JP2001221400A - 窒素ガスの製造方法および製造装置 - Google Patents

窒素ガスの製造方法および製造装置

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JP2001221400A
JP2001221400A JP2000067685A JP2000067685A JP2001221400A JP 2001221400 A JP2001221400 A JP 2001221400A JP 2000067685 A JP2000067685 A JP 2000067685A JP 2000067685 A JP2000067685 A JP 2000067685A JP 2001221400 A JP2001221400 A JP 2001221400A
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air
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Hiroshi Torigoe
大資 鳥越
Hiroshi Fukuhara
廣 福原
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Fukuhara Co Ltd
Hitachi Industrial Equipment Co Ltd
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Hitachi Engineering and Services Co Ltd
Fukuhara Co Ltd
Hitachi West Service Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 一般の圧縮空気から窒素を分離させる方式で
は、圧縮空気の圧力が高い程窒素ガスの発生量が多かっ
た。 従って、多くの窒素ガスを必要とする場合、例え
ばガス分離膜を構成している方式の場合、より高い圧力
の圧縮空気を作り出すエアーコンプレッサを設置する
か、従来使用している程度の能力のエアーコンプレッサ
を設置する場合には非常に高価なガス分離膜を並列に配
設することが必要になり、装置全体の価格が高いものと
なっていた。 更に、圧縮空気の温度を高めるヒーター
を配設するということは、一層装置全体の価格が高いも
のとなり、部品点数が増加する分故障の発生も多くなっ
た。 【解決手段】 圧縮空気より窒素ガスを作り出す窒素ガ
ス発生装置7を配設した窒素ガスの製造装置において、
窒素ガス発生装置7の上流に、圧縮空気を増圧する増圧
弁61と増圧した圧縮空気を一担貯蔵するエアータンク
71を記載の順序で配設した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、窒素ガスの製造方
法および製造装置に関する技術であって、更に詳細に述
べると、窒素ガス発生装置に圧縮空気を通過させて窒素
ガスを作り出すに際し、圧縮空気を増圧することによっ
て一回り小さい機械で効率的に窒素ガスを製造する技術
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の、窒素ガスの製造方法および製造
装置としては、図4に見られるように、エアーコンプレ
ッサ1で作り出された圧縮空気を、主配管21から分岐
配管23に分岐させて、個々の機器としては本願発明に
使用している装置と同じ入口バルブ5とエアーフィルタ
6と窒素ガス発生装置7と減圧弁8と流量計9と出口バ
ルブ10より構成されている窒素ガスの製造装置82を
通過させることで、窒素ガス95を分離する際に発生し
た酸素リッチガス96を廃棄していた。
【0003】この場合、時には、より効果的に窒素ガス
を作り出すために、窒素ガス発生装置7の上流に圧縮空
気の温度を高めるヒーター(具体的に図示せず)を配設
している場合も多かった。
【0004】尚、窒素ガス発生装置7としては、ガス分
離膜を構成している方式や吸着剤を構成している方式や
深冷法等の色々な方式があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の、窒素ガスの製造方法および製造装置には、
以下に示すような課題があった。
【0006】第一に、図3に見られるように、一般の圧
縮空気から窒素を分離させる方式では、圧縮空気の圧力
が高い程窒素ガスの発生量が多かった。
【0007】第二に、従って、多くの窒素ガスを必要と
する場合、例えばガス分離膜を構成している方式の場
合、より高い圧力の圧縮空気を作り出すエアーコンプレ
ッサを設置するか、従来使用している程度の能力のエア
ーコンプレッサを設置する場合には非常に高価なガス分
離膜を並列に配設することが必要になり、何れの場合で
も装置全体の価格が高いものとなっていた。
【0008】第三に、更に、圧縮空気の温度を高めるヒ
ーターを配設するということは、一層装置全体の価格が
高いものとなり、部品点数が増加する分故障の発生も多
くなった。第四に、窒素ガス発生装置で窒素ガスを分離
する際に発生した酸素リッチガスを廃棄していた。本発
明はこのような課題を解決することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧縮空気が窒
素ガス発生装置7を通過することで窒素ガスを作り出す
窒素ガスの製造方法において、前記圧縮空気を増圧させ
た後に、前記窒素ガス発生装置7を通過させることを特
徴とし、更には、前記圧縮空気は、増圧させた後に先ず
エアータンク71に貯蔵し、その後に除塵することを特
徴とし、更には、増圧した後の前記圧縮空気は、0.7
MPaないし2.5MPaであることを特徴とすること
によって、上記課題を解決した。
【0010】また、本発明は、圧縮空気より窒素ガスを
作り出す窒素ガス発生装置7を配設した窒素ガスの製造
装置において、前記窒素ガス発生装置7の上流に、前記
圧縮空気を増圧する増圧弁61と増圧した前記圧縮空気
を一担貯蔵するエアータンク71を記載の順序で配設し
たことを特徴とし、更には、前記エアータンク71と前
記窒素ガス発生装置7の間に、前記圧縮空気内の異物を
除去するエアーフィルタ73と増圧された前記圧縮空気
の圧力を調整する減圧弁75を記載の順序で配設したこ
とを特徴とし、更には、前記減圧弁75の上流に、増圧
された前記圧縮空気を乾燥させる乾燥装置74を配設し
たことを特徴とし、更には、前記窒素ガス発生装置7よ
り排出された酸素リッチガスを増圧する増圧弁76また
はエアーコンプレッサと増圧した前記酸素リッチガスを
一担貯蔵する酸素タンク77を記載の順序で配設したこ
とを特徴とすることによって、上記課題を解決した。
【0011】
【発明の実施の形態】本願発明による、窒素ガスの製造
方法および製造装置の実施の形態を図面と共に詳細に説
明する。ここで、図1は、本願発明を示した図であり、
図2は、本願発明に使用している増圧弁の構造を示した
図であり、図3は、窒素ガスを作り出す際の流量・濃度
・圧力の関係図である。
【0012】図1で、1は圧縮空気を作り出すエアーコ
ンプレッサであり、具体的に図示をしてはいないが、圧
縮機本体と電動機から構成され、圧縮機本体に形成され
た空気取入口から大気91を吸い込むように構成されて
いる。
【0013】更に、エアーコンプレッサ1には主配管2
1が接続していて、その主配管21には、圧縮空気を貯
蔵するエアータンク2と、圧縮空気を冷凍することによ
って乾燥させる冷凍式エアードライヤ3と、圧縮空気内
の異物を除去するエアーフィルタ4を配設することによ
って、乾燥して異物の除去された圧縮空気92が、主配
管21の末端で各種の空圧機器を作動することが出来る
ように供給可能となっている。 尚、これ等の機器2、
3、4の下部には、各々、具体的には図示してはいない
が、発生したドレンを排出するドレン抜き弁やドレント
ラップを、両方共、または、何れか一方のみを接続して
いる。
【0014】一方、主配管21からは分岐配管22が分
岐している。 この場合、図1においては、分岐配管2
2は一系列しか記載されていないが、並列して各々構成
を変えた複数系列の分岐配管を接続することも可能であ
る。 ここで、分岐配管22には、窒素ガスの製造装置
81を配設していて、末端では窒素ガス95と増圧酸素
94が使用出来るようになっている。
【0015】この場合、窒素ガスの製造装置81は、流
路を開閉する入口バルブ5と、圧縮空気内の異物を除去
するエアーフィルタ6と、圧縮空気を増圧する増圧弁6
1と、増圧した圧縮空気を貯蔵するエアータンク71
と、増圧弁61を作動させることによって発生した異物
を除去するエアーフィルタ73と、圧縮空気を乾燥させ
る乾燥装置74と、増圧した圧縮空気の圧力を調整する
減圧弁75と、圧縮空気から窒素ガスを分離する窒素ガ
ス発生装置7と、作り出された窒素ガスを使用する各種
機器の圧力に調整する減圧弁8と、窒素ガスの流量を測
定する流量計9と、流路を開閉する出口バルブ10から
構成されている。 尚、窒素ガス発生装置7で作り出さ
れた窒素ガスは、窒素ガス発生装置7より下流の何れか
の場所で一担エアータンクに貯蔵するようにしても良
い。
【0016】ここで、増圧弁61の構造を示す。 先
ず、図2に見られるように、増圧弁61は、室イ62A
と中央部62Bと室ロ62Cから成る増圧弁本体62
と、ピストンい63Aとピストンロッド63Bとピスト
ンろ63Cから成るピストン63と、ガバナ64と、切
換バルブ65と、4組のチェック弁66A、66B、6
6C、66Dから構成されている。 ここにおいて、増
圧弁本体62の中央部62Bには、真ん中をピストンロ
ッド63Bが摺動可能に形成されていて、ガバナ64
と、切換バルブ65と、4組のチェック弁66A、66
B、66C、66Dと、その他のエア配管が収納されて
いる。
【0017】また、ピストン63は、ピストンい63A
が室イ62Aの全ストロークを作動する間に、ピストン
ろ63Cが室ロ62Cの全ストロークを作動するように
配設されている。 即ち、室イ62Aのストロークと室
ロ62Cのストロークが同一に設定されている。
【0018】更に、ピストンい63Aが室イ62A内を
作動する過程で、ピストンい63Aは、室イ62Aを、
ピストンロッド63Bと反対側の駆動室イ62AAとピ
ストンロッド63B側の増圧室イ62ABに分け、ピス
トンろ63Cが室ロ62Cを作動する過程で、ピストン
ろ63Cは、室ロ62Cを、ピストンロッド63Bと反
対側の駆動室ロ62CBとピストンロッド63B側の増
圧室ロ62CAに分けている。
【0019】尚、図2に示している増圧弁61はピスト
ンい63Aの断面積とピストンろ63Cの断面積を等し
くしている。 一方、別の増圧弁61の構造として、ピ
ストンい63Aの断面積とピストンろ63Cの断面積を
異なるようにし、増圧室イ62ABを駆動室ロ62CB
として使用し駆動室ロ62CBを増圧室イ62ABとし
て使用するように各々を入れ替えて、INに接続したチ
ェック弁66AとOUTに接続したチェック弁66Cを
増圧室イ62ABに接続し、INに接続したチェック弁
66BとOUTに接続したチェック弁66Dを増圧室ロ
62CAに接続することによって、流量特性を中心に圧
力特性や充填特性を変えることが出来るものも考えられ
る。
【0020】この場合、増圧による圧縮空気を0.7M
Paないし2.5MPaにまで上げるのが最も効果的で
ある。 その理由は、エアーコンプレッサ1の能力と窒
素ガス発生装置7の能力と各種機器の耐圧性と増圧比と
装置全体の製造コストの関係から見て、最もバランスが
取れているためである。 従って、前述の能力のもので
あれば、高能率で多量の窒素ガス95を製造することが
可能であり、更に、品質の安定した低価格の窒素ガス9
5を供給出来るのである。
【0021】また、エアータンク71は安定した状態で
窒素ガス95を供給するために配設したものであり、エ
アータンク71の下部には、圧縮空気より発生してエア
ータンク71内に溜まったドレンを外部に排出するため
のドレン抜き弁72を配置している。
【0022】更に、乾燥装置74は、冷却によるものや
中空糸によるものや乾燥剤によるもの等色々な方法が考
えられる。 但し、図1では具体的には記載していない
が、中空糸によるものを示していて、湿気の多い圧縮空
気93が排出されるようになっていて、乾燥した圧縮空
気を供給することによって湿気による不具合が以降の各
種機器で発生するのを防止している。
【0023】尚、窒素ガス発生装置7としては、ガス分
離膜を構成している方式や吸着剤を構成している方式や
深冷法等の色々な方式が考えられる。 但し、図1では
具体的には記載していないが、ガス分離膜を構成してい
る方式のものを示していて、圧縮空気から分離した酸素
が、酸素リッチガスとして排出されるようになってい
る。
【0024】ここで、窒素ガス発生装置7には、分岐配
管22とは別に酸素配管24が接続していて、その酸素
配管24には窒素ガス発生装置7より排出された酸素リ
ッチガスを酸素ガスとして使用可能な圧力である0.0
5MPaないし0.3MPaに増圧する増圧弁76と、
増圧した酸素リッチガスを一担貯蔵する酸素タンク77
を記載の順序で配設している。
【0025】この場合、酸素タンク77の下部には、酸
素リッチガスより発生して酸素タンク77内に溜まった
ドレンを排出するドレン抜き弁78が配設されている。
この様にして、酸素タンク77からは、容易に増圧酸
素94を取り出すことが可能となっている。 尚、増圧
弁76に替えてエアーコンプレッサを設けることも考え
られる。
【0026】本発明による、窒素ガスの製造方法および
製造装置は、前述したように構成されており、以下に、
その動作について説明する。
【0027】先ず、電源が入ってエアーコンプレッサ1
が作動すると、空気取入口より大気91を吸引し、圧縮
空気が作り出される。 そこで、作り出された圧縮空気
は、密閉されたエアータンク2に一担貯蔵されるように
なっている。 この場合、主配管21の末端で各種の空
圧機器が作動して圧縮空気92が必要になったり、分岐
配管22の末端で窒素ガス95が必要になったり、酸素
配管24の末端で増圧酸素94が必要になると、エアー
タンク2から圧縮空気が流出し、冷凍式エアードライヤ
3とエアーフィルタ4を経由することによって乾燥して
異物の除去された圧縮空気が得られるようになってい
る。
【0028】ここで、主配管21に向かった圧縮空気
は、そのまま圧縮空気92として使用される。 一方、
分岐配管22に向かった圧縮空気は、窒素ガスの製造装
置81を経由することによって窒素ガス95や増圧酸素
94を作り出すようになっている。
【0029】尚、窒素ガスの製造装置81では、入口バ
ルブ5を経由した後、エアーフィルタ6で異物を除去さ
れた圧縮空気が、増圧弁61に送り込まれるようになっ
ている。
【0030】次に、増圧弁61では、先ずINの一次側
圧縮空気は、チェック弁66A、66Bから増圧室イ6
2ABと増圧室ロ62CAに通じている。 一方、ガバ
ナ64と切換バルブ65を経て駆動室ロ62CBに圧縮
空気が供給される。 すると、駆動室ロ62CBと増圧
室イ62ABの圧縮空気がピストン63に作用し、増圧
室ロ62CAの圧縮空気を増圧する。 そこで、ピスト
ン63が作動して増圧した圧縮空気をチェック弁66D
からOUT(二次側)の方に送り出す。
【0031】更に、ピストン63がストロークエンドに
来ると、切換バルブ65は、駆動室ロ62CBが排気、
駆動室イ62AAが供給の状態に切換わる。 すると、
ピストン63が反転し、こんどは増圧室ロ62CAと駆
動室イ62AAの圧力で、増圧室イ62ABの圧縮空気
を増圧しながらOUT(二次側)の方に送り出す。この
様にして、以上のことを繰り返しながらOUTにINよ
り高い圧力の圧縮空気を連続的に供給するようになって
いる。
【0032】この場合、二次圧をフィードバックさせて
いるガバナ64機構のハンドル操作で、二次圧を任意に
設定することが出来るようになっている。 尚、各々の
ピストン63A、63Cの断面積を変え増圧弁イ62A
Bと駆動室ロ62CAの位置を相互に入れ替えた場合の
動作に関しても前述と同じ働きをする。
【0033】この様にして、圧縮空気を増圧する理由
は、図3に見られる様に、以降に配設された窒素ガス発
生装置7で、同じ濃度の窒素ガスを作ろうとする場合、
圧力が高い程発生する窒素ガスの発生量が多い特性があ
るためである。 当然、圧縮空気を作り出すエアーコン
プレッサ1の能力としては、希望する圧力を発生する機
種を選択することが出来るが、その分大きい機種を選択
する必要がある。 従って、増圧弁61を使用すること
によって、小さいエアーコンプレッサ1で十分に機能を
満足させるという利点をもたらすのである。
【0034】また、圧縮空気の圧力が低いままで多量の
窒素ガスを必要とする場合には、窒素ガス発生装置7と
して例えばガス分離膜を構成している方式によるものを
使用する場合、複数の装置を並列に配置する必要があ
る。 この場合、ガス分離膜は高価なものであり、複数
使用するということは、装置全体の価格上昇につながる
のである。
【0035】最後に、増圧弁61で増圧された圧縮空気
は、エアータンク71に一担貯蔵することで以降の機器
に供給する過程で脈動が発生するのを防止している。
また、エアータンク71からの増圧された圧縮空気は、
エアーフィルタ73で圧縮空気内の異物が除去され、乾
燥装置74で圧縮空気内の水分が除去され、減圧弁75
で圧縮空気の圧力が調整され、窒素ガス発生装置7に送
り込まれるようになっている。 この場合、減圧弁75
によって窒素ガス発生装置7に応じ自由に低い圧力に変
更することが可能となっている。
【0036】ここで、増圧され窒素ガス発生装置7に送
り込まれた圧縮空気は、窒素ガスを分離して酸素リッチ
ガスを排出し、分離された窒素ガスはそのまま分岐配管
22を通って、減圧弁8と流量計9と出口バルブ10を
経由して窒素ガス95として使用される。
【0037】一方、排出された酸素リッチガスは、窒素
ガス発生装置7に接続している酸素配管24に送り込ま
れ、増圧弁76で増圧された後、一担酸素タンク77に
貯蔵され、必要に応じて増圧酸素94として使用され
る。
【0038】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
により、下記のような効果をあげることができる。
【0039】第一に、圧縮空気を増圧弁によって更に増
圧することによって、小型のエアーコンプレッサと最小
構成の窒素ガス発生装置でも、より上位の性能を持った
エアーコンプレッサと同じ能力を出すことが出来るよう
になり、装置全体が低価格のものとなった。
【0040】第二に、増圧弁に接続してエアータンクを
配設することにより、安定した状態で窒素ガスを供給出
来るようになった。第三に、エアーフィルタと乾燥装置
と減圧弁の配設により、以降の各機器が安定して作動出
来るようになった。
【0041】第四に、従来設置していたヒーターに関し
ては、全く不要となった。第五に、窒素ガスに加えて増
圧酸素も使用出来るようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明を示した図
【図2】本願発明に使用している増圧弁の構造を示した
【図3】窒素ガスを作り出す際の流量・濃度・圧力の関
係図
【図4】従来の内容を示した図
【符号の説明】
1・・・・・・エアーコンプレッサ 2・・・・・・エアータンク 3・・・・・・冷凍式エアードライヤ 4・・・・・・エアーフィルタ 5・・・・・・入口バルブ 6・・・・・・エアーフィルタ 7・・・・・・窒素ガス発生装置 8・・・・・・減圧弁 9・・・・・・流量計 10・・・・・出口バルブ 21・・・・・主配管 22・・・・・分岐配管 23・・・・・分岐配管 24・・・・・酸素配管 61・・・・・増圧弁 62・・・・・増圧弁本体 62A・・・・室イ 62AA・・・駆動室イ 62AB・・・増圧室イ 62B・・・・中央部 62C・・・・室ロ 62CA・・・増圧室ロ 62CB・・・駆動室ロ 63・・・・・ピストン 63A・・・・ピストンい 63B・・・・ピストンロッド 63C・・・・ピストンろ 64・・・・・ガバナ 65・・・・・切換バルブ 66A・・・・チェック弁 66B・・・・チェック弁 66C・・・・チェック弁 66D・・・・チェック弁 71・・・・・エアータンク 72・・・・・ドレン抜き弁 73・・・・・エアーフィルタ 74・・・・・乾燥装置 75・・・・・減圧弁 76・・・・・増圧弁 77・・・・・酸素タンク 78・・・・・ドレン抜き弁 81・・・・・窒素ガスの製造装置 82・・・・・窒素ガスの製造装置 91・・・・・大気 92・・・・・圧縮空気 93・・・・・湿気の多い圧縮空気 94・・・・・増圧酸素 95・・・・・窒素ガス 96・・・・・酸素リッチガス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福原 廣 神奈川県横浜市瀬谷区阿久和西1丁目15番 地5 株式会社フクハラ内 Fターム(参考) 3E072 AA03 DA05 DB03 GA30 4D006 GA41 KA02 KB12 KE06Q KE06R KE12P KE13P MB04 PA05 PB17 PB63 PB65 PC72

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧縮空気が窒素ガス発生装置(7)を通
    過することで窒素ガスを作り出す窒素ガスの製造方法に
    おいて、前記圧縮空気を増圧させた後に、前記窒素ガス
    発生装置(7)を通過させることを特徴とする窒素ガス
    の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記圧縮空気は、増圧させた後に先ずエ
    アータンク(71)に貯蔵し、その後に除塵することを
    特徴とする請求項1に記載の窒素ガスの製造方法。
  3. 【請求項3】 増圧した後の前記圧縮空気は、0.7M
    Paないし2.5MPaであることを特徴とする請求項
    1または請求項2に記載の窒素ガスの発生方法。
  4. 【請求項4】 圧縮空気より窒素ガスを作り出す窒素ガ
    ス発生装置(7)を配設した窒素ガスの製造装置におい
    て、前記窒素ガス発生装置(7)の上流に、前記圧縮空
    気を増圧する増圧弁(61)と増圧した前記圧縮空気を
    一担貯蔵するエアータンク(71)を記載の順序で配設
    したことを特徴とする窒素ガスの製造装置。
  5. 【請求項5】 前記エアータンク(71)と前記窒素ガ
    ス発生装置(7)の間に、前記圧縮空気内の異物を除去
    するエアーフィルタ(73)と増圧された前記圧縮空気
    の圧力を調整する減圧弁(75)を記載の順序で配設し
    たことを特徴とする請求項4に記載の窒素ガスの製造装
    置。
  6. 【請求項6】 前記減圧弁(75)の上流に、増圧され
    た前記圧縮空気を乾燥させる乾燥装置(74)を配設し
    たことを特徴とする請求項5に記載の窒素ガスの製造装
    置。
  7. 【請求項7】 前記窒素ガス発生装置(7)より排出さ
    れた酸素リッチガスを増圧する増圧弁(76)またはエ
    アーコンプレッサと増圧した前記酸素リッチガスを一担
    貯蔵する酸素タンク(77)を記載の順序で配設したこ
    とを特徴とする請求項4ないし請求項6いずれか1項に
    記載の窒素ガスの製造装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006128470A2 (en) * 2005-06-02 2006-12-07 Lauritzen Kozan A/S Equipment for a tanker vessel carrying a liquefield gas
CN104534273A (zh) * 2015-01-06 2015-04-22 北京石油化工工程有限公司 一种备用仪表气源的储存与应急供应装置及方法
CN104832779A (zh) * 2015-05-19 2015-08-12 北京控制工程研究所 一种压力气源系统
JP2016161115A (ja) * 2015-03-05 2016-09-05 住友金属鉱山株式会社 圧縮空気供給設備およびその制御方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006128470A2 (en) * 2005-06-02 2006-12-07 Lauritzen Kozan A/S Equipment for a tanker vessel carrying a liquefield gas
WO2006128470A3 (en) * 2005-06-02 2007-10-18 Lauritzen Kozan As Equipment for a tanker vessel carrying a liquefield gas
CN104534273A (zh) * 2015-01-06 2015-04-22 北京石油化工工程有限公司 一种备用仪表气源的储存与应急供应装置及方法
JP2016161115A (ja) * 2015-03-05 2016-09-05 住友金属鉱山株式会社 圧縮空気供給設備およびその制御方法
CN104832779A (zh) * 2015-05-19 2015-08-12 北京控制工程研究所 一种压力气源系统

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