JPS5871593A - 放電灯空冷装置 - Google Patents
放電灯空冷装置Info
- Publication number
- JPS5871593A JPS5871593A JP56170518A JP17051881A JPS5871593A JP S5871593 A JPS5871593 A JP S5871593A JP 56170518 A JP56170518 A JP 56170518A JP 17051881 A JP17051881 A JP 17051881A JP S5871593 A JPS5871593 A JP S5871593A
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- Japan
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- lamp
- cooling
- cooling device
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- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
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- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は放電灯を冷却するｔコめの冷却装置に関するも
のである。
のである。
曖近、印刷物・塗装物のインキや室料乾燥用および！１
１１＆焼付用と１２で高負荷の紫外線照射装置が用いら
れている。
１１＆焼付用と１２で高負荷の紫外線照射装置が用いら
れている。
０か＼る照射装置においては放電灯として高負荷の高峰
水銀灯マＴこはメタルハライドランプ等が用いられ、そ
の点灯中には多源の熱が発生するので１嗜Ｉ−ｊｒ： 通常ブロワ−′等により強制空冷される。
水銀灯マＴこはメタルハライドランプ等が用いられ、そ
の点灯中には多源の熱が発生するので１嗜Ｉ−ｊｒ： 通常ブロワ−′等により強制空冷される。
冷却条件としては、放電灯を構成している！壁のガラス
や電慟封山部が熱によって変形・破損し！ｆいように充
分冷却しなければならないが、一方散電灯の封入物であ
る水銀や金属ハロゲン化物の蒸気王を一定に保ち１１１
ｍ格出力が得られるように１５．なげねばならず、ＩＭ
ｉＥ冷却量を定めることは拗めで困帷である。
や電慟封山部が熱によって変形・破損し！ｆいように充
分冷却しなければならないが、一方散電灯の封入物であ
る水銀や金属ハロゲン化物の蒸気王を一定に保ち１１１
ｍ格出力が得られるように１５．なげねばならず、ＩＭ
ｉＥ冷却量を定めることは拗めで困帷である。
従来、放電灯空冷装置の冷却風量を改定する峡も単純な
方法は、例えば放電灯のランプ電子を駆視し、電圧が蒸
気千によって決まる一定の電子よりＦがり始める時の風
量を求め、この風量よりｈ１少ない歌に固定して設定し
ていｔコ。しか【７この方法では周囲温間の変化による
影響が大きく、例えば夏季高温時に適正風量を設定しｔ
コとす第１ば、冬季低温時化は冷却能力が過大となり、
放電灯内の封入物が凝縮しラップ電子が低下し放電が不
安定になる。逆に冬季に冷却風量を設定したとすれば夏
季には冷却能力が不足するため放電灯が過熟し、変形、
破損１発光管黒化等に依り寿命が短くなる欠点があつ１
こ。
方法は、例えば放電灯のランプ電子を駆視し、電圧が蒸
気千によって決まる一定の電子よりＦがり始める時の風
量を求め、この風量よりｈ１少ない歌に固定して設定し
ていｔコ。しか【７この方法では周囲温間の変化による
影響が大きく、例えば夏季高温時に適正風量を設定しｔ
コとす第１ば、冬季低温時化は冷却能力が過大となり、
放電灯内の封入物が凝縮しラップ電子が低下し放電が不
安定になる。逆に冬季に冷却風量を設定したとすれば夏
季には冷却能力が不足するため放電灯が過熟し、変形、
破損１発光管黒化等に依り寿命が短くなる欠点があつ１
こ。
また別の方法として、放電灯のランプ電子を検出し、そ
れがある設定範囲内になるように風量を送風ダクト内の
ダンパー開閉に依り制御する方法がある。しかしこの方
法では設定電子範囲を広くとる必要があるため放電灯の
出力変動が大きくなり、ＩＬだ逆にこの範囲を狭くする
と制御ダンパーの開閉頻闇が萬くなりダンパー機構の故
障原因となりやすかつｆこ。
れがある設定範囲内になるように風量を送風ダクト内の
ダンパー開閉に依り制御する方法がある。しかしこの方
法では設定電子範囲を広くとる必要があるため放電灯の
出力変動が大きくなり、ＩＬだ逆にこの範囲を狭くする
と制御ダンパーの開閉頻闇が萬くなりダンパー機構の故
障原因となりやすかつｆこ。
さらに冷却風量を一定として放電灯の出力を変化させる
方法もあるが、この方法は制御機構が複雑になるという
欠点がある。
方法もあるが、この方法は制御機構が複雑になるという
欠点がある。
゛ 以下、上述したこの種装置について、第１図。
第２図、第４図、および第５図を参照しつ＼説明する。
第１．２図において、１は電源、２は放電灯を安定に点
灯させる安定器、ａは放電灯を配設しｔミ照射器典、４
はブロフー′、５はプロフィと煕射器員を接続するダク
ト、６は放電灯のランプ電圧検出装置、７はダンパ等の
風量可変機構、８は基準電子発生装置、９は比較回路装
置、 １０は＠ａ装装材付インバータある。
灯させる安定器、ａは放電灯を配設しｔミ照射器典、４
はブロフー′、５はプロフィと煕射器員を接続するダク
ト、６は放電灯のランプ電圧検出装置、７はダンパ等の
風量可変機構、８は基準電子発生装置、９は比較回路装
置、 １０は＠ａ装装材付インバータある。
第１図に示した方式では一冷却特性は＠４図のようにな
る。ここ′で曲線（１）はランプ電圧に対するランプ電
力、 ＜ｘ＞：＜ｍ）は冷却装置の冷７却特性を表わ
す、放電灯の状態は第４図において始動時には０点附近
にあり、放電灯の封入物が完全に蒸発し、安“ポした時
にはＡ点にある。いま放電灯が安ｆ １．、 ｆ：状態
において冷却装置で冷却する時ｆば線■（放電灯の必要
冷却量よりも大きい冷却量）で冷却すると放電灯は過冷
却状態となり蒸気圧が次第に降Ｆし、ついには０点附近
（始動時の状ＩＩＩ）に戻ってしＬう。従って放電灯を
安定被層に保つため番こは放電灯のランプ電圧が低下し
ない最大冷却量（Ａ点）よりも常に低い、例えば直線■
の冷却量で冷却しなければならないので放電灯は常に過
熱状畷で使用される事になり寿命が短くなる欠点がある
。
る。ここ′で曲線（１）はランプ電圧に対するランプ電
力、 ＜ｘ＞：＜ｍ）は冷却装置の冷７却特性を表わ
す、放電灯の状態は第４図において始動時には０点附近
にあり、放電灯の封入物が完全に蒸発し、安“ポした時
にはＡ点にある。いま放電灯が安ｆ １．、 ｆ：状態
において冷却装置で冷却する時ｆば線■（放電灯の必要
冷却量よりも大きい冷却量）で冷却すると放電灯は過冷
却状態となり蒸気圧が次第に降Ｆし、ついには０点附近
（始動時の状ＩＩＩ）に戻ってしＬう。従って放電灯を
安定被層に保つため番こは放電灯のランプ電圧が低下し
ない最大冷却量（Ａ点）よりも常に低い、例えば直線■
の冷却量で冷却しなければならないので放電灯は常に過
熱状畷で使用される事になり寿命が短くなる欠点がある
。
更に放電灯の必要ｊ＆適冷却量は放電灯を収納する膜対
装置の構造、周囲温度、風速分布等によって大きく異な
り必要量を正確に把握する事は困難であった。まｔここ
の方式では冷却量が一定であるから放電灯の始動時にも
安定時と同じ冷却量で冷却されるｆコめ、始動時に過冷
却され安定点灯状態に到達しないおそれがある。そのた
め放電灯がある程イ安電状感に接近した時点（例えば始
動後５分）で冷却装置を運転開始する様な制御回路が必
要となる。
装置の構造、周囲温度、風速分布等によって大きく異な
り必要量を正確に把握する事は困難であった。まｔここ
の方式では冷却量が一定であるから放電灯の始動時にも
安定時と同じ冷却量で冷却されるｆコめ、始動時に過冷
却され安定点灯状態に到達しないおそれがある。そのた
め放電灯がある程イ安電状感に接近した時点（例えば始
動後５分）で冷却装置を運転開始する様な制御回路が必
要となる。
欠に第２図の方式は放電灯の特性１例えばランプ電圧に
より冷却量を２段階に可変するもので、第５図において
ランプ電圧がＡ点に達した時には直線■の冷却量で、Ｂ
点に降Ｆした時には■の冷却量で冷却する方式である。
より冷却量を２段階に可変するもので、第５図において
ランプ電圧がＡ点に達した時には直線■の冷却量で、Ｂ
点に降Ｆした時には■の冷却量で冷却する方式である。
この方式では紫外線応用装置において通常使用されてい
る定電力型点灯方式においてはＡ、Ｂ間のランプ電圧変
化かはｙ１４じ割合の電力変動を生ずるのでム、Ｂ−の
電圧差は出来る限り小さい方が良い。しかしながらＡＢ
間を余り狭くすると冷却量を可変させる装置の切換頻度
力ｒ高くなり装置の信頼度が落ちる欠点があるので通常
は８点の電圧はＡ点の９０〜９５％程度に設定するが、
前述の様に５〜ｌＯ′％のランプ電力変動が生じ好まし
いものではない。またこの浦の装置において多〈実施さ
れている放電灯の脚先点灯においては第５図の直線工の
様に放電灯の安定ランプ電圧及び必要冷却量が変化する
ので放電灯ある時に■の冷却で冷却する様に制御しなけ
ればならず、調光時の風量制御が附加されることに依り
冷却量の切換装置が？Ｉｔ雑になる。
る定電力型点灯方式においてはＡ、Ｂ間のランプ電圧変
化かはｙ１４じ割合の電力変動を生ずるのでム、Ｂ−の
電圧差は出来る限り小さい方が良い。しかしながらＡＢ
間を余り狭くすると冷却量を可変させる装置の切換頻度
力ｒ高くなり装置の信頼度が落ちる欠点があるので通常
は８点の電圧はＡ点の９０〜９５％程度に設定するが、
前述の様に５〜ｌＯ′％のランプ電力変動が生じ好まし
いものではない。またこの浦の装置において多〈実施さ
れている放電灯の脚先点灯においては第５図の直線工の
様に放電灯の安定ランプ電圧及び必要冷却量が変化する
ので放電灯ある時に■の冷却で冷却する様に制御しなけ
ればならず、調光時の風量制御が附加されることに依り
冷却量の切換装置が？Ｉｔ雑になる。
本発明は以上の様な従来の冷却方法に伴う欠点を除いた
もので、冷却風量を常に適正値に保つように、これを自
動的に連続調整する事により、周囲温度変化の影響や放
電灯自身の特性のバラツキによる影響を受けることなく
常に一定のランプ屯田を保持しつ＼、最適の冷却風量が
得ら１する冷却装置を提供するもので、その要旨は放電
灯と放電ノ 灯を配置した器具とλ放電灯を安定に点灯する安定器と
、放電灯用空冷装置から成る放電灯照射装置において放
電灯点灯中の電気信号を基準の電気信号と比較し、その
偏差に応じて前記空冷＠！置の駆動モータの周波数を可
変して風量を無段階制御することを特徴とｆるものであ
る。
もので、冷却風量を常に適正値に保つように、これを自
動的に連続調整する事により、周囲温度変化の影響や放
電灯自身の特性のバラツキによる影響を受けることなく
常に一定のランプ屯田を保持しつ＼、最適の冷却風量が
得ら１する冷却装置を提供するもので、その要旨は放電
灯と放電ノ 灯を配置した器具とλ放電灯を安定に点灯する安定器と
、放電灯用空冷装置から成る放電灯照射装置において放
電灯点灯中の電気信号を基準の電気信号と比較し、その
偏差に応じて前記空冷＠！置の駆動モータの周波数を可
変して風量を無段階制御することを特徴とｆるものであ
る。
以下本発明に基づ〈実施例について説明する。
第３図は本発明に基づく冷却装置を適用した、インキ、
塗料を紫外線で硬化させるＴコめの紫外線照射装置のブ
ロック図で、 （１１は電気を供給する電源。
塗料を紫外線で硬化させるＴコめの紫外線照射装置のブ
ロック図で、 （１１は電気を供給する電源。
（２）はランプを安定に点灯させる安定器。
（８）はアーク５００ Ｍ、 ４ ＫＷ−重管型高圧水
銀ランプと本ランプを配役しＴこ器１からなる照射装置
。
銀ランプと本ランプを配役しＴこ器１からなる照射装置
。
（４）はランプを空冷するための２００ Ｖ 、 ２
００ Ｗのブロワ−′０ （５）はブロワ−と器具との間を接続する空冷用ダクト
。
００ Ｗのブロワ−′０ （５）はブロワ−と器具との間を接続する空冷用ダクト
。
（６）は点灯中のランプ電圧を検出し、比較回路へラン
プ電圧に応じＴこ電気信号を送る検出回路。
プ電圧に応じＴこ電気信号を送る検出回路。
（８）はランプ電圧との比較基準となる電圧を発生させ
、比較回路へ基準電圧に応じた電気信号を送る基準電子
発生回路。
、比較回路へ基準電圧に応じた電気信号を送る基準電子
発生回路。
（９）はランプ電子と基準電子を比較し、比較値に応じ
た電気信、号をインバータに送る比較回路。
た電気信、号をインバータに送る比較回路。
（１０月ま比較回路からのｔ完信号に応じて周波数を可
変する制御回路付きインバータである。
変する制御回路付きインバータである。
特に本発明装置の要部はプロつ二′（４）、 ラップ電
圧検出回路（６）、基準電圧発生回路［Ｆ］）、比較回
路（９）制御回路付きインバータ（１０）から嘴成され
、ランプ電圧を基準電子と比較し、その偏差に応じｆ：
ｍｌ電気信号よりインバータの周波数を可変し、イノ
ノ（−タに電気的に接続されｔこブロフーの回転数を前
記周波数に応じて変化させ、冷却風量を連続ｎ１変制御
する働きをするものである。
圧検出回路（６）、基準電圧発生回路［Ｆ］）、比較回
路（９）制御回路付きインバータ（１０）から嘴成され
、ランプ電圧を基準電子と比較し、その偏差に応じｆ：
ｍｌ電気信号よりインバータの周波数を可変し、イノ
ノ（−タに電気的に接続されｔこブロフーの回転数を前
記周波数に応じて変化させ、冷却風量を連続ｎ１変制御
する働きをするものである。
これを数値例を挙げて具体的に説明すると、例えば４Ｋ
ｖＪのランプをインバータ周波数対装置正冷却風量４
ｍ ／ｍａｎで冷却していると＼のランプ電子６００
Ｖを基準電圧として基準Ｍ、１Ｆ発生回路で設定する。
ｖＪのランプをインバータ周波数対装置正冷却風量４
ｍ ／ｍａｎで冷却していると＼のランプ電子６００
Ｖを基準電圧として基準Ｍ、１Ｆ発生回路で設定する。
まｔこ４ ＫＷ ランプのランプ電子に応じて制御され
るブロフーの設定冷却風緻を第６図曲線■のように比較
１ｏｌ路（９）、インバータ（１０）で設定する。■は
ランプ電子とラップ電力の関係を示すものである。
るブロフーの設定冷却風緻を第６図曲線■のように比較
１ｏｌ路（９）、インバータ（１０）で設定する。■は
ランプ電子とラップ電力の関係を示すものである。
これらにより本発明によるランプ冷却特Ｖトは欠のよう
になる。いまランプの状態が急激な周囲温度の変化４Ｃ
どで５００ｖに低下し１ことすれば６６０−５００＝
ｔｏｏ ｖに応じてインバータ周波数１６Ｈｚ、冷却風
量はＺ ｍ” ／ ｍｉｎとなり、Ｂ点で動作している
ランプは冷却不足となるのでランプ内の水銀蒸気圧が上
昇し、ラップは基準電圧と同じ＆ＯＯＶ （Ａ点）まで
移動し安定する。
になる。いまランプの状態が急激な周囲温度の変化４Ｃ
どで５００ｖに低下し１ことすれば６６０−５００＝
ｔｏｏ ｖに応じてインバータ周波数１６Ｈｚ、冷却風
量はＺ ｍ” ／ ｍｉｎとなり、Ｂ点で動作している
ランプは冷却不足となるのでランプ内の水銀蒸気圧が上
昇し、ラップは基準電圧と同じ＆ＯＯＶ （Ａ点）まで
移動し安定する。
またランプの状態が６ｅｏ ｖを超えてｔｓｏ ｖにあ
るとすれば６ｏｏ−ε５ｏ＝−５ｏｖに応じてインノ（
−タ周波数６５Ｈｚとして冷却風量は５ ｍ”／ｍｉｎ
となり、０点にあるランプは過冷却となるのでランプ内
の水銀蒸気千が低下し、ランプは基準電圧と同じ６ＱＯ
Ｖ （Ａ点）に移動し安定する。すなわちランプは常に
基準電子の状態で安定するように冷却量が制御され、最
遣冷秤量で冷却されるわけである。
るとすれば６ｏｏ−ε５ｏ＝−５ｏｖに応じてインノ（
−タ周波数６５Ｈｚとして冷却風量は５ ｍ”／ｍｉｎ
となり、０点にあるランプは過冷却となるのでランプ内
の水銀蒸気千が低下し、ランプは基準電圧と同じ６ＱＯ
Ｖ （Ａ点）に移動し安定する。すなわちランプは常に
基準電子の状態で安定するように冷却量が制御され、最
遣冷秤量で冷却されるわけである。
か＼る方式の長所は第１に基準信号を与えれば放電灯が
その基準信号に対応する動作点に合致する様に冷却量が
自動的に制御されるので、必要冷却量を実験的に求める
必要がなく、多大な労力を省くことができる。第２に放
電灯が常化必要冷却歌で冷却されるので、周囲温度の変
化や電源電Ｉｆｆ動等の影響がなくζＣす、放電灯およ
び照射装置の寿命が長くなる。
その基準信号に対応する動作点に合致する様に冷却量が
自動的に制御されるので、必要冷却量を実験的に求める
必要がなく、多大な労力を省くことができる。第２に放
電灯が常化必要冷却歌で冷却されるので、周囲温度の変
化や電源電Ｉｆｆ動等の影響がなくζＣす、放電灯およ
び照射装置の寿命が長くなる。
第３に冷却量はランプ電圧が上昇するに従い自動的に増
大するので従来方式の様に放電灯がある程度安定状畷に
接近した時点で冷却装置を運転開始する様な制御回路は
不要となる。
大するので従来方式の様に放電灯がある程度安定状畷に
接近した時点で冷却装置を運転開始する様な制御回路は
不要となる。
第４に放電灯を調光点灯する時には第７図にホした様に
ランプ特性がＩからｌ′に変化し、動作点はＡ点からＡ
点に移るが、このときは基準信号ＶｉｔをＶｔｔに切換
えるだけでよいので切換機構が大幅に 。
ランプ特性がＩからｌ′に変化し、動作点はＡ点からＡ
点に移るが、このときは基準信号ＶｉｔをＶｔｔに切換
えるだけでよいので切換機構が大幅に 。
簡略化されろ。
第５に第８図の様に基準信号Ｊ？肩）−−Ｖに／、ｖｉ
に変化させると冷却特性がｌ０Ｅ）→（り→（ｆｆ）、
放゛ぽ灯の動作点がＡ −９−＊ Ｃと変化するのでラ
ンプ出力もＰ光ができる。
に変化させると冷却特性がｌ０Ｅ）→（り→（ｆｆ）、
放゛ぽ灯の動作点がＡ −９−＊ Ｃと変化するのでラ
ンプ出力もＰ光ができる。
以上述べ１ことおり、本発明の冷却装置によれば周囲温
度の変化や、放電灯自身のバラツキに依る影響を除去し
、放電十丁にとって鰻、ｄな冷却風量を常に自動的に得
ることができるｆコめ、季節毎の風１調幡、照射装置の
構造毎の風喰調整が不要若しくは著しく簡単となり、放
電灯および照射器械の＃命を長く保つことができる利点
がある。
度の変化や、放電灯自身のバラツキに依る影響を除去し
、放電十丁にとって鰻、ｄな冷却風量を常に自動的に得
ることができるｆコめ、季節毎の風１調幡、照射装置の
構造毎の風喰調整が不要若しくは著しく簡単となり、放
電灯および照射器械の＃命を長く保つことができる利点
がある。
第１図績び第２図は従来の放電灯空冷装置を示すブロッ
ク図、第８図は本発明による放電灯空冷装置の一実施例
を示すブロック図、第４図及び第５１゛４は従来の冷却
方式によるランプ電子と冷却量との関係を示す特性図、
第６図、第７図績び第８図は本発明装置の動作を説明す
るｆコめのランプ電圧とランプ電力および冷却量の関係
を示す特性図である。 ８・・・・・・照射装置、 ４・・・・・・ブロ
アー５・・・・・ダクト、 ６・・・・・・
検出回路。 ８・・・・・・基準電圧発生回路、 ９・・・・・・
比較回路。 １０・・・・・・インバータ、 手、続 補 ｔＥ 書（自発） 昭和５６年１２月９日 特許庁長官殿 １、・事件の表示 昭和５６年 特許願第１７０５１８号 ２、発明の名称 １攻イ灯空冷装置 ８、 ｔｍｉＥをする者 事件との関係 出 願 人 〒６０１ 住 所 京都市南区吉祥院西ノ庄猪之馬場町１番地名
称 （４２８） 日本電池株式会社代表者 坂
１）基 重 ４、代理人 住 所 京都市南区吉祥院西ノ庄猪之馬場町゛１番地
６、補正の内容 ｌ）明細Ｉ第９頁３行目の「インノ（−夕周波数１Ｏｆ
（ｚｌＪを「インバータ局波数２ＦＩＺ、Ｊ と訂正−
（る。 ２）明細書第９ｇ１Ｏ行目の［周波数６５Ｈｚｌを「周
波数６２．５ＨｚＪと訂ＩＦする。 ８） 第６図を別紙の通り訂正する。 ７、添付蕾類 訂正図面（第６図） ｔａ以 ｈ 傳 Ａ ｆｆｉ。 う）ゾＩＥＦＥ
ク図、第８図は本発明による放電灯空冷装置の一実施例
を示すブロック図、第４図及び第５１゛４は従来の冷却
方式によるランプ電子と冷却量との関係を示す特性図、
第６図、第７図績び第８図は本発明装置の動作を説明す
るｆコめのランプ電圧とランプ電力および冷却量の関係
を示す特性図である。 ８・・・・・・照射装置、 ４・・・・・・ブロ
アー５・・・・・ダクト、 ６・・・・・・
検出回路。 ８・・・・・・基準電圧発生回路、 ９・・・・・・
比較回路。 １０・・・・・・インバータ、 手、続 補 ｔＥ 書（自発） 昭和５６年１２月９日 特許庁長官殿 １、・事件の表示 昭和５６年 特許願第１７０５１８号 ２、発明の名称 １攻イ灯空冷装置 ８、 ｔｍｉＥをする者 事件との関係 出 願 人 〒６０１ 住 所 京都市南区吉祥院西ノ庄猪之馬場町１番地名
称 （４２８） 日本電池株式会社代表者 坂
１）基 重 ４、代理人 住 所 京都市南区吉祥院西ノ庄猪之馬場町゛１番地
６、補正の内容 ｌ）明細Ｉ第９頁３行目の「インノ（−夕周波数１Ｏｆ
（ｚｌＪを「インバータ局波数２ＦＩＺ、Ｊ と訂正−
（る。 ２）明細書第９ｇ１Ｏ行目の［周波数６５Ｈｚｌを「周
波数６２．５ＨｚＪと訂ＩＦする。 ８） 第６図を別紙の通り訂正する。 ７、添付蕾類 訂正図面（第６図） ｔａ以 ｈ 傳 Ａ ｆｆｉ。 う）ゾＩＥＦＥ
Claims (1)
- 放電灯と、放電灯を配設した器具と、放電灯を安定に点
灯する安定器と、放電灯用空冷装置からなる放電灯照射
装置において、放電灯点灯中の電気信号を基準の電気信
号と比較し、その偏差に応じて前記空冷載置のモーター
の周波数を可変して風量を無段階制御する事を特徴とす
る放電灯空冷装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56170518A JPS5871593A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 放電灯空冷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56170518A JPS5871593A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 放電灯空冷装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5871593A true JPS5871593A (ja) | 1983-04-28 |
Family
ID=15906420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56170518A Pending JPS5871593A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 放電灯空冷装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5871593A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6119940A (ja) * | 1984-07-07 | 1986-01-28 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 吸気及び排気方法 |
| JPS6120327A (ja) * | 1984-07-07 | 1986-01-29 | Ushio Inc | 超高圧水銀灯による半導体ウエハ−材料の露光方法 |
| JPS6146023A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-06 | Ushio Inc | 超高圧水銀灯による半導体ウエハ−材料の露光方法 |
| JP2021509465A (ja) * | 2018-04-20 | 2021-03-25 | ケーニッヒ ウント バウアー アー・ゲーＫｏｅｎｉｇ ＆ Ｂａｕｅｒ ＡＧ | 放射乾燥機を備える処理機械およびこの乾燥機を運転する方法 |
Citations (2)
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| JPS4886389A (ja) * | 1972-02-16 | 1973-11-14 | ||
| JPS57205905A (en) * | 1981-06-11 | 1982-12-17 | Tokyo Shibaura Electric Co | Light irradiator |
-
1981
- 1981-10-23 JP JP56170518A patent/JPS5871593A/ja active Pending
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