JPS59101865A - カラ−固体撮像素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は受光素子の主面に色フィルタを形成したカラ
ー固体撮像素子の製造方法、詳しくは上記色フィルタの
基本材料である高分子物質の塗膜を形成する方法に関す
るものである。

カラー固体撮像素子は、受光素子の主面に、たとえば、
モザイク状の３色のフィルタ（赤、緑。

青）を形成して構成される。このフィルタは以下のよう
な工程を経て形成される。

すなわち、たとえばゼラチン等の有機高分子物質に重ク
ロム酸アンモン等の増感剤を附加して感光性を附与した
溶液を、たとえばスピンコード法によって、受光素子表
面に塗布し乾燥させる。ついで、モザイクを形成するた
めにマスクを配置した状態で紫外線を照射する。この露
光によって前記感光性塗膜はマスクの開孔部を経て紫外
線の照射を受けた部分のみが難水溶性に変化するため、
水洗にて塗膜を洗い流すと、紫外線照射の部分は残存し
て所定のモザイクが形成される。この水洗工程を現像と
いう。つぎに所望の色を附与するために、たとえば、赤
色の染色剤によって残存したモザイク状の塗膜を染色す
る。以上の塗膜形成、露光、現像および染色の各工程を
、赤、緑および青の３色について順次繰シ返して行なっ
てカラーフィルタを形成する。ただし、露光の度に、赤
。

緑、シアンの３色を所定の配列にするためにマスクの位
置を変更する必要がある。

以上のような工程によって、色フィルタを形成する場合
に、主要材料であるゼラチンは、動物の皮、肘、骨等に
含まれるコラーゲンという動物性蛋白質を分解・精製し
て得られるもので、分子量が敵方から士敵方の高分子物
質である。しかるにアミノ酸組成の構造が動物の部位や
年令あるいは飼料など条件によって異なるため、この条
件によシ上記ゼヲチンの化学的および物理的特性が大き
く左右されることになる。このため、ゼラチンの水溶液
で塗膜を形成する際に塗膜の膜厚や一様性等を一定にす
ることが難しいという問題がある。

したがって、この方法では、ゼラチンのロット毎に水溶
液の粘度等を調整し直したシ、塗布条件を変更しなけれ
ばならないという煩しさがある。

この発明はこのような欠点を解消するためになされたも
ので、ゼラチンのような高分子物質の水溶液を塗布する
のではなく、粉体状の高分子物質を吹き上げ、これに霧
状の増感剤の水溶液を吹きつけて感光性を附与するとと
もにイオン化によってゼラチンを受光素子に静電的に附
着させることによシ、所望の色フィルタの塗膜を容易に
形成でき、とくに塗膜形成と感光性とが相互に助長し合
った優れた塗膜を得ることができるカラー固体撮像素子
の製造方法を提供しようとするものである。

以下、この発明の実施例を図面にしたがって説明する。

図面はこの発明の方法に用いられる装置の一例を模式的
に示す斜視図である。同図において、（１）は受光素子
、（２）は受光素子（１）に、たとえば、３ＱＫＶ程度
の高電圧を印加する高電圧電源である。（３）は導電性
材で構成された自体であシ、この自体（３）は接地を通
して高電圧電源（２）の負極側に接続されている。（４
）は自体（３）に配備された送風器であシ、自体（３）
内に収容された粉体状のゼラチン（５）を受光素子（１
）には到達しない程度に噴霧状に吹き上げるようになっ
ている。（６）は受光素子（ｐと自体（３）との間の側
方に配備された噴霧器であシ、増感剤としての重クロム
酸アンモンの水溶液（７）を霧状にして上記吹き上げ状
態のゼラチン（５）に吹きつけるものである。

このような構成において、送風機（４）を駆動して上記
ゼラチン（５）を吹き上げ、さらに噴霧器（６）で重ク
ロム酸アンモンの水溶液（７）を噴霧状に吹きつける。

一方、受光素子（１）に高電圧を印加すると、この受光
素子（１）と自体（３）の間に高電圧電界が発生して、
重クロム酸アンモン（７）の霧はイオン化される。

これが上記吹き上げられた噴霧状のゼラチン粒子に附着
したとき、ゼラチン粒子は静電的に引きつけられて、受
光素子（１）に静電的に附着し、これによシ受光素子（
１）に、塗膜が形成されるとともに、重クロム酸アンモ
ン（７）によって感光性が附与される。さらに必要であ
れば、水または重クロム酸アンモンを含む水溶液（７）
によって塗膜を湿潤させて、受光素子（１）への粘着を
強化してもよい。湿潤はスプレィ法によって行なえばよ
い。以上の工程によって形成された感光性ゼラチン塗膜
の露光、現、像および染色等の各工程は従来の方法であ
ってよい。

上記の方法においては、ゼラチン（５）と重クロム酸ア
ンモン（７）とを予め混ぜ合す煩しさがなくなるうえ、
ゼラチン粒子の粒度をそろえておけば、ゼラチン（５）
の化学的および物理的性質に影響されることなく、塗膜
を受光素子（１）に流入するイオン電流の積算量によっ
て制御でき、このため所定の膜厚を容易に得ることがで
きる。また、受光素子（１）と自体（３）との間の電界
と、送風機（４）によるゼラチン粒子の吹き上げと、増
感剤（７）の吹きつけとを一様に設定することによって
、ゼラチン（５）の特性によらずに塗膜の一様性を得る
ことができる。さらに、受光素子（１）に必要な量のゼ
ラチン（５）のみが静電的に吸着されるので、従来のス
ピンコード法などの塗膜形成方法に比し、振シ切シによ
って失われるゼラチン（５）の損失が抑制され、極めて
経済的である。とくに重クロム酸アンモンの水溶液（７
）を噴霧させるため、塗膜形成と感光剤の付与とが同時
的に、かつ互に助長されて行なわれ、したがって良好な
塗膜の形成がそのまま優れた感光性の付与につながるこ
とになる。また上記両者を塗膜形成時に個別的に任意に
制御できる利点がある。

以上のように、この発明は粉状体の高分子物質を吹き上
げた状態にして、これに増感剤の水溶液を噴霧状に吹き
つけながら静電的に受光素子に耐着させるようにしたか
ら、製造条件が簡易にして膜厚の均一な色フィルタを得
ることができ、しかも塗膜形成と協働して感光性も良好
に付与できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明に係るカラー固体撮像素子の製造方法に
用いられる装置の一例を模式的に示す斜視図である。 （１）・・・受光素子、（２）・・・高電圧電源、（３
）・・・画体、（４）・・・送風機、（５）・・・高分
子物質、（６）・・・噴霧器、（７）・・・増感剤の水
溶液。　　　　　　　　　　　　　　　７なお、図中同
一符号は同一または相当部分を示す。 代理人　葛野信−（外１名）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）、受光素子の主面に色フィルタを形成する工程に
   おいて、粉体状の高分子物質を収容する的体から高電圧
   電界中に吹き上げられた該高分子物質に、増感剤を含む
   水溶液を霧状に吹きつけて感光性を附与するとともに、
   イオン化によって前記高分子物質を静電的に該受光素子
   の主面に耐着させて塗膜を形成する工程と、染色剤によ
   って該塗膜を染色する工程とを具備したカラー固体撮像
   素子の製造方法。