JPS59124130A - テ−ブル移動装置 - Google Patents
テ−ブル移動装置Info
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- JPS59124130A JPS59124130A JP23456482A JP23456482A JPS59124130A JP S59124130 A JPS59124130 A JP S59124130A JP 23456482 A JP23456482 A JP 23456482A JP 23456482 A JP23456482 A JP 23456482A JP S59124130 A JPS59124130 A JP S59124130A
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- pair
- piezo conversion
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はテーブルをμｍのオーターで移動させるテーブ
ル移動装置に関する。
ル移動装置に関する。
ＥＢ描画装置等においては、半導体ウェハ等の試料が固
定されたテーブルを、高速度（μｍのオーダーの微細な
動きを高速で移動させる速度）で、例えば回転テーブル
では微少角度回転させることが要求される。
定されたテーブルを、高速度（μｍのオーダーの微細な
動きを高速で移動させる速度）で、例えば回転テーブル
では微少角度回転させることが要求される。
このようなμｍの範囲の微少な角度を回転することので
きる回転テーブル装置は、第１図に断面図で、第２図に
第１図のＡ−Ａ断面図で示されるような構造になってい
る。図中１は基盤、２は基盤１上に、回転支持機構３を
介して回転可能に支持された回転板である。
きる回転テーブル装置は、第１図に断面図で、第２図に
第１図のＡ−Ａ断面図で示されるような構造になってい
る。図中１は基盤、２は基盤１上に、回転支持機構３を
介して回転可能に支持された回転板である。
回転支持機構３は、ボールベアリングを有し、基盤１の
上面に回転板２の下面が近接するよ５に回転板２を支持
している。
上面に回転板２の下面が近接するよ５に回転板２を支持
している。
回転板２には、その中心を通る直線上に、そ６周縁から
］対の切欠２ａ、２ｂが形成されており、その一方の切
欠２ａ中に、その伸縮方向が回転板２０回転円弧の接線
方向と平行になるようにピエゾ変換素子４が固定されて
いる。また、１対の切欠２ａ、２ｂによって区分された
回転板２０２つの部分の下面の各々には、基盤１と共働
して１対の静電チャックを構成する１対の電極５ａ、５
ｂの各々が絶縁層６を介して固定されている。電極５ａ
および５ｂと、基盤１との間には、後述するように高圧
パルス増巾器１４ａおよび１４ｂがらの高圧パルスが印
加され、る。さらに、回転板２０２っの部分の１つの上
面には支柱７が固定され、支柱７上には、回転板２と中
心位置が上下方向で合致するように、且つ回転板２と平
行になるようにテーブル８が固定されて℃・る。
］対の切欠２ａ、２ｂが形成されており、その一方の切
欠２ａ中に、その伸縮方向が回転板２０回転円弧の接線
方向と平行になるようにピエゾ変換素子４が固定されて
いる。また、１対の切欠２ａ、２ｂによって区分された
回転板２０２つの部分の下面の各々には、基盤１と共働
して１対の静電チャックを構成する１対の電極５ａ、５
ｂの各々が絶縁層６を介して固定されている。電極５ａ
および５ｂと、基盤１との間には、後述するように高圧
パルス増巾器１４ａおよび１４ｂがらの高圧パルスが印
加され、る。さらに、回転板２０２っの部分の１つの上
面には支柱７が固定され、支柱７上には、回転板２と中
心位置が上下方向で合致するように、且つ回転板２と平
行になるようにテーブル８が固定されて℃・る。
テーブル８上面には、図示しないが静電チャックが設け
られ、テーブル８上面上に半導体ウニ・・等の試料が固
定される。
られ、テーブル８上面上に半導体ウニ・・等の試料が固
定される。
第３図は上述したテーブル部分の制御回路のブロック図
である。図中９は一定周期で連続的にパルスを発生ずる
基準パルス発生器、１０はカウンタとＤ／Ａ変換器とを
有する三角波発生器であり、この三角波発生器１０にお
いては、基準パルス発生器９からのパルス列を所定周期
を有する連続三角波に変換し、これを出力する。三角波
発生器１０からの出力信号は、高電圧増巾器１１に入力
“され、第４図中（Ｉ）で示すような高圧直流増
巾された三角波（高圧）信号が高電圧増巾器１１からピ
エゾ変換素子４に直接印加される。
である。図中９は一定周期で連続的にパルスを発生ずる
基準パルス発生器、１０はカウンタとＤ／Ａ変換器とを
有する三角波発生器であり、この三角波発生器１０にお
いては、基準パルス発生器９からのパルス列を所定周期
を有する連続三角波に変換し、これを出力する。三角波
発生器１０からの出力信号は、高電圧増巾器１１に入力
“され、第４図中（Ｉ）で示すような高圧直流増
巾された三角波（高圧）信号が高電圧増巾器１１からピ
エゾ変換素子４に直接印加される。
一方、基準パルス発生器９からのパルスは、矩形波変換
器１２にも入力され、ここにおいてピエゾ変換素子４に
印加する三角波信号の１／２周期に和尚する巾を持ち且
つ前記三角波信号と同期した同一周期の矩形波に変換さ
れる。
器１２にも入力され、ここにおいてピエゾ変換素子４に
印加する三角波信号の１／２周期に和尚する巾を持ち且
つ前記三角波信号と同期した同一周期の矩形波に変換さ
れる。
かくして矩形波変換器１２において得られた矩形波信号
は、位相器１３に入力され、ここにおいてピエゾ変換素
子４に印加する三角波信号に対して９０°位相がずれた
形となる。
は、位相器１３に入力され、ここにおいてピエゾ変換素
子４に印加する三角波信号に対して９０°位相がずれた
形となる。
位相器１３からの矩形波信号は、一方が基盤１、電極５
ａ間に電圧を印加するように接続された高圧パルス増巾
器］、’ ４ ａに入力され、他方が位相反転器１５で
１８００位相反転されて基盤］、電極５ｂ間に電圧を印
加するように接続された高圧パルス増巾器１４ ｂに入
力される。従って、２つの高圧パルス増巾器１４ａおよ
び１４ｂには、交互に（時間的に）矩形波信号が入力さ
れ、これらからの高圧増巾された矩形波信号が１対の電
極５ａおよび５ｂ、基盤１間に交互に印加され（第４図
σの、（ＩＩＩ）参照）、その結果、回転板２０２つの
部分は交互に基盤１に固定される。
ａ間に電圧を印加するように接続された高圧パルス増巾
器］、’ ４ ａに入力され、他方が位相反転器１５で
１８００位相反転されて基盤］、電極５ｂ間に電圧を印
加するように接続された高圧パルス増巾器１４ ｂに入
力される。従って、２つの高圧パルス増巾器１４ａおよ
び１４ｂには、交互に（時間的に）矩形波信号が入力さ
れ、これらからの高圧増巾された矩形波信号が１対の電
極５ａおよび５ｂ、基盤１間に交互に印加され（第４図
σの、（ＩＩＩ）参照）、その結果、回転板２０２つの
部分は交互に基盤１に固定される。
以上のように従来の回転テーブル装置は構成されており
、次のように作動する。即ち、第４図に、回転板２と、
ピエゾ変換素子４に印加される三角波信号（図中（■）
）、基盤１および電極５ａ間に印加される矩形波信号（
図中（ＩＩ）ならびに基盤１および電極５ｂ間に印加さ
れる矩形波信号（図中（■））の関係を示す図で示され
るように、ｔｏｔ４の時点（ピエゾ変換素子４に印加さ
れる三角波信号の電圧値が最も小さい値、即ち０のとき
）で、ピエゾ変換素子４は最も縮んだ状態であり、一方
、ｔ２ｔ６の時点（ピエゾ変換素子４に印加される三角
波信号の電圧値が最も大きい値のとき）でピエゾ変換索
子４は最も伸びる。
、次のように作動する。即ち、第４図に、回転板２と、
ピエゾ変換素子４に印加される三角波信号（図中（■）
）、基盤１および電極５ａ間に印加される矩形波信号（
図中（ＩＩ）ならびに基盤１および電極５ｂ間に印加さ
れる矩形波信号（図中（■））の関係を示す図で示され
るように、ｔｏｔ４の時点（ピエゾ変換素子４に印加さ
れる三角波信号の電圧値が最も小さい値、即ち０のとき
）で、ピエゾ変換素子４は最も縮んだ状態であり、一方
、ｔ２ｔ６の時点（ピエゾ変換素子４に印加される三角
波信号の電圧値が最も大きい値のとき）でピエゾ変換索
子４は最も伸びる。
そして、ｔｏの時点においては、電極５ｂに電圧が印加
開始され（電極５ａは無印加になる）、その結果、電極
５ｂは基盤１に吸引され回転板２の２つの部分２ｃ、
２ｄのうちの一方の部分２ｄのみが基盤１に固定される
（部分２ｃはフリーである）。
開始され（電極５ａは無印加になる）、その結果、電極
５ｂは基盤１に吸引され回転板２の２つの部分２ｃ、
２ｄのうちの一方の部分２ｄのみが基盤１に固定される
（部分２ｃはフリーである）。
このｔ。の時点では、ピエゾ変換素子４は最も縮んでい
るから、回転板２は第４図中（１）で示すようになって
いる。
るから、回転板２は第４図中（１）で示すようになって
いる。
次いでｔ。経過以後は、ピエゾ変換素子４は徐々に伸び
て行き、ｔ２の時点でピエゾ変換素子４は最も伸びるか
ら、このｔ２の時点での回転板２の形状は、第４図中（
２）で示すように、切欠２ｂが最も縮んだかたちとなり
、しかも、それまで回転板２の部分２ｄが基盤１に固定
されていたので部分２ｃが左回り（図中矢印方向）に所
定微小角度回転したかたちとなる。一方、ｔｏからｔ２
に至った時点で、電極５ｂは電圧無印加になり、同時に
電極５ａに電圧が印加開始されるから、このＬ２の時点
で回転板２は部分２ｃ（電＄ｉ５ａが固定された部分）
が基盤１に固定され、部分２ｄはフリーになる。
て行き、ｔ２の時点でピエゾ変換素子４は最も伸びるか
ら、このｔ２の時点での回転板２の形状は、第４図中（
２）で示すように、切欠２ｂが最も縮んだかたちとなり
、しかも、それまで回転板２の部分２ｄが基盤１に固定
されていたので部分２ｃが左回り（図中矢印方向）に所
定微小角度回転したかたちとなる。一方、ｔｏからｔ２
に至った時点で、電極５ｂは電圧無印加になり、同時に
電極５ａに電圧が印加開始されるから、このＬ２の時点
で回転板２は部分２ｃ（電＄ｉ５ａが固定された部分）
が基盤１に固定され、部分２ｄはフリーになる。
そして、ｔ２経過以後は、ｔ４に至るまでピエゾ変換素
子４が徐々に縮んで行き、その間、回転板２は部分２ｃ
のみが基盤１に固定されており、ピエゾ変換素子４が縮
むに従ってそれまで縮んでいた切欠２ｂが元に戻ろうと
するから、結局回転板２０部分２ｄのみが左回りに回転
する。
子４が徐々に縮んで行き、その間、回転板２は部分２ｃ
のみが基盤１に固定されており、ピエゾ変換素子４が縮
むに従ってそれまで縮んでいた切欠２ｂが元に戻ろうと
するから、結局回転板２０部分２ｄのみが左回りに回転
する。
そして、ピエゾ変換素子４が最も縮んだｔ４の時点にな
ったときに、回転板２は、部分２ｃがら切替って部分２
ｄのみが基盤１に固定される（第４図中（３））。そし
てこのＬ４の時点以後は、回転板２０部分２ｄのみが基
盤１に固定された状態で再びピエゾ変換素子４が伸びて
行き、回転板２０部分２ｃが左回りに所定微小角度回転
する（第４図中（４））。
ったときに、回転板２は、部分２ｃがら切替って部分２
ｄのみが基盤１に固定される（第４図中（３））。そし
てこのＬ４の時点以後は、回転板２０部分２ｄのみが基
盤１に固定された状態で再びピエゾ変換素子４が伸びて
行き、回転板２０部分２ｃが左回りに所定微小角度回転
する（第４図中（４））。
このように、ピエゾ変換素子４の伸縮、回転板２０２つ
の部分２ｃ、 ２ｄの基盤１への交互固定を繰返すこと
によって、回転板２（チルプル８）は、所定微小角度ず
つ三角波発生器１０からの三角波信号の周期に対応した
時間間隔で回転する。なお、例えばピエゾ変換素子４に
印加される三角波信号の周波数は１００ＫＨｚ程度、最
大電圧は１００ＯＶ程度、電極５ａ、５ｂに印加される
電圧は５００Ｖ程度、１回のピエゾ変換素子４の伸縮に
よる回転板２０回転角度は０．０１度程度である。
の部分２ｃ、 ２ｄの基盤１への交互固定を繰返すこと
によって、回転板２（チルプル８）は、所定微小角度ず
つ三角波発生器１０からの三角波信号の周期に対応した
時間間隔で回転する。なお、例えばピエゾ変換素子４に
印加される三角波信号の周波数は１００ＫＨｚ程度、最
大電圧は１００ＯＶ程度、電極５ａ、５ｂに印加される
電圧は５００Ｖ程度、１回のピエゾ変換素子４の伸縮に
よる回転板２０回転角度は０．０１度程度である。
しかしながら、上述したような従来回転テーブル装置に
おいては、次のような問題がある。即ち、ピエゾ変換素
子４は、高電圧増巾器１１からみると、Ｃ（コンデンサ
）負荷と考えられる。従って回転板２に高速で微小角度
の回転動作をさせるためには、高電圧増巾器１１からピ
エゾ変換素子４に短い周期の三角波信号を印加しなけれ
ばならない。一方、三角波信号の周期が短くなるに従っ
て、ピエゾ変換素子４のインピーダンスは低下するから
、これに対応して高電圧増巾器１１の出力インピーダン
スも下げなげればならない。しかしながら、前述したよ
うな短い周期を持つ高電圧の三角波信号を、安定して直
流増巾し、低イノピーダンスで出力する回路（装置）を
得ることは、応答性などの点から極めて困難である。
おいては、次のような問題がある。即ち、ピエゾ変換素
子４は、高電圧増巾器１１からみると、Ｃ（コンデンサ
）負荷と考えられる。従って回転板２に高速で微小角度
の回転動作をさせるためには、高電圧増巾器１１からピ
エゾ変換素子４に短い周期の三角波信号を印加しなけれ
ばならない。一方、三角波信号の周期が短くなるに従っ
て、ピエゾ変換素子４のインピーダンスは低下するから
、これに対応して高電圧増巾器１１の出力インピーダン
スも下げなげればならない。しかしながら、前述したよ
うな短い周期を持つ高電圧の三角波信号を、安定して直
流増巾し、低イノピーダンスで出力する回路（装置）を
得ることは、応答性などの点から極めて困難である。
本発明は従来の回転テーブル装置などのテーブル移動装
置における以上のような事情に基づいてなされたもので
、高速で微小距離の移動が可能なテーブル移動装置を得
ることを目的としている。
置における以上のような事情に基づいてなされたもので
、高速で微小距離の移動が可能なテーブル移動装置を得
ることを目的としている。
本発明にお（・ては、ピエゾ変換素子に共振整合回路を
直列接続して直列共振回路を形成し、低出力インピーダ
ンスで高圧直流増巾しなければならない従来の高電圧増
巾器の代りに、単なる交流増巾器から前記直列共振回路
に、その共振周波数を持つ交流電圧を印加して、この交
流電圧のＱ倍 、（Ｑ：前記直列回路のｑｕａｌ
ｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ ）の電圧をピエゾ変換素子の両
端に発生させることによって前記目的を達成している。
直列接続して直列共振回路を形成し、低出力インピーダ
ンスで高圧直流増巾しなければならない従来の高電圧増
巾器の代りに、単なる交流増巾器から前記直列共振回路
に、その共振周波数を持つ交流電圧を印加して、この交
流電圧のＱ倍 、（Ｑ：前記直列回路のｑｕａｌ
ｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ ）の電圧をピエゾ変換素子の両
端に発生させることによって前記目的を達成している。
本発明においては、テーブル部分の構造は、例えば回転
テーブルであれば第１図、第２図に示す従来のテーブル
の構造と同一であり、テーブル部分の制御回路が従来の
それと異なる。
テーブルであれば第１図、第２図に示す従来のテーブル
の構造と同一であり、テーブル部分の制御回路が従来の
それと異なる。
第５図はテーブル部分の本発明にかかる制御回路のブロ
ック図で・ある。図中１６はピエゾ変換素子４に、これ
と共に直列共振回路１７を構成するように接続されたコ
イル（共振整合回路）である。
ック図で・ある。図中１６はピエゾ変換素子４に、これ
と共に直列共振回路１７を構成するように接続されたコ
イル（共振整合回路）である。
１８は直列共振回路１７の共振周波数のサイン波交流を
発生ずる基準信号発生器、１９は基準信号発生器１８か
らの出力信号を増巾するバッファ増巾器であり、バッフ
ァ増巾器１９からの出力信号は、アッテネータ２０を介
して交流増巾器２１に入力され、ここで増巾される。交
流増巾器２１からの出力信号は、直列共振回路１７に加
えられる。
発生ずる基準信号発生器、１９は基準信号発生器１８か
らの出力信号を増巾するバッファ増巾器であり、バッフ
ァ増巾器１９からの出力信号は、アッテネータ２０を介
して交流増巾器２１に入力され、ここで増巾される。交
流増巾器２１からの出力信号は、直列共振回路１７に加
えられる。
２２はピエゾ変換素子４にバイアス電圧を印加するバイ
アス電源である。アッテネータ２０は駆動出力を制御す
るもので、ピエゾ素子の伸縮度を増減して微細なテーブ
ルの移動を調整するときに用いる。
アス電源である。アッテネータ２０は駆動出力を制御す
るもので、ピエゾ素子の伸縮度を増減して微細なテーブ
ルの移動を調整するときに用いる。
第５図に示すように、基準信号発生器１８からの出力信
号は、矩形波変換器２３にも入力され、ここにおいて、
基準信号発生器１８からの信号の１／２周期に相当する
巾を持ち、且つ基準信号発生器１８からの信号と同期し
た同一周期の矩形波に変換される。矩形波変換器２３か
らの出力信号は、前述した通りの、位相器１３、位相反
転器１５を介して、高圧パルス増巾器１４ａ、１４ｂに
入力され、これらからの出力電圧が、基盤ｌおよび電極
５ａ、５ｂ間に印加される。
号は、矩形波変換器２３にも入力され、ここにおいて、
基準信号発生器１８からの信号の１／２周期に相当する
巾を持ち、且つ基準信号発生器１８からの信号と同期し
た同一周期の矩形波に変換される。矩形波変換器２３か
らの出力信号は、前述した通りの、位相器１３、位相反
転器１５を介して、高圧パルス増巾器１４ａ、１４ｂに
入力され、これらからの出力電圧が、基盤ｌおよび電極
５ａ、５ｂ間に印加される。
第６図は直列共振回路１７、バイアス電源２２および交
流増巾器２１（基準信号発生器１８）の等価回路図であ
り、図中、２４は直列共振回路１７０入力電源としての
交流増巾器２１を示す交流電源である。なお図中、ピエ
ゾ変換素子４はＣ（コンデンサ）負荷として示しである
。周知のように、コイル１６とコンデンサ（ピエゾ変換
素子４）の直列共振回路１７が共振しているときにおけ
る、負荷（コイル１６、ピエゾ変換素子４）の両端に発
生ずる電圧は次式で示される。即ち、コイル１６の両端
にかかる電圧Ｅｔ、ピエゾ変換素子４の両端にかかる電
圧Ｅ。、および交流電源２４の電圧ｋ。の大きさを、そ
れぞれＥｔ、 ＥＣ，Ｅｏとすると、 〔ω：２πｆ ｆ：共振周波数 Ｌ：コイル１６のインダクタンス Ｒ：直列共振回路１７の直流抵抗 Ｑ：直列共振回路１７のｑｕａｌｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ
］となり、このようにコンデンサ負荷（ピエゾ変換素
子４）の両端電圧は、その入力レベル（即ち、Ｅｏ）の
Ｑ倍となり、容易に高電圧が得られる。従って、ピエゾ
変換素子４を駆動するための増巾器は、従来のような高
電圧増巾を必要とせず、通常の低出力インピーダンスで
低出力電圧の交流増巾器によって効率よく、且つ安定し
てピエゾ変換素子４を駆動することができる。なお、第
６図に示すようにバイアス電源２２の電圧ＶＢは交流電
源２４からの電圧に加算されるように直列共振回路１７
に加える。これによってピエゾ変換素子４に逆方向に電
圧が印加されないよう（Ｃすることができる。即ち、第
７図に示すように、ピエゾ変換素子４０両端に印加され
る電圧向。が−（マイナス）側にならないようにバイア
ス電圧ＶＢを調節することによって、ピエゾ変換素子４
０両端には、従来の三角波信号と同じように、実質的に
ＯＶからプラス側の最大値まで変化する電圧が印加され
る。
流増巾器２１（基準信号発生器１８）の等価回路図であ
り、図中、２４は直列共振回路１７０入力電源としての
交流増巾器２１を示す交流電源である。なお図中、ピエ
ゾ変換素子４はＣ（コンデンサ）負荷として示しである
。周知のように、コイル１６とコンデンサ（ピエゾ変換
素子４）の直列共振回路１７が共振しているときにおけ
る、負荷（コイル１６、ピエゾ変換素子４）の両端に発
生ずる電圧は次式で示される。即ち、コイル１６の両端
にかかる電圧Ｅｔ、ピエゾ変換素子４の両端にかかる電
圧Ｅ。、および交流電源２４の電圧ｋ。の大きさを、そ
れぞれＥｔ、 ＥＣ，Ｅｏとすると、 〔ω：２πｆ ｆ：共振周波数 Ｌ：コイル１６のインダクタンス Ｒ：直列共振回路１７の直流抵抗 Ｑ：直列共振回路１７のｑｕａｌｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ
］となり、このようにコンデンサ負荷（ピエゾ変換素
子４）の両端電圧は、その入力レベル（即ち、Ｅｏ）の
Ｑ倍となり、容易に高電圧が得られる。従って、ピエゾ
変換素子４を駆動するための増巾器は、従来のような高
電圧増巾を必要とせず、通常の低出力インピーダンスで
低出力電圧の交流増巾器によって効率よく、且つ安定し
てピエゾ変換素子４を駆動することができる。なお、第
６図に示すようにバイアス電源２２の電圧ＶＢは交流電
源２４からの電圧に加算されるように直列共振回路１７
に加える。これによってピエゾ変換素子４に逆方向に電
圧が印加されないよう（Ｃすることができる。即ち、第
７図に示すように、ピエゾ変換素子４０両端に印加され
る電圧向。が−（マイナス）側にならないようにバイア
ス電圧ＶＢを調節することによって、ピエゾ変換素子４
０両端には、従来の三角波信号と同じように、実質的に
ＯＶからプラス側の最大値まで変化する電圧が印加され
る。
以上のように本発明にかかるテーブル移動装置は回転テ
ーブル装置に適用されて構成されており、次のように作
動する。即ち第８図に、回転板２と、ピエゾ変換素子４
に印加される信号（図中（■））と、基盤１および電極
５ａ間に印加される矩形波信号（図中（■））と、基盤
１および電極５ｂ間に印加される矩形波信号（図中（■
））との関係を示す図で示されるように、ｔｏ、ｔ４の
時点（ピエゾ変換素子４に印加される電圧の値が最も小
さいとき）で、ピエゾ変換素子４は最も縮んだ状態であ
り、一方、ｔ２．ｔ６の時点（ピエゾ変換素子４に印加
される電圧の値が最も大きいとき）でピエゾ変換素子４
は最も伸びる。
ーブル装置に適用されて構成されており、次のように作
動する。即ち第８図に、回転板２と、ピエゾ変換素子４
に印加される信号（図中（■））と、基盤１および電極
５ａ間に印加される矩形波信号（図中（■））と、基盤
１および電極５ｂ間に印加される矩形波信号（図中（■
））との関係を示す図で示されるように、ｔｏ、ｔ４の
時点（ピエゾ変換素子４に印加される電圧の値が最も小
さいとき）で、ピエゾ変換素子４は最も縮んだ状態であ
り、一方、ｔ２．ｔ６の時点（ピエゾ変換素子４に印加
される電圧の値が最も大きいとき）でピエゾ変換素子４
は最も伸びる。
そして、ｔｏの時点においては、電極５ｂに電圧か印加
開始され、ピエゾ変換素子４は最も縮んでいるから、回
転板２は第８図中（１）で示すようになっている。
開始され、ピエゾ変換素子４は最も縮んでいるから、回
転板２は第８図中（１）で示すようになっている。
次いでｔ。経過以後ｔ２の時点で、ピエゾ変換素子４は
最も伸び、回転板２の形状は第８図中（２）で示すよう
に切欠２ｂが最も縮んだかたちとなり、しかもそれまで
回転板２０２つの部分２ｃ、２ｄのうち部分２ｄが基盤
１に固定されていたので部分２Ｃが左回り（図中矢印方
向）に所定微小角度回転したかたちとなる。一方、ｔｏ
からｔ２に至った時点で、電極５ｂは電圧無印加になり
、同時に電極５ａに電圧が印加開始されるから、このｔ
２の時点で回転板２は部分２Ｃが基盤１に固定され、部
分２ｄはフリーになる。
最も伸び、回転板２の形状は第８図中（２）で示すよう
に切欠２ｂが最も縮んだかたちとなり、しかもそれまで
回転板２０２つの部分２ｃ、２ｄのうち部分２ｄが基盤
１に固定されていたので部分２Ｃが左回り（図中矢印方
向）に所定微小角度回転したかたちとなる。一方、ｔｏ
からｔ２に至った時点で、電極５ｂは電圧無印加になり
、同時に電極５ａに電圧が印加開始されるから、このｔ
２の時点で回転板２は部分２Ｃが基盤１に固定され、部
分２ｄはフリーになる。
そしてｔ２経過以後は、ｔ４に至るまでピエゾ変換素子
４が徐々に縮んで行き、その間、回転板２０部分２ｄの
みが左回りに回転する。
４が徐々に縮んで行き、その間、回転板２０部分２ｄの
みが左回りに回転する。
そして、ピエゾ変換素子４が最も縮んだｔ４の時点にな
ったときに、回転板２は、部分２Ｃから切替って部分２
ｄのみが基盤１に固定される。そしてこのＬ４の時点以
後は、回転板２０部分２ｄのみが基盤１に固定された状
態で再びピエゾ変換素子４が伸びで行き、回転板２０部
分２Ｃか左回りに所定微小角度回転する。
ったときに、回転板２は、部分２Ｃから切替って部分２
ｄのみが基盤１に固定される。そしてこのＬ４の時点以
後は、回転板２０部分２ｄのみが基盤１に固定された状
態で再びピエゾ変換素子４が伸びで行き、回転板２０部
分２Ｃか左回りに所定微小角度回転する。
このようにして、回転板２（テーブル８）は、所定微小
角度ずつ基準信号発生器】８からの交流信号の周期に対
応した時間間隔で回転する。
角度ずつ基準信号発生器】８からの交流信号の周期に対
応した時間間隔で回転する。
尚、上述した実施例では回転テーブル装置について示し
説明したが、これに限らず直線移動テーブル装置に適用
しても良い。この場合は、第９図に示すように、移動方
向に交わる方向に切欠２ａ。
説明したが、これに限らず直線移動テーブル装置に適用
しても良い。この場合は、第９図に示すように、移動方
向に交わる方向に切欠２ａ。
２ｂと素子４を設け、これらを挾んで移動方向の前後に
チャック５ａ、５ｂを配置して構成することにより、直
線的に微少な距離を移動することができる。
チャック５ａ、５ｂを配置して構成することにより、直
線的に微少な距離を移動することができる。
以上説明したように本発明によれば、極めて確実に高速
で微小弁メ霞テーブルを杉庫力させることができる。
で微小弁メ霞テーブルを杉庫力させることができる。
第１図は回転テーブル装置のテーブル部分の断面図、第
２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図はテーブル部分の
従来制御回路のブロック図、第４図は回転板とピエゾ変
換素子に印加される信号と電極に印加される信号との関
係を示す図、第５図はテーブル部分の本発明にかかる制
御回路のブロック図、第６図は直列共振回路、バイアス
電源および交流増巾器の等価回路図、第７図はピエゾ変
換素子の両端に印加される信号を示す図、第８図は回転
板とピエゾ変換素子に印加される信号と電極に印加され
る信号との関係を示す図、第９図は本発明の他の適用例
の直線移動テーブル装置を示す図である。 ■・・基 盤、 ２・・回転板、２ａ、 ２
ｂ・・切 欠、 ４ ピエゾ変換素子、５ａ、 ５
ｂ ・電 極、 １３・・位相器、１４ａ、 １４ｂ
・・高圧パルス増巾器、１５・・位相反転器、 １
６・・・コイル、１７・直列回路、 １８・・・
基準信号発生器、２１ 交流増巾器、 ２２ ・バ
イアス電源出願代理人 弁理士 菊 池 五 部
２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図はテーブル部分の
従来制御回路のブロック図、第４図は回転板とピエゾ変
換素子に印加される信号と電極に印加される信号との関
係を示す図、第５図はテーブル部分の本発明にかかる制
御回路のブロック図、第６図は直列共振回路、バイアス
電源および交流増巾器の等価回路図、第７図はピエゾ変
換素子の両端に印加される信号を示す図、第８図は回転
板とピエゾ変換素子に印加される信号と電極に印加され
る信号との関係を示す図、第９図は本発明の他の適用例
の直線移動テーブル装置を示す図である。 ■・・基 盤、 ２・・回転板、２ａ、 ２
ｂ・・切 欠、 ４ ピエゾ変換素子、５ａ、 ５
ｂ ・電 極、 １３・・位相器、１４ａ、 １４ｂ
・・高圧パルス増巾器、１５・・位相反転器、 １
６・・・コイル、１７・直列回路、 １８・・・
基準信号発生器、２１ 交流増巾器、 ２２ ・バ
イアス電源出願代理人 弁理士 菊 池 五 部
Claims (1)
- 基盤と、前記基盤上に移動可能に支持され、その移動方
向と交わる方向の直線上にその周縁から形成された１対
の切欠を有する移動板と、前記移動板上面に支柱を介し
て固定されたチルフルと、その伸縮方向が前記移動板の
移動方向と平行になるように前記移動板の１対の切欠の
１つの中に固定されたピエゾ変換素子と、このピエゾ変
換素子を挾んで移動方向に対して前後の位置の前記移動
板の下面に各々固定され、前記基盤と共働して１対の静
電チャックを構成する１対の電極と、前記ピエゾ変換素
子にこれと共に直列共振回路を構成するように接続され
た共振整合回路と、前記ピエゾ変換素子にバイアス電圧
を印加するバイアス電源と、前記直列回路の共振周波数
の交流信号を発生ずる基準信号発生器と、前記基準信号
発生器からの信号を増巾して前記直列回路に加える交流
増巾器と、前記移動板の２つの部分の各々を前記基盤に
交互に固定するように前記１対の静電チャックの各々に
交互に電圧を印加するチャック駆動手段とを備え、前記
チャック駆動手段は、前記共振周波数の周期と同期して
前記ピエゾ変換素子の最伸時および最縮時に前記１対の
静電チャックの各々に印加する電圧を切替える機能を持
ってし・ることを特徴とするテーブル移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23456482A JPS59124130A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | テ−ブル移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23456482A JPS59124130A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | テ−ブル移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59124130A true JPS59124130A (ja) | 1984-07-18 |
| JPH047092B2 JPH047092B2 (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=16972987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23456482A Granted JPS59124130A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | テ−ブル移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59124130A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61136420A (ja) * | 1984-08-30 | 1986-06-24 | ザ・ビ−オ−シ−・グル−プ・ピ−エルシ− | 混合ガスの分離装置 |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP23456482A patent/JPS59124130A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61136420A (ja) * | 1984-08-30 | 1986-06-24 | ザ・ビ−オ−シ−・グル−プ・ピ−エルシ− | 混合ガスの分離装置 |
| JPH0256126B2 (ja) * | 1984-08-30 | 1990-11-29 | Boc Group Plc |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH047092B2 (ja) | 1992-02-07 |
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