JPS587106A - 光フアイバ素線集合体の製法 - Google Patents

光フアイバ素線集合体の製法

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JPS587106A
JPS587106A JP56104769A JP10476981A JPS587106A JP S587106 A JPS587106 A JP S587106A JP 56104769 A JP56104769 A JP 56104769A JP 10476981 A JP10476981 A JP 10476981A JP S587106 A JPS587106 A JP S587106A
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bundle
assembly
gas
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Atsushi Uchiumi
内海 厚
Masaharu Noguchi
野口 正治
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Dainichi Nippon Cables Ltd
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Dainichi Nippon Cables Ltd
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  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、多数本の石英ガラス系光フアイバ素線が融着
集合してなる光フアイバ素線集合体、たとえばマルチプ
ルファイバの新規な製法に関する。
マルチプルファイバは、画像を直接伝送する手段として
種々の分野において用途が期待されており、多成分系ガ
ラスからなるマルチプルファイバはすでに工業用イメー
ジスコープにおける画像伝送体として実用されている。
ところで多成分系ガラスからなるマルチプルファイバは
多成分系ガラスに固有の高損失Flのゆえに長尺のもの
が使用できないという致命的な欠陥があるため、現用の
工業用イメージスコープはその画像伝送体の長さが、た
かだか2〜5m程度の短尺のものに限られている。しが
しながら、原子炉などの大型装置の内部を観察するばあ
い、10+nあるいはそれ以上の長尺の画像伝送体を有
するイメージスコープが必要となり、かかる画像伝送体
としては石英ガラス系光フアイバ素線からなるマルチプ
ルファイバがその優れた低損失性のゆえに適している。
ところで、石英ガラス系のマルチプルファイバハ、多成
分ガラス系のマルチプルファイバと比較して製造がきわ
めて困難であり、そのため前記したJ(所を有している
にも拘らず、未だ実用化けおろかその製造法すら具体的
に提案されていないのが現状である。
つぎに、マルチプルファイバの従来がらの製造法および
石英ガラス系のマルチプルファイバの製造が困難である
理由につぎ説明する。
マルチプルファイバは、1本のまたは相互に融着した多
数本のガラス糸光フアイバ素線からなる光フアイバ素線
中間体(本発明では、以下単に中間体と称する)を多数
本束ねて、その一端より高温度に加熱して線引きし、各
中間体の断面積を縮小させるとともに相互に隣接する中
間体同士を融着することにより、更に必要ならばかくし
てえたものを新たに中間体として取扱い、その多数本を
束ねて再び前記と同様な線引きを行なうことにより製造
される。
一般に多成分系ガラスは、軟化点が1000’a以下と
低湿度であるために加工が容易であり、また溶融粘度が
低いために、線引き工程において溶融して引き延ばされ
つつある中間体同士は容易に良好に融着集合する。これ
に対して、石英系ガラスはまず第1に軟化点が1800
°C以上の高温度であることが多数の中間体を均一にし
かも軟化点以上に加熱することを要する線引き工程の安
定操作を困難なものにしている。さらに石英系ガラスは
溶融粘度が相当に高く、たとえば純石英ガラスは蒸発が
いちじるしくなる2200’。
の高温度においてさえ104ボイズもの高粘度である。
このため溶融吠紳でσ1き延ばされつつある中間体は、
多成分系ガラスの溶融状態の中間体と比較して流動性(
変形性)においてはるかに劣るため中間体同士の融着が
均一に行なわれず、線引きによりえた光フアイバ素線の
集合体中に多数の空泡が生じるという問題がある。空泡
は、線引き工程時に中間体同士の不均一な融着のために
中用1体同士の間に封じ込められた気体(主として空気
)が線引き時の高温度により膨張して生じたものである
が、空泡生成の際、その周囲の中間体を構成する光フア
イバ素線は部分的にいちじるしい線径の変動と彎曲とを
伴なう大きな変形を蒙ることとなる。部分的に生じたい
ちじるしい線径の変動や局部的な彎曲は光フアイバ素線
の散乱損失を増大させる。この散乱損失の増大のために
光フアイバ素線の伝送しうる光用はいちじるしく低下し
、その結果画像伝送能力が低下する。かかる光フアイバ
素線を含むマルチプルファイバを画像伝送体として用い
るときは、伝送される画像中に暗点が生じることとなる
。このように、マルチプルファイバ中での多数の空泡の
発生は、かがる画像伝送能力の乏しい光フアイバ素線を
数多く生ぜしめることとなり、その結果マルチプルファ
イバ自体の画像伝送性能を低下せしめることとなる。
さらに、一般に、線引き工程において中間体が線引きさ
れるとき、中間体を構成する各光フアイバ素線は、線径
が縮小されるのみならず、大なり小なりその断面形状も
変形を蒙る。光フアイバ素線のこの断面形状の変形は、
鮮明な画像を伝送するうえで好ましいことで目ないので
1かかる断面形状の変形を可及的に防止することが重要
である0このためには、中間体の溶融粘度が過度に低下
しない状態にて、換酊すねば、線引き温度を可及的に低
くすることが必要となる。石英ガラス系マルチプルファ
イバの製造のばあいについていえば、1950°O以F
の低温度で線引きすることが望まれる。しかしながら、
かかる低温での線引きは、元来溶融粘度の高い石英系ガ
ラスからなる中間体のばあい、中間体が一層高溶融粘度
である状態での融着を余儀なくされるので、前記した理
由から一層中間体間に空泡が生じ易いこととなる。
前記の点に鑑み、本発明者らはさきに、中間体間におけ
る空泡の発生が大幅に抑えられた石英ガラス系の光フア
イバ素線集合体の新規な製法を提案した(特願昭55−
119100号)。この方法は、1本のまたは相互に融
着集合した多数本の石英ガラス系光フアイバ素線からな
る光フアイバ素線中間体を多数本束ね、該光フアイバ素
線中間体の間に線引き温度において1Ω3ポイズ以下の
粘度を有する液体(以F1かかる粘度特性を有する物質
を介在物質と称する)が介在する状態のもとて前記光フ
アイバ索線中間体の末を線σ1きすることを特徴とする
ものである。
この方法によれば、光フアイバ素線の線引きによる断面
の変形を可及的に小さく4−る目的で、線引きを195
000以下の低温で行なっても、中間体の間における空
洞の発生を抑えることができる。
前記の方法において、介在物質の存在にもとづく空泡の
発生防It二機構はつぎのごとく推定されている。介在
物質を存在せしめない従来法において、多数の中間体は
通常その占積率が最大となるように密に束ねられた状態
で一端において加熱され線引きされるのであるが、個々
の中間体は外径、断面形状、釣線性などにおいで必ずし
も均一でなく中間体間に多少のバラツキがあるため、加
熱線引き前の束ねられた状態においては、隣り合う中間
体間で11:に表面同士が接触している部分と非接触の
部分とが生じており、かかる状態において線引きのため
に加熱されたとき、あらかじめ接触していた表面同士の
融着が早く進んで、その結果、中間体間に空隙がとり残
され、該空隙は糊引き時の高温度によりその部分で膨張
して空泡となる。
これに対して、線σ]き時に中間体の間に103ボイス
以下の低粘度の液状の介在物質が介在すると、該介在物
質は中間体間[ごの局部的な早期融着をある程度防止す
るほか、液体に固有の潤滑作用や表面張力によるひきて
)けf’+用により、たとえ融着前に中間体の局部的曲
りなどによりその平列整列性に異状があつCも、融着時
またはその前段階において軟化した中間体を平列に整列
させるように機能し、同時に中間体間の間隙を充填する
。以上の効果によって線引き過程において中間体間で空
隙の封鎖が生じず、そのため空泡の発生が防止される。
さらには、つぎのごとき空泡発生の防tl:機構も考え
られる。すなわち、線引き過程において中間体同上が局
部的に早期に融着して中間体間における空隙の封鎖が生
じそ′、)になっても、その部分の中に存在する介在物
質の蒸発にもとづき間断なく発生する蒸気により空隙の
封鎖が1i7J止され、そのため空泡の発生が防止され
る。
前記の方法において、介在物質としてはB2O3、T1
08、P2O5およびGeO2の少なくとも1種とSi
o。
との混1合物が好ましい。それは、該混合物が中間体の
束を線引きする際の温度(19oo〜201]00゜程
度)において適度の粘度を有するため中間体同士を一層
均一に融着集合せしめ、しかも中間体の断面形状の変形
を起す度合が小さくなり、その結果えられた光フアイバ
素線集合体の画像分解能、画像伝送能力が向上されるた
めである。
一方、介在物質を中間体間に介在させる手段としては、
介在物質がB、o3などの酸化物のばあい、BCl2な
ど酸素の存在下で加熱するとB 203を生成する」:
うな物質の気体と酸素ガスとの混合ガスを加熱した中間
体間の間1fW?に流し、B2.03の層を形成する方
法が好ましい。この方法によるどきは酸化物を各中間体
の表面に均一に伺羞させることができる。
しかし、この手段によつU B 203、TlO2、P
205およびGo0.の少なくとも1種とSiO□とか
らなる混合酸化物を中間体間に均一に介在させるのは困
難である。すなわちS10.と前記他の酸化物との混合
物のばあいはSiO□単独より融点が低くなるが、前記
介在手段を施す際の中間体の束の加熱温度、すなわち中
間体の熱変形温度よりかなり低くかつ酸化物が生成しう
る温度範囲、たとえば500〜1650°0において、
固体状または牛溶融状態である。したがって生成したS
in、と他の酸化物との混合物が中間体表面に均一に付
着しがたい。
前記の点に鑑みて、本発明は前記好ましい介在物質を中
間体の表面に均一に付着せしめ、画像分解能および画像
伝送能力のすぐれた光フアイバ素線集合体を製造しうる
方法を提供するものである。
すなわち本発明は、1本または相互に融着集合した多数
本の石英ガラス系光フアイバ素線からなる光フアイバ素
線中間体の多数本の束を、B、Ti、PおよびGoより
なる群から選ばれた元素を含有する物質の少なくとも1
種の気体と酸素ガスとの混合雰囲気中に加熱下に曝して
各中間体表面上に前記元素の酸化物の少なくとも1種の
層を形成する第1工程、第1工程でえられた中間体の束
を、前記酸化物層が液体状態にある状態で、B、Ti、
PおよびGoよりなる群がら選ばれた元素を含有する物
質の少なくとも1種の気体と81を含有する物質の気体
と酸素ガスとの混合雰囲気中に曝して前記酸化物層のう
えに前記元素の酸化物の少なくとも1種とSin、との
混合酸化物層を形成する第2工程、第2工程でえられた
中間体の束を前記2層の酸化物層が液体状態にある状態
において線引きする第3工程とからなることを特徴とす
る光フアイバ素線集合体の製法に関する。
本発明は、まず中間体表面にE、03、TlO2、P、
0.およびG e O2の少なくとも1種からなる酸化
物の層を形成し、ついで該酸化物層が液体状態にある状
態で前記酸化物の少なくとも1種と810、との混合物
を付着せしめることを特徴とするものであるo B2O
3、T103、T20.およびG e O2の融点はそ
れぞれ577°0.1640°0.340°0および1
116°0であり、したがってこれら酸化物またはこれ
ら酸化物の混合物は1640oO程度以下の湿度で液体
状態にあることになり、この液体状態の酸化物層上に前
記酸化物の少なくとも1種と810、との混合物を沈着
させると、該混合物がたとえ固体状態であっても均一に
付層せしめることができ、しかも該混合物の付着操作は
下層の酸化物層が液体状態のとき、すなわち前記164
0°O程度以下の比較的低湿度で行なうことができるか
ら、混合物の付着操作を中間体が熱変形などを起さない
条件で行なうことができる。
しかして本発明によるときは、介在物質としてすぐれた
B、03、TlO2、P2O5およびGoOJ2の少な
くとも1種と810.との混合物を中間体が熱変形など
を生じない条件で均一に中間体表面に付着せしめること
ができるため、前記特定の介在物質を採用して画像分解
能、画像伝送能力のすぐれた石英ガラス系光フアイバ素
線集合体を工業的に有利に製造することが可能となった
本発明において、線引きの対象とされる中間体は、1本
の光フアイバ素線からなるもの、あるいは相互に融着集
合した多数本、たとえば7〜200本の光フアイバ素線
からなるものであり、また各光フアイバ素線は、純石英
ガラスのコアとドーパントを含む石英ガラスのクラッド
とからなるもの、ドーパントを含む石英ガラスのコアと
純石英ガラスのクラッドとからなるもの、あるいはコア
、クラッドともドーパントを含む石英ガラスからなるも
のなどの石英ガラス系のものである。勿論、各光フアイ
バ素線はクラッド層の外側に石英ガラス系のサポート層
を有していてもよい。線引きされる前の中間体は外径1
〜5mm程度のものが適当である。
本発明においては、まず中間体の東を作成するが1この
束に含める中間体の本数は7〜200本程度が適当であ
る。
なお、中間体間に介在物質を付着させる前の段階におい
て、中間体の表面に本発明における介在物質としては使
用しえない高融点のまたは高粘度の不純物が付着してお
り、そのような不純物を除去することなく介在物質を付
着させると、これら不純物のために本発明の目的が充分
に達成されないばあいがあるので、本発明においては介
在物質の付着工程に入る前に、中間体の各表面を光ファ
イバの製造において慣用されている洗浄法、たとえば超
音波を作用させながらフッ酸水溶液と蒸溜水とで洗浄す
る方法などで洗浄することが望ましい。
つぎに中間体の束の各中間体表面上に前記特定の介在物
質を付着させる。
第1図は本発明の方法における第1工程および第2工程
において中間体表面に介在物質である酸化物の層を形成
する方法の好ましい一実施態様を示す説明図である。
第1図において、多数本の中間体からなる束(1)はそ
の一端においてダミーガラス管(2)に挿入され、融着
接続され、断面円形の石英ガラス管などからなる反応管
(4)のなかに収容される。(3)は反応管(4)の側
壁に設けられた突起であって該突起(3)により中間体
束(1)は反応管(4)とほぼ同軸上に保持される。ダ
ミーガラス管(2)が数例けられた側とは反対側の中間
体束(1)の端にガス供給管(5)を、中間体束(1)
が該供給管(5)にきっちり挿入する状態にて取付け、
中間体束(1)が挿入された供給管(5)の端部はフッ
素樹脂製などの耐熱シーリング51)を介して反応管(
4)に気密に固定される。ガス供給管(5)を取付けた
反応管(4)の反対側には、フッ素樹脂製などの耐熱性
栓〔υを介I7て排気管(6)が反応管(4)と気密に
数例けられる。供給管(5)と排気管(6)とを回転軸
として反応管(1)およびその内部に設置(、た中間体
束(1)を数ないし数十r、p、m、程度の速度で回転
さセる(回転させなくてもよい)とともに反応管(4)
の外部より反応管(4)と平行に往復移動するバーナー
(7)により中間体束(])を酸化物質の生成するF!
、応を生せしめるに必要な温度に加熱する。バーナー(
7)に代わって固定式の電気炉など、他の加熱手段によ
ってもよいことは勿論である。前記の加熱湿度は\使用
する混合ガスの反応温度により異なるが、たとえばB2
O3を与える物質の気体としてBO73と酸素ガスとの
混合ガスを用いたばあいは、移動バーナー(γ)にて加
熱されている部分の中間体束(1)の最外部表面温度に
して約500〜1500°a程度である。かくして供給
管(6)を通じて前記の特定の酸化物を与える物質の気
体と酸素ガスとの混合ガスを反応管(4)に供給すると
、混合ガスの大部分は中間体束(1)を構成する個々の
中間体間の間隙を通過し、この間に移動バーナー(7)
にて高温度に保持された部分において反応して酸化物を
生成する。未反応ガスや反応によって生じたガス状生成
物などはダミーガラス管(2)を通して排気管(6)よ
り外部に排気させる。
第1工程においては、中間体束(すの各中間体表面上に
BOTiOPOおよびqθ02の少なく23%2’25 とも1種を付着させる。
高温において酸素ガスの存在下でこれら酸化物を与える
物質(以下、前駆体という)としては、B、Ti、Pま
たはGeを含有する物質であればとくに制限されないが
、酸素ガスとともにガス状で流しつる、換言すれば酸化
物生成温度において酸素ガス100部(容鼠部、以下同
様)に対して約0.1〜200部、好ましくけ約眠5〜
100部、なかんづく約1〜50@l!の割合で混合し
つるものが好ましい。また前駆体と酸素ガスとの混合ガ
スを低温で移送しつると、混合ガスの移送管の保温が容
易になるので、かかる観点からは低温度で充分な蒸気圧
を有するもの、具体的には600°0で少なくとも10
mmHt;tの蒸気圧を冶する物質が好ましい。
具体的な前駆体としては、BH3、BH2F、 BHF
2、BF   BH01、BHOI2、BOI3、BH
2工などのボラ3 )    2 ンおよびハロゲン化ボラン、ジボラン(B2H6)、B
 (OOH3)3などのアルコキシ化ホウ素、TiF、
、Ti(]/4、T1Br4などのハロゲン化チタン、
PH3、PHIF、PHF2、 PF3 、 PH20
ノ 、 PHO!2 、POI3、PH2Br z P
HE r 2などのホスフィンおよびハロゲン化ホスフ
ィン、Pool  −、POBry、などのオキシハロ
ゲン化リン、(pH壓、(P NOl 2)4 、(P
 N Ol 2)5、(PNOノθ6、(PNOt、)
、などの塩化ポスホニトリル、GeHGeHF 、 G
eHF  GeHF  GeF N GeH3O1゜4
%      3       22ゝ      3
1   4GeH20/2、GeH313、Ge0l、
 、GeH3O1,GeH2Br2、Gθ■IBr  
G5Br4すlのゲルマンおよびハロゲンX 化ゲルマンなどがあげられる。前記前駆体のうちとくに
パーハロゲン化物、なかんづくパー塩化物が好ましく用
いられる。
前記前駆体のはあい酸化物生成温度は一般に500〜1
700°0程度であり、好ましくはホウ素化合物のばあ
いは500〜1500°O程度、チタン化合物のばあい
は800〜1600°O程度、リン化合物のばあいは5
00〜1200°Q程度、ゲルマニウム化合物のばあい
は800〜1600oO程度である。
前記の前駆体の気体の少なくとも1種を酸素ガスと前述
のごとき混合割合で混合した混合ガスをガス供給管(5
)から供給しながら前記のごとき温度に中間体束(1)
を加熱すると各中間体表面に酸化物が付着する。
第1工程における酸化物の付着量は、各中間体の表面を
ヌラす程度でよく、該付着量を中間体の断面積に対する
面積比で表わせば、中間体の断面積の0.01〜1.0
\程度で充分である。
第2工程においては、第1工程において形成された酸化
物層上にそれが液体状態にある状態でEOTio  P
OおよびGeO2の少なくとも123\    21 
25 種と8102との混合物を付着させる。
S10.の前駆体としては、たとえばSiH4,5in
3F、81H211’2、5iH11’3 、 SiF
2、51n3oz、 5iH20ノ2.5IHO23,
5ill/4.5iH3Br、 5iH2Br2、S 
i HB r 3、S i E r 4、SiH工、S
iH2工、などのシランおよびハロゲン化シランなどが
あげられ、なかでもパーハロゲン化物、とりオつけ5i
Oj4が好ましい。
前記Sin、の前駆体の気体と第1工程で用いた前駆体
の少なくとも1種の気体と酸素ガスとの混合ガスをガス
供給管(5)から供給しながら中間体束(1)を加熱し
、各中間体表面にB、03、T103、POおよびGo
oの少なくとも1種と8102との混25      
   2 合物を付着させる。
その際の加熱温度は、これら混合酸化物の生成温度と第
1工程でえられた酸化物層の溶融温度とを勘案して決め
ればよいが、通常500〜1700°0、とくに800
〜1500°C程度である。
第2工程で付着される混合酸化物中におけるB2O3、
TlO2、P 20r、およびG 602の少なくとも
1種と810.の割合は、両者の合計量に対して510
2が1〜70%(重量%、以下同様)、なかんづ<20
〜50%の範囲が好ましい。かかる割合の混合酸化物は
線ダ1き温度、たとえば1900〜2000°0におけ
る溶融粘度が1〜103ボイズ、なかんづ<10〜〜1
02ボイズ程度であり、中間体同士をより均一に融着集
合させ、しかも中間体の断面形状の変形を起す度合がよ
り小さくなる。
第2工程における混合酸化物の付着量は、中間体の断面
積に対する面積比で表わせば中間体の断面積に対して0
.1〜10%程度が好ましい。
本発明においては、第2工程を経た中間体束は直ちに第
3工程の線引き工程に付してもよいが、第2工程で形成
された混合酸化物層のうえにさらにBo  TiOPO
およびGoo、の少なく23’     2”25 とも1種を付着させるのが好ましい。かかる酸化物を付
着させることにより、第2工程で形成された固体状態な
いしは半溶融状態の表層がヌラされて親和性を増し、引
き続く線引き工程で中間体の融着をより円滑に進めるこ
とができる。
前記酸化物層の形成は第1工程と同じ操作、同じ条件で
行なえばよい。
前記のごとく処理された中間体束はつぎに第3工程の線
引き工程に付される。
第2図は、中間体束(1)の線引き時の様子を概略的に
示すものである。第2図において多数本の中間体(1a
)から構成される中間体束(1)は、それら各中間体表
面に前記第1工程および第2工程で形成された酸化物N
(8)が存在する状態において環状の電気炉などの加熱
手段(9)により周囲から均一にかつ、中間体(1a)
を構成する石英ガラスの軟化点以上の高温度に加熱され
、矢印の方向に線引きされる。その際中間体(1a)表
面の酸化物層(8)は溶融し、溶融物(8a)として線
引きされる中間体の間に介在する。
この線引きにより各中間体(1a)は互に隣接するもの
同士融着し合い、全体とし、て1つの集合体に融着し、
その結果1本の光フアイバ素線集合体(10)が製造さ
れる。本発明において、線引き温度とは線引き工程の定
常状態において中間体束(1)が線引きのために加熱さ
れたときに到達する最高温度を意味するが、線引き時の
加熱手段、たとえば電気炉のヒートゾーンの最高温度を
ほぼ同温と考えてよい。各中間体(1a)がn本の光フ
アイバ素線の耐海集合体からなっていたとすると、えら
れる光フアイバ素線集合体(1o)は、線引きにより集
合された中間体(1a)の本数の9倍の光フアイバ素線
から成るごとになる。この光フアイバ素線数が所望値に
達しているときは、さらに所望外径となるまで線引きを
行なってマルチプルファイバとしてもよく、光フアイバ
素線数が未だ不足するときは、このえられた光フアイバ
素線集合体(10)を中間体として取扱い、その多数本
を束ね、本発明の方法を適用して、一層光ファイバ素線
数の多い光フアイバ素線集合体を製造すればよい。
たとえば、線引きによりえた光フアイバ素線集合体に含
まれる光フアイバ素線の数がlりr定数たとえば100
本〜100000本に達しているときは、ひきつづき線
引きして外径0.4〜2 、3mm程度の光フアイバ素
線集合体に線引きしてもよく、あるいは一層高光フアイ
バ素線数の集合体の製造のための中間体とするばあいに
は線引きの程度を加減して外径1〜5mm程度に仕上げ
るとよい。
本発明において用いる介在物質の社は少b1であるので
、線引き後光ファイバ索線の間に残存しても光フアイバ
素線集合体の画像伝送特性に、実際上悪影響を及ばずこ
とはない。
本発明に用いる特定の介在物質は、一般に光フアイバ素
線のコアを構成するガラス材料と屈折率を異にする。し
たがって、介在物質が線引き後もある程度の厚さで光フ
アイバ素線の界面に残存するときは、一般に介在物質層
は光学的に好ましい効果を奏する。たとえば、石英ガラ
スのザボート層を有する光フアイバ索線の界面に石英ガ
ラスより屈折率の小さい介在層が残存するときは、該残
存層がクラッド的な作用をなして、コアからの光信号の
リークを軽減する方向に働く。
本発明においては、前記2層または3層の酸化物層の少
なくとも1層に光吸収性物質を含有させるのが好ましく
、かくすることによって光ファイバ素線より漏洩せる光
信号があっても、これを吸収し、隣接する光フアイバ素
線中に入り込むのが防止される。
かかる光吸収性物質の例としては、たとえばFa、Ni
、OOsMn、T1、Or X(i uなどの元素を含
む物質、たとえばそれらの酸化物があげられる。
光吸収性物質は酸什物層の酸化物層は中に0.001%
程度存在せしめるだけで充分な光吸収効果を示す。光吸
収性物質を酸化物層に混入せしめるには、酸化物層の形
成時に光吸収性物質の前駆体(たとえばハロゲン化物)
の気体を際化物層の前駆体の気体と一緒に流せばよい。
つぎに実施例および比較例をあげて本発明を一層詳細に
説明する。
実施例1〜6および比較例 純石英ガラスからなる外径1.1mmのコア部の外側に
B2O3にてドープされた石英ガラスからなるJシさ0
.2mmのクラッド1曽とさらにその外(則に厚さ0 
、05n+mの石英ガラスサボ−1・層4翁する外径1
.6mm 、長さ50cmの光フアイバ素線中間体、す
なわち光ファイバ紫線数が1本の中間体91本を、該中
間体同士の間隙が最小となるようC1−1かつ断面形状
が6角形となるように束ねた。ついで、その一端を外径
18mmの石英ガラス管に挿入後加熱融着させ、他端に
はガス供給管をと9つ【Jでから全体を20容鮒%のフ
ッ1浚水浴液中で、つぎに熱部水中でそれぞれ超音波を
作用させて洗浄し、乾燥した。ついで中間体束を内径3
0mmの石英ガラス管からなる反応管に該反応管と同軸
上に挿入設ffl シIDr、p、m、の回転速度で反
応管全体を回転さぜるとともに酸水素焔バーナーを反応
管と平行に10cm/分の速度で往復移行さゼ、この間
ガス供給管を通じてBo13ガスと02ガスとをそれぞ
れ20mj/分、2D[]m!/分の流量で約15分間
にわたり連続供給した。酸水素烟バーナーにて加熱され
ている部分の中間体は赤外温度計による測定から約60
0〜1000°Oであった。かくして中間体表面に厚さ
約5μmのB2O3層(以下、第1酸化物層という)を
生成付着させた。
つぎに第1表に示される混合ガスを混合ガス供給量40
0mj/分、混合ガス供給時間20分の条件でそれぞれ
供給し、加熱温度として第1表に示される温度を用いた
ほかは第1酸化物層の形成のばあいと同様にして第1酸
化物層上に厚さ約20μmの混合酸化物層(以下、第2
酸化物層という)を形成した。
さらに第1表に示される混合ガスをそれぞれ用いて第1
表に示される条件以外は第1酸化物層の形成のばあいと
同様にして第2酸化物層上に厚さ約6μmの酸化物層(
以下、第6酸化物層という)を形成した(ただし実施例
2.5においては第6酸化物層は形成しなかった)。
かく処理した中間体束を反応管より取り出し、石英ガラ
ス管を融着した一端を1900°0に加熱して線引きし
、光フアイバ素線91本を含む外径1.6mmの光フア
イバ素線集合体を製造した。
ついで、かくしてえた集合体を中間体としてその91本
を用い、前記と同様の方法をくり返して、光フアイバ素
線集合体をえ、さらにそれ全1900°0にて線引きし
て、光フアイバ素線数8281本、外径1.4!llI
mのマルチプルファイバを製造した。
なお比較のために、中間体表面に第1酸化物層のみを形
成し、第2、第6酸化物層を形成しないほかは前記と同
様にしてマルチプルファイバを製造した。
えられた各マルチプルファイバについてイメージガイド
として用いたばあいの画像分解能を測定した。結果を第
1表に併記する。なお画像分解能はつぎのように測定し
た。
長さ500mのイメージガイドの全表面に外光を遮断す
るために黒色塗料を塗布したのち両端を数mm切断し、
ついで両端面を光学研磨した。研磨したイメージガイド
の一端に対物レンズとして外径2mm 、視野角35°
の集束型棒状結像レンズ(日本板硝子■製セルフォック
レンズ、5LS2、Omm 、 0.25ピツチ)を密
着し、外部視野をイメージガイドの端面に結像させ、そ
れをイメージガイドの他端に伝送し、その像を接眼レン
ズたる焦点距!’ti15mmの凸レンズで拡大し観察
した。
一方観察対象として、E工AJ(日本電子機械工業会)
制定のテストチャー)Aを準備し、それを対物レンズか
ら100mmはなれた位置に置き、接眼レンズを通して
テストチャートを目視観察し、白線と黒線が交互に配置
されたテストチャートの黒線が識別できる限度、すなわ
ち分解能を測定した。
第   1    表
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明において中間体束の中間体表面に特定の
酸化物層を形成する方法を示す説明図、第2図は本発明
において中間体束の線引き工程を示す説明図である。 (図面の主要符号) (1):中間体束 (1a):中間体 (4):反応管 (5):ガス供給管 (ア):バーナー (8):酸化物層 (9)二電熱炉 θO);光フアイバ素線集合体 71図 才2図 31

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 11本のまたは相互に融着集合した多数本の石英ガラス
    系光フアイバ素線からなる光フアイバ素線中間体の多数
    本の束を、B、Ti、PおよびGeよりなる群から選ば
    れた元素を含有する物質の少なくとも1種の気体と酸素
    ガスとの混合雰囲気中に加熱下に曝して各中間体表面上
    に前記元素の酸化物の少なくとも1種の層を形成する第
    1工程、第1工程でえられた中間体の束を、前記酸化物
    層が液体状態にある状態で、B、Tl、PおよびGeよ
    りなる群から選ばれた元素を含有する物質の少なくとも
    1種の気体と81を含有する物質の気体と酸素ガスとの
    混合雰囲気中に曝して前記酸化物層のうえに前記元素の
    酸化物の少なくとも1種と5in2との混合酸化物層を
    形成する第2工程、第2工程でえられた中間体の束を前
    記2層の酸化物層が液体状態にある状態において線F3
    +きする第6エ程とからなることを特徴とする光ファ・
    rバ素線集合体の製法。 2 前記第2工程でえられた中間体の束を、B1’Ii
    、PおよびGeよりなる群から選ばれた元素を含有する
    物質の少なくとも1種の気体と酸素ガスとの混合雰囲気
    中に加熱下に曝して第2工程で形成された混合酸化* 
    M−1−、に前記元素の酸化物の少なくとも1種の層を
    形成し、しかるのち第6エ程に付する特許請求の範囲第
    1項記載の方法。
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