JPS59109313U - レ−ザビ−ム集光装置 - Google Patents

レ−ザビ−ム集光装置

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JPS59109313U
JPS59109313U JP1983001821U JP182183U JPS59109313U JP S59109313 U JPS59109313 U JP S59109313U JP 1983001821 U JP1983001821 U JP 1983001821U JP 182183 U JP182183 U JP 182183U JP S59109313 U JPS59109313 U JP S59109313U
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JP
Japan
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optical axis
laser beam
focus
adjusting
detection means
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JP1983001821U
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English (en)
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JPH0244258Y2 (ja
Inventor
亀山　隆治
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10—Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は一般的なレーザービーム集光装置の構成図、第
２図は従来の光軸及び焦点誤差検出手段の構成図、第３
図は本考案の一実施例の構成図である。 １．２・・・・・・反射鏡、３・・・・・・集光レンズ
、４．５・・・・・・自動ミラージンバル、６・・・・
・・レンズ駆動装置、７・・・・・・真空チャンバー、
８・・・・・・真空シーシールドガラス、９・・・・・
・ターゲット、１０・・・・・・光軸及び焦点誤差検出
手段、１１．１２・・・・・・レンズ、１３゜１４・・
・・・・反射鏡、１５・・・・・・イメージセンサ−１
１６・・・・・・信号処理回路、１７．１８・・・・・
・自動ミラージンバル駆動回路、１９・・・・・・駆動
回路、２０・・・・・・リレーレンズ、２１・・・・・
・レチクル、２２・・・・・・スライド機構、２３・・
・・・・回転ステージ、２４・・曲白色光源、２５・・
・・・・干渉フィルター。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レー・ザービームを球状のターゲット中心に正確に集光
    させるための光軸調整手段及び焦点調整手段と、前記レ
    ーザービームのターゲットからの反射光を受光し、前記
    光軸調整手段及び焦点調整手段の変動誤差を検出し、修
    正信号を出力する光軸及び焦点誤差検出手段とを備える
    レーザービーム集光装置において、前記光軸及び焦点誤
    差検出手段の光学配置を光路切換用反射鏡の角度変動に
    よる光軸変動が生じないように構成することと、検出手
    段の光軸及び焦点調整機能を備えることを特徴とするレ
    ーザービーム焦光装置。
JP1983001821U 1983-01-11 1983-01-11 レ−ザビ−ム集光装置 Granted JPS59109313U (ja)

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JPS59109313U true JPS59109313U (ja) 1984-07-23
JPH0244258Y2 JPH0244258Y2 (ja) 1990-11-26

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