JPS59107279A - 過渡熱抵抗測定装置 - Google Patents
過渡熱抵抗測定装置Info
- Publication number
- JPS59107279A JPS59107279A JP21796682A JP21796682A JPS59107279A JP S59107279 A JPS59107279 A JP S59107279A JP 21796682 A JP21796682 A JP 21796682A JP 21796682 A JP21796682 A JP 21796682A JP S59107279 A JPS59107279 A JP S59107279A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power
- measured
- constant
- thermal resistance
- change
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は過渡熱抵抗測定装置に関するものである。
従来から半導体装置のマウント性、放熱性の良否の判別
のために、その指標として過渡熱抵抗を測定している。
のために、その指標として過渡熱抵抗を測定している。
この測定は不米被測足物に対して定電力を印加し、被測
定物に定電力を消費させ。
定物に定電力を消費させ。
その定電力消費による発熱の過渡的な熱伝播の良否を測
定するものである。
定するものである。
ところが、従来の過渡熱抵抗測定器は、この印加電力が
定電流印加回路と定電圧印加回路との組合せになってお
シ、厳密な憲味での定電力印加となっていない。このた
め、従来の過渡熱抵抗測定器では、被測定物が温度によ
ジインピーダンス変化を起す場合ＶＣは印加電力が不明
確となシ、過渡熱抵抗の測定自体が不正確で精度の低い
ものとなってしまっている。
定電流印加回路と定電圧印加回路との組合せになってお
シ、厳密な憲味での定電力印加となっていない。このた
め、従来の過渡熱抵抗測定器では、被測定物が温度によ
ジインピーダンス変化を起す場合ＶＣは印加電力が不明
確となシ、過渡熱抵抗の測定自体が不正確で精度の低い
ものとなってしまっている。
本発明の目的は、被測定物の温度変化による印加電力の
変化を生じることなく、正確な過渡熱抵抗測定を可能に
する測定装置を提供することにある〇 本発明によれば、従来の定電流回路と定電圧回路によシ
作られていた疑似的な定電力印加回路ではなく、印加電
流値と印加電圧値を常に検出するようにし、検出した１
【流値と電圧値よシ印加電力を演算し、その結果を所望
の印加電力値と比較して常に所望の電力が印加されるよ
うに印加電流値と印加電圧値を制御するようにした真の
定電力印加回路を用いることを特徴とする。
変化を生じることなく、正確な過渡熱抵抗測定を可能に
する測定装置を提供することにある〇 本発明によれば、従来の定電流回路と定電圧回路によシ
作られていた疑似的な定電力印加回路ではなく、印加電
流値と印加電圧値を常に検出するようにし、検出した１
【流値と電圧値よシ印加電力を演算し、その結果を所望
の印加電力値と比較して常に所望の電力が印加されるよ
うに印加電流値と印加電圧値を制御するようにした真の
定電力印加回路を用いることを特徴とする。
以下１図面によシネ発明の詳細な説明する。
従来の過渡熱抵抗測定ｆｃ置における電力印加部分に、
第１図のように、所定の定市、圧管発生する定電圧源１
及び所定の定電流を発生する定電流源２をそれぞれ内蔵
しておシ、被測定物３（この例でｌｊ、ＮＰＮ）ランジ
スタ）に対して定電圧源ｌと定電流源２とを適当に接続
し、疑似的な定電力印加としている。ところが、この場
合、被測定物となっているトランジスタ３においてＴｈ
ＶＢＥやｈｎの温度による変化が起った場合には、定
電力印加とは言えなく、このため、被測定物によっては
１０％以上の電力誤差があっ念〇 第２図に本発明の一実施例による構成ブロック図を示す
０不実施例による測定ｉ＊は、外部制御可能な定電圧源
４．外部制御可能な定１１ｉ流源５゜これら定電圧源４
および定電流源５からの電圧出力値及び１流出力値を検
出する検出器７乃至１１゜そして検出器７乃至１１から
の値によシ被測定物６への印加電力を演算し、所望の印
加電力となるように定電圧源４と定電流源５とを制御す
る演算制御部１２を備えた定電力印加回路を有する。
第１図のように、所定の定市、圧管発生する定電圧源１
及び所定の定電流を発生する定電流源２をそれぞれ内蔵
しておシ、被測定物３（この例でｌｊ、ＮＰＮ）ランジ
スタ）に対して定電圧源ｌと定電流源２とを適当に接続
し、疑似的な定電力印加としている。ところが、この場
合、被測定物となっているトランジスタ３においてＴｈ
ＶＢＥやｈｎの温度による変化が起った場合には、定
電力印加とは言えなく、このため、被測定物によっては
１０％以上の電力誤差があっ念〇 第２図に本発明の一実施例による構成ブロック図を示す
０不実施例による測定ｉ＊は、外部制御可能な定電圧源
４．外部制御可能な定１１ｉ流源５゜これら定電圧源４
および定電流源５からの電圧出力値及び１流出力値を検
出する検出器７乃至１１゜そして検出器７乃至１１から
の値によシ被測定物６への印加電力を演算し、所望の印
加電力となるように定電圧源４と定電流源５とを制御す
る演算制御部１２を備えた定電力印加回路を有する。
この動作は、初期に電力印加した状態から、被測定物６
が熱的に電気インｉ°−ダンスの変化を生、−じると、
検出器７乃至１１には、その変化が電流又は電圧の変化
となって検出される。この変化を。
が熱的に電気インｉ°−ダンスの変化を生、−じると、
検出器７乃至１１には、その変化が電流又は電圧の変化
となって検出される。この変化を。
演算制御部１２に帰還し、所定の出力となるように電圧
源４および雷流源５を制御し、常に定電力印加となるよ
うＶＣ動作する。このように、被測定物６に対する印加
電力が常に一定に保れるため。
源４および雷流源５を制御し、常に定電力印加となるよ
うＶＣ動作する。このように、被測定物６に対する印加
電力が常に一定に保れるため。
従来のような、過渡抵抗測定上に存在した印加電力の不
確足による測定誤差が無くなυ、よシ正確な鍋渡熱抵抗
の測定が可能となる。
確足による測定誤差が無くなυ、よシ正確な鍋渡熱抵抗
の測定が可能となる。
第３図に本発明の他の実施例を示す。本実施例でニ、ト
ランジスタＱＪ、Ｑ２より構成されるカレントミラー回
路から印加される被測定物１４への流入電流を対数変換
用演算増巾器１６及びＤ２により、算増中器１５とダイ
オードＤ１によシ対数変換を行う。この結果と、所望の
印加電力に対応する電圧を発生している電圧源１８とを
それぞれ抵献２乃至ＩＲ，によシ加算器１７によシ加算
をする。このとき、所望の印加電力となっているときに
は、演算増巾器１７の出力’ｆ１１０ｇ（１１）＋１０
ｇ（Ｉａ）−Ｖｖｏｆとなる。
ランジスタＱＪ、Ｑ２より構成されるカレントミラー回
路から印加される被測定物１４への流入電流を対数変換
用演算増巾器１６及びＤ２により、算増中器１５とダイ
オードＤ１によシ対数変換を行う。この結果と、所望の
印加電力に対応する電圧を発生している電圧源１８とを
それぞれ抵献２乃至ＩＲ，によシ加算器１７によシ加算
をする。このとき、所望の印加電力となっているときに
は、演算増巾器１７の出力’ｆ１１０ｇ（１１）＋１０
ｇ（Ｉａ）−Ｖｖｏｆとなる。
この出力はレベルシフト用抵抗Ｒ６，ｌ（＋、、 ａ、
ｊＣよシトランジスタＱ３に帰還され、被測定物への
印加電力が変化した時には、前記帰還ループの働きによ
）、一定電力印加となるように動く。この結果。
ｊＣよシトランジスタＱ３に帰還され、被測定物への
印加電力が変化した時には、前記帰還ループの働きによ
）、一定電力印加となるように動く。この結果。
従来では％瞬時における電力の安定印加が不可能であっ
たのが５本発明により安定化が可能となっている。
たのが５本発明により安定化が可能となっている。
′４、図面の簡単な説明
第１図は従来の疑似定電力回路ブロック融、第２図は本
発明の一実施例を示すブロック図、第３心は本発明の他
の実施例を示す測定回路融である。
発明の一実施例を示すブロック図、第３心は本発明の他
の実施例を示す測定回路融である。
１・・・定電圧源、２・・・定電流源、 ３． ６．
１４・・・被測定物、４，５・・・制御可能電圧、′Ｎ
、流源流源−７〜１１・電流Ｏｒ電圧検出器、１２・・
・演算制御器、１３゜１８・・・電源、 １５． １
６． １．７・・・演算増巾器％Ｑ１〜Ｑ４・・・トラ
ンジスタ、Ｒ１−Ｒ１・・・抵抗第３店
１４・・・被測定物、４，５・・・制御可能電圧、′Ｎ
、流源流源−７〜１１・電流Ｏｒ電圧検出器、１２・・
・演算制御器、１３゜１８・・・電源、 １５． １
６． １．７・・・演算増巾器％Ｑ１〜Ｑ４・・・トラ
ンジスタ、Ｒ１−Ｒ１・・・抵抗第３店
Claims (1)
- 被測定物への印加電源を検出するようにし、この検出結
果に応じて印加電源値を制御するようにしたことを特徴
とする過渡熱抵抗測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21796682A JPS59107279A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 過渡熱抵抗測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21796682A JPS59107279A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 過渡熱抵抗測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59107279A true JPS59107279A (ja) | 1984-06-21 |
Family
ID=16712516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21796682A Pending JPS59107279A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 過渡熱抵抗測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59107279A (ja) |
-
1982
- 1982-12-13 JP JP21796682A patent/JPS59107279A/ja active Pending
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