JPS59101918A - 弾性表面波分散形遅延線 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は帯域幅と遅延時間差が大きく、基板形状を経済
化できる弾性表面波分散形遅延線に関する。

〔従来技術〕

従来の弾性表面波分散形遅廷線は、ピッチを順次単調に
変化させた反射格子群やすだれ状入出力屯極を備えてい
た。反射格子群を設けるのは、勿論周波数による遅延時
間差を大□きくするためである。第１図は、広帯域とす
るため対数の少ない正規形人、出力電極と配列ピッチを
変化させた反射格子群を備えた例を示し、１は基板、２
は入力電極、ろは出力電極、４．４’はそれぞれピッチ
を順次変化させた反射格子群である。入力電極１から休
出された弾性表面波は、その周期が反射格子群４．４′
の周期と一致した位置で直角方向に反射され、出力酸物
６で受波される。高い周波数の波は近い位置で反射され
低い周波数の波は遠い位置で反射されて戻って来るので
分散特性が祷られる。しかし、かかる人、出力電極を用
いると、サイドロープ、帯域内平坦度等の補正が峻しく
、入出力インピーダンスが大きくなり易く、しかも大き
な遅延時間差を得るために伝搬路を往後させてはいるが
、伝搬路方向に長寸度の不経済な形状の基板を要するな
どの問題があった。人、出力電極に、すだれ状゛電極の
ピッチを順次単調に変化させた第２図に示す如き、いわ
ゆるチャープ形電極を用いれば電極交差幅の貞み付も可
能なので、サイドロープ、帯域内平坦度の補正等は容易
となるが基板形状の問題や、多数の電極指や反射格子を
通過するために生ずる反射、スプリアス励起等の二次効
果はさけ難い。第６図は電極指通過の影響をさけたチャ
ープ形電極を示す。第２．３図において、５はポンディ
ングパッド、６は母線、７は電極指である。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、広帯域で遅延時間差が大きく、二次効
果が少なく、特性補正が容易で、基板の材料取りなども
経済的に行なえる弾性表面波分散形遅処線を提供するこ
とにある。

〔発明の概要〕

弾性表面波分散形遅延線の中で、弾性表面波のすべての
周波数成分が同一伝搬路上を伝搬しなければならないも
のではないから、上記目的を達成するために本発明にお
いては、弾性表面波が周波数に応じて互いに平行な、別
の、伝搬路を伝搬するようにし、なるべく、その周波数
の弾性表口波には無関係な電極指や反射格子を通過して
反射、スプリアス励起など二次効果の悪影響を受けるこ
とを避け、かつ基板形状が正方形に近付き、円形ウエー
ファからの材料取りが経済的に行なわれるようにした。

〔発明の実施例〕

以下本発明ｆ：実施例図面につき更に詳細に説明する。

第４図は本発明の第１実施例を示し、人、出力電極には
第６図に示した′電極指７，７′と母線６．６″が斜交
したチャープ形電極８．８′を用いこれらの電極と反射
格子４，４′間では、弾性表面波が周波数に応じて互い
に平行な異なる伝搬路を伝搬し、低周波数のだめの電極
指や反射格子と交差通過して反射、スプリアスなどの悪
影響を受けることを、なるべくさけている。またチャー
プ形電極を用いているから、電極交差幅の重み付けも可
能なので、爾１図に示した従来例の場合に比し、サイド
ロープ、帯域内平坦度等の補正が容易で、人、出力イン
ピーダンスも大きくならないですむ。

第５図は本発明の第２実施例を示しくただし人、出力側
は中心巌９に対し対称であるから入力１１１１１のみを
示す）　、　８ａ、　８ｂはそれぞれピッチの大きい低
周波用部分、ピッチの小さい高周波用部分に分離された
入力電極、　４ａ、　４ｂはそれぞれピッチの大きい低
周波用部分、ピッチの小さい高周波用部分に部分された
反射格子群である。

この場合は周波数に応じた伝搬路の分離が一層推し進め
られており、スプリアスも少なくなる。

また、この例の如くすると小さい基板面積で、大きい遅
延時間差、広い帯域幅が得られる。

第６図は本発明の第６実施例を示し、２．３はそれぞれ
第１図に示したものと同様な人、出力′電極＋　’ｃ　
＋　４ｄ　＋　４’　ｃ　＋　４’　ｄはそれぞれ低周
波帯域用、高周波帯域用に区分された反射格子群で、区
分伝搬路を形成する。この様にすることによって基板形
状は正方形に近付き、円形ウエーファからの材料取りが
経済的に行なえるようになり、しかも伝搬路が２区分さ
れ、弾性表面波が通過する反射格子数は減少し、反射、
スプリアス励起などの悪影響も減少する。

第７図は本発明の第４実施例を示し、２ａ、　２ｂはそ
れぞれ低周波帯域用、高周波帯域用に区分した入力゛電
極、　３ａ、　３ｂも同様に低、高周波帯域用に区分し
た出力′電極である。この様にすれば第６実施例の場合
の如く、１つの゛電極で広い周波数帯域に対応させる場
合よりも、サイドＣＪ　−ブ、帯域内平坦度寺の補正が
容易になる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、スゲリアスなどが
少なく、サイドロープ、平坦朋などの補正が容易で、基
板の材料取りなども経済的に行なえる、広周波帯域で遅
延時間差が大きい弾性表面波分散形部延線が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は反射格子を備えた従来の弾性表面波分散形部延
線の概略千■図、第２．第６図はチャープ形電極の説明
用平面図、第４．第５．第６、第７図は、それぞれ、本
発明の第１．第２ｗＪ３．第４実施例図である。 １・・・圧電性端板　　　２　、２ａ、　２ｂ・・入力
′電極３　、３ａ、　３ｂ・・・出力′１極 ４　＋　４’＋　４ａ、　４ｂ、　４ｃ、　４ｄ、　４
’　ｃ　、４’ｄ＝’反射格子 ６・・・母線　　　　　　７・・・電極指８　、８ａ、
　８ｂ・・・チャープ形入力電極第　１　図 第２図　　　　　　　　　第３図 殆４図 ）垢さべき

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）圧電性基板上に、すたれ状の入力および出力電極
   と、入力および出力９１１１にそれぞれ配列ピッチを順
   次単調に変化させた反射格子群を備えた弾性表面波分散
   形遅延線において、弾性表面波が周波数に応じて互いに
   平行な−なる伝搬路をとるように、それぞれ配列ピッチ
   を順次単調に変化させたすだれ状の入力および出力電極
   の電極指型なり部分を、これら電極とｎＩＪ記反射格子
   群間の弾性表面波伝搬方向に直角な方向に、対向鑞極指
   ごとに順次ずらせたことを特徴とする弾性衣面波分散形
   遅延線０ （２）圧電性基板上に、すだれ状の入力および出力電極
   と、入力および出力側にそれぞれ配列ビツナを順次単調
   に変化させた反射格子群を備えた弾性六面波分散形遅延
   緋において、弾性表面波が周波数に応じて互いに平行な
   異なる伝搬路をとるように、並列する複数の伝搬路に区
   分し、各区分伝搬路に、それぞれ周波数帯域が異なる、
   配列ピッチを順次単調に変化させた反射格子群を備えた
   ことを特徴とする弾性表面波分散形遅延線。 （６）すだれ状の入力および出力電極が、それぞれ対を
   なす複数組に区分されている特許請求の範囲第２項記載
   の弾性表面波分散形遅延線。