JPS58762A - ガスレ−トセンサ - Google Patents
ガスレ−トセンサInfo
- Publication number
- JPS58762A JPS58762A JP56098620A JP9862081A JPS58762A JP S58762 A JPS58762 A JP S58762A JP 56098620 A JP56098620 A JP 56098620A JP 9862081 A JP9862081 A JP 9862081A JP S58762 A JPS58762 A JP S58762A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezo
- vibrator
- current
- difference
- rate sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガス流の変位を検出することにより角速度（レ
ート）を検出するガスレートセンサに関する。
ート）を検出するガスレートセンサに関する。
ガスレートセンサは密閉したケーシング内でノズルから
７０−センサの感温素子に向けてガス流を噴出させてお
き、ガスレートセンサに外部から加わる角速度運動の影
響によってガス流が偏向したときに生ずる７０−センサ
の出力値の変化から角速度（レート）の大きさを検出す
るようにしたものである。
７０−センサの感温素子に向けてガス流を噴出させてお
き、ガスレートセンサに外部から加わる角速度運動の影
響によってガス流が偏向したときに生ずる７０−センサ
の出力値の変化から角速度（レート）の大きさを検出す
るようにしたものである。
このガスレートセンサは第１図に示すように、ケーシン
グ１内にセンサ本体２が一体に杉成されており、とのセ
ンサ本体２０前後端部は端、析６及び４により密閉され
ている。センサ本体２けケーシング１の一部を加工した
中空円筒状のスリーブ５を有しており、このスリーブ５
の一端にはノズルピース６が嵌装固定されている。そし
て、このノズルピース乙にはノズル孔６ａ及び整流孔６
ｂが穿設されている。また、スリーブ５の他端にはホル
ダ７の一端部が嵌装固定されており、このホルダ７の他
端ｖ６＃ｉプレート８を介してケーシング１に固設され
ている。そして、このホルダ７にはノズルピース６のノ
ズル孔６ａと対向する位置にフルーセンサ９が配設され
ている。この７０−センサ９はガス流速差を検出するた
めのもので、所定の間隔で配列された一対の感温素子９
ａ、９ｂにより構成されている。
グ１内にセンサ本体２が一体に杉成されており、とのセ
ンサ本体２０前後端部は端、析６及び４により密閉され
ている。センサ本体２けケーシング１の一部を加工した
中空円筒状のスリーブ５を有しており、このスリーブ５
の一端にはノズルピース６が嵌装固定されている。そし
て、このノズルピース乙にはノズル孔６ａ及び整流孔６
ｂが穿設されている。また、スリーブ５の他端にはホル
ダ７の一端部が嵌装固定されており、このホルダ７の他
端ｖ６＃ｉプレート８を介してケーシング１に固設され
ている。そして、このホルダ７にはノズルピース６のノ
ズル孔６ａと対向する位置にフルーセンサ９が配設され
ている。この７０−センサ９はガス流速差を検出するた
めのもので、所定の間隔で配列された一対の感温素子９
ａ、９ｂにより構成されている。
ホルダ７と端板３との間にけピエゾポンプ室１゜が形成
されており、このポンプ室１０内にはオリアイス孔１１
ａが穿設されたピエゾポンプ１１が収納されている。こ
のピエゾポンプ１１＃′ｉピエゾ振動子１２ （第２図
）を備えており、接続端子１３を介して印加される交流
電圧又は電流の周波数に応じて振動し、その振動による
ポンプ作用によりポンプ室１０内のガスを圧縮する。圧
縮されたガスはプレート８に穿設された孔８ａを通して
流路１ａ内に吐出され端板４に向って流れる。そして、
端板４に衝突して反射された後ノズル孔６ａを通してス
リーブ５内に流入し、７０−センサ９の感温素子９ａ、
９ｂに向って流れるようになっている。
されており、このポンプ室１０内にはオリアイス孔１１
ａが穿設されたピエゾポンプ１１が収納されている。こ
のピエゾポンプ１１＃′ｉピエゾ振動子１２ （第２図
）を備えており、接続端子１３を介して印加される交流
電圧又は電流の周波数に応じて振動し、その振動による
ポンプ作用によりポンプ室１０内のガスを圧縮する。圧
縮されたガスはプレート８に穿設された孔８ａを通して
流路１ａ内に吐出され端板４に向って流れる。そして、
端板４に衝突して反射された後ノズル孔６ａを通してス
リーブ５内に流入し、７０−センサ９の感温素子９ａ、
９ｂに向って流れるようになっている。
感温素子９ａ、９ｂはスリーブ５内に流入せるガス流速
差を検出するもので感知せるガス流の温度に応じて電気
抵抗が変化するようにがっている。
差を検出するもので感知せるガス流の温度に応じて電気
抵抗が変化するようにがっている。
これらの感温素子９ａ、９ｂけ例えばヒートワイヤで構
成されて）す、接続端子１４．１５を介してブリッジ回
路等の検出回路に接続されるようになっている。
成されて）す、接続端子１４．１５を介してブリッジ回
路等の検出回路に接続されるようになっている。
このように構成されたガスレートセンサ１に対して外部
から角速度運動が作用していない状態においては、ノズ
ル孔６ａからスリーブ５内に流入せるガス流は２つの感
温素子９ａ、９ｂの中間部に向って直進する。従って、
これらのｇ温素子９ａ。
から角速度運動が作用していない状態においては、ノズ
ル孔６ａからスリーブ５内に流入せるガス流は２つの感
温素子９ａ、９ｂの中間部に向って直進する。従って、
これらのｇ温素子９ａ。
９ｂが感知するガスの温度が等しく、抵抗の変化が等し
くなり、その差は０である。ところが、ガスレートセン
サ１に対して外部から角速度運動か加えられると、ノズ
ル孔６ａから感温素子９ａ、９ｂに向かうガス流が偏向
きれ、感温素子９ａ、９ｂに作用するガスの流速に差が
生じる。その結果これらの感湿素子９ａ、９ｂの抵抗変
化が異なり、両者間に抵抗差が生じる。従って、この抵
抗差によりガスレートセンナ１に作用する角速度の大き
さを検出することができる。 − この種のガスレートセンサは感温素子対９ａ、 ９ｂが
ガス流によって受けるガスの放熱分布の微少な差によっ
て当該ガスレートセンサに作用する角速度を検出するも
のであり、検出精度を高めるためにはガス流速を極めて
安定にする必要がある。このためには、ガス流を発生さ
そるピエゾポンプすなわち、ピエゾ振動子を安定に振動
させることが必要である。
くなり、その差は０である。ところが、ガスレートセン
サ１に対して外部から角速度運動か加えられると、ノズ
ル孔６ａから感温素子９ａ、９ｂに向かうガス流が偏向
きれ、感温素子９ａ、９ｂに作用するガスの流速に差が
生じる。その結果これらの感湿素子９ａ、９ｂの抵抗変
化が異なり、両者間に抵抗差が生じる。従って、この抵
抗差によりガスレートセンナ１に作用する角速度の大き
さを検出することができる。 − この種のガスレートセンサは感温素子対９ａ、 ９ｂが
ガス流によって受けるガスの放熱分布の微少な差によっ
て当該ガスレートセンサに作用する角速度を検出するも
のであり、検出精度を高めるためにはガス流速を極めて
安定にする必要がある。このためには、ガス流を発生さ
そるピエゾポンプすなわち、ピエゾ振動子を安定に振動
させることが必要である。
ところが、ピエゾ振動子は一定の電圧を印加して駆動さ
せても、負荷条件が変化して振幅が変化すると、これに
伴鬼い駆動電流が変化してしまい、ピエゾ振動子を安定
に駆動させることが困峻である。
せても、負荷条件が変化して振幅が変化すると、これに
伴鬼い駆動電流が変化してしまい、ピエゾ振動子を安定
に駆動させることが困峻である。
本発明は上述の事実から、一定電圧駆動よりも一定電流
駆動の方がより安定にピエゾポンプを駆動できることに
着目してなされたもので、ピエゾ振動子を定電流で駆動
することにより、当該ピエゾ振動子すなわち、ピエゾポ
ンプを安定に作動させるようにしたガスレートセンサを
提供するものである。
駆動の方がより安定にピエゾポンプを駆動できることに
着目してなされたもので、ピエゾ振動子を定電流で駆動
することにより、当該ピエゾ振動子すなわち、ピエゾポ
ンプを安定に作動させるようにしたガスレートセンサを
提供するものである。
以下本発明のガスレートセンサの一実施例を添附図面に
基づいて詳述する０ 第２図において、発振器１７けピエゾ振動子１２を振動
させるためのもので所定周波数の信号■０を出力して電
流自動利得制御回路２０の利得可変回路２１に加える。
基づいて詳述する０ 第２図において、発振器１７けピエゾ振動子１２を振動
させるためのもので所定周波数の信号■０を出力して電
流自動利得制御回路２０の利得可変回路２１に加える。
この利得可変回路２１け例えば電子アッテネータで構成
されてお沙制御傷号ｅに応じて減衰比が変化し、入力信
号ｖＯを減衰制御する。この電子アッテネータ２１の出
力信号■０け交流増幅ｌ１１８で増幅され念後電流検出
回路２２を通してピエゾ振動子１２に印加される。ピエ
ゾ振動子１２Ｆ！この信号Ｖｏの周波数及び大きさに応
じた振動数及び振幅で駆動される。電流検出回路２２け
例えばシャント抵抗Ｒａｌで構成され、その両端間にピ
エゾ振動子１２に流れる駆動電流Ｉに応じた電圧■１を
発生する。この信号■１は増幅器２３で増幅された後交
流−直流変換器２４で対応するレベルの直流電圧・ｉＫ
変換される。従って、この直流電圧信号＋１１はピエゾ
振動子１２の駆動亀流工に対応している。この信号ｅ１
は肢差電流の基準値を設定するためのものであり、所定
の値に設定されている。
されてお沙制御傷号ｅに応じて減衰比が変化し、入力信
号ｖＯを減衰制御する。この電子アッテネータ２１の出
力信号■０け交流増幅ｌ１１８で増幅され念後電流検出
回路２２を通してピエゾ振動子１２に印加される。ピエ
ゾ振動子１２Ｆ！この信号Ｖｏの周波数及び大きさに応
じた振動数及び振幅で駆動される。電流検出回路２２け
例えばシャント抵抗Ｒａｌで構成され、その両端間にピ
エゾ振動子１２に流れる駆動電流Ｉに応じた電圧■１を
発生する。この信号■１は増幅器２３で増幅された後交
流−直流変換器２４で対応するレベルの直流電圧・ｉＫ
変換される。従って、この直流電圧信号＋１１はピエゾ
振動子１２の駆動亀流工に対応している。この信号ｅ１
は肢差電流の基準値を設定するためのものであり、所定
の値に設定されている。
誤差増幅器２５は基準信号Ｅｉと入力信号ｅふとの偏差
に応じた電圧の制御信号ｅを出力して電子アッテネータ
２１に加える。電子アッテネータ２１はこの制御信号ｅ
の電圧に応じてその電圧に比例した減衰比で入力信号Ｖ
ｏを減衰し、斯く減資された電圧の出力信号Ｖｏを出力
し、結果的に駆動電流ｌが一定に制御される。従って、
何らかの原因によりピエゾ駆動電流が変化しても制御回
路２０の働きにより一定に保たれる。従って、ピエゾ振
動子１２は常に一定の振幅で振動し、従って、とのピエ
ゾ振動子１２によって駆動されるピエゾポンプ１１ （
第１図）の振幅が一定となる。従って、このピエゾポン
プ１１により発生されるガス流速も一定となる。
に応じた電圧の制御信号ｅを出力して電子アッテネータ
２１に加える。電子アッテネータ２１はこの制御信号ｅ
の電圧に応じてその電圧に比例した減衰比で入力信号Ｖ
ｏを減衰し、斯く減資された電圧の出力信号Ｖｏを出力
し、結果的に駆動電流ｌが一定に制御される。従って、
何らかの原因によりピエゾ駆動電流が変化しても制御回
路２０の働きにより一定に保たれる。従って、ピエゾ振
動子１２は常に一定の振幅で振動し、従って、とのピエ
ゾ振動子１２によって駆動されるピエゾポンプ１１ （
第１図）の振幅が一定となる。従って、このピエゾポン
プ１１により発生されるガス流速も一定となる。
尚、本実施例においては他励式の場合について記述した
がこれに限るものではなく、自励式の場合についても適
用することができる。
がこれに限るものではなく、自励式の場合についても適
用することができる。
以上説明したように本発明によれば、上述のようが構成
により発振器の出力が温度、亀＃１１Ｅ圧経時変化等に
よって変化してもピエゾ振動子を一定電流で駆動するこ
とができるので、ガス流速を安定にすることができる。
により発振器の出力が温度、亀＃１１Ｅ圧経時変化等に
よって変化してもピエゾ振動子を一定電流で駆動するこ
とができるので、ガス流速を安定にすることができる。
また、ガス圧、ガス圧。
機械的応力等によりピエゾポンプの負向条件が変化した
場合でも定電流制御によりピエゾポンプの振幅を一定に
保つことができ、ガス流速を安定に保つことができる岬
の優れた効果がある。
場合でも定電流制御によりピエゾポンプの振幅を一定に
保つことができ、ガス流速を安定に保つことができる岬
の優れた効果がある。
第１図はガスレートセンサの正面断面図、第２図は本発
明に係るガスレートセンサのＵＳ：回部の一実施例を示
すブロック図である。 １−・ガスレートセンサ、２・・・センサ本体、９・・
・７ｐ−センサ、１０に−・ポンプ室、１１・・・ピエ
ゾポンプ、１２−會・ピエゾ振動子、１３〜１５・・・
接続端子、１８，２５．２５−増Ｎ器、２１・・・電子
アッテネータ、２２・・・電流検出回路、２４・・・交
流−凍流４変換器。 出願人 本田技研工業株式会社 代理人 弁理士 渡 部 敏 彦
明に係るガスレートセンサのＵＳ：回部の一実施例を示
すブロック図である。 １−・ガスレートセンサ、２・・・センサ本体、９・・
・７ｐ−センサ、１０に−・ポンプ室、１１・・・ピエ
ゾポンプ、１２−會・ピエゾ振動子、１３〜１５・・・
接続端子、１８，２５．２５−増Ｎ器、２１・・・電子
アッテネータ、２２・・・電流検出回路、２４・・・交
流−凍流４変換器。 出願人 本田技研工業株式会社 代理人 弁理士 渡 部 敏 彦
Claims (1)
- ｔ ケーシングのポンプ室に配したピエゾ振動子を所定
の交流信号で駆動してガス流を発生させ、そのガス流速
差を感温素子対で検出し、検出値の差により当該ケーシ
ングに作用する角速度を検出するガスレートセンサにお
いて、前記ピエゾ振動子の駆動電流を検出する電流検出
回路と、該駆動電流と基準値との差に応じた制御信号を
出力する誤差増幅器と、該制御信号に応じて前記ピエゾ
振動子に加えられる交流信号電圧を制御する利得可変回
路とを備え、ピエゾ振動子を定電流制御するようにした
ガスレートセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56098620A JPS58762A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | ガスレ−トセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56098620A JPS58762A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | ガスレ−トセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58762A true JPS58762A (ja) | 1983-01-05 |
| JPH0155420B2 JPH0155420B2 (ja) | 1989-11-24 |
Family
ID=14224591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56098620A Granted JPS58762A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | ガスレ−トセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58762A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52102777A (en) * | 1976-02-23 | 1977-08-29 | United Technologies Corp | Zero offset compensator for fluid type angular velocity detector |
-
1981
- 1981-06-25 JP JP56098620A patent/JPS58762A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52102777A (en) * | 1976-02-23 | 1977-08-29 | United Technologies Corp | Zero offset compensator for fluid type angular velocity detector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0155420B2 (ja) | 1989-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4183244A (en) | Ultrasonic flow rate measuring apparatus | |
| US5942686A (en) | Ratiometric transducer and method | |
| US4201084A (en) | Vortex flow meter | |
| US4468581A (en) | Drive circuit for a piezoelectric resonator used in a fluidic gas angular rate sensor | |
| EP0460174B1 (en) | Piezoelectric differential pressure vortex sensor | |
| JPH0155419B2 (ja) | ||
| JPS58762A (ja) | ガスレ−トセンサ | |
| US4407161A (en) | Fluid jet displacement detector | |
| EP0803704A2 (en) | Vibration gyroscope | |
| JPH06343200A (ja) | 超音波送信器 | |
| US5029268A (en) | Circuit arrangement for self-excitation of a mechanical oscillation system to natural resonant oscillations | |
| JP4648625B2 (ja) | 渦流量計 | |
| KR100210334B1 (ko) | 진동 자이로스코프 및 진동-자이로스코프의 특성 조정 방법 | |
| JPH0615997B2 (ja) | 温度圧力検出装置 | |
| JP3227975B2 (ja) | 振動検出回路 | |
| JPH04295716A (ja) | 角速度センサ装置 | |
| JPH075417Y2 (ja) | ガスレートセンサ | |
| JP3191404B2 (ja) | 圧電振動子の温度検知方法 | |
| JPS62144085A (ja) | 移動物体検知装置 | |
| KR820001974B1 (ko) | 와 유량계 | |
| JPS6120810A (ja) | 振動型角速度検出装置 | |
| JPH0418608B2 (ja) | ||
| JPS57211561A (en) | Gas rate sensor | |
| HU204612B (en) | Circuit arrangement with vibrating element level-sensor, preferably for level control of solid materials in bulk | |
| JPH11281371A (ja) | 圧電型２軸角速度センサの温度補正回路 |