JPS5876710A - 表面粗さ測定装置 - Google Patents

表面粗さ測定装置

Info

Publication number
JPS5876710A
JPS5876710A JP17694881A JP17694881A JPS5876710A JP S5876710 A JPS5876710 A JP S5876710A JP 17694881 A JP17694881 A JP 17694881A JP 17694881 A JP17694881 A JP 17694881A JP S5876710 A JPS5876710 A JP S5876710A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
circuit
sample
hold
log
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17694881A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshinori Inoue
敏範 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP17694881A priority Critical patent/JPS5876710A/ja
Publication of JPS5876710A publication Critical patent/JPS5876710A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は原木をロータリスライスして形成す(1) るつき板単板等の表面粗度を測定する表面粗さ測定装置
に関するものである。
従来より、つき板単板等の被検査物の表面粗さを測定す
るには、レーザー光や白色光を被検査物表面に照射し、
その反射光や回折像を利用して行なっていた。しかし、
この方式では、被検査物表面の色や光沢、特に被検査物
が木材である場合には含水率の大小によって誤差が生じ
、また色柄のあるものについては製着が特に大きくなる
という問題を有していた。
したがって、この発明の目的は、被検査物表面の色模様
や含水率の影響をうけずに精度良〈表面粗さを測定でき
る表面粗さ測定装置を提供することである。
この発明の一実施例を第1図ないし第5図を用いて説明
する。すなわち、この表面粗さ測定装置は、第1図に示
すように、レーザー光1を一定照射幅の平行光線2に変
えるコリメータ3と、スリガラス4と、対物レンズ5と
、ITVカメラ6と、2値化回路7と、基準電圧発生回
路8と、サンプ(2) ルホールド回路9と、バイパスフィルタ回路10と、表
面粗度測定回路11からなる。
この装置による表面粗さの測定はつぎのようにして行な
う。すなわち、矢符A方向に回転駆動した原木丸太12
をナイフ13で切削してつき板単板14を形成する一方
、コリメータ3でレーザー光1を一定幅をもつ平行光線
2に変えて、その平行光線2を、その下半部が丸太12
の表面を照明するとともに−F半部が丸太12の上方を
通過するように、丸太表面の接線方向に照射し、丸太表
面の上方を通過した光を、スリガラス4上に結像させる
。この場合、スリガラス4に生じた投影像はガラスの裏
面側からも明確にとらえろことができる。
そして、このスリガラス4上の投影像を、対物レンズ5
により拡大してITVカメラ6で撮像する。
すなわち、第2図はスリガラス4上の投影像を示I7た
もので、同図において斜線領域が原木丸太12により光
2が遮ぎられた暗部15を示し、その上方の非斜線領域
が光2が遮ぎられ々かった明部16を示す。そして、I
TVカメラ6の走査線17を、投影像の暗部15から明
部16に向う方向に走査するようにセットして、その走
査線17を明暗境界線18の一端から他端にかけて順番
にずらしながら1回走査させていくことにより投影像の
全体を撮像する。第3図(a)はITVカメラ6の出力
信号19を示し、20は暗部15に対応する波形、21
は明部16に対応する波形をそれぞれ示す。
この出力信号19は2値化回路7に入力し、しきい値レ
ベル22(第3図(a))で2値化して、第3図(h)
に示す「ロー」信号23と「ハイ」信号24からなる2
値化信号25を得る。そして、この2値化信号25をサ
ンプルホールド回路9に入力し、「ロー」信f23から
「ハイ」信号24への切替時に第3図(C)に示すサン
プルホールド信号26を発生させる。一方、基準電圧発
生回路8においては、ITVカメラ6の走査線17のn
回の走査に対応して、第3図(d)に示すように直線的
に漸増する基準電圧27をそれぞれn回発生させ、これ
をサンプルホールド回路9へ入力する。そして、サンプ
ルホールド回路9においては、上記サンプルホールド信
号26(第3図(C))により、その信号発生時に対応
するホールド電圧Vを各走査線17ごとにそれぞれホー
ルドして、第4図に示すホールド電圧信号28を得る。
このホールド電圧信号28は、ITVカメラ6の一画面
分のホールド電圧V工〜vn(voは第1番目の走査線
17に対応するホールド電圧、vnは第n番目の走査線
17に対応するホールド電圧)の変化を表わしたもので
、その電圧変動は原木表面の凹凸形状と合致している。
そして、このホールド電圧信号28をバイパスフィルタ
回路10に入力して直流分を除去してから、その出力電
圧を表面粗度測定回路11へ入力する。
この場合、バイパスフィルタ回路10から出力される出
力電圧と表面粗度との関係は、第5図に示すように出力
電圧が増すにつれて表面粗度が比例的に増大し、した7
5:ってその出力電圧を表面粗度測定回路11で測定す
ることにより、表面粗度の程度を求めることができる。
このように、平行光線2を丸太表面の接線方向に投射す
ることによりスリガラス4上に結像させた投影像を用い
て表面粗さを測定するようにしたため、丸太表面の色模
様や含水率に影響されずに精度良く表面粗さを測定する
ことができる。また、ITVカメラ6.2値化回路7.
サンプルホールド回路9.基準電圧発生回路8.ハイバ
ヌフィルり回路10により、丸太表面の凹凸形状を電気
信号に簡単に変換することができ、表面粗度測定回路1
1により電圧のレベルで表面粗度を正確に測定できる。
なお、上記実施例においては、被検査物表面をスリガラ
ス4上に投影してその裏面側からITVカメラ6で撮像
したが、投影面の構成部材は特に限定せず、またITV
カメラ6の撮像方向も裏面側に限定せず投影面の表面側
から撮像するようにしてもよい。さらにITVカメラ6
の走査線17の走査方向を上記実施例では暗部15から
明部16に向かう方向に定めたが、その逆に設定しても
よく、要するに走査線17を明暗部境界線18の垂直方
向へ走査させればよい。
以上のように、この発明の表面粗さ測定装置は、平行光
線により被検査物表面を投影する投影面と、この投影面
に投影した被検査物表面に垂直な方向に走査して撮像す
るTVカメラと、このTVカメラの輝度信号を2[化す
る2値化回路と、各走査線ごとに各走査線の走査に対応
して直線的に漸増する基準電圧を発生する基準電圧発生
回路と、前記2値化回路の出力信号が切替ったときサン
プルホールド信号を発生してその信号発生時に対応する
前記基準電圧発生回路の電圧をホールドするサンプルホ
ールド回路と、このサンプルホールド回路のホールド電
圧の直流分をカットするバイパスフィルタ回路と、この
バイパスフィルタ回路の出力電圧を測定して表面粗度を
求める表面粗度測定回路とを備えたため、被検査物表面
の色模様や含水率の影響をうけずに精度良〈表面粗さを
測定できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例の構成図、第2図は投影像
と走査線の関係を表示する図、第3図は−ルド電圧との
関係特性図、第5図は出力電圧と表面粗度との関係特性
図である。 2・・・平行光線、4・・・スリガラス(投影面)、6
・・・ITVカメラ、7・・・2値化回路、8・・・基
準電圧発生回路、9・・・サンプルホールド回路、10
・・・ハイパヌフィルり回路、11・・・表面粗度測定
回路第1図 第2図      第3図 第4図      第5図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 平行光線により被検査物表面を投影する投影面と、この
    投影面に投影した被検査物表面に垂直な方向に走査して
    撮像するTVカメラと、このTVカメラの輝度信号を2
    値化する2値化回路と、各走査線ごとに各走査線の走査
    に対応して直線的に漸増する基型電圧を発生する基準電
    圧発生回路と、前記2値化回路の出力信号が切替ったと
    きサンプルホールド信号を発生してその信号発生時に対
    応する前記基準電圧発生回路の電圧をホールドするサン
    プルホールド回路と、このサンプルホールド回路のホー
    ルド電圧の直流分をカットするバイパスフィルタ回路と
    、このバイパスフィルり回路の出力電圧を測定して表面
    粗度を求める表面粗度混1定回路とを備えた表面粗さ測
    定装置。
JP17694881A 1981-10-31 1981-10-31 表面粗さ測定装置 Pending JPS5876710A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17694881A JPS5876710A (ja) 1981-10-31 1981-10-31 表面粗さ測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17694881A JPS5876710A (ja) 1981-10-31 1981-10-31 表面粗さ測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5876710A true JPS5876710A (ja) 1983-05-09

Family

ID=16022526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17694881A Pending JPS5876710A (ja) 1981-10-31 1981-10-31 表面粗さ測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5876710A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59167866A (ja) * 1983-03-11 1984-09-21 Mitsubishi Electric Corp 磁気録画再生装置のテ−プ停止位置検知装置
JPS59167865A (ja) * 1983-03-11 1984-09-21 Mitsubishi Electric Corp 磁気録画再生装置のテ−プ停止位置検知装置
JPS59201257A (ja) * 1983-04-29 1984-11-14 Mitsubishi Electric Corp 磁気テ−プ停止位置検知装置
JPH04131710U (ja) * 1991-05-27 1992-12-04 三菱自動車工業株式会社 ワーク形状識別装置
JP2008070164A (ja) * 2006-09-12 2008-03-27 Inoac Corp ローラの検査方法
CN107036560A (zh) * 2016-11-09 2017-08-11 上海理工大学 光学玻璃精密磨削加工的表面粗糙度检测方法
CN109724543A (zh) * 2018-12-29 2019-05-07 南京林业大学 一种快速评价木材铣削加工性能的方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59167866A (ja) * 1983-03-11 1984-09-21 Mitsubishi Electric Corp 磁気録画再生装置のテ−プ停止位置検知装置
JPS59167865A (ja) * 1983-03-11 1984-09-21 Mitsubishi Electric Corp 磁気録画再生装置のテ−プ停止位置検知装置
JPH0315273B2 (ja) * 1983-03-11 1991-02-28 Mitsubishi Electric Corp
JPH0315272B2 (ja) * 1983-03-11 1991-02-28 Mitsubishi Electric Corp
JPS59201257A (ja) * 1983-04-29 1984-11-14 Mitsubishi Electric Corp 磁気テ−プ停止位置検知装置
JPH0316705B2 (ja) * 1983-04-29 1991-03-06 Mitsubishi Electric Corp
JPH04131710U (ja) * 1991-05-27 1992-12-04 三菱自動車工業株式会社 ワーク形状識別装置
JP2008070164A (ja) * 2006-09-12 2008-03-27 Inoac Corp ローラの検査方法
CN107036560A (zh) * 2016-11-09 2017-08-11 上海理工大学 光学玻璃精密磨削加工的表面粗糙度检测方法
CN107036560B (zh) * 2016-11-09 2019-04-19 上海理工大学 光学玻璃精密磨削加工的表面粗糙度检测方法
CN109724543A (zh) * 2018-12-29 2019-05-07 南京林业大学 一种快速评价木材铣削加工性能的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5876710A (ja) 表面粗さ測定装置
KR890017545A (ko) 반도체장치의 수지모울드의 외관검사방법과 그 외관검사장치
JP4215220B2 (ja) 表面検査方法及び表面検査装置
UST102104I4 (en) Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices
US4764017A (en) Method for identifying timber surface properties
US6137894A (en) On-line method for determining the wood-bark ratio from a flow of material
JPH0544961B2 (ja)
JPS6061648A (ja) パタ−ン検出装置
HK52292A (en) Process for measuring lengths using a photo-sensitive array camera
JPH0711410B2 (ja) 部品検査装置
JP3400493B2 (ja) プリント基板上の物体の高さ検査装置
JPS59201176A (ja) 刻印情報読取り方法
JPS61225604A (ja) 寸法測定方法
JPS6152979B2 (ja)
JPS5536730A (en) Displaced position detector
JPS6335428B2 (ja)
JPS6418071A (en) Detecting apparatus for voltage
JPS63316184A (ja) プリント基板パタ−ンの光学的読取方式
JPS62299705A (ja) 実装部品検査装置
JPH02278105A (ja) 半田付検査装置
JPS5858404A (ja) 信号の浮動2値方式
GB2114285A (en) Optical inspection of machined surfaces
JPS61126405A (ja) 位置検査装置
JPS5648508A (en) Measuring device for edge tilting angle
JPH0136058B2 (ja)