JPS5891842U - イオン生成装置 - Google Patents
イオン生成装置Info
- Publication number
- JPS5891842U JPS5891842U JP18777581U JP18777581U JPS5891842U JP S5891842 U JPS5891842 U JP S5891842U JP 18777581 U JP18777581 U JP 18777581U JP 18777581 U JP18777581 U JP 18777581U JP S5891842 U JPS5891842 U JP S5891842U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- generating device
- ion generating
- irregularities
- ion generator
- target
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図は他の実施
例を示す図である。 ４：金属板、５：金属メツシュ、６：含浸部材。
例を示す図である。 ４：金属板、５：金属メツシュ、６：含浸部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ターゲツト面に置かれた試料にイオン又は中性粒子
をあててイオン化するイオン生成装置において、微細な
凹凸を有する面をターゲツト面として用い、該凹凸部に
試料を収容保持するようにしたことを特徴とするイオン
生成装置。 ２ 微細な凹凸を有する面としてメツシュを用いた実用
新案登録請求の範囲第１項記載のイオン生成装置。 ３ 微細な凹凸を有する面として紙を用いた実用新案登
録請求の範囲第１項記載のイオン生成装置。 ４ 基台表面に多数の針を生成させた面をターゲットと
して用いる実用新案登録請求の範囲第１項記載のイオン
生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18777581U JPS5891842U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | イオン生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18777581U JPS5891842U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | イオン生成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5891842U true JPS5891842U (ja) | 1983-06-21 |
Family
ID=29990864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18777581U Pending JPS5891842U (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | イオン生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5891842U (ja) |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP18777581U patent/JPS5891842U/ja active Pending
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