JPS5880470A - 装置系内の不純物除去方法 - Google Patents
装置系内の不純物除去方法Info
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- JPS5880470A JPS5880470A JP17719681A JP17719681A JPS5880470A JP S5880470 A JPS5880470 A JP S5880470A JP 17719681 A JP17719681 A JP 17719681A JP 17719681 A JP17719681 A JP 17719681A JP S5880470 A JPS5880470 A JP S5880470A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、系内の置換方法に係ル、特に、定常運転中お
よび運転始動時に系内に空気、水分勢の不純物の残留を
好まない装置で、かつ、プロセス用ガスを昇圧し系内を
循環させる圧縮機として真へ 空排気に用いても上次自体は空気、水分等の不純物を吸
入しない圧縮機が適用される装置の系内の空気、水分等
の不純物を系外へ十分排出するのに好適な系内の置換方
法に関するものである。
よび運転始動時に系内に空気、水分勢の不純物の残留を
好まない装置で、かつ、プロセス用ガスを昇圧し系内を
循環させる圧縮機として真へ 空排気に用いても上次自体は空気、水分等の不純物を吸
入しない圧縮機が適用される装置の系内の空気、水分等
の不純物を系外へ十分排出するのに好適な系内の置換方
法に関するものである。
定常運転中および運転始動時に系内に空気、水分等の不
純物（以下、不純物と略）の残留を好まない装置で、か
つ、プロセス用ガスを昇圧し系内を循環させる圧縮機と
して真空排気に用いてもそれ自体は不純物を吸入しない
圧縮機、例えば、スクリュー型圧縮機が適用される装置
、例えば、ヘリウム液化冷凍装置では安定な運転を行う
ために、運転始動前に必らず系内の不純物を系外へ十分
排出しなければならない。
純物（以下、不純物と略）の残留を好まない装置で、か
つ、プロセス用ガスを昇圧し系内を循環させる圧縮機と
して真空排気に用いてもそれ自体は不純物を吸入しない
圧縮機、例えば、スクリュー型圧縮機が適用される装置
、例えば、ヘリウム液化冷凍装置では安定な運転を行う
ために、運転始動前に必らず系内の不純物を系外へ十分
排出しなければならない。
従来のヘリウム液化冷凍装置の系内の不純物を系外へ排
出する方法には、（１）置換用ガスで、また、プロセス
用ガスでもあるヘリウムガスを系内にある時間連続して
流通させることにより不純物を系外へ逐次排出し最終的
にはヘリウムガスで系内な置換する方法、（２）真空排
気装置を用いて系内を真空排気することで不純物を系外
へ逐次排出し最終的にはヘリウムガスで系内な置換する
方法がある０しかし、（１）の方法では、ヘリウムガス
による系内の置換完了までに多量のヘリウムガスを消費
しなければならず極めて不経済であシ、また、安全弁等
が取付けられている袋小路部分のヘリウムガスによる置
換が不十分で、定常運転中および運転始動時に袋小路部
分に残留していた不純物がヘリウムガスに混入し固化し
て配管等が閉寒し安定な運転ができないといった欠点が
あった。また、（２）の方法では、系内に置換用として
供給されるヘリウムガスは少量で済み前記（１）の方法
に比べ経済的であるが、しかし、このヘリクガスは回収
されずに系外へ排出し消費されるため未た不経済で、ま
た、系内の不純物を系外へ十分に排出できるため運転上
の支障は生ぜず安定な運転ができるが、しかし、新たに
真空排気装置を設置しなければならず装置価格が増大す
るといった欠点があった０本発明は、上記欠点の排除を
目的としたもので、定常運転中および運転始動時に不純
物の残留を好まない装置で、かつ、プロセス用ガスを昇
圧し、系内を循環させる圧縮機として真空排気に用いて
もそれ自体は不純物を吸入しない圧縮機が適用される装
置の系内な圧縮機で真空排気すると共に、圧縮機で系内
から排出され、かつ、昇圧された不純物を含有する置換
用ガスから不純物を除去した後に、置換用ガスのみを回
収し再び置換用ガスとして利用する系内の置換方法を提
供するものである。
出する方法には、（１）置換用ガスで、また、プロセス
用ガスでもあるヘリウムガスを系内にある時間連続して
流通させることにより不純物を系外へ逐次排出し最終的
にはヘリウムガスで系内な置換する方法、（２）真空排
気装置を用いて系内を真空排気することで不純物を系外
へ逐次排出し最終的にはヘリウムガスで系内な置換する
方法がある０しかし、（１）の方法では、ヘリウムガス
による系内の置換完了までに多量のヘリウムガスを消費
しなければならず極めて不経済であシ、また、安全弁等
が取付けられている袋小路部分のヘリウムガスによる置
換が不十分で、定常運転中および運転始動時に袋小路部
分に残留していた不純物がヘリウムガスに混入し固化し
て配管等が閉寒し安定な運転ができないといった欠点が
あった。また、（２）の方法では、系内に置換用として
供給されるヘリウムガスは少量で済み前記（１）の方法
に比べ経済的であるが、しかし、このヘリクガスは回収
されずに系外へ排出し消費されるため未た不経済で、ま
た、系内の不純物を系外へ十分に排出できるため運転上
の支障は生ぜず安定な運転ができるが、しかし、新たに
真空排気装置を設置しなければならず装置価格が増大す
るといった欠点があった０本発明は、上記欠点の排除を
目的としたもので、定常運転中および運転始動時に不純
物の残留を好まない装置で、かつ、プロセス用ガスを昇
圧し、系内を循環させる圧縮機として真空排気に用いて
もそれ自体は不純物を吸入しない圧縮機が適用される装
置の系内な圧縮機で真空排気すると共に、圧縮機で系内
から排出され、かつ、昇圧された不純物を含有する置換
用ガスから不純物を除去した後に、置換用ガスのみを回
収し再び置換用ガスとして利用する系内の置換方法を提
供するものである。
本発明の一実施例を図面によシ説明する。
図面は、本発明を実施したヘリウム液化冷凍装置の７０
−シートで、スクリュー型圧縮機１０の出口側とデユワ
−１１が併設されたコールドボックス稔の入口側は途中
にコールドボックス入口弁１３が設けられた配管１４で
連結され、コールドボックス稔の出口側とスクリュー製
圧縮機！０の入口側は配管正で連結されている。コール
ドボックス人口弁１３の前流側で配管１４よシ分妓し途
中に吐出圧調節弁１６が設けられた配管１７が底部にプ
ロー弁用が設けられた中圧タンク１９の出口側に連結さ
れ、中圧タンク１９の入口側には、吐出圧調節弁１６の
後流側で配管１７よシ分岐し中圧タンク１９の入口側に
向ってガス回収弁加、ガスバルーン４１回収圧縮機器。
−シートで、スクリュー型圧縮機１０の出口側とデユワ
−１１が併設されたコールドボックス稔の入口側は途中
にコールドボックス入口弁１３が設けられた配管１４で
連結され、コールドボックス稔の出口側とスクリュー製
圧縮機！０の入口側は配管正で連結されている。コール
ドボックス人口弁１３の前流側で配管１４よシ分妓し途
中に吐出圧調節弁１６が設けられた配管１７が底部にプ
ロー弁用が設けられた中圧タンク１９の出口側に連結さ
れ、中圧タンク１９の入口側には、吐出圧調節弁１６の
後流側で配管１７よシ分岐し中圧タンク１９の入口側に
向ってガス回収弁加、ガスバルーン４１回収圧縮機器。
精製器る。ガスボンベ冴並びにガス供給弁すが順次設け
られた配管怒が連結されている。また、吐出圧調節弁１
６の後流側で、かつ、配管加の分岐箇所よシ前流側で分
岐し途中に吸入圧調節弁４が設けられた配管四が配管正
に連結されている。なお、スクリュー減圧縮機１０．コ
ールドボックス人口弁１３、吐出圧調節弁１６．ガス回
収弁加、吸入圧調節弁Ｉは、制御装置四にそれぞれ接続
されている。
られた配管怒が連結されている。また、吐出圧調節弁１
６の後流側で、かつ、配管加の分岐箇所よシ前流側で分
岐し途中に吸入圧調節弁４が設けられた配管四が配管正
に連結されている。なお、スクリュー減圧縮機１０．コ
ールドボックス人口弁１３、吐出圧調節弁１６．ガス回
収弁加、吸入圧調節弁Ｉは、制御装置四にそれぞれ接続
されている。
まず、初めに制御装置四によシスクリユー型圧縮機ｌＯ
を起動し、コールドボックス人口弁１３．ガス回収弁列
並びに吸入圧調節弁ｎを閉弁すると共に吐出圧調節弁１
６を開弁する。この状態で、コールドボックス鵞、配管
迅２部内に当初滞留しているガスはスクリュー製圧縮機
ｌＯで排気され、かつ、昇圧され配管１４．１７、吐出
圧調節弁１６を経て中圧タンク１９に一旦貯蔵される。
を起動し、コールドボックス人口弁１３．ガス回収弁列
並びに吸入圧調節弁ｎを閉弁すると共に吐出圧調節弁１
６を開弁する。この状態で、コールドボックス鵞、配管
迅２部内に当初滞留しているガスはスクリュー製圧縮機
ｌＯで排気され、かつ、昇圧され配管１４．１７、吐出
圧調節弁１６を経て中圧タンク１９に一旦貯蔵される。
コールドボックス毘配管す、２８内の圧力が−７６αＨ
ｙ近くになった時点で、制御装Ｗ１２９によりスクリュ
ー型圧縮機ｌＯの運転を停止し、吐出圧調節弁１６を閉
弁すると共にガス回収弁加を開弁する。この状態で、も
し、中圧タンクＷに一旦貯蔵されたガスのヘリウム濃度
が高い場合には、中圧タンク１９からガスを配管謳、ガ
ス回収弁加を経てガスバルーン乙に供給し、その後、回
収圧縮機ｎで昇圧し精製益田に供給し精製器スでガスに
含有された不純物は除去し系外へ排出されてヘリウムガ
スのみがガスボンベ必に回収される。逆に、中圧タンク
１９に一旦貯蔵されたガスの不純物の濃度が高い場合に
は、ブロー弁１８を開弁じ大気へ放出する。中圧タンク
鱒に一旦貯蔵されたガスの精製回収が完了した時点で制
御装置Ｉ２９によりガス回収弁列を閉弁すると共にコー
ルドボックス人口弁１３．吐出圧力調節弁１６．ガス供
給弁２並びに吸入圧調節弁Ｉを開弁する０この状態で、
ガスボンベ冴に充填されている置換用ガスで、また、プ
ロセス用ガスでもあるヘリウムガスが配管渇、ガス供給
弁２５．中圧タンクＷ、配管１７、吐出圧力調節弁１６
．配管１４並びにコールドボックス大口弁１３を経て真
空排気されたコールドボックス校内がほぼ大気圧になる
まで供給される。
ｙ近くになった時点で、制御装Ｗ１２９によりスクリュ
ー型圧縮機ｌＯの運転を停止し、吐出圧調節弁１６を閉
弁すると共にガス回収弁加を開弁する。この状態で、も
し、中圧タンクＷに一旦貯蔵されたガスのヘリウム濃度
が高い場合には、中圧タンク１９からガスを配管謳、ガ
ス回収弁加を経てガスバルーン乙に供給し、その後、回
収圧縮機ｎで昇圧し精製益田に供給し精製器スでガスに
含有された不純物は除去し系外へ排出されてヘリウムガ
スのみがガスボンベ必に回収される。逆に、中圧タンク
１９に一旦貯蔵されたガスの不純物の濃度が高い場合に
は、ブロー弁１８を開弁じ大気へ放出する。中圧タンク
鱒に一旦貯蔵されたガスの精製回収が完了した時点で制
御装置Ｉ２９によりガス回収弁列を閉弁すると共にコー
ルドボックス人口弁１３．吐出圧力調節弁１６．ガス供
給弁２並びに吸入圧調節弁Ｉを開弁する０この状態で、
ガスボンベ冴に充填されている置換用ガスで、また、プ
ロセス用ガスでもあるヘリウムガスが配管渇、ガス供給
弁２５．中圧タンクＷ、配管１７、吐出圧力調節弁１６
．配管１４並びにコールドボックス大口弁１３を経て真
空排気されたコールドボックス校内がほぼ大気圧になる
まで供給される。
また、真空排気された配管１５．２８にはそれぞれコー
ルドボックス臆、吸入圧調節弁ｎを経てヘリウムガスが
同様に供給される。その後、制御装置四によシ、再びス
クリュー製圧縮機ｌＯを起動し、コールドボックス入口
弁１３． ガス回収弁加並びに吸入圧調節弁ｎを再び
閉弁すると共に吐出圧調節弁１６を再び開弁し、この状
態で、コールドボックス臆、配管巧、１８内に置換され
ているヘリウムガスをスクリュー製圧縮機１０で排気す
る０排気された不純物を含有するヘリウムガスはスクリ
ュー製圧縮機１０で昇圧され中圧タンク膀に一旦貯蔵さ
れた後に精製器コでヘリウムガスに含有された不純物は
除去し系外へ排出されてヘリウムガスのみがガスボンベ
冴に回収され、再び置換用ガスとして利用される。この
ような操作を数回繰返し実施すればヘリウム液化冷凍装
置の系内の不純物は十分に系外へ排出される。
ルドボックス臆、吸入圧調節弁ｎを経てヘリウムガスが
同様に供給される。その後、制御装置四によシ、再びス
クリュー製圧縮機ｌＯを起動し、コールドボックス入口
弁１３． ガス回収弁加並びに吸入圧調節弁ｎを再び
閉弁すると共に吐出圧調節弁１６を再び開弁し、この状
態で、コールドボックス臆、配管巧、１８内に置換され
ているヘリウムガスをスクリュー製圧縮機１０で排気す
る０排気された不純物を含有するヘリウムガスはスクリ
ュー製圧縮機１０で昇圧され中圧タンク膀に一旦貯蔵さ
れた後に精製器コでヘリウムガスに含有された不純物は
除去し系外へ排出されてヘリウムガスのみがガスボンベ
冴に回収され、再び置換用ガスとして利用される。この
ような操作を数回繰返し実施すればヘリウム液化冷凍装
置の系内の不純物は十分に系外へ排出される。
本実施例のように、ヘリウム液化冷凍装置の系内をスク
リュー製圧縮機で真空排気し、排気された不純物を含有
するヘリウムガスから精製器で不純物を除去してヘリウ
ムガスのみをガスボンベに回収し再び置換用ガスとして
利用するようにした場合は、新たに真空排気装置を設置
する必要もなく、かつ、ヘリウムガスの消費量を大幅に
節減できる。
リュー製圧縮機で真空排気し、排気された不純物を含有
するヘリウムガスから精製器で不純物を除去してヘリウ
ムガスのみをガスボンベに回収し再び置換用ガスとして
利用するようにした場合は、新たに真空排気装置を設置
する必要もなく、かつ、ヘリウムガスの消費量を大幅に
節減できる。
本発明は、以上説明したように、定常運転中および運転
開始時に系内に不純物の残留を好まない装置で、かつ、
プロセス用ガスを昇圧し系内を循環させる圧縮機として
真空排気に用いてもそれ自体は不純物を吸入しない圧縮
機が適用される装置の系内な圧縮機で真空排気すると共
に、圧縮機で系内から排気され、かつ、昇圧された系内
の不純物を含有する置換用ガスから不純物を除去した後
に、置換用ガスのみを回収し再び置換用ガスとして利用
するようにしたので、新たに真空排気装置を設置する必
要がなく装置価格の増大を抑制でき、かつ、置換用ガス
の消費量が大幅に節減でＩｌｌ済性を向上で裏る効果が
ある。
開始時に系内に不純物の残留を好まない装置で、かつ、
プロセス用ガスを昇圧し系内を循環させる圧縮機として
真空排気に用いてもそれ自体は不純物を吸入しない圧縮
機が適用される装置の系内な圧縮機で真空排気すると共
に、圧縮機で系内から排気され、かつ、昇圧された系内
の不純物を含有する置換用ガスから不純物を除去した後
に、置換用ガスのみを回収し再び置換用ガスとして利用
するようにしたので、新たに真空排気装置を設置する必
要がなく装置価格の増大を抑制でき、かつ、置換用ガス
の消費量が大幅に節減でＩｌｌ済性を向上で裏る効果が
ある。
図面は、本発明の一実施例を説明するもので、本発明を
実施したヘリウム液化冷凍装置の７０−シートである。
実施したヘリウム液化冷凍装置の７０−シートである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、定常運転中および運転始動時に系内に空気。 水分等不純物の残留を好まない装置で、かつ、プロセス
用ガスを昇圧し系内を循環させる圧縮機として真空排気
に用いてもそれ自体は空気。 水分等不純物を吸入しない圧縮機が適用される装置の系
内な真空排気後置換用ガスで置換し系内の空気、水分等
不純物を系外へ十分排出する幕内の置換方法において、
前記装置の系内な前記圧縮機で真空排気すると共に、圧
縮機で系内から排気され、かつ、昇圧された前記不純物
を含有する前記置換用ガスから不純物を除去した後に、
置換用ガスのみを回収し再び置換用ガスとして利用する
ことを特徴とする系内の置換方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17719681A JPS5880470A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 装置系内の不純物除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17719681A JPS5880470A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 装置系内の不純物除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5880470A true JPS5880470A (ja) | 1983-05-14 |
| JPS6149591B2 JPS6149591B2 (ja) | 1986-10-30 |
Family
ID=16026853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17719681A Granted JPS5880470A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 装置系内の不純物除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5880470A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63187067A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-02 | 株式会社日立製作所 | 極低温液化冷凍装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63136494U (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-07 |
-
1981
- 1981-11-06 JP JP17719681A patent/JPS5880470A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63187067A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-02 | 株式会社日立製作所 | 極低温液化冷凍装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6149591B2 (ja) | 1986-10-30 |
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