JPS59118886A - 導電性耐食酸化アルミ皮膜の形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はアルミニウムに対する乾式による導電性耐食酸
化アルミ皮膜の形成方法に関する。

アルミニウムに対する耐食酸化アルミ皮膜の形成方法に
ついては、従来は硫酸等の水溶液中に対象物を浸漬して
陽極酸化処理を施すいわゆる湿式が主であって、従って
特に導電性を有する耐食酸化アルミ皮膜を得る場合にも
同様の方法が用いられておシ、ただ液中の処理時間を短
くして薄い皮膜を形成させる点のみが異なっていた。し
かるに最近は上述のような水溶液を用いる湿式の表面処
理方式は公害発生及び危険性の問題があり、更に価格低
減のために可能なものについては次第に水溶液を使用し
ない乾式に置き換えられつつある。

しかし上記の導電性を有する耐食酸化アルミ皮膜の形成
については、湿式以外では従来十分に信頼性のある方法
が確立していなかった。そのため特に信頼性を要求され
るような場合には、やむを得ず例えば乾式メッキによっ
て対象物にアルミイオンブレーティングを行ったのち、
更に湿式の陽極酸化処理によシ導電性酸化アルミ皮膜を
形成させるという方法をとっていた。しかしこれは本来
の公害防止等の目的に反するばかりでなく乾式と湿式と
の二重処理を要するため手間がかかり価格上も不利とな
るなど乾式をとった事による利点を大きく減するもので
あった。

本発明は上述のごとき問題点に鑑みてなされたものであ
って、乾式のみによって、信頼性の高い導電性耐食酸化
アルミ皮膜が得られる方法を提供することを目的とする
。

以下、本発明の一実施例につき図面を参照しつつ説明す
る。なお図面はすべて原理を示すだめの松弐図である。

第１図は本発明にかかる乾式による皮膜形成のための装
置であって、同図においてｌは真空槽で金属製の容器２
と基台３からなシ、皮膜を形成すべきアルミニウムの対
象物４は第１の電極５に取付けられて容器２内に保持さ
れている。容器２と基台３とは接地され、また容器２に
はバリアプルリークバルブ７を具えた酸素ガス導入管８
が、更に基台３には排気管６がそれぞれ装着されている
。第２の電極９は対象物４と対向するように基台３に固
定され同時に基台と電気的に接続されている。ＩＯは電
源であって２組の可変電圧電源１０ａ及び１０ｂが並列
に接続され、電源１０ａはその正極側が、また電源ｌｏ
ｂはその負極側がそれぞれ接地されており、更に電源１
０ａの負極側はスイッチ１１の接点Ａに、壕だ電源１０
ｂの正極側は同じくスイッチ１１の接点Ｂにつながり、
可動接点Ｃによって接点ＡまたはＢに被膜を形成する工
程は次の手順で行われる。まず排気管６を通して真空槽
１内の空気を排出したのち、バリアプルリークバルブ７
を操作して真空槽１内に１０ｔｏｒｒ程度の酸素ガスを
導入する。

そしてスイッチ１１を操作して接点ＣをＡに接続すると
、第１の電極５に取シ付けられた対象物４には負電圧が
、第２の電極９には接地回路を通して正電圧がそれぞれ
印加され両者間に放電が発生する。すると対象物４のア
ルミニウム基体４ａの表面には緻密な質を有する酸化ア
ルム皮膜１２が第２図のように数ｌＯオングストローム
程度の厚さに形成される。次にスイッチ１１を操作して
接点Ｃ′ｆ：Ｂに切換えると、今度は第１の電極５に正
電圧が加わシ、第２の電極９は負電圧となって同じく放
電が発生する。そしてこの場合は、ポーラス質の酸化ア
ルミ皮膜１３が上記の皮膜１２の外側に重畳して形成さ
れる。この皮膜１３を例えば２０００オングストロ一ム
程度の厚みに成長させると、おおむね第２図のような構
成となる。この場合、対象物４を負電圧としたときに形
成された皮膜１２は、質が緻密であって湿気やその他の
雰囲気に対し化学的に強固であるが、反面厚みが薄く機
械的な強度が不十分であるため傷等によって部分的に皮
膜が失われそこから腐食を発生するという欠点がある。

一方、対象物４を正電圧として形成した皮膜１３はポー
ラス質であるため、例えば１３ａのごとき透過孔が存在
し、従って化学的強度については不十分であるが、厚み
を厚くすることができるので機械的強度が大きい。なお
いずれの皮膜も導電性を有しているから第２図のように
皮膜が重畳された状態でも導電性には影響ない。

」二連の工程においては、第１の電極５すなわち対象物
４に最初に負電圧を印加するようにしたが、これと逆に
、最初に対象物４に正電圧を印加する方法をとってもよ
い。すなわち、第１図の状態で壕ずスイッチ１１を接点
８側に入れると、第３図のごとく対象物４にはポーラス
質な酸化アルミ皮膜１３が形成される。そして次にスイ
ッチ１１を切換え対象物４に負電圧を印加すると今度は
緻密な酸化アルム皮膜１２が形成されるが、この皮膜は
皮膜１３よシもなお導電性の高い対象物４のアルミニウ
ム基体４ａ上に直接形成される。従って第３図のように
緻密な皮膜１２は、皮膜１３の上面ではなく透過孔１３
ａの内部に形成されることとなるが、結果的には第２図
の場合とほぼ同等の構成とみてよく、すなわちはぼ同等
の効果が得られる。

以上説明したように、本発明にかかる乾式による導電性
耐食酸化アルミ皮膜の形成方法によれば、真空槽内の酸
素ガス雰囲気中にて、酸化アルミ皮膜形成対象物に対し
負電圧及び正゛電圧を順次に印加して放電させる方法を
とることによシ、対象物のアルミ基体上に緻密で化学的
に強固な皮膜と、厚みが厚く機械的には強固な皮膜とを
重畳して形成させることができるので、湿式に比べ簡単
でかつ価格の低い乾式をとシながら化学的及び機械的に
それぞれ強固であって従って信頼性の高い導電性酸化ア
ルミ皮膜が得られるという優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる乾式による導電性耐食酸化アル
ミ皮膜形成のだめの装置の模式図であって、第２図及び
第３図はそれぞれ形成された酸化アルミ皮膜の構成を示
す図である。 １・・・真空槽、４・・・皮膜形成対象物、４ａ・・・
アルミニウム基体、５・・・第１の電極、８・・・酸素
ガス導入管、９・・・第２の電極、１０・・・直流電源
、１２・・緻密な質の酸化アルλ皮膜、１３・・ポーラ
ス質の酸化アルミ皮膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　アルミニウムに対する乾式による酸化アルミ
   皮膜の形成方法において、酸素ガス雰囲気中にて第１の
   電極に取付けた皮膜形成対象物と第２の電極との間に直
   流電圧を印加して放電によシ皮膜を形成させたのち上記
   直流電圧の極性を変えて更に皮膜を形成させるようにし
   たことを特徴とする導電性耐食酸化アルミ皮膜の形成方
   法。