JPS5874340U - 密着露光装置 - Google Patents
密着露光装置Info
- Publication number
- JPS5874340U JPS5874340U JP16834981U JP16834981U JPS5874340U JP S5874340 U JPS5874340 U JP S5874340U JP 16834981 U JP16834981 U JP 16834981U JP 16834981 U JP16834981 U JP 16834981U JP S5874340 U JPS5874340 U JP S5874340U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- cylinder
- contact exposure
- mask
- end surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
−第１図はピストンが下降している状態を示す本考案の
実施例の断面図、第２図はピストンが上昇した状態を示
す断面図である。 １・・・・・・シリンダ、２・・・・・・ガイド部、３
・・・・・・上部室、４・・・・・・下部室、７・・・
・・・可撓性プレート、８・・・・・・ピストン、９・
・・・・・ウェハ、１９・・・・・・０リング、２０・
・・・・・マスクホルダ、２１・・・・・・露光用開口
、２２・・・・・・マスク、２５・・−・・・光。
実施例の断面図、第２図はピストンが上昇した状態を示
す断面図である。 １・・・・・・シリンダ、２・・・・・・ガイド部、３
・・・・・・上部室、４・・・・・・下部室、７・・・
・・・可撓性プレート、８・・・・・・ピストン、９・
・・・・・ウェハ、１９・・・・・・０リング、２０・
・・・・・マスクホルダ、２１・・・・・・露光用開口
、２２・・・・・・マスク、２５・・−・・・光。
Claims (4)
- （１）上端面にウェハが載置されたピストンと、このピ
ストンを摺動自在に収納するシリンダと、このシリンダ
の上端に載置されており、露光用開口を遮蔽するように
下面にマスクを保持したマスクホルダと、前記シリンダ
の下端面に固着されており、シリンダ内を負圧にしたと
きに上方に湾曲し、前記ピストンを上昇させてウェハを
マスクに密着させる可撓性プレートとからなることを特
徴とする密着露光装置。 - （２）前記ピストンはその下面が円弧状をしていること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１° 項記載
の密着露光装置。 - （３）前記ピストンの上端面に、真空装置に接続された
複数の開口が形成されていることを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第１項記載の密着露光装置。 - （４）前記シリンダとマスクホルダはＯリングを介して
結合されていることを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載の密着露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16834981U JPS5874340U (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 密着露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16834981U JPS5874340U (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 密着露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5874340U true JPS5874340U (ja) | 1983-05-19 |
Family
ID=29960400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16834981U Pending JPS5874340U (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 密着露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5874340U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015038981A (ja) * | 2013-07-18 | 2015-02-26 | Ｎｓｋテクノロジー株式会社 | 密着露光装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4933936B1 (ja) * | 1970-02-20 | 1974-09-11 |
-
1981
- 1981-11-13 JP JP16834981U patent/JPS5874340U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4933936B1 (ja) * | 1970-02-20 | 1974-09-11 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015038981A (ja) * | 2013-07-18 | 2015-02-26 | Ｎｓｋテクノロジー株式会社 | 密着露光装置 |
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