JPS59130491A - Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置 - Google Patents
Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS59130491A JPS59130491A JP567983A JP567983A JPS59130491A JP S59130491 A JPS59130491 A JP S59130491A JP 567983 A JP567983 A JP 567983A JP 567983 A JP567983 A JP 567983A JP S59130491 A JPS59130491 A JP S59130491A
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- JP
- Japan
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- tube
- water
- discharge tube
- support
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は炭酸ガス（ＣＯｓ）レーザ発振装置に関し、特
に放電管及び水冷管を支持する改良された支持体を有す
るＣＯ２レーザ発振装置に関する。
に放電管及び水冷管を支持する改良された支持体を有す
るＣＯ２レーザ発振装置に関する。
ガスレーザ発振器は、相対向しておかれた２板の反射鏡
が放電管の中心軸に対し垂直に、互いにその反射面の接
平面を極めて千行反↓く向い合ってはじめて発振するも
のであるが、高性能発振器では放電管の真直度も高い精
度を要する。
が放電管の中心軸に対し垂直に、互いにその反射面の接
平面を極めて千行反↓く向い合ってはじめて発振するも
のであるが、高性能発振器では放電管の真直度も高い精
度を要する。
ガスとしてＣ０２を用いるＣＯ２レーザ発振装置におい
ては、ガス温度を低く保つと共に、放電管をその熱よシ
守るために水冷管の中に設けて冷却しているのが普通で
あるが、従来のＣＯ２レーザ発振器では放電管の長さが
短いか、又は長い場合でも放電管の径が大きいために、
水冷管の端部及び中央部（ガス導、入部）で放電管を支
持するだけでよく、その真直度は実用上あまシ問題とな
らなかった０ 最近、Ｃ０２レーザ発振装置において、単一波長。
ては、ガス温度を低く保つと共に、放電管をその熱よシ
守るために水冷管の中に設けて冷却しているのが普通で
あるが、従来のＣＯ２レーザ発振器では放電管の長さが
短いか、又は長い場合でも放電管の径が大きいために、
水冷管の端部及び中央部（ガス導、入部）で放電管を支
持するだけでよく、その真直度は実用上あまシ問題とな
らなかった０ 最近、Ｃ０２レーザ発振装置において、単一波長。
単−横モードで高出力、高安定化の発振器の開発が進め
られてきているが、例えば低利得の発振ラインを使う出
力５０ＷのＣＯ，レーザ発振器を作る場合、その放電管
の長さは２．５ｍにもなる一方、放電管の外径は１２朋
程度におさえる必要がある。
られてきているが、例えば低利得の発振ラインを使う出
力５０ＷのＣＯ，レーザ発振器を作る場合、その放電管
の長さは２．５ｍにもなる一方、放電管の外径は１２朋
程度におさえる必要がある。
従って水冷管の両端及び中央部で放電管を保持するだけ
ではその真直度を精度よく保つのは極めて困難でおり、
更に水冷管内の水の乱流により放電管が振動するため安
定し九出力が得られないという欠点がある。
ではその真直度を精度よく保つのは極めて困難でおり、
更に水冷管内の水の乱流により放電管が振動するため安
定し九出力が得られないという欠点がある。
本発明の目的は、上記欠点を除去し、放電管の真直度を
精度よく保持すると共に、水の乱流による振動を除き、
安定な高出力が得られる。ＣＯ２レーザ発振装置を提供
することにちる。
精度よく保持すると共に、水の乱流による振動を除き、
安定な高出力が得られる。ＣＯ２レーザ発振装置を提供
することにちる。
本発明のＣＯ２レーザ発振装置は、放電管と、該放電管
の外囲部を気密にかこんで設けられ内部に水を導入して
前記放電管を冷却する水冷管とを有するＣＯｔレーザ発
振装置において、前記水冷管内に管軸と垂直な平面内で
少くとも２ケ所で前記放電管を支持する第１の支持体と
、前記第１の支持体が接触する接触面と対向する前記水
冷管の外周面を支持し前記水冷管の軸方向と垂直な平面
内で前記水冷管の位置を微動調整可能な第２の支持体と
から構成されておシ、前記第１の支持体が金属ばね、ま
たは非金属のスペーサから構成されている０ 本発明によれば、水冷管内の放電管は管軸と垂直な平面
内で少くとも２ケ所で第１の支持体によう支持されてお
シ、更にこの第１の支持体が接する水冷管の外周面が第
２の支持体によシ水平に保持されるため、放電管の真直
度は精度良く保たれると共に、水の乱流による放電管の
振動も抑制することができる。
の外囲部を気密にかこんで設けられ内部に水を導入して
前記放電管を冷却する水冷管とを有するＣＯｔレーザ発
振装置において、前記水冷管内に管軸と垂直な平面内で
少くとも２ケ所で前記放電管を支持する第１の支持体と
、前記第１の支持体が接触する接触面と対向する前記水
冷管の外周面を支持し前記水冷管の軸方向と垂直な平面
内で前記水冷管の位置を微動調整可能な第２の支持体と
から構成されておシ、前記第１の支持体が金属ばね、ま
たは非金属のスペーサから構成されている０ 本発明によれば、水冷管内の放電管は管軸と垂直な平面
内で少くとも２ケ所で第１の支持体によう支持されてお
シ、更にこの第１の支持体が接する水冷管の外周面が第
２の支持体によシ水平に保持されるため、放電管の真直
度は精度良く保たれると共に、水の乱流による放電管の
振動も抑制することができる。
次に本発明を実施例を用いて詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例の断面図である。
第１図において、放電管１の外囲部を気密にかこんで水
冷管２が設けられておｉ）、この水冷管２の内部には第
１の支持体３，３′が接触する接触面と対向する水冷管
２の外周面を第２の支持体４゜４′が支持している。こ
の第２の支持体は、水冷管２の位置を管軸と垂直な平面
内で微動調整できるため第１の支持体３，３′を介して
放電管１の真直度を精度よく調整すること・ができる。
冷管２が設けられておｉ）、この水冷管２の内部には第
１の支持体３，３′が接触する接触面と対向する水冷管
２の外周面を第２の支持体４゜４′が支持している。こ
の第２の支持体は、水冷管２の位置を管軸と垂直な平面
内で微動調整できるため第１の支持体３，３′を介して
放電管１の真直度を精度よく調整すること・ができる。
この様に放電管１の支持が強化されるため、冷却水の乱
流の影響による放電管１の振動も抑制される。なお放電
管１にはガス導入口５よ、６ ｃｏ、が導入さ扛、陽極
６と陰極７，７′の間で放電を生ずる。また、８．８′
はプリー−メタ窓、９は水冷管２への冷却水の導入口で
ある。
流の影響による放電管１の振動も抑制される。なお放電
管１にはガス導入口５よ、６ ｃｏ、が導入さ扛、陽極
６と陰極７，７′の間で放電を生ずる。また、８．８′
はプリー−メタ窓、９は水冷管２への冷却水の導入口で
ある。
第２図（ａ） 、 （ｂ）は第１図に示す一実施例の第
１の支持体近傍の矢１０よシみた矢視図及びＡ−Ａ’断
面園、第３図（ａ） 、 （ｂ）ないし第６図（ａ）
、 （ｂ）はそれセれ第２図ｆａ） ＋ （ｂ）の変形
例の矢視図及びＡ−Ａ’断面図である。
１の支持体近傍の矢１０よシみた矢視図及びＡ−Ａ’断
面園、第３図（ａ） 、 （ｂ）ないし第６図（ａ）
、 （ｂ）はそれセれ第２図ｆａ） ＋ （ｂ）の変形
例の矢視図及びＡ−Ａ’断面図である。
第２図（ａ） 、 （ｂ）及び第３図（ａ） 、 （ｂ
）は、第１の支持体をリン青銅やばね鋼等で作った金属
ばねで形成した場合であシ、金属ばね１１，１２は水冷
管２内においてその弾性力で放電管１を支持している。
）は、第１の支持体をリン青銅やばね鋼等で作った金属
ばねで形成した場合であシ、金属ばね１１，１２は水冷
管２内においてその弾性力で放電管１を支持している。
この金属はね１１．１２はプレス等の加工によシ精度よ
く作ることができるため、放電管１は水冷管２の軸と平
行に保たれる。、 第４図（ａ） 、 （ｂ）及び第５図（ａ） 、 （ｂ
）は、第１の支持体をガラス或は、テフロン等の有機材
料で形成したスペーサで構成した場合である。
く作ることができるため、放電管１は水冷管２の軸と平
行に保たれる。、 第４図（ａ） 、 （ｂ）及び第５図（ａ） 、 （ｂ
）は、第１の支持体をガラス或は、テフロン等の有機材
料で形成したスペーサで構成した場合である。
第４図（ａｔ 、 （ｂｌ及び第５図（ａ） 、 （ｂ
）において、スペーサ１３．１４ ’に放電管１と水冷
管２の間に挿入し耐熱性接着剤で固定するか、或は、ス
ペーサ１３゜１４がガラスである゛場合は放電管１及び
水冷管２と融着させて固定する。この場合も高い精度で
放電管１を水冷管２内に平行に支持することができる。
）において、スペーサ１３．１４ ’に放電管１と水冷
管２の間に挿入し耐熱性接着剤で固定するか、或は、ス
ペーサ１３゜１４がガラスである゛場合は放電管１及び
水冷管２と融着させて固定する。この場合も高い精度で
放電管１を水冷管２内に平行に支持することができる。
第６図（ａ） 、 ｆｂ）は第１の支持体を低流動性接
着剤で構成した場合である。この場合、低流動性接着剤
１５が固定する迄数時間他のスペーサで放電管１を水冷
管２内に保持しておく必要がある。
着剤で構成した場合である。この場合、低流動性接着剤
１５が固定する迄数時間他のスペーサで放電管１を水冷
管２内に保持しておく必要がある。
第７図は本発明の一実施例に用いる第２の支持体を有す
るＹ−Ｚ微動ステージの側面図である。
るＹ−Ｚ微動ステージの側面図である。
第７図において％Ｙ−Ｚ微動ステージ２０は、水冷管２
を支持する第２の支持体としてのりで２４．２４’を有
する。このうで２４ 、２４’はＹ−Ｚ微動ステージ２
０内に設けらｎた微動調整機構により水冷管２の管軸と
垂直方向（管軸をＸ軸とした場合のＹ、Ｚ軸方向）の平
面内で移動できるようＫなっている。このため、水冷管
２をＹ、Ｚ方向に微動調整することによう間接的に水冷
管２内の放電管の真直度を調整することができる。
を支持する第２の支持体としてのりで２４．２４’を有
する。このうで２４ 、２４’はＹ−Ｚ微動ステージ２
０内に設けらｎた微動調整機構により水冷管２の管軸と
垂直方向（管軸をＸ軸とした場合のＹ、Ｚ軸方向）の平
面内で移動できるようＫなっている。このため、水冷管
２をＹ、Ｚ方向に微動調整することによう間接的に水冷
管２内の放電管の真直度を調整することができる。
第８図は本発明の一実施例に用いる他の第２の支持体を
有する共振器支持体の側面図である。
有する共振器支持体の側面図である。
第８図において、共振器支持体３０は複数の７ランジ３
１とロッド３２から主枠が構成されておシ、各７ランジ
３１には必要に応じて水冷管２′！ｉ−支持する第２の
支持体としての複数個のマイクロメータヘッド３３を備
えた支持板３４が固着されている。このマイクロメータ
ヘッド３３を動かすことにより水冷管２の位置を調整す
ることができる。
１とロッド３２から主枠が構成されておシ、各７ランジ
３１には必要に応じて水冷管２′！ｉ−支持する第２の
支持体としての複数個のマイクロメータヘッド３３を備
えた支持板３４が固着されている。このマイクロメータ
ヘッド３３を動かすことにより水冷管２の位置を調整す
ることができる。
以上詳細に説明した様に、本発明によれば、水冷管内の
放電管が２ケ所以上で第１の支持体により水冷管軸と平
行に支持されるため、放電管のたわみが抑制さｎ冷却水
の乱流による放電管の振動も減少する。そして、この第
１の支持体が接触することにより間接的に放電管の真直
度を精度よく保つことができるので安定した高出力のＣ
Ｏ２レーザ発振装置が得られ、その効果は大である。
放電管が２ケ所以上で第１の支持体により水冷管軸と平
行に支持されるため、放電管のたわみが抑制さｎ冷却水
の乱流による放電管の振動も減少する。そして、この第
１の支持体が接触することにより間接的に放電管の真直
度を精度よく保つことができるので安定した高出力のＣ
Ｏ２レーザ発振装置が得られ、その効果は大である。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図（ａ）。
ｆｂ）ないし第６図（ａ） 、 ｆｂ）は第１図に示す
一実施例の第１の支持体近傍の矢視図及び断面図、第７
図は本発明の一実施例に用いる第２の支持体を有するＹ
−Ｚ微動ステージの側面図、第８図は本発明の一実施例
に用いる他の第２の支持体を有する共振器支持体の側面
図である。 １・・・・・・放電管、２・・・・・・水冷管、３．３
’・・・・・・第１の支持体、４，４′・・・・・・第
２の支持体、５・・・・・・ガス導入口、６・・・・・
・陽極、７，７’・・・・・・陰極、８．８’・・・・
・・ブリュースタ窓、９・・・・・・冷却水の導入口、
１１゜１２・・・・・・金属ばね、１３．１４・・・・
・・スペーサ、１５・・・・・・低流動性接着剤、２０
・・・・・・Ｙ−Ｚ微動ステージ、２４．２４’・・・
・・・うで、３０・・・・・・共振器支持体、３１・・
・・・・７ランジ、３２・・・・・・ロツ）”、３３・
ｌ・・・・マ。 イクロメータヘッド、３４・・・・・・支持板。
一実施例の第１の支持体近傍の矢視図及び断面図、第７
図は本発明の一実施例に用いる第２の支持体を有するＹ
−Ｚ微動ステージの側面図、第８図は本発明の一実施例
に用いる他の第２の支持体を有する共振器支持体の側面
図である。 １・・・・・・放電管、２・・・・・・水冷管、３．３
’・・・・・・第１の支持体、４，４′・・・・・・第
２の支持体、５・・・・・・ガス導入口、６・・・・・
・陽極、７，７’・・・・・・陰極、８．８’・・・・
・・ブリュースタ窓、９・・・・・・冷却水の導入口、
１１゜１２・・・・・・金属ばね、１３．１４・・・・
・・スペーサ、１５・・・・・・低流動性接着剤、２０
・・・・・・Ｙ−Ｚ微動ステージ、２４．２４’・・・
・・・うで、３０・・・・・・共振器支持体、３１・・
・・・・７ランジ、３２・・・・・・ロツ）”、３３・
ｌ・・・・マ。 イクロメータヘッド、３４・・・・・・支持板。
Claims (3)
- （１）放電管と、該放電管の外囲部を気密にかこんで設
けられ内部に水を導入して前記放電管を冷却する水冷管
とを有するＣＯ２レーザ発振装置において、前記水冷管
内に管軸と垂直な平面内で少くとも２ケ所で前記放電管
を支持する第１の支持体と、前記第１の支持体が接触す
る接触面と対向する前記水冷管の外周面を支持し前記水
冷管の軸方向と垂直な平面内で前記水冷管の位置を微動
調整可能な第２の支持体とを有することを特徴とするＣ
０２レーザ発振装置。 - （２）第１の支持体は金属はねて構成されている特許請
求の範囲第（１）項記載のＣＯ２レーザ発振装置。 - （３）第１の支持体は非金属のスペーサで構成されてい
る特許請求の範囲第（１）項記載のＣＯ２レーザ発振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP567983A JPS59130491A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP567983A JPS59130491A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59130491A true JPS59130491A (ja) | 1984-07-27 |
Family
ID=11617776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP567983A Pending JPS59130491A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | Ｃｏ↓２レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59130491A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104092085A (zh) * | 2014-07-30 | 2014-10-08 | 成都微深科技有限公司 | 一种具有平面盘状弹性支撑架的二氧化碳激光器 |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP567983A patent/JPS59130491A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104092085A (zh) * | 2014-07-30 | 2014-10-08 | 成都微深科技有限公司 | 一种具有平面盘状弹性支撑架的二氧化碳激光器 |
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