JPS5892927A - レンズのｍｔｆ測定方法 - Google Patents
レンズのｍｔｆ測定方法Info
- Publication number
- JPS5892927A JPS5892927A JP19198481A JP19198481A JPS5892927A JP S5892927 A JPS5892927 A JP S5892927A JP 19198481 A JP19198481 A JP 19198481A JP 19198481 A JP19198481 A JP 19198481A JP S5892927 A JPS5892927 A JP S5892927A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- solid
- mtf
- state image
- image sensing
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0292—Testing optical properties of objectives by measuring the optical modulation transfer function
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１１発明の分野
本発明は、スリット像を直線状の固体撮像素子で受光し
、このスリット像の光強度分布を電気的情報に変換の後
、フーリエ変換して測定するレンズのＭＴＦを測定する
方法に関するものである。
、このスリット像の光強度分布を電気的情報に変換の後
、フーリエ変換して測定するレンズのＭＴＦを測定する
方法に関するものである。
本発明が適用され得る測定器としては、例えばカメラレ
ンズのＭＴＦ測定器、複写機用レンズのＭＴＦ測定器、
ファクシミリ用−レンズのＭＴＦ測定器等をあげること
ができる。
ンズのＭＴＦ測定器、複写機用レンズのＭＴＦ測定器、
ファクシミリ用−レンズのＭＴＦ測定器等をあげること
ができる。
（２）従来技術
従来のＭＴＦ測定器では、例えば第１図に示す如く、被
検レンズ１の先負２の方向からみて放射方向に相当する
ラジアル方向に長さを有するスリット像れと、同じく被
検レンズ１の光軸２の方向からみて円の接線方向に相当
するタンジーンシャル方向に長さを有するスリット像Ｓ
↑からなる一対のスリット像を、各スリット像に対応し
てこれと直交する関係に配置されたＣＯＤ等の、固体撮
像素子３．４ ＜ｍ２図、第３図参照）上に投影して、
その測定値をフーリエ変換し、ＭＴＦを測定している。
検レンズ１の先負２の方向からみて放射方向に相当する
ラジアル方向に長さを有するスリット像れと、同じく被
検レンズ１の光軸２の方向からみて円の接線方向に相当
するタンジーンシャル方向に長さを有するスリット像Ｓ
↑からなる一対のスリット像を、各スリット像に対応し
てこれと直交する関係に配置されたＣＯＤ等の、固体撮
像素子３．４ ＜ｍ２図、第３図参照）上に投影して、
その測定値をフーリエ変換し、ＭＴＦを測定している。
すなわち、上記従来技術においてはタンジェンシャル方
向でのＭＴＦを専ら測定するだめの固体撮像素子３と、
ラジアル方向でのＭＴＦを専ら測定するだめの固体撮像
素子４とを一対とする組合せを、測定すべき像高位置の
数だけ備えている訳である。
向でのＭＴＦを専ら測定するだめの固体撮像素子３と、
ラジアル方向でのＭＴＦを専ら測定するだめの固体撮像
素子４とを一対とする組合せを、測定すべき像高位置の
数だけ備えている訳である。
ところで、このようなＭＴＦ測定器に関し、コンパクト
化が要請され、コスト面でもより低コストでの市場への
供給が望まれている。
化が要請され、コスト面でもより低コストでの市場への
供給が望まれている。
（３）発明の目的
本発明は上記事情に着目してなされ、従来よりも低コス
ト、コンパクトなＭＴＦ測定器となし得るようなレンズ
のＭＴＦ測定方法を提供することを目的とする。
ト、コンパクトなＭＴＦ測定器となし得るようなレンズ
のＭＴＦ測定方法を提供することを目的とする。
（４）発明の構成
本発明に係るレンズのＭＴＦの測定は、タンジーンシャ
ル方向のＭＴＦ測定用スリット像と、ラジアル方向のＭ
ＴＦ測定用スリット像とを同一の固体撮像素子の相異な
る位置に同時に投影し、固体撮像素子とタンジエンシャ
ル方向のＭＴＦ測定用スリット像とのなす角をθＴ１固
体撮像素子とラジアル方向のＭＴＦ測定測定リスリント
像なす角をθ几としたとき、各々の測光スリット幅を四
〇Ｔ倍及び部θＲ倍に変換した値でフーリエ変換して行
なうことを特徴とする。
ル方向のＭＴＦ測定用スリット像と、ラジアル方向のＭ
ＴＦ測定用スリット像とを同一の固体撮像素子の相異な
る位置に同時に投影し、固体撮像素子とタンジエンシャ
ル方向のＭＴＦ測定用スリット像とのなす角をθＴ１固
体撮像素子とラジアル方向のＭＴＦ測定測定リスリント
像なす角をθ几としたとき、各々の測光スリット幅を四
〇Ｔ倍及び部θＲ倍に変換した値でフーリエ変換して行
なうことを特徴とする。
（５）実施例
第５図に本発明に係るＭＴＦ測定器の一例を示す。
図において、符号１０は被検レンズを示し、図示の所定
の台座の上に装着される様になっている。
の台座の上に装着される様になっている。
符号２０はチャード枠を示し、被検レンズ１０の下方で
あって、光源との間に位置し、テストチャートと一体的
に構成されている。上記光源は、ランプ３０より光学フ
ァイバー４０を介してチャート面上の所要の部位を照射
する様、設定されている。
あって、光源との間に位置し、テストチャートと一体的
に構成されている。上記光源は、ランプ３０より光学フ
ァイバー４０を介してチャート面上の所要の部位を照射
する様、設定されている。
被検レンズ１０の上方には２組のミラ一対Ｍｔ、Ｍｚが
定置されていて、チャート像を光検知部５０α。
定置されていて、チャート像を光検知部５０α。
５０ｂ、 ５０ｃに導く様設定されている。
ところで、これらの各光検知部５０α、 ５０ｂ、 ５
０ｃであるが、従来技術においては、各々が第２図に示
した如き配置のタンジエンシャル方向でのＭＴＦ測定用
の固体撮像素子３と、第３図に示した如き配置のラジア
ル方向でのＭＴＦ測定用の固体撮像素子４との組合せか
ら構成されていたが、本発明においては、第４図に示し
た如き配置の固体撮像素子５のみで構成されている。
０ｃであるが、従来技術においては、各々が第２図に示
した如き配置のタンジエンシャル方向でのＭＴＦ測定用
の固体撮像素子３と、第３図に示した如き配置のラジア
ル方向でのＭＴＦ測定用の固体撮像素子４との組合せか
ら構成されていたが、本発明においては、第４図に示し
た如き配置の固体撮像素子５のみで構成されている。
すなわち、従来の固体撮像素子３はそのＣＣＤライン方
向が平面座標軸のＶ軸方向と一致し、固体撮像素子４は
そのＣＣＤライン方向が平面座標軸のＸ軸方向と一致す
る配置となっていたが、本発明に係る固体撮像素子５に
関してはそのＣＣＤライン方向が、Ｘ軸方向、Ｖ軸方向
から４５°傾いた方向に合わせである。
向が平面座標軸のＶ軸方向と一致し、固体撮像素子４は
そのＣＣＤライン方向が平面座標軸のＸ軸方向と一致す
る配置となっていたが、本発明に係る固体撮像素子５に
関してはそのＣＣＤライン方向が、Ｘ軸方向、Ｖ軸方向
から４５°傾いた方向に合わせである。
さらに、チャート枠２０に形成されたチャートも、従来
技術においては略Ｔ字状の形状であったものが、本発明
においては、直角な「字状のスリットが形成されている
。
技術においては略Ｔ字状の形状であったものが、本発明
においては、直角な「字状のスリットが形成されている
。
而して、ＭＴＦの測定に際しては、この［字状のチャー
トが被検レンズｌＯによシ拡大されて、第４図に符号６
で赤す如き、［字状のＭＴＦ測定用スリット像として固
体撮像素子５上に投影される。
トが被検レンズｌＯによシ拡大されて、第４図に符号６
で赤す如き、［字状のＭＴＦ測定用スリット像として固
体撮像素子５上に投影される。
図示される如く、投影された状態において、スリット像
６を構成するタンジエンシャル方向のＭＴＦ測定用スリ
ット像６ＳＴとラジアル方向のＭＴＦ測定用スリット像
６ＳＲとは各々異なる位置にて固体撮像素子５と交差し
ている。
６を構成するタンジエンシャル方向のＭＴＦ測定用スリ
ット像６ＳＴとラジアル方向のＭＴＦ測定用スリット像
６ＳＲとは各々異なる位置にて固体撮像素子５と交差し
ている。
第４図の例において、固体撮像素子５とスリット像６Ｓ
Ｔとのなす角はθＴで、スリット像６ＳＲとのなす角は
θＲで示されている。ここで、さて、一般に、ＭＴＦは
次式（１）で求めることができる。
Ｔとのなす角はθＴで、スリット像６ＳＲとのなす角は
θＲで示されている。ここで、さて、一般に、ＭＴＦは
次式（１）で求めることができる。
Ｍ （ｕ） ＝ ｌ Ｊ″’Ｌ（ｚ）−ｅｘｐ（−ｉ：
２ｒｕｚ）ｄｚｌ ・−（１）−ω 但し、 それ故、第４図におけるタンジエンシャル方向のＭＴＦ
であるＭＴ （ｕ）及びラジアル方向のＭＴＦであるＭ
Ｒ（匂は各々（２）、（３）式に従いＣＰＵ等の演算手
段を用いて求めることができる。
２ｒｕｚ）ｄｚｌ ・−（１）−ω 但し、 それ故、第４図におけるタンジエンシャル方向のＭＴＦ
であるＭＴ （ｕ）及びラジアル方向のＭＴＦであるＭ
Ｒ（匂は各々（２）、（３）式に従いＣＰＵ等の演算手
段を用いて求めることができる。
ＭＲ（ｕ） ＝ ｌ 、ｆｃ、Ｌａ（Ｚ）・ｅｘｐ （
−１２ｗ ；π（） ｄｚ ｌ ＝１３）但ｔ１ なお、スリット像のスリソ′ト幅は位置が変わっても同
一の大きさを有する。ように製成されているものとする
。さらに、スリットの幅はＭ、Ｔ Ｆ測定精度に影響を
与えない程度に十分に狭いものとする。
−１２ｗ ；π（） ｄｚ ｌ ＝１３）但ｔ１ なお、スリット像のスリソ′ト幅は位置が変わっても同
一の大きさを有する。ように製成されているものとする
。さらに、スリットの幅はＭ、Ｔ Ｆ測定精度に影響を
与えない程度に十分に狭いものとする。
第４図の実施例に用いた固体撮像素子５は従来の固体撮
像素子３，４等と同じ大きさのものを使用することがで
きた。ちなみに、ＣＣＤは現在２０４８ ｂｉｔ も
の素子も販売されており、１つの素子上に、第４図の実
施例の如く２つのスリット像を同時に、独立して投影し
、測光することは技術的に十分可能である。
像素子３，４等と同じ大きさのものを使用することがで
きた。ちなみに、ＣＣＤは現在２０４８ ｂｉｔ も
の素子も販売されており、１つの素子上に、第４図の実
施例の如く２つのスリット像を同時に、独立して投影し
、測光することは技術的に十分可能である。
（６）発明の作用効果
本発明によれば、従来、１つの測定個所について２つの
固体撮像素子を用いてラジアル方向とタンジエンシャル
方向のＭＴＦ測定を行なっていたのを、１つの固体撮像
素子で済ますことができるので、固体撮像素子及びそれ
に付帯した電気回路をｂ若しくはそれに近い値に減縮す
ることができ、コスト面及びスペース効率の点で極めて
好都合である。
固体撮像素子を用いてラジアル方向とタンジエンシャル
方向のＭＴＦ測定を行なっていたのを、１つの固体撮像
素子で済ますことができるので、固体撮像素子及びそれ
に付帯した電気回路をｂ若しくはそれに近い値に減縮す
ることができ、コスト面及びスペース効率の点で極めて
好都合である。
第１図は従来のＭ誉Ｆ測定方法におけるスリット像を説
明した図、第２図は同上図における任意の測定個所での
タンジエンシャル方向のスリット像と、これに対応する
固体撮像素子を示した平面図、第３図は同上図における
スリット像と対をなすラジアル方向のスリット像と、こ
れに対応する固体撮像素子を示した平面図、第４図は本
発明の一実施例を説明したスリット像とこれに対応した
固体撮像素子の平面図、第５図は本発明の一実施例を示
すＭＴＦ測定器の斜視図である。 ５・固体撮像素子、６ＳＲ２６ＳＴ・・・スリット像。
明した図、第２図は同上図における任意の測定個所での
タンジエンシャル方向のスリット像と、これに対応する
固体撮像素子を示した平面図、第３図は同上図における
スリット像と対をなすラジアル方向のスリット像と、こ
れに対応する固体撮像素子を示した平面図、第４図は本
発明の一実施例を説明したスリット像とこれに対応した
固体撮像素子の平面図、第５図は本発明の一実施例を示
すＭＴＦ測定器の斜視図である。 ５・固体撮像素子、６ＳＲ２６ＳＴ・・・スリット像。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 スリット像を直線状の固体撮像素子で受光し、このスリ
７ト像の光強度分布を電気的情報に変換の後、フーリエ
変換してレンズのＭＴＦを測定する方法において、 タンジ工ンシャル方向のＭＴＦ測定用スリット像と、ラ
ジアル方向のＭＴＦ測定用スリット像とを同一の固体撮
像素子の相異なる位置に同時に投影し、固体撮像素子と
タンジーンシャル方向のＭＴＦ測定用スリット像とのな
す角を０１、固体撮像素子とラジアル方向のＭＴＦ測定
用スリット像とのなす角を０１としたとき、各々の測光
スリット幅を部０１倍及び部０８倍に変換した値でフー
リエ変換してＭＴＦを求めることを特徴とするレンズの
ＭＴＦ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19198481A JPS5892927A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | レンズのｍｔｆ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19198481A JPS5892927A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | レンズのｍｔｆ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892927A true JPS5892927A (ja) | 1983-06-02 |
Family
ID=16283691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19198481A Pending JPS5892927A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | レンズのｍｔｆ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5892927A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2690738A1 (fr) * | 1992-04-29 | 1993-11-05 | Deutsche Aerospace | Capteur solaire pour axes des Z destiné à déterminer la position des satellites. |
| US8836928B2 (en) | 2009-10-20 | 2014-09-16 | Nikon Corporation | Method for measuring wavefront aberration and wavefront aberration measuring apparatus |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP19198481A patent/JPS5892927A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2690738A1 (fr) * | 1992-04-29 | 1993-11-05 | Deutsche Aerospace | Capteur solaire pour axes des Z destiné à déterminer la position des satellites. |
| US8836928B2 (en) | 2009-10-20 | 2014-09-16 | Nikon Corporation | Method for measuring wavefront aberration and wavefront aberration measuring apparatus |
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