JPS5879949U - イオン源 - Google Patents

イオン源

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Publication number
JPS5879949U
JPS5879949U JP17518881U JP17518881U JPS5879949U JP S5879949 U JPS5879949 U JP S5879949U JP 17518881 U JP17518881 U JP 17518881U JP 17518881 U JP17518881 U JP 17518881U JP S5879949 U JPS5879949 U JP S5879949U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion source
base
neutral particles
speed
speed neutral
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17518881U
Other languages
English (en)
Inventor
統広 内藤
内藤　善博
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
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Pending legal-status Critical Current

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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
添付図面は本考案の一実施例を示す図である。　−１：
イオン銃、２：衝突室、３：静電偏向板、４：イオン化
箱、５：パイプ、６：基台、７：絶縁体、８：試料導入
棒、９：真空室、１０ａ、１０ｂ：支柱、１１：電極、
１２：電源、１３：分圧器、１４，１５゜１６．１７：
イオン引出し電極、１８：スイッチ、１９：負電源、２
０：ターゲット、２１：試料、Ｗ：ワーイヤー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 高速の中性粒子を発生するための中性粒子源と、該高速
    の中性粒子が照射されるターゲット部を有する基台と、
    該基台に支持された部材とを備え、該部材に電界を集中
    し得るように構成したイオン源。
JP17518881U 1981-11-25 1981-11-25 イオン源 Pending JPS5879949U (ja)

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JP17518881U JPS5879949U (ja) 1981-11-25 1981-11-25 イオン源

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JP17518881U JPS5879949U (ja) 1981-11-25 1981-11-25 イオン源

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JPS5879949U true JPS5879949U (ja) 1983-05-30

Family

ID=29967459

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JP17518881U Pending JPS5879949U (ja) 1981-11-25 1981-11-25 イオン源

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