JP2001261310A - 窒素ガスの製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 窒素ガスを使って、酸化防止の為に空気と入
れ替えたり、樹脂製品を発泡させたり、食品の風味や色
や香りを保持する為に削り節やお茶や紅茶やコーヒをパ
ックに封入する場合、一定の圧力を必要とするが、圧縮
空気を窒素ガス発生装置に通すだけでは、必要とする圧
力を得られない場合が大半であった。 また、窒素ガス
は、ボンベに密閉したものを、持ち運んで使用すること
が多いが、従来の窒素ガス発生装置に圧縮空気を通す方
法だけではボンベに密閉する圧力としては不十分であっ
た。 更に、増圧するにしても、窒素ガス発生装置の直
前でも圧縮空気を増圧することによって、窒素ガスを作
り出す際の効率を高めたいという要望もあった。 【解決手段】 圧縮空気より窒素ガスを作り出す窒素ガ
ス発生装置７を配設した窒素ガスの製造装置においで、
窒素ガス発生装置７の下流に、作り出された窒素ガスを
増圧する増圧弁６１と増圧した窒素ガスを一担貯蔵する
窒素タンク７１を記載の順序で配設した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、窒素ガスの製造方
法および製造装置に関する技術であって、更に詳細に述
べると、窒素ガス発生装置に圧縮空気を通過させて窒素
ガスを作り出すに際し、作り出した窒素ガスを増圧して
貯蔵したり、必要に応じて、窒素ガス発生装置の直前で
増圧したり窒素ガス発生装置の直後で増圧することによ
って、使いやすく且つ安定した窒素ガスを製造する技術
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の、窒素ガスの製造方法および製造
装置に関する技術としては、図５に見られるように、エ
アーコンプレッサ１で作り出された圧縮空気を、主配管
２１から分岐配管２３に分岐させて、個々の機器として
は本願発明に使用している装置と同じ入口バルブ５とエ
アーフィルタ６と窒素ガス発生装置７と減圧弁８と流量
計９と出口バルブ１０より構成されている窒素ガスの製
造装置８２を通過させることで窒素ガス９８を製造し、
この場合には窒素ガスを分離する際に発生した酸素リッ
チガス９６を廃棄していた。

【０００３】また、より効果的に窒素ガスを作り出すた
めに、窒素ガス発生装置７の上流に圧縮空気の温度を高
めるヒーター（具体的に図示せず）を配設している場合
も多かった。

【０００４】尚、窒素ガス発生装置７としては、ガス分
離膜を構成している方式や吸着剤を構成している方式や
深冷法等の色々な方式があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の、窒素ガスの製造方法および製造装置には、
以下に示すような課題があった。

【０００６】第一に、窒素ガスを使って、酸化防止の為
に空気と入れ替えるにしても、樹脂製品を発泡させるに
しても、食品の風味や色や香りを保持する為に削り節や
お茶や紅茶やコーヒをパックに封入するにしても、これ
等の場合には、一定の圧力を必要とするが、圧縮空気を
窒素ガス発生装置に通すだけでは、必要とする圧力を得
られない場合が大半であった。

【０００７】第二に、窒素ガスは、ボンベに密閉したも
のを、持ち運んだり使用することが多かったが、従来の
窒素ガス発生装置に圧縮空気を通す方法だけではボンベ
に密閉する圧力としては不十分であった。

【０００８】第三に、窒素ガス製造と同時に発生した酸
素リッチガスは、大半は使用されることなく廃棄してい
た。第四に、発生した窒素ガスの異物や臭いに関して
は、あまり配慮していなかった。

【０００９】第五に、この様な装置で、窒素ガスを作り
出す効率を考えて、窒素ガス発生装置の直前で圧縮空気
の圧力を高くしたり、作りだした窒素ガスの使用に際し
ての利便性を考えて、窒素ガス発生装置の直後で作り出
された窒素ガスの圧力を高くするという、両方の目的を
兼ね備えた装置というものはなかった。本発明はこのよ
うな課題を解決することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧縮空気が窒
素ガス発生装置７を通過することで窒素ガスを作り出す
窒素ガスの製造方法において、前記窒素ガス発生装置７
を通過させた後に増圧手段６１で増圧することを特徴と
し、更には、圧縮空気が窒素ガス発生装置７を通過する
ことで窒素ガスを作り出す窒素ガスの製造方法におい
て、流路制御手段３１、３２、３３、３４、３５、３６
で流路の開閉を制御することによって、前記窒素ガス発
生装置７を通過させた後に窒素ガスを増圧手段６１で増
圧したり、圧縮空気を前記増圧手段６１で増圧した後に
前記窒素ガス発生装置７を通過させることを特徴とする
ことによって、上記課題を解決した。

【００１１】また、本発明は、圧縮空気より窒素ガスを
作り出す窒素ガス発生装置７を配設した窒素ガスの製造
装置において、前記窒素ガス発生装置７の下流に、作り
出された窒素ガスを増圧する増圧弁６１と増圧した前記
窒素ガスを一担貯蔵するタンク７１を記載の順序で配設
したことを特徴とし、更には、前記窒素ガス発生装置７
の直前に弁３１を前記窒素ガス発生装置７と前記増圧弁
６１の間に弁３２を前記タンク７１の直後に弁３３を配
設し、前記弁３１の直前と前記弁３２と前記増圧弁６１
の間に弁３４を形成した再分岐配管２７を接続し、前記
弁３１と前記窒素ガス発生装置７の間と前記タンク７１
と前記弁３３の間に弁３５を形成した再分岐配管２８を
接続し、前記窒素ガス発生装置７と前記弁３２の間と前
記弁３３の直後に弁３６を形成した再分岐配管２９を接
続したことを特徴とし、更には、前記窒素ガス発生装置
７の上流に、大きい異物を除去するエアーフィルタ６と
小さい異物を除去するミクロミストフィルタ４１を記載
の順序で配設したことを特徴とし、更には、前記ミクロ
ミストフィルタ４１と前記窒素ガス発生装置７の間また
は前記窒素ガス発生装置７の下流の何れかに、前記圧縮
空気内の臭いを除去する活性炭フィルタ４２、４５を配
設したことを特徴とし、更には、前記窒素ガス発生装置
７の上流に、前記圧縮空気を乾燥させる乾燥装置７４を
配設し、前記タンク７１の下流の出口バルブ１０近傍
に、増圧した前記窒素ガスの圧力を調整する減圧弁８を
配設したことを特徴とすることによって、上記課題を解
決した。

【００１２】

【発明の実施の形態】本願発明による、窒素ガスの製造
方法および製造装置の実施の形態を図面と共に詳細に説
明する。ここで、図１は、本願発明を示した図であり、
図２は、本願発明の別の実施形態を示した図であり、図
３は、本願発明の更に別の実施形態を示した図であり、
図４は、本願発明に使用している増圧弁の構造を示した
図である。

【００１３】図１で、１は圧縮空気を作り出すエアーコ
ンプレッサであり、具体的に図示をしてはいないが、圧
縮機本体と電動機から構成され、圧縮機本体に形成され
た空気取入口から大気９１を吸い込むようになってい
る。

【００１４】更に、エアーコンプレッサ１には主配管２
１が接続していて、その主配管２１には、圧縮空気を貯
蔵するエアータンク２と、圧縮空気を冷凍することによ
って乾燥させる冷凍式エアードライヤ３と、圧縮空気内
の異物を除去するエアーフィルタ４を配設することによ
って、乾燥して異物の除去された圧縮空気９２が、主配
管２１の末端で各種の空圧機器を作動することが出来る
ように供給可能となっている。

【００１５】尚、これ等の機器２、３、４の下部には、
各々、具体的には図示してはいないが、圧縮空気より発
生したドレンを排出するドレン抜き弁やドレントラップ
を、両方共、または、何れか一方のみを接続している。
更に、エアータンク２はエアーコンプレッサ１と一体
になっていることもあるし、他の所に位置している場合
もある。

【００１６】一方、主配管２１からは分岐配管２２が分
岐している。 この場合、図１においては、分岐配管２
２は一系列しか記載されていないが、並列して各々の構
成を変えた複数系列の分岐配管を接続することも可能で
ある。 ここで、分岐配管２２には、窒素ガスの製造装
置８１を配設していて、分岐配管２２の末端では増圧窒
素９５と、分岐配管２２より更に分岐した酸素配管２４
の末端では増圧酸素９４が使用出来るようになってい
る。

【００１７】この場合、窒素ガスの製造装置８１は、流
路を開閉する入口バルブ５と、圧縮空気内に存在する３
μ以上の大きい異物を除去するエアーフィルタ６と、圧
縮空気内に存在する０．０１μ以上の小さい異物を除去
するミクロミストフィルタ４１と、圧縮空気内の臭いを
除去する活性炭フィルタ４２と、圧縮空気を乾燥させる
乾燥装置７４と、圧縮空気から窒素ガスを分離する窒素
ガス発生装置７と、発生した窒素ガスを増圧する増圧弁
６１と、増圧した窒素ガスを貯蔵するタンク７１と、作
り出された窒素ガスを使用する目的の各種機器の圧力に
調整する減圧弁８と、窒素ガスの流量を測定する流量計
９と、流路を開閉する出口バルブ１０から構成されてい
る。

【００１８】但し、エアーフィルタ６とミクロミストフ
ィルタ４１の能力については、３μと０．０１μにこだ
わる必要は無いが、能力差のかなり異なる２種のフィル
タ６、４１を連続して使用することが大切なことであ
る。

【００１９】尚、乾燥装置７４は、冷却によるものや中
空糸によるものや乾燥剤によるもの等色々な方法が考え
られる。 但し、図１では具体的には記載していない
が、中空糸によるものを示していて、湿気の多い圧縮空
気９３が排出されるようになっていて、分岐配管２２上
では、乾燥した圧縮空気が供給されることによって湿気
による不具合が以降の各種機器で発生するのを防止して
いる。

【００２０】また、窒素ガス発生装置７としては、ガス
分離膜を構成している方式や吸着剤を構成している方式
や深冷法等の色々な方式が考えられる。 但し、図１で
は具体的には記載していないが、中空糸等によるガス分
離膜を構成している方式のものを示していて、圧縮空気
から分離した酸素は、酸素リッチガスとして排出される
ようになっている。

【００２１】ここで、窒素ガス発生装置７には、分岐配
管２２とは別に酸素配管２４が接続していて、その酸素
配管２４には窒素ガス発生装置７より排出された酸素リ
ッチガスを酸素ガスとして使用可能な圧力である０．０
５ＭＰａないし０．３ＭＰａに増圧する増圧弁７６と、
増圧した酸素リッチガスを一担貯蔵する酸素タンク７７
を記載の順序で配設している。

【００２２】ところで、酸素ガスは、０．０５ＭＰａな
いし０．３ＭＰａにまで増圧するのが望ましい。 その
理由としては、酸素ガスがある程度の圧力にまでなって
いないと、使用する場所に供給することすら出来ないか
らである。

【００２３】この場合、酸素タンク７７の下部には、酸
素リッチガスより発生して酸素タンク７７内に溜まった
油を含むドレンを排出するドレン抜き弁７８が配設され
ている。 この様にして、酸素タンク７７からは、容易
に増圧酸素９４を取り出すことが可能となっている。
尚、増圧弁７６に替えてエアーコンプレッサを設けるこ
とも考えられる。

【００２４】次に、増圧手段である増圧弁６１の構造を
示す。 先ず、図４に見られるように、増圧弁６１は、
室イ６２Ａと中央部６２Ｂと室ロ６２Ｃから成る増圧弁
本体６２と、ピストンい６３Ａとピストンロッド６３Ｂ
とピストンろ６３Ｃから成るピストン６３と、ガバナ６
４と、切換バルブ６５と、４組のチェック弁６６Ａ、６
６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｄから構成されている。 ここにお
いて、増圧弁本体６２の中央部６２Ｂには、真ん中をピ
ストンロッド６３Ｂが摺動可能に形成されていて、ガバ
ナ６４と、切換バルブ６５と、４組のチェック弁６６
Ａ、６６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｄと、その他の窒素ガスを通
す配管が収納されている。

【００２５】また、ピストン６３は、ピストンい６３Ａ
が室イ６２Ａの全ストロークを作動する間に、ピストン
ろ６３Ｃが室ロ６２Ｃの全ストロークを作動するように
配設されている。 即ち、室イ６２Ａのストロークと室
ロ６２Ｃのストロークが同一に設定されている。

【００２６】更に、ピストンい６３Ａが室イ６２Ａ内を
作動する過程で、ピストンい６３Ａは、室イ６２Ａを、
ピストンロッド６３Ｂと反対側の駆動室イ６２ＡＡとピ
ストンロッド６３Ｂ側の増圧室イ６２ＡＢに分け、ピス
トンろ６３Ｃが室ロ６２Ｃを作動する過程で、ピストン
ろ６３Ｃは、室ロ６２Ｃを、ピストンロッド６３Ｂと反
対側の駆動室ロ６２ＣＢとピストンロッド６３Ｂ側の増
圧室ロ６２ＣＡに分けている。

【００２７】尚、図４に示している増圧弁６１はピスト
ンい６３Ａの断面積とピストンろ６３Ｃの断面積を等し
くしている。 一方、図に示してはいないが、別の増圧
弁６１の構造として、ピストンい６３Ａの断面積とピス
トンろ６３Ｃの断面積を異なるようにし、増圧室イ６２
ＡＢを駆動室ロ６２ＣＢとして使用し駆動室ロ６２ＣＢ
を増圧室イ６２ＡＢとして使用するように各々を入れ替
えて、ＩＮに接続したチェック弁６６ＡとＯＵＴに接続
したチェック弁６６Ｃを増圧室イ６２ＡＢに接続し、Ｉ
Ｎに接続したチェック弁６６ＢとＯＵＴに接続したチェ
ック弁６６Ｄを増圧室ロ６２ＣＡに接続することによっ
て、流量特性を中心に圧力特性や充填特性を変えること
が出来るものも考えられる。

【００２８】ところで、窒素ガスは、１ＭＰａないし１
０ＭＰａにまで増圧するのが望ましい。 その理由とし
ては、窒素ガスがある程度の圧力になっていないと、酸
化防止の為に空気と入れ替えるにしても、樹脂製品を発
泡させるにしても、食品の風味や色や香りを保持する為
に削り節やお茶や紅茶やコーヒをパックに封入するにし
ても目的を達成することができないし、場合によって
は、ボンベに密閉して使用したいということもある。
従って、使用目的によっては、大気圧より少し高い程度
でも良いし、超高圧のボンベに密閉するということを考
えると、更に上を言えば２０ＭＰａということも考えら
れる。

【００２９】また、タンク７１は分岐配管２２の末端で
安定した状態で窒素ガス９５を供給するために配設した
ものであり、タンク７１の下部には、窒素ガスより発生
してタンク７１内に溜まった油を含むドレンを外部に排
出するためのドレン抜き弁７２を配置している。

【００３０】本発明による、窒素ガスの製造方法および
製造装置は、前述したように構成されており、以下に、
その動作について説明する。

【００３１】先ず、電源が入ってエアーコンプレッサ１
が作動すると、空気取入口より大気９１を吸引し、圧縮
空気が作り出される。 そこで、作り出された圧縮空気
は、密閉されたエアータンク２に一担貯蔵されるように
なっている。 この場合、主配管２１の末端で各種の空
圧機器が作動して圧縮空気９２が必要になったり、分岐
配管２２の末端で増圧窒素９５が必要になったり、酸素
配管２４の末端で増圧酸素９４が必要になると、エアー
タンク２から圧縮空気が流出し、冷凍式エアードライヤ
３とエアーフィルタ４を経由することによって乾燥して
異物の除去された圧縮空気９２が得られるようになって
いる。

【００３２】ここで、主配管２１に向かった圧縮空気
は、そのまま圧縮空気９２として使用される。 一方、
分岐配管２２に向かった圧縮空気は、窒素ガスの製造装
置８１を経由することによって増圧窒素９５や増圧酸素
９４を作り出すようになっている。

【００３３】尚、窒素ガスの製造装置８１では、入口バ
ルブ５を経由した後、エアーフィルタ６で大きな異物を
除去された圧縮空気は、ミクロミストフィルタ４１で小
さな異物を除去し、活性炭フィルタ４２で圧縮空気内の
臭いを除去し、乾燥装置７４で圧縮空気内の水分を除去
して、窒素ガス発生装置７に異物と臭いが除去され乾燥
した状態の圧縮空気を送り込んでいる。

【００３４】ここで、窒素ガス発生装置７に送り込まれ
た圧縮空気は、窒素ガスを分離して酸素リッチガスを排
出し、分離された窒素ガスは増圧弁６１に送り込まれる
ようになっている。

【００３５】次に、増圧弁６１では、先ずＩＮから一次
側の窒素ガスが、チェック弁６６Ａ、６６Ｂから増圧室
イ６２ＡＢと増圧室ロ６２ＣＡに通じている。 一方、
ガバナ６４と切換バルブ６５を経由して駆動室ロ６２Ｃ
Ｂに窒素ガスが供給される。すると、駆動室ロ６２ＣＢ
と増圧室イ６２ＡＢの窒素ガスがピストン６３に作用
し、増圧室ロ６２ＣＡの窒素ガスを増圧する。 そこ
で、ピストン６３が作動することで増圧した窒素ガスを
チェック弁６６ＤからＯＵＴ（二次側）の方に送り出す
ようになっている。

【００３６】更に、ピストン６３がストロークエンドに
来ると、切換バルブ６５は、駆動室ロ６２ＣＢが排気、
駆動室イ６２ＡＡが供給の状態に切換わる。 すると、
ピストン６３が反転し、こんどは増圧室ロ６２ＣＡと駆
動室イ６２ＡＡの圧力で、増圧室イ６２ＡＢの窒素ガス
を増圧しながらＯＵＴ（二次側）の方に送り出す。この
様にして、以上のことを繰り返しながらＯＵＴにＩＮよ
り高い圧力の窒素ガスを連続的に供給するようになって
いる。

【００３７】この場合、二次圧をフィードバックさせて
いるガバナ６４機構のハンドル操作て、二次圧を任意に
設定することが出来るようになっている。 尚、各々の
ピストン６３Ａ、 ６３Ｃの断面槓を変え増圧弁イ６２
ＡＢと駆動室ロ６２ＣＡの位置を相互に入れ替えた場合
の動作に関しても前述と同じ働きをする。

【００３８】この様にして、窒素ガスを増圧する理由
は、窒素ガスがある程度の圧力になっていないと、酸化
防止の為に空気と入れ替えるにしても、樹脂製品を発泡
させるにしても、食品の風味や色や香りを保持する為に
削り節やお茶や紅茶やコーヒをパックに封入するにして
も目的を達成することが出来ない為である。 また、窒
素ガスを運搬する為には、ボンベに密閉したらより便利
であるという理由によることでもある。

【００３９】最後に、増圧弁６１によって増圧された圧
縮空気は、タンク７１に一担貯蔵することで、使用する
機器に窒素ガスを供給する過程で脈動が発生するのを防
止している。 また、タンク７１からの増圧された窒素
ガスは、減圧弁８によって一定の圧力に減圧された後、
流量計９と出口バルブ１０を経由して増圧窒素９５とし
て使用される。

【００４０】一方、窒素ガス発生装置７より排出された
酸素リッチガスは、窒素ガス発生装置７に接続している
酸素配管２４に送り込まれ、増圧弁７６で所定の圧力に
増圧された後、一担酸素タンク７７に貯蔵され、必要に
応じて増圧酸素９４として使用される。

【００４１】尚、図２には本願発明の別の実施形態を示
している。 この場合、この別の実施形態が図１に示さ
れる実施形態と異なっている点は、図１に於ける、タン
ク７１と減圧弁８の間に、窒素ガス内の３μ以上の大き
い異物を除去するエアーフィルタ４３と、窒素ガス内の
０．０１μ以上の小さい異物を除去するミクロミストフ
ィルタ４４と、窒素ガス内の臭いを除去する活性炭フィ
ルタ４５を記載の順序て配設したことである。

【００４２】このように窒素ガスの製造装置８３を構成
することで、増圧弁６１が作動することによって発生し
た異物や臭いもほぼ完全に除去出来るようになり、増圧
窒素９７を食料品や医療や薬品・・・等の異物や臭いを
特に問題とする分野でも使用出来る最善なものとなっ
た。

【００４３】また、図３には本願発明の更に別の実施形
態を示している。 この場合、更に別の実施形態が図１
に示される実施形態と異なっている点は、図１に於け
る、窒素ガス発生装置７と増圧弁６１とタンク７１の近
傍に、以下に示す機器を配設したことである。

【００４４】即ち、乾燥装置７４と窒素ガス発生装置７
の間に弁３１を、窒素ガス発生装置と増圧弁６１の間に
弁３２を、タンク７１と減圧弁８の間に弁３３を配設
し、乾燥装置７４と弁３１の間と弁３２と増圧弁６１の
間に弁３４を形成した再分岐配管２７を接続し、弁３１
と窒素ガス発生装置７の間とタンク７１と弁３３の間に
弁３５を形成した再分岐配管２８を接続し、窒素ガス発
生装置７と弁３２の間と弁３３と減圧弁８の間に弁３６
を形成した再分岐配管２９を接続していることである。

【００４５】従って、このように接続することによっ
て、流路制御手段である弁３１、３２、３３で流路を開
放する制御をして流路制御手段である弁３４、３５、３
６で流路を閉鎖する制御をすると、図１に示される実施
形態と同一の働きをすることが出来るようになる。 即
ち、窒素ガス発生装置７で発生した窒素ガスを増圧弁６
１で増圧してタンク７１に貯蔵することが可能な構成と
なっている。

【００４６】一方、流路制御手段である弁３１、３２、
３３で流路を閉鎖する制御をして流路制御手段である弁
３４、３５、３６で流路を開放する制御をすると、圧縮
空気を増圧弁６１で増圧して後タンク７１にひとまず貯
蔵し増圧された圧縮空気を窒素ガス発生装置７を通過さ
せることが可能な構成となっている。

【００４７】このように、時には、増圧された圧縮空気
が窒素ガス発生装置７を通過することが可能となること
によって、例えば、ガス分離膜による窒素ガス発生装置
７の場合、圧力が高い程窒素ガスの分離能力が向上する
ことから、同じ能力のエアーコンプレッサ１でも、圧縮
空気を更に増圧することによって窒素ガスを作り出す能
力が格段に向上した。

【００４８】尚、流路制御手段に関しては、弁３１、３
２、３３、３４、３５、３６によるものを図３に記載し
ているが、この他にも、増圧弁６１にこの機能を組み込
んだり、この機能を分岐を選択することによって達成す
る・・・等、色々な方法が考えられる。

【００４９】当然、図２に示される別の実施形態と、図
３に示される更に別の実施形態は、乾燥装置７４を含め
それより上流の各機器に関しては、図１に示す実施形態
と同じ働きをする。

【００５０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
により、下記のような効果をあげることができる。

【００５１】第一に、窒素ガスを使って、酸化防止の為
に空気と入れ替えるにしても、樹脂製品を発泡させるに
しても、食品の風味や色や香りを保持する為に削り節や
お茶や紅茶やコーヒをパックに封入するにしても目的を
達成する為に一定の圧力を必要とするが、必要とする圧
力を自由に得られるようになった。

【００５２】第二に、窒素ガスは、ボンベに密閉したも
のを持ち運んだり使用することが多かったが、自由に窒
素ガスをボンベに充填出来る圧力まて高めることが出来
るようになった。

【００５３】第三に、従来廃棄していた酸素リッチガス
も廃棄しないで使用出来るようになった。第四に、発生
した窒素ガスの異物や臭いに関し、相当に配慮したこと
により、食品や医療や薬品・・・等の分野でも安心して
使用可能な装置となった。

【００５４】第五に、一組の増圧弁を設置するだけで、
必要に応じて、窒素ガス発生装置の前後の両方で気体を
増圧することが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明を示した図

【図２】本願発明の別の実施形態を示した図

【図３】本願発明の更に別の実施形態を示した図

【図４】本願発明に使用している増圧弁の構造を示した
図

【図５】従来の内容を示した図

【符号の説明】

１・・・・・・エアーコンプレッザ ２・・・・・・エアータンク ３・・・・・・冷凍式エアードライヤ ４・・・・・・エアーフィルタ ５・・・・・・入口バルブ ６・・・・・・エアーフィルタ ７・・・・・・窒素ガス発生装置 ８・・・・・・減圧弁 ９・・・・・・流量計 １０・・・・・出口バルブ ２１・・・・・主配管 ２２・・・・・分岐配管 ２３・・・・・分岐配管 ２４・・・・・酸素配管 ２５・・・・・分岐配管 ２６・・・・・分岐配管 ２７・・・・・再分岐配管 ２８・・・・・再分岐配管 ２９・・・・・再分岐配管 ３１・・・・・弁（流路開閉手段） ３２・・・・・弁（流路開閉手段） ３３・・・・・弁（流路開閉手段） ３４・・・・・弁（流路開閉手段） ３５・・・・・弁（流路開閉手段） ３６・・・・・弁（流路開閉手段） ４１・・・・・ミクロミストフィルタ ４２・・・・・活性炭フィルタ ４３・・・・・エアーフィルタ ４４・・・・・ミクロミストフィルタ ４５・・・・・活性炭フィルタ ６１・・・・・増圧弁（増圧手段） ６２・・・・・増圧弁本体 ６２Ａ・・・・室イ ６２ＡＡ・・・駆動室イ ６２ＡＢ・・・増圧室イ ６２Ｂ・・・・中央部 ６２Ｃ・・・・室ロ ６２ＣＡ・・・増圧室ロ ６２ＣＢ・・・駆動室ロ ６３・・・・・ピストン ６３Ａ・・・・ピストンい ６３Ｂ・・・・ピストンロッド ６３Ｃ・・・・ピストンろ ６４・・・・・ガバナ ６５・・・・・切換バルブ ６６Ａ・・・・チェック弁 ６６Ｂ・・・・チェック弁 ６６Ｃ・・・・チェック弁 ６６Ｄ・・・・チェック弁 ７１・・・・・タンク ７２・・・・・ドレン抜き弁 ７４・・・・・乾燥装置 ７６・・・・・増圧弁 ７７・・・・・酸素タンク ７８・・・・・ドレン抜き弁 ８１・・・・・窒素ガスの製造装置 ８２・・・・・窒素ガスの製造装置 ８３・・・・・窒素ガスの製造装置 ８４・・・・・窒素ガスの製造装置 ９１・・・・・大気 ９２・・・・・圧縮空気 ９３・・・・・湿気の多い圧縮空気 ９４・・・・・増圧酸素 ９５・・・・・増圧窒素 ９６・・・・・酸素リッチガス ９７・・・・・増圧窒素 ９８・・・・・窒素ガス ９９・・・・・窒素ガス

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧縮空気が窒素ガス発生装置（７）を通
   過することで窒素ガスを作り出す窒素ガスの製造方法に
   おいて、前記窒素ガス発生装置（７）を通過させた後に
   増圧手段（６１）で増圧することを特徴とする窒素ガス
   の製造方法。
2. 【請求項２】 圧縮空気が窒素ガス発生装置（７）を通
   過することで窒素ガスを作り出す窒素ガスの製造方法に
   おいて、流路制御手段（３１、３２、３３、３４、３
   ５、３６）で流路の開閉を制御することによって、前記
   窒素ガス発生装置（７）を通過させた後に窒素ガスを増
   圧手段（６１）で増圧したり、圧縮空気を前記増圧手段
   （６１）で増圧した後に前記窒素ガス発生装置（７）を
   通過させることを特徴とする窒素ガスの発生方法。
3. 【請求項３】 圧縮空気より窒素ガスを作り出す窒素ガ
   ス発生装置（７）を配設した窒素ガスの製造装置におい
   て、前記窒素ガス発生装置（７）の下流に、作り出され
   た窒素ガスを増圧する増圧弁（６１）と増圧した前記窒
   素ガスを一担貯蔵するタンク（７１）を記載の順序で配
   設したことを特徴とする窒素ガスの製造装置。
4. 【請求項４】 前記窒素ガス発生装置（７）の直前に弁
   （３１）を前記窒素ガス発生装置（７）と前記増圧弁
   （６１）の間に弁（３２）を前記タンク（７１）の直後
   に弁（３３）を配設し、前記弁（３１）の直前と前記弁
   （３２）と前記増圧弁（６１）の間に弁（３４）を形成
   した再分岐配管（２７）を接続し、前記弁（３１）と前
   記窒素ガス発生装置（７）の間と前記タンク（７１）と
   前記弁（３３）の間に弁（３５）を形成した再分岐配管
   （２８）を接続し、前記窒素ガス発生装置（７）と前記
   弁（３２）の間と前記弁（３３）の直後に弁（３６）を
   形成した再分岐配管（２９）を接続したことを特徴とす
   る請求項、３に記載の窒素ガスの製造装置。
5. 【請求項５】 前記窒素ガス発生装置（７）の上流に、
   大きい異物を除去するエアーフィルタ（６）と小さい異
   物を除去するミクロミストフィルタ（４１）を記載の順
   序で配設したことを特徴とする請求項３または請求項４
   に記載の窒素ガスの製造装置。
6. 【請求項６】 前記ミクロミストフィルタ（４１）と前
   記窒素ガス発生装置（７）の間または前記窒素ガス発生
   装置（７）の下流の何れかに、前記圧縮空気内の臭いを
   除去する活性炭フィルタ（４２、４５）を配設したこと
   を特徴とする請求項５に記載の窒素ガスの製造装置。
7. 【請求項７】 前記窒素ガス発生装置（７）の上流に、
   前記圧縮空気を乾燥させる乾燥装置（７４）を配設し、
   前記タンク（７１）の下流の出口バルブ（１０）近傍
   に、増圧した前記窒素ガスの圧力を調整する減圧弁
   （８）を配設したことを特徴とする請求項３ないし請求
   項６いずれか１項に記載の窒素ガスの製造装置。