JPS5886503A - パタ−ン状回折格子の製造方法 - Google Patents
パタ−ン状回折格子の製造方法Info
- Publication number
- JPS5886503A JPS5886503A JP18492281A JP18492281A JPS5886503A JP S5886503 A JPS5886503 A JP S5886503A JP 18492281 A JP18492281 A JP 18492281A JP 18492281 A JP18492281 A JP 18492281A JP S5886503 A JPS5886503 A JP S5886503A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diffraction grating
- layer
- patterned
- photosensitive resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1842—Gratings for image generation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、パターン状−針格子の製造方法に関するもの
である。
である。
回折格子は、光を一射すると、−針格子が遥遥攬若し畷
は反射黴でｈる−により、それぞれ透過光若しくは反射
光が側折現象を起；して。
は反射黴でｈる−により、それぞれ透過光若しくは反射
光が側折現象を起；して。
光学部品として使Ｍきれる麹、自も光を肩肘すると伽は
一折格子幽俸が虹色を呈するためＸａ、Ｓ品としても用
途が高いものである。
一折格子幽俸が虹色を呈するためＸａ、Ｓ品としても用
途が高いものである。
回折格子を作製する方式には種々の方式があるｌ、材料
表Ｉｉに間層ａＳ〜５声程度の微細な縞状の凹凸をダイ
ヤ毫ンドカッター等を用いた切削により作製するのが一
般的であるが、かかる方法においては凹凸の溝の隔隔を
小さくするこ＆が困−であり、叉、パターン状に、特に
複雑なパターン状に回折格子を設けることも困−であ墨
。
表Ｉｉに間層ａＳ〜５声程度の微細な縞状の凹凸をダイ
ヤ毫ンドカッター等を用いた切削により作製するのが一
般的であるが、かかる方法においては凹凸の溝の隔隔を
小さくするこ＆が困−であり、叉、パターン状に、特に
複雑なパターン状に回折格子を設けることも困−であ墨
。
本発明はこれ＆従来の欠点を克服するものであって特許
請求の範囲（１） Ｋ−の構成とすることにより、微細
ｔＲＮ凸をパターン状に形成することｔ胃曽とすｉ／４
ターン状−針格子の製造方法に−する。
請求の範囲（１） Ｋ−の構成とすることにより、微細
ｔＲＮ凸をパターン状に形成することｔ胃曽とすｉ／４
ターン状−針格子の製造方法に−する。
１１１１１１は本１１１１Ｅ−いて光の干渉縞を露光す
る基本ｓｕｉを諷−するための図面である。ｌｌｌ閣中
ｌで示す感光愉晶板は基板１ａ及び感光性樹脂層１ｂｉ
Ｐらなるものである。基板１ａとして鑓ガラス、金属、
纏暮、＊質プラスチック等ν層いられ墨、感光性樹脂層
としてはＩジ型若しくはネガ■のフォトレジストとして
一般に使Ｍされている１の紮層いることができる０例え
ばポジ臘し炉ストとしては、シプレー社製ＡＺ−１３ｓ
Ｏ及びＡＺ−１１１ｊ１１びに東京応化社製０ＦＰＲ等
のキノジジアジド系、ネガ聾レジストとしては、コダッ
ク社製ＫＰＲ及びＫＯＲ並びに東京応化社１１’ｌ”Ｐ
Ｒ及び８ＶＲ等のｆリケイ皮酸ビ逼ル系、コダック社１
１ＫＭＩＲ及びＫＴＦＲ１東京応化社＠ＯＭＲｊｌｌび
に富士秦晶社製７８１等のアジド化舎物・ゴム系等を挙
げることがで診る。フォトレジストはそれらの処方に従
い粘度を調節したフォトレジスト液をかけ流し若しくは
スピンナーコーティングにより通常は厚みαｌ〜１０趣
になるように塗布し乾繰して基板１ａ上に鎗布形成して
感光性樹脂層とすることができる。
る基本ｓｕｉを諷−するための図面である。ｌｌｌ閣中
ｌで示す感光愉晶板は基板１ａ及び感光性樹脂層１ｂｉ
Ｐらなるものである。基板１ａとして鑓ガラス、金属、
纏暮、＊質プラスチック等ν層いられ墨、感光性樹脂層
としてはＩジ型若しくはネガ■のフォトレジストとして
一般に使Ｍされている１の紮層いることができる０例え
ばポジ臘し炉ストとしては、シプレー社製ＡＺ−１３ｓ
Ｏ及びＡＺ−１１１ｊ１１びに東京応化社製０ＦＰＲ等
のキノジジアジド系、ネガ聾レジストとしては、コダッ
ク社製ＫＰＲ及びＫＯＲ並びに東京応化社１１’ｌ”Ｐ
Ｒ及び８ＶＲ等のｆリケイ皮酸ビ逼ル系、コダック社１
１ＫＭＩＲ及びＫＴＦＲ１東京応化社＠ＯＭＲｊｌｌび
に富士秦晶社製７８１等のアジド化舎物・ゴム系等を挙
げることがで診る。フォトレジストはそれらの処方に従
い粘度を調節したフォトレジスト液をかけ流し若しくは
スピンナーコーティングにより通常は厚みαｌ〜１０趣
になるように塗布し乾繰して基板１ａ上に鎗布形成して
感光性樹脂層とすることができる。
以上のようにしてなる感光性基板にコに一しンスの高い
光を重ねて生しる光の干渉縞を露光する。具体的には釘
レーザー、Ｈ・−ｃｄレーザー等のレーザー光な用い、
例えば、第１図に示すごとくレーザー光源冨か＆發した
レーザー光をハーフミラ−３により二光車に分割した後
、ミラー４ａ及び４ｂで反射させレンズｓａ及びｓｂを
介して感光性基板１に照射する。この時、−為光のなす
角度−と食の液長入とによって決まり次式の関係を有す
る。ｍち、 意 ｓｌｍ − ＝ 従って、上式で明らかなごとく、角度０を変更すること
により、格子開隔を調節で麹、従って外観の興なる一針
格子を作成することがで伽る慟勿論腋長を変更して偽格
子閏隔を変更しうる。
光を重ねて生しる光の干渉縞を露光する。具体的には釘
レーザー、Ｈ・−ｃｄレーザー等のレーザー光な用い、
例えば、第１図に示すごとくレーザー光源冨か＆發した
レーザー光をハーフミラ−３により二光車に分割した後
、ミラー４ａ及び４ｂで反射させレンズｓａ及びｓｂを
介して感光性基板１に照射する。この時、−為光のなす
角度−と食の液長入とによって決まり次式の関係を有す
る。ｍち、 意 ｓｌｍ − ＝ 従って、上式で明らかなごとく、角度０を変更すること
により、格子開隔を調節で麹、従って外観の興なる一針
格子を作成することがで伽る慟勿論腋長を変更して偽格
子閏隔を変更しうる。
以上のように露光する二とにより、感光性基板の感光性
樹脂層中に首記！光束の干渉による光の彊弱に応した着
像が形成される。なお以上の説明では雪光車の露光をＩ
ＷＡ行なう方法について述べたがこの輪、２光束以上の
多光束によ晶露光を行なうか或いは感光性基板を露光毎
に間転させて多数−露光してもよ（、より複雑な一針格
子が得られる。
樹脂層中に首記！光束の干渉による光の彊弱に応した着
像が形成される。なお以上の説明では雪光車の露光をＩ
ＷＡ行なう方法について述べたがこの輪、２光束以上の
多光束によ晶露光を行なうか或いは感光性基板を露光毎
に間転させて多数−露光してもよ（、より複雑な一針格
子が得られる。
以上のようにして光の゛干渉縞を露光した後、感光性基
板の感光愉樹膓烏−紫外線をパターン状に露光する。
板の感光愉樹膓烏−紫外線をパターン状に露光する。
紫外線としては、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、低圧水銀
灯、カーボンアーク、クセノンアーク。
灯、カーボンアーク、クセノンアーク。
メタルハライドランプ等の光源を用いた紫外線源から発
するものを用い、好まし曵は深長ａ！ｌ〜（１４１１μ
翼の光を積算露光量がｌＯ！ＩＩＪ／ａＩＬ以上になる
よう照射する。パターン状に露光するには第冨図に示す
ごと吃遼宣なパターン６を介して行なう。
するものを用い、好まし曵は深長ａ！ｌ〜（１４１１μ
翼の光を積算露光量がｌＯ！ＩＩＪ／ａＩＬ以上になる
よう照射する。パターン状に露光するには第冨図に示す
ごと吃遼宣なパターン６を介して行なう。
以上の紫外線を用いたパターン状の露光により、感光性
樹脂層が４ジ櫃の場合には紫外線露光部分の感光性樹脂
層は分解し、現像液を用いた現像により溶解し消失しｌ
Ｉｓ図（−に示すごときパターン状回折格子を得る。又
、感光性樹脂層としてネガ型のものを用いる場合には紫
外線露光部分の感光性樹脂層が硬化するため現像液を用
いた現像を受けず干渉縞の微細凹凸を形成しないため第
３図、（ロ）に示すようなパターン状回折格子を得る。
樹脂層が４ジ櫃の場合には紫外線露光部分の感光性樹脂
層は分解し、現像液を用いた現像により溶解し消失しｌ
Ｉｓ図（−に示すごときパターン状回折格子を得る。又
、感光性樹脂層としてネガ型のものを用いる場合には紫
外線露光部分の感光性樹脂層が硬化するため現像液を用
いた現像を受けず干渉縞の微細凹凸を形成しないため第
３図、（ロ）に示すようなパターン状回折格子を得る。
以上のようにポジ擢若しくはネガ型のいずｎの感光性樹
脂層を用いて偽パターンに応じたＩジ若しくはネガの一
針格子パターン７ｂを基板７ａ上に有するパターン状−
祈櫓子１が得られ番。
脂層を用いて偽パターンに応じたＩジ若しくはネガの一
針格子パターン７ｂを基板７ａ上に有するパターン状−
祈櫓子１が得られ番。
以上の゛ようにして得られるパターン状回折格子は、Ｉ
ｌｌ櫓子をコヒーレンスの高い光の干渉によって設ける
偽の！あるから、機械的な切削によって設けるのに電ら
べ微細で精度の良い凹凸を設けることがで伽、しか％紫
外線をパターン状に露光す番こと区より、パターン状回
折格子な賽Ｊｈに得易ことがで伽る。又、以上のように
して得られたパターン状回折格子は第４図に示すように
これを母蟹として電鋳等により金型６を作り、熱可謹性
樹脂シート９若しくは板にプレスｌ１ｍ及び１ｌｂｌび
に必要に応じ鏡面板ｌ・を用いて盪押しすることにより
、大量に＊＊品を得る二とがで−る。
ｌｌ櫓子をコヒーレンスの高い光の干渉によって設ける
偽の！あるから、機械的な切削によって設けるのに電ら
べ微細で精度の良い凹凸を設けることがで伽、しか％紫
外線をパターン状に露光す番こと区より、パターン状回
折格子な賽Ｊｈに得易ことがで伽る。又、以上のように
して得られたパターン状回折格子は第４図に示すように
これを母蟹として電鋳等により金型６を作り、熱可謹性
樹脂シート９若しくは板にプレスｌ１ｍ及び１ｌｂｌび
に必要に応じ鏡面板ｌ・を用いて盪押しすることにより
、大量に＊＊品を得る二とがで−る。
すなわち、本発明のパターン状回折格子は表側の凹凸の
形状として記録されているため、この凹凸の形状を上記
の様にして複製が可能となる。崗この複製の＠Ｅ透明な
熱可■性樹脂を材料として使用すれば遥遥躍のパターン
状回折格子が作製で番、叉、−針格子の凹凸形状に沿っ
てＨ凸ＩＩ！面に薄反射層を金属の蒸着等により厚み１
００〜１００ＯＸ１１度に設ければ反射型のパターン状
回格格子が作１１’ｔ’−る。
形状として記録されているため、この凹凸の形状を上記
の様にして複製が可能となる。崗この複製の＠Ｅ透明な
熱可■性樹脂を材料として使用すれば遥遥躍のパターン
状回折格子が作製で番、叉、−針格子の凹凸形状に沿っ
てＨ凸ＩＩ！面に薄反射層を金属の蒸着等により厚み１
００〜１００ＯＸ１１度に設ければ反射型のパターン状
回格格子が作１１’ｔ’−る。
以下に本発明をより具体的に説明するため実施例を示す
。
。
実施例
縦横６傷、厚さ２■のガラス板に４９１フオトレジスト
（シプレー社製ムＺ−ＩＳＩＯＪ）を厚み２μ翼になる
ようｗ１１布し感光体とした。
（シプレー社製ムＺ−ＩＳＩＯＪ）を厚み２μ翼になる
ようｗ１１布し感光体とした。
９１図の光学系を用い、光源としてＡｒ−レー広気
゛ ザー（４８８４４，出力ｌＷ）を使用し、鵞光束の交角
０を１０’ として上記感光体に干渉縞１Ｓ分間露光
し記録した。この場合干渉縞の間隔は約２８ｓ翼となっ
た。
゛ ザー（４８８４４，出力ｌＷ）を使用し、鵞光束の交角
０を１０’ として上記感光体に干渉縞１Ｓ分間露光
し記録した。この場合干渉縞の間隔は約２８ｓ翼となっ
た。
次に、第２図に示す様に、この感光体にマスク６を密着
し、その上より超高圧水銀灯紫外線なＳ Ｗ／＋＋／の
条件で１分間°照射した。その後この感光体を現像液（
ＡＺ−デベロッパー）で暮分間現像することにより第３
図に示すごとき前記マスクのネガ辷相合するパターン状
の回折格子を得た。得られたパターン状回折格子の凹凸
面に常法により厚さｓ＠ａ！の★蒸着を施し、これを電
極として、その上にニッケルを厚さ１諺に電鋳し、プレ
ス金型を作製することにより塩上シートに複製が胃龍で
あった。
し、その上より超高圧水銀灯紫外線なＳ Ｗ／＋＋／の
条件で１分間°照射した。その後この感光体を現像液（
ＡＺ−デベロッパー）で暮分間現像することにより第３
図に示すごとき前記マスクのネガ辷相合するパターン状
の回折格子を得た。得られたパターン状回折格子の凹凸
面に常法により厚さｓ＠ａ！の★蒸着を施し、これを電
極として、その上にニッケルを厚さ１諺に電鋳し、プレ
ス金型を作製することにより塩上シートに複製が胃龍で
あった。
４１！ｌ−の簡単なＩｌ＠
１１１図は干渉縞を露光する方法な゛示す図、第雪国は
パターンを用いて紫外線を露光すゐ方法を示す図、第３
閤は本発明により得６れるパターン状−祈格子を示す断
面図、第４図は本発明により１１Ｉられ番パターン状回
折格子を複製する方法を承す図である。
パターンを用いて紫外線を露光すゐ方法を示す図、第３
閤は本発明により得６れるパターン状−祈格子を示す断
面図、第４図は本発明により１１Ｉられ番パターン状回
折格子を複製する方法を承す図である。
１・・・・・・・・・・・・感光性基板（ｌａ・・・基
板、ｌｂ慟・畳感光性樹脂層） 雪−・・ｅｌ・ψ・會ａｍレーザー光源÷−軸φ−・番
φｅａ１１八−７ミラー４ｍ、 ４ｂ−・・・・・・ｌ
Ｉミラー１ａ、 ｓｂ−・・争・・ｅ・レンズ ・・＠＠＠＠・・・・−・Φパターン テ・・＊＋＋拳Φ・・・・・−パターン状回折格子（７
龜ψ・・基板、７ｂ−−−回折 格子パターン） 畠・・−・・■・・・・・金 璽 １０・・・・・・・・・・鏡厘板 １１ａ、１１ｂ＠−−−、、プレス 牙 １ｒＸｉ 牙′２図 才８図（α） 牙３図（ｂ）
板、ｌｂ慟・畳感光性樹脂層） 雪−・・ｅｌ・ψ・會ａｍレーザー光源÷−軸φ−・番
φｅａ１１八−７ミラー４ｍ、 ４ｂ−・・・・・・ｌ
Ｉミラー１ａ、 ｓｂ−・・争・・ｅ・レンズ ・・＠＠＠＠・・・・−・Φパターン テ・・＊＋＋拳Φ・・・・・−パターン状回折格子（７
龜ψ・・基板、７ｂ−−−回折 格子パターン） 畠・・−・・■・・・・・金 璽 １０・・・・・・・・・・鏡厘板 １１ａ、１１ｂ＠−−−、、プレス 牙 １ｒＸｉ 牙′２図 才８図（α） 牙３図（ｂ）
Claims (1)
- （１）基板上に感光性樹脂層を験けてな為感光性１板の
前記感光性樹脂層にコｆｔ−レンスの高い光を重ねて生
じ番受の干渉縞を竺光し、次に１１ｊｌｉ！寓光面にｘ
ｒ−紫外線をパターン状に露光し、その後現像すること
を特徴とするパターン状囲折格子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18492281A JPS5886503A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | パタ−ン状回折格子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18492281A JPS5886503A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | パタ−ン状回折格子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5886503A true JPS5886503A (ja) | 1983-05-24 |
| JPH0424681B2 JPH0424681B2 (ja) | 1992-04-27 |
Family
ID=16161670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18492281A Granted JPS5886503A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | パタ−ン状回折格子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5886503A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63181142A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-26 | Toppan Printing Co Ltd | 光学的記録媒体の製造方法 |
| JP2018051626A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | 国立大学法人東京農工大学 | 超短パルスレーザを用いた微細加工方法、導出装置、加工装置および加工物 |
-
1981
- 1981-11-18 JP JP18492281A patent/JPS5886503A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63181142A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-26 | Toppan Printing Co Ltd | 光学的記録媒体の製造方法 |
| JPH0557656B2 (ja) * | 1987-01-21 | 1993-08-24 | Toppan Printing Co Ltd | |
| JP2018051626A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | 国立大学法人東京農工大学 | 超短パルスレーザを用いた微細加工方法、導出装置、加工装置および加工物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0424681B2 (ja) | 1992-04-27 |
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