JPS5897638A - 溶鋼の真空精錬にあたり真空容器系内の真空度異常を検知する方法 - Google Patents
溶鋼の真空精錬にあたり真空容器系内の真空度異常を検知する方法Info
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- JPS5897638A JPS5897638A JP19582181A JP19582181A JPS5897638A JP S5897638 A JPS5897638 A JP S5897638A JP 19582181 A JP19582181 A JP 19582181A JP 19582181 A JP19582181 A JP 19582181A JP S5897638 A JPS5897638 A JP S5897638A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、溶鋼を真空脱ガス装置で処理する際に減圧下
の真空容器系内に侵入してくる空気量を測定して系内の
真空度異常を検知する方法に関する。
の真空容器系内に侵入してくる空気量を測定して系内の
真空度異常を検知する方法に関する。
近年スチームエジェクター１−ヲ用いた大容量排気設備
の発達により溶鋼の精錬にも真空が用いられるようＶ？
−なり、溶鋼の高純度化に役立っている。
の発達により溶鋼の精錬にも真空が用いられるようＶ？
−なり、溶鋼の高純度化に役立っている。
当然のことながら、真空精錬の効果は真空度（ＣＯ分圧
Ｐｃｏ ）ＶＣ依存する。事実一定条件（与えられた温
度および与えられた溶鋼中のＣ濃度）の下においては、
真空度ＰＣＯ？小さくすればする程、溶鋼中の酸素濃度
を低下でき、清浄な鋼を製造できる。またステンレス鋼
の真空精錬においては、真空度が悪化すると、脱炭反応
の低下のみならず、クロムその他の有用金属が酸化され
やすくなり製造原価面でもマイナスとなるから、真空度
を常時高真空度に維持することは極めて型巣である。
Ｐｃｏ ）ＶＣ依存する。事実一定条件（与えられた温
度および与えられた溶鋼中のＣ濃度）の下においては、
真空度ＰＣＯ？小さくすればする程、溶鋼中の酸素濃度
を低下でき、清浄な鋼を製造できる。またステンレス鋼
の真空精錬においては、真空度が悪化すると、脱炭反応
の低下のみならず、クロムその他の有用金属が酸化され
やすくなり製造原価面でもマイナスとなるから、真空度
を常時高真空度に維持することは極めて型巣である。
だが、真空精錬の実操業においては、スチームエジェク
ターの排気能力の低下や真空容器系内への空気リーク量
の増加により真空度の不良をきたすことがある。付図を
参照しながら、より具体的に説明するに、第１図はいわ
ゆるＶＯＤ法を実施するための真空脱ガス装置の一例を
説明する縦断面略図である。図示した真空脱ガス装置は
、ベンセル１および着脱可能なベッセルカバー２からな
る真空容器系と、これに電動バルブ３を介して接続され
た排ガスダクト４および全体を５で示した排気手段から
なる排気系とからなる。ベッセル１内には、溶鋼を容れ
た取鍋６が載置場れる。ペンセルカバー２１ＣＨ１上下
動可能な酸素ランス７および合金元素やフラツクスを供
給するためのホンパー８ａ１８ｂが取付けられている。
ターの排気能力の低下や真空容器系内への空気リーク量
の増加により真空度の不良をきたすことがある。付図を
参照しながら、より具体的に説明するに、第１図はいわ
ゆるＶＯＤ法を実施するための真空脱ガス装置の一例を
説明する縦断面略図である。図示した真空脱ガス装置は
、ベンセル１および着脱可能なベッセルカバー２からな
る真空容器系と、これに電動バルブ３を介して接続され
た排ガスダクト４および全体を５で示した排気手段から
なる排気系とからなる。ベッセル１内には、溶鋼を容れ
た取鍋６が載置場れる。ペンセルカバー２１ＣＨ１上下
動可能な酸素ランス７および合金元素やフラツクスを供
給するためのホンパー８ａ１８ｂが取付けられている。
溶鋼の真空精錬に当っては、排気系を駆動してベッセル
１内に減圧を維持しながら、取鍋６内の溶鋼上にう／ス
フから酸素を吹きつける。酸素の吹精量は、流量計９に
より制御する。酸素吹精の間に取鍋６の底に設けたポー
ラスプラグ１０からアノヒゴンを底吹きすることにより
溶鋼を攪拌する。アルゴンの底吹き量は、流量計ＮｌＩ
Ｃより制御する。この真空精錬による溶鋼の脱炭反応は
、特開昭５４−４２ｆ２４号公報に記載の如く、排ガス
ダクト４のしかるべき個所から排ガスのサンプルを採取
して質量分析に付し、得られた情報に基づき、動的に制
御するのが好都合である。この際アルゴンやヘリラムノ
ような不活性ガスを標準ガスとして使用し、標準ガス源
Ｒから流量計１２１Ｃよって計測され几流量既知の標準
ガスを真空容器系に（たとえば底吹きアルゴンと一緒に
ポーラスプラグ１ｏがら溶鋼中へ）または排気系に（友
とえば質量分析用サンプルの採取点よりも充分に上流の
地点でダクト４を通る排ガス中へ〕導入し、排ガスサン
プル中に含１れる当該標準ガス成分をも質量分析計で追
跡すれば、排ガスの全流量を測定する必要なしで動的制
御に充分な情報を得ることができる。
１内に減圧を維持しながら、取鍋６内の溶鋼上にう／ス
フから酸素を吹きつける。酸素の吹精量は、流量計９に
より制御する。酸素吹精の間に取鍋６の底に設けたポー
ラスプラグ１０からアノヒゴンを底吹きすることにより
溶鋼を攪拌する。アルゴンの底吹き量は、流量計ＮｌＩ
Ｃより制御する。この真空精錬による溶鋼の脱炭反応は
、特開昭５４−４２ｆ２４号公報に記載の如く、排ガス
ダクト４のしかるべき個所から排ガスのサンプルを採取
して質量分析に付し、得られた情報に基づき、動的に制
御するのが好都合である。この際アルゴンやヘリラムノ
ような不活性ガスを標準ガスとして使用し、標準ガス源
Ｒから流量計１２１Ｃよって計測され几流量既知の標準
ガスを真空容器系に（たとえば底吹きアルゴンと一緒に
ポーラスプラグ１ｏがら溶鋼中へ）または排気系に（友
とえば質量分析用サンプルの採取点よりも充分に上流の
地点でダクト４を通る排ガス中へ〕導入し、排ガスサン
プル中に含１れる当該標準ガス成分をも質量分析計で追
跡すれば、排ガスの全流量を測定する必要なしで動的制
御に充分な情報を得ることができる。
既述の如く、ベッセル１内の真空度悪化は、排気手段（
スチームエジェクター）５の排気能力の低下や真空容器
系のシール部、たとえば第１図に■で示したベッセル１
とベッセルカバー２とひ間、■で示したベッセルカバー
２とランス７との間および■で示したホッパ９ ａ ｓ
８ ｂのカバーの部分における気密不良による真空容
器系内への空気リ一り量の増加によっておこる。現場で
は、真空度異常が発生し几場合、しかるべき対策を講す
る几めに、その原因を究明するべく、次のような検査法
が実施されている。
スチームエジェクター）５の排気能力の低下や真空容器
系のシール部、たとえば第１図に■で示したベッセル１
とベッセルカバー２とひ間、■で示したベッセルカバー
２とランス７との間および■で示したホッパ９ ａ ｓ
８ ｂのカバーの部分における気密不良による真空容
器系内への空気リ一り量の増加によっておこる。現場で
は、真空度異常が発生し几場合、しかるべき対策を講す
る几めに、その原因を究明するべく、次のような検査法
が実施されている。
（イ）溶鋼のはいっていない状態で真空容器系内を可能
な限り減圧状態に保ちながら、リークが生ずると思われ
る各シール部（第１図の■、■および◎）を徹底的に聴
音点検する。
な限り減圧状態に保ちながら、リークが生ずると思われ
る各シール部（第１図の■、■および◎）を徹底的に聴
音点検する。
（ロ）溶鋼のはいっていない状態で真空容器系内を可能
な限り減圧した後電動パルプ５を閉め、ベッセル１に取
付けた真空計１３により真空容器系内の真空度の経時変
化を測定してリーク量を決定する。
な限り減圧した後電動パルプ５を閉め、ベッセル１に取
付けた真空計１３により真空容器系内の真空度の経時変
化を測定してリーク量を決定する。
いずれの場合も検査の結果異常がなかつ几ら、発生した
真空度異常は排気能力の低下によると判定する。
真空度異常は排気能力の低下によると判定する。
だが、聴音では微細なリークは検出しにくいし、真空度
変化を測定する方法では各シール部からのリークと電動
バルブ３からのリークと区別できず、いずれの方法も測
定精度がよいとはいえない。また、これらの方法による
原因究明には点検に長時間を要し、連続操業中に真空度
異常が発生した場合、原因判明までの数ヒートは真空度
不良のまま操業するか、または一時操業を停止して原因
調査をしなければならない。
変化を測定する方法では各シール部からのリークと電動
バルブ３からのリークと区別できず、いずれの方法も測
定精度がよいとはいえない。また、これらの方法による
原因究明には点検に長時間を要し、連続操業中に真空度
異常が発生した場合、原因判明までの数ヒートは真空度
不良のまま操業するか、または一時操業を停止して原因
調査をしなければならない。
したがって、本発明の目的は、溶鋼の真空精錬において
真空度異常が生じた場合、操業を停止することなく、瞬
時にぞの原因が排気能力の低下にあるのか真空容器への
空気リークの増加にあるのかを区別すると共に、後者の
場合にはその程度を正確に測定する方法を提供すること
である。
真空度異常が生じた場合、操業を停止することなく、瞬
時にぞの原因が排気能力の低下にあるのか真空容器への
空気リークの増加にあるのかを区別すると共に、後者の
場合にはその程度を正確に測定する方法を提供すること
である。
前記の目的を達成する本発明の要旨は、真空容器系とこ
れに接続され念排気系とからなる真空脱ガス装置を用い
、前記真空容器系内に置かれた溶鋼を減圧下で精錬する
にあたり、不活性ガスを前記真空容器系または排気系に
導入し、当該不活性ガスを含む排ガスのサンプルを質量
分析に付して排ガス中の窒素分圧を決定し同時に排ガス
中の不活性ガスが関与する親ピークのイオン化電流値ま
たはその時間的変化量を計測し、そしてそれらの情報と
排ガス中の不活性ガスの流量またはその時間的変化量と
から前記真空容器系内に侵入し之空気量を決定すること
を特徴とする前、記真空容器系内の真空度異常を検知す
る方法にある。
れに接続され念排気系とからなる真空脱ガス装置を用い
、前記真空容器系内に置かれた溶鋼を減圧下で精錬する
にあたり、不活性ガスを前記真空容器系または排気系に
導入し、当該不活性ガスを含む排ガスのサンプルを質量
分析に付して排ガス中の窒素分圧を決定し同時に排ガス
中の不活性ガスが関与する親ピークのイオン化電流値ま
たはその時間的変化量を計測し、そしてそれらの情報と
排ガス中の不活性ガスの流量またはその時間的変化量と
から前記真空容器系内に侵入し之空気量を決定すること
を特徴とする前、記真空容器系内の真空度異常を検知す
る方法にある。
本発明の方法では、質量分析計を用いて、排ガス中の窒
素分圧ＰＨ２に決定し、次いで排ガス中の窒素流量ｑａ
２’ｆｒ求め、そしてそのｑＮ２から真空容器系へ侵入
した空気量Ｑ−１ｒｔ算出する。
素分圧ＰＨ２に決定し、次いで排ガス中の窒素流量ｑａ
２’ｆｒ求め、そしてそのｑＮ２から真空容器系へ侵入
した空気量Ｑ−１ｒｔ算出する。
より詳しく述べれば、排ガスサンプルを一定測定条件下
で質量分析に付し、排ガス中のＣ０１ＣＯ。
で質量分析に付し、排ガス中のＣ０１ＣＯ。
およびＮ、が関与する質量数１２．１４．２８お工び４
４における質量スペクトルのピークのイオン化電流値（
ａｍｐ） ｔ、、、”＋４、”２Ｍおよび”４４を計測
すると、下記式（１）、（２）、（３）および（４）が
成立する。
４における質量スペクトルのピークのイオン化電流値（
ａｍｐ） ｔ、、、”＋４、”２Ｍおよび”４４を計測
すると、下記式（１）、（２）、（３）および（４）が
成立する。
”＋２ ” ＳＣＱ ＠πＣｏ １１ｔ ＠”Ｑ Ｏ＋
５ＣＯ２°πｃｏ２ ・１２ ＠Ｐ００２ °−（１
）”＋４ ” ＳＣｏ ’π。。、１４・Ｐｏ０＋ＳＮ
２・πＮ２−１４ ・”８２ 、” （２）”２
！ｌ ” ｓＮ２°ＰＮ、、 ＋ ８００°Ｐｃ１ｏ
＋ ５ｃｏ２°πＣＯ２・２８°Ｐｃｏ、 −（３）
Ｎ４４：５Ｃｏ２′ＰＣＯ７“°ゝ（４）式中ＰＱＯ１
ＰＣＯ２お工びＰＭ、は排ガス中のＣ０１ＣＯ，お工び
Ｎ２の分圧をそれぞれ表わし、ＳＣｏ ｓ５ｃｏ２およ
びｓＮ２は質量分析計のＣ０１ＣＯ２およびＮ２に対す
る感度（ａｍｐ／１ｏｒｒ ）をそれぞれ表わし、πｃ
ｏ 、 １２およびπ００２ 、＋２はＣＯおよびＣ０
２の質量数１２へのパターン係数＠）をそれ′ぞれ表わ
し、π。。、、４およびπＮ２．１４はｃｏおよびＮ２
の質量数１４へのパターン係数（％）をそれぞれ表わし
、そしてπ。。２．２８ｉｄｏ○２の質量数２８へのパ
ターン係数（％）を表わす。
５ＣＯ２°πｃｏ２ ・１２ ＠Ｐ００２ °−（１
）”＋４ ” ＳＣｏ ’π。。、１４・Ｐｏ０＋ＳＮ
２・πＮ２−１４ ・”８２ 、” （２）”２
！ｌ ” ｓＮ２°ＰＮ、、 ＋ ８００°Ｐｃ１ｏ
＋ ５ｃｏ２°πＣＯ２・２８°Ｐｃｏ、 −（３）
Ｎ４４：５Ｃｏ２′ＰＣＯ７“°ゝ（４）式中ＰＱＯ１
ＰＣＯ２お工びＰＭ、は排ガス中のＣ０１ＣＯ，お工び
Ｎ２の分圧をそれぞれ表わし、ＳＣｏ ｓ５ｃｏ２およ
びｓＮ２は質量分析計のＣ０１ＣＯ２およびＮ２に対す
る感度（ａｍｐ／１ｏｒｒ ）をそれぞれ表わし、πｃ
ｏ 、 １２およびπ００２ 、＋２はＣＯおよびＣ０
２の質量数１２へのパターン係数＠）をそれ′ぞれ表わ
し、π。。、、４およびπＮ２．１４はｃｏおよびＮ２
の質量数１４へのパターン係数（％）をそれぞれ表わし
、そしてπ。。２．２８ｉｄｏ○２の質量数２８へのパ
ターン係数（％）を表わす。
これらの式において感度およびパターン係数は、一定測
定条件下では用いた質量分析計に固有な値であり、イオ
ン化電流値は計測された値であるから、６つの未知数Ｐ
。Ｏｘ ”ＣＯ２およびＰＮ、につぃてのこれらの４つ
の方程式をいわゆる最小二乗法によって解くことにより
ＰＮ２を求めることができる。
定条件下では用いた質量分析計に固有な値であり、イオ
ン化電流値は計測された値であるから、６つの未知数Ｐ
。Ｏｘ ”ＣＯ２およびＰＮ、につぃてのこれらの４つ
の方程式をいわゆる最小二乗法によって解くことにより
ＰＮ２を求めることができる。
別法としては、これら４つの方程式からしかるべく選ん
だ３つの方程式たとえば式（２）、（３）および（４）
を解くことにより、ＰＨ２に算出できる。
だ３つの方程式たとえば式（２）、（３）および（４）
を解くことにより、ＰＨ２に算出できる。
排ガス中の窒素流量ｑｓ、、 （υｍｉｎ ） Ｆｉ、
下記式（５） ％式％ （式中Ｑは排ガスの全流量ｔ／ｍｉｎ、そしてＰは排ガ
スの全圧を表わす）から求めることができるが、排ガス
の全流量を計測することは極めて非実際的である。それ
故、本発明にあっては、既述の特開昭５４−４２３２４
号公報に記載の如く、アルゴンやヘリウムのような不活
性ガスを標準ガスとして使用し、標準ガス源Ｒから流量
計に工って計測された流量既知の標準ガスを真空容器系
に（九とえば底吹キアルゴンと一緒にポーラスプラグ１
０から溶鋼中）または排気系に（たとえば質量分析用サ
ンプルの採取点よりも充分に上流の地点でダクト４を通
る排ガス中）導入し、排ガスサンプル中に含まれる当該
不活性ガス成分をも質量分析計でを質量分析計で計測し
念Ａガスのイオン化電流値の時間的変化量をΔｘｈ （
ａｍｐ ）、Ａガスに対する質量分析計の感度金ＳＡ
（ａｍｐ／１ｏｒｒ ） 、排ガス中Ａガスの分圧の時
間的変化量を△ｐＡとすると、△、Ｚ’Ａ ＝ＳＡ ’
△ＰＡ −・・・（６）Ｐ △ｐＡ が成立するから、式（５）、（６）および（７）から、
排ガス中の窒素流量ｑＮ２’（ｔ／ｍｉｎ ）は、Ｓ轟 で決定でき、これから真空容器系へ侵入した空気量Ｑａ
ｉｒ（４７ｍ１ｎ）ｒｉ、下記式（９）％式％（９） で算出できる。ただしＣＮ２は空気中の窒素の体積百分
率でちる。
下記式（５） ％式％ （式中Ｑは排ガスの全流量ｔ／ｍｉｎ、そしてＰは排ガ
スの全圧を表わす）から求めることができるが、排ガス
の全流量を計測することは極めて非実際的である。それ
故、本発明にあっては、既述の特開昭５４−４２３２４
号公報に記載の如く、アルゴンやヘリウムのような不活
性ガスを標準ガスとして使用し、標準ガス源Ｒから流量
計に工って計測された流量既知の標準ガスを真空容器系
に（九とえば底吹キアルゴンと一緒にポーラスプラグ１
０から溶鋼中）または排気系に（たとえば質量分析用サ
ンプルの採取点よりも充分に上流の地点でダクト４を通
る排ガス中）導入し、排ガスサンプル中に含まれる当該
不活性ガス成分をも質量分析計でを質量分析計で計測し
念Ａガスのイオン化電流値の時間的変化量をΔｘｈ （
ａｍｐ ）、Ａガスに対する質量分析計の感度金ＳＡ
（ａｍｐ／１ｏｒｒ ） 、排ガス中Ａガスの分圧の時
間的変化量を△ｐＡとすると、△、Ｚ’Ａ ＝ＳＡ ’
△ＰＡ −・・・（６）Ｐ △ｐＡ が成立するから、式（５）、（６）および（７）から、
排ガス中の窒素流量ｑＮ２’（ｔ／ｍｉｎ ）は、Ｓ轟 で決定でき、これから真空容器系へ侵入した空気量Ｑａ
ｉｒ（４７ｍ１ｎ）ｒｉ、下記式（９）％式％（９） で算出できる。ただしＣＮ２は空気中の窒素の体積百分
率でちる。
ところで質量スペクトルあ質量数１４ｖｃ現われるチ程
度が質量数１４において二価イオンピークとなって現わ
れるのに対し、ＣＯの場合は質量数２８における親ピー
クの約０，８チ程度が質量数１４において二価イオンビ
ークとして現われるにすぎない。それ故、前記式（２）
におけるＰｏ。の項を無視して、ｐＮ２を下記式（２） ％式％（２） のみから決定しても、充分に本発明の目的を達成できる
ことがわかった。
度が質量数１４において二価イオンピークとなって現わ
れるのに対し、ＣＯの場合は質量数２８における親ピー
クの約０，８チ程度が質量数１４において二価イオンビ
ークとして現われるにすぎない。それ故、前記式（２）
におけるＰｏ。の項を無視して、ｐＮ２を下記式（２） ％式％（２） のみから決定しても、充分に本発明の目的を達成できる
ことがわかった。
不活性ガスとして流量ｑＨｅのヘリウムを使用し、質量
スペクトルの質量数４１Ｃおけるヘリウムの親ピークの
イオン化電流値（ａｍｐ ）を計測するなら、質量分析
訃のＨｅに対する感度Ｉ ５ＨＩＩ （ａｍｐ／１ｏｒ
ｒ ）とすると、真空容器への侵入した空気量（ｔ／ｍ
ｉｎ ）は、下記式ＱＯ） から決定できる。この弐〇〇は、前記式（２）および（
９）と、下記式 ％式％ から容易に導き出せる。なおＰＨａは排ガス中のへリウ
ムの分圧を表わす。− だが、ヘリウムは高価なガスであることに加え、ヘリウ
ム用のタンクその他の供給設備を新設する必要があるの
で、ヘリウムの使用は有利でない。
スペクトルの質量数４１Ｃおけるヘリウムの親ピークの
イオン化電流値（ａｍｐ ）を計測するなら、質量分析
訃のＨｅに対する感度Ｉ ５ＨＩＩ （ａｍｐ／１ｏｒ
ｒ ）とすると、真空容器への侵入した空気量（ｔ／ｍ
ｉｎ ）は、下記式ＱＯ） から決定できる。この弐〇〇は、前記式（２）および（
９）と、下記式 ％式％ から容易に導き出せる。なおＰＨａは排ガス中のへリウ
ムの分圧を表わす。− だが、ヘリウムは高価なガスであることに加え、ヘリウ
ム用のタンクその他の供給設備を新設する必要があるの
で、ヘリウムの使用は有利でない。
それ故一般にはアルゴンを不活性ガスとして使用するの
が有利である。もつともこの場合は、侵入空気中に含ま
れる′アルゴン量を考慮′に入れる必要が１ヤ・す゛、
また酸素°吹精を朽°なう場合には吹精酸素中旋含まれ
るアルゴン量をも考慮に入れる必要がある１が衿、アル
ゴン底吹きを行・なう場合は、当該アル゛ゴシを不活性
ガスとして着目するととができる。
が有利である。もつともこの場合は、侵入空気中に含ま
れる′アルゴン量を考慮′に入れる必要が１ヤ・す゛、
また酸素°吹精を朽°なう場合には吹精酸素中旋含まれ
るアルゴン量をも考慮に入れる必要がある１が衿、アル
ゴン底吹きを行・なう場合は、当該アル゛ゴシを不活性
ガスとして着目するととができる。
したがって、本発明の有利な一つの態様では、酸素上吹
きおよびアルゴン底吹きを施しながら溶鋼を減圧下で精
錬、シ、当該アルゴンを不活性ガスとして着目すると、
前記式〇〇）の導出と同様にして真空容器系へ侵入した
空気量Ｑａ１ｒ （ｔ／ｍｉｎ ）は、下記式で表わせ
る。
きおよびアルゴン底吹きを施しながら溶鋼を減圧下で精
錬、シ、当該アルゴンを不活性ガスとして着目すると、
前記式〇〇）の導出と同様にして真空容器系へ侵入した
空気量Ｑａ１ｒ （ｔ／ｍｉｎ ）は、下記式で表わせ
る。
・ｘ４ｏ πＮ２ ・＋４°ＣＮ２８Ｎ２ｘ （ｑＡ
ｒ ＋ ｑｏ２・ＣＡｒ、 ＋ （Ｑａｉｒ Ｘ Ｃｈ
ｒ２ ） ）式中、ｘ４ｏハ質量数４０ｖｃおけるＡｒ
の親ピークのイオン化電流値を表わし、ＳＡｒは質量分
析計のＡｒに対する感度を表わし、ＣＮ２は空気中の窒
素の体積百分率を表、わし、ｑＡｒは底吹きアルゴンの
流量を′表わし、ｑｏ ２は上吹き酸素の流量を表わし
、Ｃ！ｉｒ。
ｒ ＋ ｑｏ２・ＣＡｒ、 ＋ （Ｑａｉｒ Ｘ Ｃｈ
ｒ２ ） ）式中、ｘ４ｏハ質量数４０ｖｃおけるＡｒ
の親ピークのイオン化電流値を表わし、ＳＡｒは質量分
析計のＡｒに対する感度を表わし、ＣＮ２は空気中の窒
素の体積百分率を表、わし、ｑＡｒは底吹きアルゴンの
流量を′表わし、ｑｏ ２は上吹き酸素の流量を表わし
、Ｃ！ｉｒ。
は上吹き酸素中のアルゴンの体積百分率を表わし、そし
て０Ａｒ２は本気中のアルゴンの体積百分率を表わす。
て０Ａｒ２は本気中のアルゴンの体積百分率を表わす。
この式を整理すると、
・・・α騰
となる。酸素上吹きおよびアルゴン底吹きを施しながら
溶鋼を減圧下で精錬する場合には、当該アルゴンを不活
性ガスして着目し、前記式〇■により真空容器系への侵
入空気、量を決定できるが、弐〇漕は酸素吹精を行なわ
ない場合にも適用できその場合には弐ａ３中のｑｏｔ
’ｒ零とすればよい。
溶鋼を減圧下で精錬する場合には、当該アルゴンを不活
性ガスして着目し、前記式〇■により真空容器系への侵
入空気、量を決定できるが、弐〇漕は酸素吹精を行なわ
ない場合にも適用できその場合には弐ａ３中のｑｏｔ
’ｒ零とすればよい。
このようにして、本発明によれば、真空容器系または排
気系へ不活性ガスを導入し、排ガスサンプルを質量分析
に付して排ガス中の窒素分圧ｐ１４、窒素流量ｑＮ２を
求め、そして真空容器系内に侵入した空気量ＱＡｔｒ’
ｉｉ”知ることにより、真空度異常が発生した場合は、
その原因が真空容器への空気のリーク量増加によるのか
ま几はエジェクターの排気能力の低下咥よるのか、そし
て前者の場合にはその程度を検知することができる。測
定精度の観点からは窒素分圧ｐＮ２を前記式（１）、（
２）、（３）および（４）から選んだ少なくとも３つの
式から決定した上で式（９）からＱａ１ｒ全１ｒヲるの
が最良であるが、計測機構を簡略化してＰＮ２に前記式
（２′）のみから決定する前記式（１０１ま友は６国に
より晦１ｒを算出しても、充分な精度で本発明の目的を
達成できる。
気系へ不活性ガスを導入し、排ガスサンプルを質量分析
に付して排ガス中の窒素分圧ｐ１４、窒素流量ｑＮ２を
求め、そして真空容器系内に侵入した空気量ＱＡｔｒ’
ｉｉ”知ることにより、真空度異常が発生した場合は、
その原因が真空容器への空気のリーク量増加によるのか
ま几はエジェクターの排気能力の低下咥よるのか、そし
て前者の場合にはその程度を検知することができる。測
定精度の観点からは窒素分圧ｐＮ２を前記式（１）、（
２）、（３）および（４）から選んだ少なくとも３つの
式から決定した上で式（９）からＱａ１ｒ全１ｒヲるの
が最良であるが、計測機構を簡略化してＰＮ２に前記式
（２′）のみから決定する前記式（１０１ま友は６国に
より晦１ｒを算出しても、充分な精度で本発明の目的を
達成できる。
本発明の方法は、特開昭５４−４２３２４号公報に記載
された溶鋼の動的制御を実施し、その際に得た情報を利
用して前記式（９）、（ＩＩまたは０階から魁１ｒを算
出す、ることにより行なうのが有利である。
された溶鋼の動的制御を実施し、その際に得た情報を利
用して前記式（９）、（ＩＩまたは０階から魁１ｒを算
出す、ることにより行なうのが有利である。
実施例
（１）リーク量算出式の精度比較
テスト用リーク孔１４を設けた第１図記載の４５トン規
模のＶＯＤ装置を用い、シール部■、■および◎からの
す、り量を一定としかつ排気装置の排気能力を同一状態
に保ってＶＯＤプロセスを実施しながら、１０００ ｔ
／ｍｉｎ、 ２０００ ｔ／ｍｉｎおよび３０００
ｔ／ｍｉｎの標準リークノズルをそれぞれ使用してテス
ト用リーク孔から強制リークをさせながら、式（１）、
（２）、（３）および（４）に基づく式（９）、式（２
）ｖｒ−基づく弐〇〇）ならびに式（２′ンに基づく弐
眞でＱａｌｒを算出した。
模のＶＯＤ装置を用い、シール部■、■および◎からの
す、り量を一定としかつ排気装置の排気能力を同一状態
に保ってＶＯＤプロセスを実施しながら、１０００ ｔ
／ｍｉｎ、 ２０００ ｔ／ｍｉｎおよび３０００
ｔ／ｍｉｎの標準リークノズルをそれぞれ使用してテス
ト用リーク孔から強制リークをさせながら、式（１）、
（２）、（３）および（４）に基づく式（９）、式（２
）ｖｒ−基づく弐〇〇）ならびに式（２′ンに基づく弐
眞でＱａｌｒを算出した。
測定は、各標準リークノズル毎１ｃ１０回行ない、Ｑａ
ｔｒから強制リーク前のシール部■、■および■からの
リーク量の合計を差し引いた値（１７ｍ１ｎ）の平均値
に）およびバラツキ（σ）を表−１に示す。
ｔｒから強制リーク前のシール部■、■および■からの
リーク量の合計を差し引いた値（１７ｍ１ｎ）の平均値
に）およびバラツキ（σ）を表−１に示す。
表−１の結果によれば、測定精度は、式（９）、（Ｉｔ
）次いでａ３の順であることがわかる。
）次いでａ３の順であることがわかる。
（２）真空度不良発生時の原因判別
表−２に正常運転時のデータ２ケースと、真空度不良発
生時のデータ５ケースとを示す。
生時のデータ５ケースとを示す。
正常時のデータは、エジェクターの排気能力が正常であ
り、かつシール部からのリーク空気量が少い状態でのも
のである。表−２ＶＣ示したデータによれば、到達真空
度を１．Ｏｔｏｒｒ以下にする几めＩ／ｃハ、エジェク
ターの排気能力が正常であり、かつシール部からの合計
リーク量が、式（９）および０■で計算した場合は約１
３００ ｔ／ｍｉｎ以下そして弐αｙで計算した場合は
約１４００ ｔ／ｍｉｎ以下であれば、よいことがわか
る。
り、かつシール部からのリーク空気量が少い状態でのも
のである。表−２ＶＣ示したデータによれば、到達真空
度を１．Ｏｔｏｒｒ以下にする几めＩ／ｃハ、エジェク
ターの排気能力が正常であり、かつシール部からの合計
リーク量が、式（９）および０■で計算した場合は約１
３００ ｔ／ｍｉｎ以下そして弐αｙで計算した場合は
約１４００ ｔ／ｍｉｎ以下であれば、よいことがわか
る。
これに対し、到達真空度異常時の５ケースについてみる
と、ケース１．２および３では、式（９）、００）およ
びＱ３）のいずれで求め九リーク空気量も正常時に比べ
大巾に増加しており、到達真空度不良発生原因は、シー
ル部からのリーク空気量の・増加におると判別される。
と、ケース１．２および３では、式（９）、００）およ
びＱ３）のいずれで求め九リーク空気量も正常時に比べ
大巾に増加しており、到達真空度不良発生原因は、シー
ル部からのリーク空気量の・増加におると判別される。
だが、ケース４および５については、リーク空気量は１
．Ｏｔｏｒｒ以下の到達真空度の達成に許容できるリー
ク量上限以下であるにもかかわらず、到達真空度の不良
が発生している。その原因はエジェクターの排気能力の
低下にあると判別できる。
．Ｏｔｏｒｒ以下の到達真空度の達成に許容できるリー
ク量上限以下であるにもかかわらず、到達真空度の不良
が発生している。その原因はエジェクターの排気能力の
低下にあると判別できる。
次に、弐Ｑ３）ｖｃ基づく本発明法と真空計使用に基づ
〈従来法との比較を表−３に示す。
〈従来法との比較を表−３に示す。
※ 従来法ヲ１００とした時の指数
表示したデータは、４５トン規模の真空脱ガス装置にお
ける最近の６ケ月の稼動平均実績に関するが、表−３に
よれば、本発明法では従来法に比べ、月間異常発生件数
および原因究明平均所要時間が大巾に減少および短縮で
き、その結果、平均到達真空度も向上したことがわかる
。
ける最近の６ケ月の稼動平均実績に関するが、表−３に
よれば、本発明法では従来法に比べ、月間異常発生件数
および原因究明平均所要時間が大巾に減少および短縮で
き、その結果、平均到達真空度も向上したことがわかる
。
一旦真空度異常が発生すると、何らかの措置を講じない
限り引続いて異常が頻発するのが常である。従来は真空
度不良の原因かりｉり空気量の増加にある・かまたは排
気能力の低下にあるのか全判別するまでに長時間を要し
てい九が、本発明方法によればこの判別に要する時間が
表−３に示す如〈従来の半分以下であるので、速やかに
対策をとることができ、そのため異常発生件数も激減す
ることになる。
限り引続いて異常が頻発するのが常である。従来は真空
度不良の原因かりｉり空気量の増加にある・かまたは排
気能力の低下にあるのか全判別するまでに長時間を要し
てい九が、本発明方法によればこの判別に要する時間が
表−３に示す如〈従来の半分以下であるので、速やかに
対策をとることができ、そのため異常発生件数も激減す
ることになる。
また、従来法は、真空度異常が発生したとき、真空容器
から溶鋼を取り出し、溶鋼のはいっていない状態で真空
容器を点検しなければならなかったが、本発明ではその
ような制約がなく、溶鋼のはいった真空精錬下での検査
が可能であり、作業性の向上が極めて顕著である。
から溶鋼を取り出し、溶鋼のはいっていない状態で真空
容器を点検しなければならなかったが、本発明ではその
ような制約がなく、溶鋼のはいった真空精錬下での検査
が可能であり、作業性の向上が極めて顕著である。
本発明法は、ＶＯＤプロセスに有利に適用できるが、酸
素上吹きおよび／ｌたはアルゴン底吹きを実施しない溶
鋼の真空精錬においても、さらには真空容器に溶鋼がは
いっていない場合においても、当業者に自明な変更を加
えた本発明方法により、真空容器系の真空度異常を検知
できることは、いうまでもない。
素上吹きおよび／ｌたはアルゴン底吹きを実施しない溶
鋼の真空精錬においても、さらには真空容器に溶鋼がは
いっていない場合においても、当業者に自明な変更を加
えた本発明方法により、真空容器系の真空度異常を検知
できることは、いうまでもない。
第１図は、ＶＯＤ装置の一例を示す縦断面略図で、Ｓｔ
ｌ、ＩＨベッセル、２はベッセルカバー、３Ｔｒ！電動
バルブ、４は排気ダクト、５は排気手段、６は取鍋、７
は酸素ランス、 ８ａ、 ８ｂはホッパー、９．１１．
１２は流量計、１１はポーラスプラグ、０２は酸素源、
Ａｒはアルゴン源、Ｒは標準ガス（不活性ガス）源を示
す。 出願人 日新製鋼株式会社 手続補正書（自発） 昭和５７年６月１日 特許庁長官 島田春材 殿 １、事件の表示 昭和５６年 特許願第１９５８２１号 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 代表者 阿 部 譲 ４、 代 理 人 〒１６２ ｆｉｌ 明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正
する。 （２）明細書の発明の詳細な説明を下記のとおりに補正
する。 記 明細書１６頁（１５）式の〔〕内の最終環の分母におけ
るｒ ＣＡｒ、ＪをＦ ＣＡｒ、 Ｊと訂正する。 （別紙） ２、特許請求の範囲 ＋１１ 真空容器系とこれに接続された排気系とから
なる真空脱ガス装置を用い、前記真空容器系内に置かれ
た溶鋼全減圧下で精錬するＶＣあたり、不活性ガスを前
記真空容器系または排気系に導入し、当該不活性ガスを
含む排ガスのサンプルを質量分析に付して排ガス中の窒
素分圧を決定１．同時に排ガス中の不活性ガスが関与す
る親ピークのイオン化電流値またはその時間的変化量を
計測し、そしてそれらの情報と排ガス中の不活性ガスの
流量またはその時間的変化量とから前記真空容器系内に
侵入した空気量を決定することを特徴とする前記真空容
器系内の真空度異常を検知する方法。 （２）排ガス中のＣＯ５ＣＯ２およびＮ２が関与する質
量数１２．１４．２８および４４Ｖｃおけるピークのイ
オン化電流値ｘ１□、Ｎ１４、Ｎ２８お工びＮ４４を計
測し、そして下記式（１）、（２）、（３）および（４
）ｊｃ＋２ ” ”’Ｃｏ’ πＣＯ７＋２ ＰＣ
Ｏ＋ ５Ｃ０２°πＣ０２−１２”’Ｃｏ２
、、、（１）Ｎ１４ ”” ＳＧｏ’πＣｏ−１４’
Ｐｃｏ ＋”Ｎ２ ”πＮ２−１４°ＰＮ２ °
−（２）Ｎ２６ ＝ ＳＮ２°ＰＮ２＋ＳＣＯ°ＰＣＯ
＋ｓＣＯ，’πｃｏ２．２１ ＋ｐｃ０２ｍ （３１ｘ
４４ ：８００２°Ｐｃｏ２−（４）（ただし式中Ｐ。 ｏ、Ｐｏｏ２およびＰＮ２は排ガス中のＣＯ，Ｃ０２お
工びＮ２の分圧をそれぞれ表わし、８ＣＯ１ＳＣＯ２お
よびｓＮ２に質量分析計のＣｏ５ＣＯ２およびＮ２１Ｃ
対する感度をそれぞれ表わし、π。。、１□お工びπＣ
Ｏ２，＋２はＣＯおよびＣＯ２の質量数１２への）くタ
ーン係数をそれぞれ表わし・πｃＯ・１４および１Ｎ２
・１４ケＣＯおよびＮ２の質量数１４へのノくターン係
数をそれぞれ表わし、ナしてπ。。、２．ｎｃＯｔの質
量数２８へのパターン係数を表わす）から選んだ少くと
も５つの式により排ガス中の窒素分圧ＰＮ２’に決定す
る特許請求の範囲第１項記載の方法。 （３）排カス中のＣＯお工゛びＮ、が関与ｊる質量数１
４における二価イオンピークのイオン化電流値ｘ１４を
計測し、そして下記式（２） ％式％（２） （式中ＰＮ２ｎ排ガス中のＮ２の分圧を表わし、ＳＮ２
は質量分析計のＮ２１Ｃ対する感度を表わし、そしてπ
Ｎ２．＋４けＮ２の質量数１４へのパターン係数を表わ
す）により排ガス中の窒素分圧ＰＮ２Ｔｈ決定する特許
請求の範囲第１項記載の方法。 （４） 不活性ガスとして流量（ＩＨｅのヘリウムを
導入し、そして下記式〇〇 （式中Ｑａｉｒ灯真空写真空容器系内した空気量を表わ
し、ｘ４ｔ／１質量数４ＶＣおけるＨｅの親ピークのイ
オン化電流値を表わし、ＳＨＯｌ’！質量分析計のＨｅ
に対する感度を表わし、そしてｃＮ２け空気中の窒素の
体積百分率を表わす）により真空容器系内に侵入した空
気量を決定する特許請求の範囲第３項記載の方法。 （５）酸素上吹き（酸素吹精量がゼロの場合を含むンお
よびアルゴン底吹きを施しながら溶鋼を減圧下で精錬し
、当該アルゴンを不活性ガスとして着目し、そして下記
式〇３ ・・・αり （式中Ｑａｉｒは真空容器系内に侵入した空気量を表わ
し、３ｃ４０ ｒｓ質量数４０１ＣおけるＡｒの親ピー
クのイオン化電流値を表わし、ＳＡｒ ｎ質量分析計の
Ａｒ１Ｃ対する感度を表わし、Ｃｒ２は空気中の窒素の
体積百分率を表わし、ｑＡｒ ｕ底吹きアルゴンの流量
を表わし、ｑｏｔは上吹き酸素の流量を表わし、ＣＡｒ
＋ ｎ上吹き酸素中のアルゴンの体積百分率を表わし、
セしてＣＡｒ２ハ空気中のアルゴンの体積百分率を表わ
す）により真空容器系内に侵入した空気量を決定する特
許請求の範囲第３項記載の方法。
ｌ、ＩＨベッセル、２はベッセルカバー、３Ｔｒ！電動
バルブ、４は排気ダクト、５は排気手段、６は取鍋、７
は酸素ランス、 ８ａ、 ８ｂはホッパー、９．１１．
１２は流量計、１１はポーラスプラグ、０２は酸素源、
Ａｒはアルゴン源、Ｒは標準ガス（不活性ガス）源を示
す。 出願人 日新製鋼株式会社 手続補正書（自発） 昭和５７年６月１日 特許庁長官 島田春材 殿 １、事件の表示 昭和５６年 特許願第１９５８２１号 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 代表者 阿 部 譲 ４、 代 理 人 〒１６２ ｆｉｌ 明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正
する。 （２）明細書の発明の詳細な説明を下記のとおりに補正
する。 記 明細書１６頁（１５）式の〔〕内の最終環の分母におけ
るｒ ＣＡｒ、ＪをＦ ＣＡｒ、 Ｊと訂正する。 （別紙） ２、特許請求の範囲 ＋１１ 真空容器系とこれに接続された排気系とから
なる真空脱ガス装置を用い、前記真空容器系内に置かれ
た溶鋼全減圧下で精錬するＶＣあたり、不活性ガスを前
記真空容器系または排気系に導入し、当該不活性ガスを
含む排ガスのサンプルを質量分析に付して排ガス中の窒
素分圧を決定１．同時に排ガス中の不活性ガスが関与す
る親ピークのイオン化電流値またはその時間的変化量を
計測し、そしてそれらの情報と排ガス中の不活性ガスの
流量またはその時間的変化量とから前記真空容器系内に
侵入した空気量を決定することを特徴とする前記真空容
器系内の真空度異常を検知する方法。 （２）排ガス中のＣＯ５ＣＯ２およびＮ２が関与する質
量数１２．１４．２８および４４Ｖｃおけるピークのイ
オン化電流値ｘ１□、Ｎ１４、Ｎ２８お工びＮ４４を計
測し、そして下記式（１）、（２）、（３）および（４
）ｊｃ＋２ ” ”’Ｃｏ’ πＣＯ７＋２ ＰＣ
Ｏ＋ ５Ｃ０２°πＣ０２−１２”’Ｃｏ２
、、、（１）Ｎ１４ ”” ＳＧｏ’πＣｏ−１４’
Ｐｃｏ ＋”Ｎ２ ”πＮ２−１４°ＰＮ２ °
−（２）Ｎ２６ ＝ ＳＮ２°ＰＮ２＋ＳＣＯ°ＰＣＯ
＋ｓＣＯ，’πｃｏ２．２１ ＋ｐｃ０２ｍ （３１ｘ
４４ ：８００２°Ｐｃｏ２−（４）（ただし式中Ｐ。 ｏ、Ｐｏｏ２およびＰＮ２は排ガス中のＣＯ，Ｃ０２お
工びＮ２の分圧をそれぞれ表わし、８ＣＯ１ＳＣＯ２お
よびｓＮ２に質量分析計のＣｏ５ＣＯ２およびＮ２１Ｃ
対する感度をそれぞれ表わし、π。。、１□お工びπＣ
Ｏ２，＋２はＣＯおよびＣＯ２の質量数１２への）くタ
ーン係数をそれぞれ表わし・πｃＯ・１４および１Ｎ２
・１４ケＣＯおよびＮ２の質量数１４へのノくターン係
数をそれぞれ表わし、ナしてπ。。、２．ｎｃＯｔの質
量数２８へのパターン係数を表わす）から選んだ少くと
も５つの式により排ガス中の窒素分圧ＰＮ２’に決定す
る特許請求の範囲第１項記載の方法。 （３）排カス中のＣＯお工゛びＮ、が関与ｊる質量数１
４における二価イオンピークのイオン化電流値ｘ１４を
計測し、そして下記式（２） ％式％（２） （式中ＰＮ２ｎ排ガス中のＮ２の分圧を表わし、ＳＮ２
は質量分析計のＮ２１Ｃ対する感度を表わし、そしてπ
Ｎ２．＋４けＮ２の質量数１４へのパターン係数を表わ
す）により排ガス中の窒素分圧ＰＮ２Ｔｈ決定する特許
請求の範囲第１項記載の方法。 （４） 不活性ガスとして流量（ＩＨｅのヘリウムを
導入し、そして下記式〇〇 （式中Ｑａｉｒ灯真空写真空容器系内した空気量を表わ
し、ｘ４ｔ／１質量数４ＶＣおけるＨｅの親ピークのイ
オン化電流値を表わし、ＳＨＯｌ’！質量分析計のＨｅ
に対する感度を表わし、そしてｃＮ２け空気中の窒素の
体積百分率を表わす）により真空容器系内に侵入した空
気量を決定する特許請求の範囲第３項記載の方法。 （５）酸素上吹き（酸素吹精量がゼロの場合を含むンお
よびアルゴン底吹きを施しながら溶鋼を減圧下で精錬し
、当該アルゴンを不活性ガスとして着目し、そして下記
式〇３ ・・・αり （式中Ｑａｉｒは真空容器系内に侵入した空気量を表わ
し、３ｃ４０ ｒｓ質量数４０１ＣおけるＡｒの親ピー
クのイオン化電流値を表わし、ＳＡｒ ｎ質量分析計の
Ａｒ１Ｃ対する感度を表わし、Ｃｒ２は空気中の窒素の
体積百分率を表わし、ｑＡｒ ｕ底吹きアルゴンの流量
を表わし、ｑｏｔは上吹き酸素の流量を表わし、ＣＡｒ
＋ ｎ上吹き酸素中のアルゴンの体積百分率を表わし、
セしてＣＡｒ２ハ空気中のアルゴンの体積百分率を表わ
す）により真空容器系内に侵入した空気量を決定する特
許請求の範囲第３項記載の方法。
Claims (5)
- （１） 真空容器系とこれに接続された排気系とから
なる真空脱ガス装置を用い、前記真空容器系内に置かれ
た溶鋼を減圧下で精錬するにあたり、不活性ガス全前記
真空容器系ま友は排気系に導入し、当該不活性ガスを含
む排ガスのサンプルを質量分析に付して排ガス中の窒素
分圧を決定し同時に排ガス中の不活性ガスが関与する親
ピークのイオン化電流値ま友はその時間的変化量を計測
し、そしてそれらの情報と排ガス中の不活性ガスの流量
またはその時間的変化量とから前記真空容器系内に侵、
大した空気量を決定することを特徴とする前記真空容器
系内の真空度異常を検知する方法。 - （２）排ガス中のＣ０１ＣＯ２およびＮ２が関与する質
量数１２．１４．２８および４４におけるピークのイオ
ン化電流値ｒ１２、Ｘ、いｘｔｓおよび＄ｎ ｋ計測し
、そして下記式（１）、（２）、（３）および（４）ｘ
：Ｓｃｏ°πＣｏ −１２’ ＰＱＯ＋ ５ＣＯ２’
”ＣＯ２・＋２°ＰＣＯ２°°（＋）２ ｘ＝ＳｃＯ・πＣｏ 、１４番ＰＣＯ＋５Ｎ２−πＮ２
．１４争ＰＮ２．（２１ｘ２８：ＳＮ２゜ＰＮ２＋ＳＣ
Ｏ゛ＰＣＯ＋５ＣＯ２°πｃｏ２．２８°ｐｃｏ２°−
（３１＄４４ ＝ ５ｃｏ２・Ｐｃｏ２・−（４１（た
だし式中Ｐ。Ｏｓ Ｐ００２およびＰＮ２は排ガス中の
Ｃ０１Ｃ０２およびＮ２の分圧をそれぞれ表わし、５Ｃ
Ｏ１ＳＣＯ，およびＳＮ２は質量分析計のＣｏ、ＣＯ２
およびＮ２Ｖｃ対する感度をそれぞれ表わし、π。。、
１２お工びπ。。２．、ＪｊＣ’Ｏお工びＣＯ２の質量
数１２へのノくター／係数をそれぞれ表わし、π。。、
１４お工びπＮ２．１４はＣｏおよびＮ２の質量数１４
へのノくターン係数をそれぞれ表わし、そしてπ。Ｃ２
、，８１ｒｉ Ｃｏ２の質量数２８へのパターン係数を
表わす）から選んだ少くとも３つの式ｖｃ工り排ガス中
の窒素分圧ＰＨ２？決定する特許請求の範囲第１項記載
の方法。 - （３）排ガス中のＣｏおよびＮ２が関与する質量数１４
における二価イオンビークのイオン化電流値”＋４を計
測し、そし℃下記式（２） ％式％（２） （式中ＰＮ２Ｈ排ガス中のＮ２の分圧を表わし、ＳＮ２
は質量分析計のＮ２に対する感度を表わし、そしてπＮ
２．１４はＮ２の質量数１４へのパターン係数を表わす
）により排ガス中の窒素分圧ＰＮ２１ｒ決定する特許請
求の範囲第１項記載の方法。 - （４）不活性ガスとして流量ｑＨｓのヘリウムを導入し
、そして下記式α傍 （式中Ｑａ１ｒは真空容器系内に侵入した空気量を表わ
し、ｘｎ質量数４ｖｃおけるＨｅの親ピークのイオン化
電流値を表わし、Ｂｕｓ ｕ質量分析計のＨｅに対する
感度を表わし、そしてＣＮ２は空気中の窒素の体積百分
率を表わす）により真空容器系内に侵入した空気量全決
定する特許請求の範囲第３項記載の方法。 - （５）酸素上吹き（酸素吹精量がゼロの場合を含む）お
よびアルゴン底吹きを施しながら溶鋼を減圧下で精錬し
、当該アルゴンを不活性ガスとして着目し、そして下記
式（至） ＣＡｙ 、Ｎ４０ πＮ２．１４°ＣＮ２８Ｎ２・・
・（１３ （式中Ｑａｔｒは真空容器系内に侵入した空気量を表わ
し、Ｎ４゜ｑ質量数４０におけるＡｒの親ピークのイオ
ン化電流値を表わし、ＳＡｒは質量分析計のＡｒに対す
る感度を表わし、ＯＮ、は空気中の窒素の体積百分率を
表わし、ｑＡｒは底吹きア・ルゴ／の流量を表わし、ｑ
ｏｔ 牡吹き酸素の流量を表わし、ＯＡｒは上吹き酸素
中のアルゴンの体積百分率を表わし、そしてＣ！Ａｒ、
は空気中のアルゴンの体積百分率を表わす）により真空
容器系内に侵入した空気量を決定する特許請求の範囲第
３項記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19582181A JPS5897638A (ja) | 1981-12-05 | 1981-12-05 | 溶鋼の真空精錬にあたり真空容器系内の真空度異常を検知する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19582181A JPS5897638A (ja) | 1981-12-05 | 1981-12-05 | 溶鋼の真空精錬にあたり真空容器系内の真空度異常を検知する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897638A true JPS5897638A (ja) | 1983-06-10 |
| JPS6367843B2 JPS6367843B2 (ja) | 1988-12-27 |
Family
ID=16347553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19582181A Granted JPS5897638A (ja) | 1981-12-05 | 1981-12-05 | 溶鋼の真空精錬にあたり真空容器系内の真空度異常を検知する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897638A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102305552A (zh) * | 2011-08-16 | 2012-01-04 | 东北大学 | 钢包底吹喷粉漏钢检测装置及漏钢检测方法 |
-
1981
- 1981-12-05 JP JP19582181A patent/JPS5897638A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102305552A (zh) * | 2011-08-16 | 2012-01-04 | 东北大学 | 钢包底吹喷粉漏钢检测装置及漏钢检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6367843B2 (ja) | 1988-12-27 |
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