JPS589236A - 光学的情報記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光、熱等のエネルギービームの照射により記
録層に穴もしくは凹部を形成することによって情報を記
録するようにした光学的情報記録媒体に係り、特に感度
の向上および長寿命化を図った光学７的情報記、録、媒
体に関する。

基板上に形成された薄膜■にエネルギービームを照射し
、記録されるべき信号に対応したピット列を形成するよ
うに・した光学的情報記録媒体におい゛て、従来より記
録薄膜としてテルル（Ｔｅ）を使用することが知られて
いる。Ｔｅ薄躾は最も低いエネルギーで所望のピットを
形成できる材料であり、この種の用途においては高感度
材料として極めて有望である。ここで感度とは、単位面
積当りのピット形成、に要するエネルギー（ｍＪ／Ｃｍ
’）で定義される。

しかしながら、Ｔｅは大気中に放置された場合、酸素や
水分により酸化され、透明になる度合が速い。記録薄膜
として使用する場合、膜厚は５００λ程度と極めて薄い
ため躾の酸化で生じた透明度増加に起因する躾の感度劣
化は著しい。すなわち躾が酸化されると融解、蒸発温度
が上昇するとともに透明化するために光吸収が少なくな
り、ピット形成に要するエネルギーが大きくなり、感度
の劣化を来たす。また、たとえば１０℃、相対湿１［８
５％の雰囲気に放置した場合、約５詩閤で感度が約２０
％低下し、約１５時−で約５０％低下してしまう。この
ためＴｅ躾の酸化防止のために種々の防止策がとられて
いる。安定無機物質でＴｅｌ！をコートする方法は有効
であるが感度低下と高価なため実用化されていない。一
方、プラスチックコートの場合は、熱伝導率が小さく感
度を損なう度合が小さく有利であるが■秦や水を比較的
容易に透過させＴｅ躾の酸化防止には役立たない。

本発明は上記同一を解決するためなされたもので、合成
樹脂基板を使用しながら高感度かつ長寿命の光学的情報
記録媒体を提供することを目的とする。

本発明の光学的情報記録媒体は記録膜を炭素（Ｃ）、リ
ン（Ｐ）および水素（Ｈ）を含有するＴｅ躾によって形
成したことを特徴とし、これによって真感庫と長寿命と
を兼ね備えたものである。

以下、１聞を参照しながら、本発明の実施例につき詳細
に説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。

図において、く１）は基板で本実施例では合成樹脂の１
つであるアクリル板を用いた。しかし、他のプラスチッ
ク板、またはガラス板であっても作゛用効果は同じであ
り、情報記録の書き込み、読み出し方法によって適宜選
択すれば良い。（２）はＣ，Ｐ、Ｈを含む情報記録用Ｔ
ｅ躾であり、その厚さは十分な光反射亭を得る程度に厚
く、かつ感変を損なわない程度に薄いことが必要で２０
０人〜１μｍ程度が適当である。

Ｃ，ＰおよびＨを含む情報記録用Ｔｅ１ｌ躾（２）はＴ
ｅをターゲットとしＣ，Ｐ、Ｈを含むガス例えばメタン
（ＣＨ４）とホスフィン＜ＰＨｓ　）との混合ガス中で
スパッターすることにより得られる。

ここでＴｅ躾中のＣ，Ｐ、Ｈの含有層はＣＨ４とＰＨｓ
との混合比および印加高周波電力により自由に制御でき
、例えばＣＨ４／ＰＨｓ　−１０の混合比で約０．３Ｗ
１０１１”のＲＦ　（１３，５６ＭＨｚ　）電力をＴｅ
ターゲットと基板との閤に印加すると約２０原子％のＣ
と約２１ｊ子％のＰを含有した躾を形成させることがで
きる。この場合躾の組成式はＴｅ１−χ−ｔＣχＰｔ　
（Ｈ）と書き表わすことができ、躾が化学的に最も安定
する′Ｈの含有層はｘｌｙによって決まる。ここでは膜
中に水素ガス（Ｈ２）が発生し°ない眼り、Ｈ含有−を
任意に選びことができる。

膜厚は、スパッタ時間に比例するので自由に制御できる
。

躾の光学定数は、膜組成によりて決まるので記録媒体の
光学的性質は上記の実施例では約１０００人の膜厚で反
射率が最大となり記録特性が最良となった。

この条件で作成した躾は非晶質であり、多結晶Ｔｅ躾に
比べて記録状態のビット周辺エツジ部が清らかとなり、
情報読みとり時のノイスレベルを低くおさえることがで
きる。

第２図は１０℃相対温度８５％の雰囲気で時間経過に対
する感度の劣化を従来のＴｅ単体のものと本発明による
ものとを比較した図である。

本図における感度の劣化は、記録に必要なエネルギーの
逆数の初期値に対する変化として表わされておりＴｅ単
体からなる従来の記録表、本発明による記録表ともにア
クリル基板上に形成された場合を示す。

本図かられかるようにＴｅ単体からなる記録表の場合、
図中（Ａ）で示すように時間経過とともに感度が劣化す
る。

これは時間とともに局部的な透明領域（シミ）が発生す
るためで約１７０１１１１！通後には全面にわたって劣
化する。

一方、本発明によるＣ、ＰおよびＨを含有するＴｅ薄躾
の場合は、同図（Ｂ）で示すように１０００峙ＩＩＩ通
後もＴｅ薄躾に見られた橡なシミは全く認められず、常
にほぼ一定の感度を保持しており、長寿命化を達成する
ことがわかる。

本発明による上記実施例の感度は従来Ｔｅ躾を用いた記
録媒体と同等かまたはわずか上まわる値を示しており、
本発明によるＣ、ＰおよびＨを含有するＴｅ薄躾を用い
た光学記録媒体は高感度であることも兼ね儀えている。

以上述べたように本発明によるＣ、ＰおよびＨを含有す
るＴｅ薄躾を用いた記録媒体は優れた感度と非常に長い
寿命を得ることができる。ただし、５原子％以下のＣを
含有する躾ではＴｅ躾との有意差は見られず、また４０
原子％以上含有する躾では感度の低下がみられた。Ｃと
Ｈは膜の耐湿性と高感度化、Ｐは躾の非晶質化と高感度
化にそれぞれ主に役立つていると考えられる。Ｐは１原
子％以下では効果がなり、５Ｇ銀原子以上では寿命を短
くする。

上記の例ではＣＨ４とＰＨｓの混合ガス中での反応性ス
パックリングによる薄膜形成法について述べた。その他
、上記記録膜特性を示す膜の形成方法としてＣＨ４とＰ
Ｈｓを含むガスと、Ｔｅの蒸気とをプラズマ状にして、
基板にＣ１ＰおよびＨを含むＴｅ躾を形成する方法があ
る。または、ＣＨ４、ＰＨｓおよびＴｅ（ＣＨＩ）２（
ジメチルテルル）を用いた気相成長またはプラズマ気相
成長によっても形成可能である。あるいは、Ｔｅ。

Ｃ，ＰおよびＨ原子の全部または一部をイオン化してビ
ーム状として基板上に当てて上記特性を有する躾を形成
することも可能である。上記ＣＨ４ガスはＣ２Ｈ４（エ
チレン）、ＣｔＨｔ（アセチレン）等で、またＴｅ　（
ＣＨｓ　）２、Ｔｅ　（Ｃｇ　Ｈｓ　）２　（ジエチル
テルル）等で置き換えることも可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図は第１図
に示した記録媒体と従来の記録媒体との寿命についての
比較図である。 １・・・・・・基板 ２−−−−−−　Ｔ　ｅ　−Ｃ−Ｐ　−Ｈ躾代理人　　
　弁理士　　則近憲佑（ほか１名）手続補正書（自発） ″″″５土８．ヤ０“ 特許庁長官　若　杉　和　大股 １、事件の表示 昭和５６年特願第１０７０３８号 ２、　発明の名称 光学的情報記録媒体 ３、補正なする者 事件との関係　特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ ６、補正の内容 （１）　　特許請求の範囲を別紙のとうり補正する。 （２）明細書第２頁第２行目の「凹部」を「例えば凹部
等の変形部」と訂正する。 以上 特許請求の範囲 （１）基板上に記録膜を形成し、前記記録膜にエネルギ
ービームを照射し、穴もしくは変形部を形成して情報を
記録する光学的記録用部材６二おいて、前記記録膜がテ
ルル、炭素、リンおよび水素を含有することを特徴とす
る光学的情報記録媒体。 （２）基板はガラスもしくは合成樹脂であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体
。 （３）記録膜の組成は、Ｔｅ　１−Ｘ−Ｆ　Ｃ１Ｐｙ　
（Ｈ）と表わしたとき、炭素（Ｃ）の含有量は５〜４０
原子パーセント、リンの含有量は１〜５ｏ原子パーセン
トであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
光学的情報記録媒体。 （４）記録膜の厚さは２００　Ａないし１μｍであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲９１項記載の光学的情報
記録媒体。　　。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に記録膜を形成し、前記記録層にエネルギ
   ービームを照射し、穴もしくは凹部を形成して情報を記
   録する光学的配録用部材において、前記記録膜がテルル
   ・、炭素、リンおよび水素を含有することを特徴とする
   光学的情報記録媒体。
2. （２）基板はガラスもしくは合成樹脂であ−□ことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒
   体。
3. （３）記録層の組成はＴｅ１−χ−ＶＣχＰ菅（Ｈ）と
   表わしたとき、炭素（Ｃ）の含有量は、５〜４０原子パ
   ーセント、リンの含有量は１〜５ｏ１１子パーセントで
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学
   ゛的情報記録媒体。
4. （４）記録層の厚さは２００λないし１ｔｉｍであるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報
   記録媒体。