧源の入力側に加え、前記入力電気信号
と平衡させる帰還回路とで構成されている。
圧と相殺する態様で前記圧電素子に印加する第２の直流
電圧源と、前記圧電素子の変位部をフラッパとし、給気
圧を受は背圧を導出するノズルと、この背圧を出力圧に
変換するパイ四ツ１−弁と、前記出力圧を電気信号に変
換する回路と、この変換回路で変換された電気信号を前
記第２の直流電圧源の入力側に加え、前記入力電気信号
と平衡させる帰還回路とで構成されている。
しかしながらこの電−突変換器では、入力電気信号が中
位レベ）ｖ（５０％）の時、圧電素子フラッパの変位が
Ｏとなるように構域するものであるから、入力電気信号
が無い時と、入力電気信号が５０％程度の時との区別が
できない。すなわち入力電気信号断時にも５０％の空気
圧が出力されるという問題がある。
位レベ）ｖ（５０％）の時、圧電素子フラッパの変位が
Ｏとなるように構域するものであるから、入力電気信号
が無い時と、入力電気信号が５０％程度の時との区別が
できない。すなわち入力電気信号断時にも５０％の空気
圧が出力されるという問題がある。
（ハ）目的
それゆえに、この発明の目的は正電素子材料の機械歪の
初期ｆｉ！変化による動作点の変化が少ない。
初期ｆｉ！変化による動作点の変化が少ない。
しかも入力電気信号が断時等所定値以下の場合に出力圧
を０％すなわちＤ ｋｇ ／ ｃ！ｒとなし得る電−突
変換器を提供するにある。
を０％すなわちＤ ｋｇ ／ ｃ！ｒとなし得る電−突
変換器を提供するにある。
に）構成
上記目的を達成するためにこの発明の電−突変換器（は
、上記した先願の電−突変換器の構成要素に加えて、入
力電気信号が所定値以下になった時。
、上記した先願の電−突変換器の構成要素に加えて、入
力電気信号が所定値以下になった時。
出力圧を０％に振ジ切らせるための空気圧開路手段を空
気圧系に設けるようにしている。すなわちこの発明の電
−突変換器は印加電圧に応じて変位する圧電素子と、入
力電気信号が加えられると一定の直流電圧を出力し、こ
の直流電圧を前記圧電素子に印加する第１の直流電圧源
と、入力電気信号に応じて変化し、かつ入力電気信号が
予定変化範囲の中位レベルの時、前記第１の直流電圧源
の出力直流電圧と略同値となる直流電圧を出力し。
気圧系に設けるようにしている。すなわちこの発明の電
−突変換器は印加電圧に応じて変位する圧電素子と、入
力電気信号が加えられると一定の直流電圧を出力し、こ
の直流電圧を前記圧電素子に印加する第１の直流電圧源
と、入力電気信号に応じて変化し、かつ入力電気信号が
予定変化範囲の中位レベルの時、前記第１の直流電圧源
の出力直流電圧と略同値となる直流電圧を出力し。
この出力直流電圧を前記第１の直流電圧源よりの直流電
圧と相殺する態様で前記圧電素子に印加する第２の直流
電圧源と、前記圧電素子の変位部をフラッパとし、給気
圧を受は背圧を導出するノズル及び前記背圧を出力圧に
変換するパイロット弁とよりなる空気圧系と、前記出力
圧を電気信号に変換する回路と、との変換回゛路で変換
された電気信号を前記第２の直流電圧源の入力側に加え
、前記入力電気信号と平衡させる帰還回路と、前記空気
圧系に設けられ、前記入力電気信号が所定値以下の時、
前記空気圧系の空気圧を逃す空気圧開路手段とから構成
されている。
圧と相殺する態様で前記圧電素子に印加する第２の直流
電圧源と、前記圧電素子の変位部をフラッパとし、給気
圧を受は背圧を導出するノズル及び前記背圧を出力圧に
変換するパイロット弁とよりなる空気圧系と、前記出力
圧を電気信号に変換する回路と、との変換回゛路で変換
された電気信号を前記第２の直流電圧源の入力側に加え
、前記入力電気信号と平衡させる帰還回路と、前記空気
圧系に設けられ、前記入力電気信号が所定値以下の時、
前記空気圧系の空気圧を逃す空気圧開路手段とから構成
されている。
（ホ）実施例
以下１図面に示す実施例によシこの発明をさらに詳細に
説明する。
説明する。
第１図はこの発明の前提となる電−突変換器の回路図で
ある。同図において、入力電流Ｉｉがツェナダイオード
Ｚ１とボリウムＶＲを流れ、ポリウムＶ Ｒの入力抵抗
Ｒ１には入力電流Ｉｉに比例した電圧ｅｉが得られ、こ
の電圧ｅｉとツェナダイオードＺ２の電圧が抵抗Ｒ２と
Ｒ３で加算され。
ある。同図において、入力電流Ｉｉがツェナダイオード
Ｚ１とボリウムＶＲを流れ、ポリウムＶ Ｒの入力抵抗
Ｒ１には入力電流Ｉｉに比例した電圧ｅｉが得られ、こ
の電圧ｅｉとツェナダイオードＺ２の電圧が抵抗Ｒ２と
Ｒ３で加算され。
マイクロパワーの演算増幅器１の反転久方端に加えられ
るようになっている。この演算増幅器１の出力電圧ＥＯ
が発振回路９に加えられ２発振回路９は出力電圧ＥＯに
よシ振幅変調を受けて発振する。すなわち発振回路９は
出力電圧ＥＯしたがって入力電流Ｉｉに応じた振幅の発
振信号を出方する。発振回路９の発振出力信号は全波整
流回路１１で整流され、放電抵抗Ｒｂの両端に＋Ｅ２の
直流電圧が導出されるようになっている。この整流回路
１１の出力直流電圧Ｅ２は圧電素子フラッパ２の金属板
２ａに加えられる。
るようになっている。この演算増幅器１の出力電圧ＥＯ
が発振回路９に加えられ２発振回路９は出力電圧ＥＯに
よシ振幅変調を受けて発振する。すなわち発振回路９は
出力電圧ＥＯしたがって入力電流Ｉｉに応じた振幅の発
振信号を出方する。発振回路９の発振出力信号は全波整
流回路１１で整流され、放電抵抗Ｒｂの両端に＋Ｅ２の
直流電圧が導出されるようになっている。この整流回路
１１の出力直流電圧Ｅ２は圧電素子フラッパ２の金属板
２ａに加えられる。
また入力電流ＩｉがツェナダイオードＺ１．ポリウムＶ
Ｒに流される状態下では＋Ｖの電圧が発振回路８に供給
され９発振回路８は一定の振幅の発振信号を出力する。
Ｒに流される状態下では＋Ｖの電圧が発振回路８に供給
され９発振回路８は一定の振幅の発振信号を出力する。
発振回路８の発振出力信号は全波整流回路１０で整流さ
れ、放電抵抗ＲＡの両端に＋Ｅ１の直流電圧が導出され
るようになっている。この整流回路１０の出力直流電圧
Ｅ１は圧電素子フラッパ２の圧電素子２ｂ・２ｃに加え
られる。上記直流電圧Ｅｌ、Ｅ２はいずれも正極性の電
圧であるが、圧電素子フラッパ２には互に逆極性に加え
られてお９１両電圧が相殺される態様、すなわちＥ２−
Ｅｌの電圧Ｅ（］’が印加されるようになっている。そ
して直流電圧Ｅ２は入力電流に応じてＯから２Ｅ１まで
変化するように構成され、５０％に対応する入力電流の
場合には、Ｅ２＝Ｅ１とな９この場合にはＥ Ｏ’ｉｄ
Ｏとなる。圧電素子フラッパ２は印加電圧Ｅ Ｏ’に
応じて変位する。
れ、放電抵抗ＲＡの両端に＋Ｅ１の直流電圧が導出され
るようになっている。この整流回路１０の出力直流電圧
Ｅ１は圧電素子フラッパ２の圧電素子２ｂ・２ｃに加え
られる。上記直流電圧Ｅｌ、Ｅ２はいずれも正極性の電
圧であるが、圧電素子フラッパ２には互に逆極性に加え
られてお９１両電圧が相殺される態様、すなわちＥ２−
Ｅｌの電圧Ｅ（］’が印加されるようになっている。そ
して直流電圧Ｅ２は入力電流に応じてＯから２Ｅ１まで
変化するように構成され、５０％に対応する入力電流の
場合には、Ｅ２＝Ｅ１とな９この場合にはＥ Ｏ’ｉｄ
Ｏとなる。圧電素子フラッパ２は印加電圧Ｅ Ｏ’に
応じて変位する。
ＥＱ’が負極性（Ｅ２＜Ｅｌ）の場合には後述するノズ
ル３から遠ざかるように、逆に正極性（Ｅ２ ＞Ｅｌ
）の場合にはノズ）ｖ５に近づく方向にそれぞれ変位す
る。しかしＦＤ’＝０ （Ｅ２＝ＥＤの場合には変位し
ない。
ル３から遠ざかるように、逆に正極性（Ｅ２ ＞Ｅｌ
）の場合にはノズ）ｖ５に近づく方向にそれぞれ変位す
る。しかしＦＤ’＝０ （Ｅ２＝ＥＤの場合には変位し
ない。
一方、空気圧系は、ノズ／Ｉ／３の噴気口が圧電素子フ
ラッパ２に対面し、給気圧を受けるとともにその背圧を
パイロット弁４で圧力増幅して出力圧として導出すると
ともに、その出方圧を定電流源５、圧力センサ６よりな
る空電変換回路に加え。
ラッパ２に対面し、給気圧を受けるとともにその背圧を
パイロット弁４で圧力増幅して出力圧として導出すると
ともに、その出方圧を定電流源５、圧力センサ６よりな
る空電変換回路に加え。
出力圧を電圧信号に変換するようになっている。
また圧力センサ６よりの電圧信号は差動増幅器７を経て
演算増幅器１の非反転入力端に帰還される。
演算増幅器１の非反転入力端に帰還される。
そして演算増幅器１の出力電圧ＥＯが、入力信号電圧と
差動増幅器７から帰還される電圧が等しくなるように変
化し、この出力電圧ＥＱによシ圧電素子フラッパ２の変
位を制御し、入力電流Ｉｉに比例した出力空気圧を得る
ようになっている。
差動増幅器７から帰還される電圧が等しくなるように変
化し、この出力電圧ＥＱによシ圧電素子フラッパ２の変
位を制御し、入力電流Ｉｉに比例した出力空気圧を得る
ようになっている。
上記した第１図の電−突変換器は入力電流Ｉｉが流れて
いる限り、５０％に対応する入力電流で圧電素子フラッ
パ２に印加される電圧ＥＯがＯとな９．圧電素子フラッ
パ２の変位が小さい状態で動作を維持し、圧電素子の機
械歪の初期鍍変動による動作点の変動を小さく抑えるこ
とができる。
いる限り、５０％に対応する入力電流で圧電素子フラッ
パ２に印加される電圧ＥＯがＯとな９．圧電素子フラッ
パ２の変位が小さい状態で動作を維持し、圧電素子の機
械歪の初期鍍変動による動作点の変動を小さく抑えるこ
とができる。
しかし入力電流Ｉｉが断しＯとなると２発振回路８及び
９の発振が停止し、整流回路１０及び１１の出力直流電
圧Ｅ１．Ｅ２がＯとなシこの場合も圧電素子２の印加電
圧Ｅ（］’は０とな９．圧電素子フラッパ２は変位しな
いので、５０％付近の空気圧が出力されることになる。
９の発振が停止し、整流回路１０及び１１の出力直流電
圧Ｅ１．Ｅ２がＯとなシこの場合も圧電素子２の印加電
圧Ｅ（］’は０とな９．圧電素子フラッパ２は変位しな
いので、５０％付近の空気圧が出力されることになる。
そこで、この発明の第１の実施例は第２図に示すように
、ノズル３とパイロット弁４の間の空気圧路にノズル背
圧をオン・オフする空気圧開路手段１２を設けるように
している。この実施例室−空変換器では、第１図に示し
た入力電流Ｉｉが所定値以上の場合に空気圧開路手段１
２はオフしており、第１図で説明したように通常の制御
動作がなされ、圧電素子フラッパ２に印加される電圧Ｅ
Ｏ’に応じた出力空気圧が導出される。一方、入力電流
１ｉが所定値（定格値）以下になれば、空気圧開路手段
１２がオンし、ノズ／Ｉ／３の背圧カ逃カサ力、これに
よシパイロット弁４よシの出方圧は。
、ノズル３とパイロット弁４の間の空気圧路にノズル背
圧をオン・オフする空気圧開路手段１２を設けるように
している。この実施例室−空変換器では、第１図に示し
た入力電流Ｉｉが所定値以上の場合に空気圧開路手段１
２はオフしており、第１図で説明したように通常の制御
動作がなされ、圧電素子フラッパ２に印加される電圧Ｅ
Ｏ’に応じた出力空気圧が導出される。一方、入力電流
１ｉが所定値（定格値）以下になれば、空気圧開路手段
１２がオンし、ノズ／Ｉ／３の背圧カ逃カサ力、これに
よシパイロット弁４よシの出方圧は。
方向に振シ切らされ、出方圧は０％に強制される。
ここで使用される空気圧開路手段１２の具体例としては
第３図、第４図に示すものがある。
第３図、第４図に示すものがある。
第６図は電磁弁を用いた空気圧開路器である。
同図１でおいて、コア２０には′シーコイ／ｌ／２１が
巻回されるとともに、中央部にはノズル背圧金堂ける連
通孔２２が設けられており、この連通孔２２の背圧出口
には、電磁コイ／ｌ／２１の吸引力によシ出ロ全基ぐ弁
２３が設けられている。電１滋コイル２１の電流が所定
１直以下になると、電磁コイル２１の吸引力に抗してノ
ズル背圧により、央２３は連通孔２２の出口から離隔し
て右方に移動するようになっている。２４は弁ストッパ
、２５はストツバ押工である。また升ストッパ２４には
、ノズル背圧を逃す穴２６が設けられている。もちろん
弁２６ば、パーマロイ等の磁性材料で形成される。
巻回されるとともに、中央部にはノズル背圧金堂ける連
通孔２２が設けられており、この連通孔２２の背圧出口
には、電磁コイ／ｌ／２１の吸引力によシ出ロ全基ぐ弁
２３が設けられている。電１滋コイル２１の電流が所定
１直以下になると、電磁コイル２１の吸引力に抗してノ
ズル背圧により、央２３は連通孔２２の出口から離隔し
て右方に移動するようになっている。２４は弁ストッパ
、２５はストツバ押工である。また升ストッパ２４には
、ノズル背圧を逃す穴２６が設けられている。もちろん
弁２６ば、パーマロイ等の磁性材料で形成される。
この′ボ磁弁式の空気圧開路器では、電磁コイル２１１
Ｃ流れる入力電、流が定格１直以上であると２その電磁
力によ！ｌｌ弁２６が吸引されるので連通孔２２の出口
が塞がれ、オフ状態にあシノズル背圧は逃がされない。
Ｃ流れる入力電、流が定格１直以上であると２その電磁
力によ！ｌｌ弁２６が吸引されるので連通孔２２の出口
が塞がれ、オフ状態にあシノズル背圧は逃がされない。
しかし電１猷コイ１Ｖ２１に流れる入力電流が定格１直
以下になると電磁コイル２１の吸引力が弱くなるので、
ノズル背圧により弁２３は右方に押され、連通孔２２と
弁２６間に隙間が生じるので、ノズル背圧はこの隙間か
ら穴２６を経て外部に逃がされる。
以下になると電磁コイル２１の吸引力が弱くなるので、
ノズル背圧により弁２３は右方に押され、連通孔２２と
弁２６間に隙間が生じるので、ノズル背圧はこの隙間か
ら穴２６を経て外部に逃がされる。
第４図は圧電素子ダイヤフラムを用いた空気圧開路器で
ある。同図において、３０はベース３１の中央部に設け
られ、ノズ／Ｌ／３よりのノズル背圧を受けるノズル、
３２は端部がベース３１に支持される圧電素子ダイヤフ
ラムでら）す、この圧電素子ダイヤフラム３２の圧電素
子に入カ′イ、流に対応した電圧が印加されるようにな
っており、印加される電圧によシ例みを生じる。印加′
１圧が定格ｉ直以上の場合には睨みが大でリシ、この圧
″ぽ８素子ダイヤフラム３２によシノズ／Ｌ’３０の噴
気口に’ｆ＋４ぐよりになっている。ノズ／Ｌ／３０と
圧＋ｆＪｔ諮子ダイヤフフムろ２の当Ｄｋ良くするため
に、圧電素子の中心に小人が設けられている。な訃３６
はベース６１に設けられる背圧逃７バし用の穴でＬ）る
。
ある。同図において、３０はベース３１の中央部に設け
られ、ノズ／Ｌ／３よりのノズル背圧を受けるノズル、
３２は端部がベース３１に支持される圧電素子ダイヤフ
ラムでら）す、この圧電素子ダイヤフラム３２の圧電素
子に入カ′イ、流に対応した電圧が印加されるようにな
っており、印加される電圧によシ例みを生じる。印加′
１圧が定格ｉ直以上の場合には睨みが大でリシ、この圧
″ぽ８素子ダイヤフラム３２によシノズ／Ｌ’３０の噴
気口に’ｆ＋４ぐよりになっている。ノズ／Ｌ／３０と
圧＋ｆＪｔ諮子ダイヤフフムろ２の当Ｄｋ良くするため
に、圧電素子の中心に小人が設けられている。な訃３６
はベース６１に設けられる背圧逃７バし用の穴でＬ）る
。
このダイヤフラム式の空気圧−路器では、圧シ素子ダイ
ヤフラム６２に印加される電、圧が定格直以上である場
合には、圧電素子ダイヤフラム３２の読みでノズ）ｖ３
０が掻が７’ｔているので、オフ状態にあシ背圧は逃さ
れない。しかし圧電素子ダイヤフラム６２に印加される
電圧が定格以下になると圧′岐素子ダイヤフラム６２の
撓みが弱くなり。
ヤフラム６２に印加される電、圧が定格直以上である場
合には、圧電素子ダイヤフラム３２の読みでノズ）ｖ３
０が掻が７’ｔているので、オフ状態にあシ背圧は逃さ
れない。しかし圧電素子ダイヤフラム６２に印加される
電圧が定格以下になると圧′岐素子ダイヤフラム６２の
撓みが弱くなり。
ノズ／ｌ／３０の先端と圧電素子ダイヤフラム６１間に
ギャップが生じるのでノズ／ｌ／３よりのノズル背圧は
ノス諏し６０．上記ギャップ、ヲ、逢てベース５１を１
経てベース６１の小穴３３よシ外部に逃がされる。
ギャップが生じるのでノズ／ｌ／３よりのノズル背圧は
ノス諏し６０．上記ギャップ、ヲ、逢てベース５１を１
経てベース６１の小穴３３よシ外部に逃がされる。
この発明の他の実施例として、褐５図の￥気圧回路が第
１図に示した′区−空腿矢器に画用される。
１図に示した′区−空腿矢器に画用される。
この実施例は第２図に示す実施例と相遅し、給気圧葡￥
気圧開路手段１３を介して逃すようにしている。そして
仝気圧開路手咳１３の出力側に碗り切υ用のノズ）ｖ１
４が圧電素子フラッパ２に対面して設けられている。な
お仝気圧開路手段１３としては、第６図あるいは第４図
に示したものが１吏用される。
気圧開路手段１３を介して逃すようにしている。そして
仝気圧開路手咳１３の出力側に碗り切υ用のノズ）ｖ１
４が圧電素子フラッパ２に対面して設けられている。な
お仝気圧開路手段１３としては、第６図あるいは第４図
に示したものが１吏用される。
第５図において、入力電気信号が定格１直以上の協会に
は、空気圧開路手段１３がオフしてお！ｌｌ給気圧が逃
されないので、冒−空菱捩器は通常の制−動作を行な９
゜しかし入力ぽ気１言号が定格（ぼ以下になると全気圧
開路手段１６がオンし、給気圧開路手段１３會経て参り
切９ノズ／Ｌ／１４よシ噴出し、圧電素子フラッパ２葡
吹き上ける。その結果圧電素子フラッパ２とノズ）Ｖ乙
のギャップが増大し、上記給％圧の逃しと相壕ちパイロ
ット弁４の出力は低下し２０方向に振り切れる・ （へ効果 この発明によれば、入力゛電気信号が定・１’６ ｌ！
ば以下になった時、空気圧開路手段７オンして空気圧の
空気圧を逃がし１強ｌＪ的に出力音０方向にｊ辰、！１
ｌｌｌ、７Ｊらせるものであるから、入力電気信号の断
等が生じても制御系を貸金に３車伝することができる。
は、空気圧開路手段１３がオフしてお！ｌｌ給気圧が逃
されないので、冒−空菱捩器は通常の制−動作を行な９
゜しかし入力ぽ気１言号が定格（ぼ以下になると全気圧
開路手段１６がオンし、給気圧開路手段１３會経て参り
切９ノズ／Ｌ／１４よシ噴出し、圧電素子フラッパ２葡
吹き上ける。その結果圧電素子フラッパ２とノズ）Ｖ乙
のギャップが増大し、上記給％圧の逃しと相壕ちパイロ
ット弁４の出力は低下し２０方向に振り切れる・ （へ効果 この発明によれば、入力゛電気信号が定・１’６ ｌ！
ば以下になった時、空気圧開路手段７オンして空気圧の
空気圧を逃がし１強ｌＪ的に出力音０方向にｊ辰、！１
ｌｌｌ、７Ｊらせるものであるから、入力電気信号の断
等が生じても制御系を貸金に３車伝することができる。
第１図はこの発明の目１１提となる蟹−突変［！：り器
の回路図、第２図はこのつ６明の一実雁例軍一突変ｊ≠
器の安都を示す窒菟圧回路図、第６図は１１１１記実施
例電−空父侯器に１史用される電磁弁式空気圧開路器を
示す図、第４図は同じ＜ Ｎｉｌ記実施例電−空斐換器
に１史用さ牙する圧電素子ダイヤフラム式窒気圧開路器
を示す図、第５図はこの発明の他の実施例亀−窮友戻詣
の警部を示す柴気圧回路図である。 １：頂’＋１−増幅器、 ２：圧ぼ、累子フラッパ。 ３：ノズル、 ４：パイロット夫−１５：定電流
綜、 ６：圧力センサ。 ７：差ｄ １ｗ１ｌｌｉｉｌ器−８・９ ： 発ｕｉｌ
ＦＵｋ＋ｊｒ。 １０・１１：゛整流回路、 １２・１３：墾気圧開路
手−１２゜ 特許用１人 株式会社島津製作所代理人 弁
理士 中 村 茂 信
の回路図、第２図はこのつ６明の一実雁例軍一突変ｊ≠
器の安都を示す窒菟圧回路図、第６図は１１１１記実施
例電−空父侯器に１史用される電磁弁式空気圧開路器を
示す図、第４図は同じ＜ Ｎｉｌ記実施例電−空斐換器
に１史用さ牙する圧電素子ダイヤフラム式窒気圧開路器
を示す図、第５図はこの発明の他の実施例亀−窮友戻詣
の警部を示す柴気圧回路図である。 １：頂’＋１−増幅器、 ２：圧ぼ、累子フラッパ。 ３：ノズル、 ４：パイロット夫−１５：定電流
綜、 ６：圧力センサ。 ７：差ｄ １ｗ１ｌｌｉｉｌ器−８・９ ： 発ｕｉｌ
ＦＵｋ＋ｊｒ。 １０・１１：゛整流回路、 １２・１３：墾気圧開路
手−１２゜ 特許用１人 株式会社島津製作所代理人 弁
理士 中 村 茂 信
Claims (5)
- （１）印加電圧に応じて変位する圧電素子と、入力電気
信号が加えられると一定の直流電圧を出力し、この直流
電圧を前記圧電素子に印加する第１の直流電圧源と、入
力電気信号に応じて変化し、かつ入力電気信号が予定変
化範囲の中位レベルの時、前記第１の直流電圧源の出力
直流電圧と略同値となる直流電圧を出力し、この出力直
流電圧を前記第１の直流電圧源よυの直流電圧と相殺す
る態様で前記圧電素子に印加する第２の直流電圧源と、
前記圧電素子の変位部をフラッパとし、給気圧を受は背
圧を導出するノズル及び前記背圧を出力圧に変換するパ
イロツ絣とよシなる空気圧系と、前記出力圧を電気信号
に変換する回路と、この変換回路で変換された電気信号
を前記第２の直流電圧源の入力側に加え、前記入力電気
信号と平衡させる帰還回路と。 前記空気圧系に設けられ、前記入力電気信号が所定値以
上の時、前記空気圧系の空気圧を逃す空気圧開路手段と
よシなる電−突変換器。 - （２）前記空気圧開路手段は、前記ノズルの背圧を逃す
ようにしたものであることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の電−突変換器。 - （３）前記空気圧開路手段は前記給気圧を逃すようにし
たものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の電−突変換器。 - （４）前記空気圧開路手段は電磁弁であシ、この電磁弁
の電磁コイルに前記入力電気信号に応じた電流を流して
弁を吸引しておき、前記入力電気信号が所定値以下にな
った時弁の吸引を解除して、前記空気圧を逃すようにし
たことを特徴とする特許請求の範囲第２項または第６項
記載の電−突変換器。 - （５）前記空気圧開路手段は前記空気圧系よりの空気圧
を受けるノズルと前記入力電気信号に応じた電圧が印加
される圧電素子ダイヤフラムとからなシ、印加電圧が所
定値以上の時前記圧電素子ダイヤフラムで前記ノズルの
噴気口を閉じておき、印加電圧が所定値以下になると前
記圧電素子ダイヤフラムが前記ノズルより離隔して前記
空気圧を逃すようにしたことを特徴とする特許請求の範
囲第２項または第３項記載の電−突変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1528083A JPS59141016A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 電−空変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1528083A JPS59141016A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 電−空変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59141016A true JPS59141016A (ja) | 1984-08-13 |
| JPH0321050B2 JPH0321050B2 (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=11884438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1528083A Granted JPS59141016A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 電−空変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59141016A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6347809A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-02-29 | Nippon Beeles- Kk | パルスポジシヨナ |
| JPH04185902A (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-02 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ポジショナ |
| JP2007261637A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Daio Paper Corp | 衛生用繊維集合体製品 |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1528083A patent/JPS59141016A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6347809A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-02-29 | Nippon Beeles- Kk | パルスポジシヨナ |
| JPH04185902A (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-02 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ポジショナ |
| JP2007261637A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Daio Paper Corp | 衛生用繊維集合体製品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0321050B2 (ja) | 1991-03-20 |
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