JPS5870544A - 物品移換装置 - Google Patents
物品移換装置Info
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- JPS5870544A JPS5870544A JP16871081A JP16871081A JPS5870544A JP S5870544 A JPS5870544 A JP S5870544A JP 16871081 A JP16871081 A JP 16871081A JP 16871081 A JP16871081 A JP 16871081A JP S5870544 A JPS5870544 A JP S5870544A
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- jigs
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体製品の如き物品を一方の収容治具から他
方の収容治具に移し換える物品移換装置に関する。
方の収容治具に移し換える物品移換装置に関する。
一般に、たとえば半導体ウエノ・の如き物品な一連の処
理工程を経て製造する場合、物品を１つの処理工程から
次の処理工程に移送する必要がある。
理工程を経て製造する場合、物品を１つの処理工程から
次の処理工程に移送する必要がある。
たとえば、半導体ウェハの処理過程では、ウェハを保管
治具と洗浄治具との間で移し換えたり、あるいは他の処
理工程の間で移し換えたりすることが要求される。
治具と洗浄治具との間で移し換えたり、あるいは他の処
理工程の間で移し換えたりすることが要求される。
そこで、従来は、個々のウェハをピンセット等により挾
んで移し換えることが行われている。しかし、この方法
は多数のウェハを移し換える必要上、作業が非常ＩＩｃ
＃Ｊ倒である上Ｋ、異物が付着したり、ウェハがピンセ
ットとの接触で割れや欠けを生じる等の問題点がある。
んで移し換えることが行われている。しかし、この方法
は多数のウェハを移し換える必要上、作業が非常ＩＩｃ
＃Ｊ倒である上Ｋ、異物が付着したり、ウェハがピンセ
ットとの接触で割れや欠けを生じる等の問題点がある。
また、別の従来方法としては、２つの治具を合せた状態
で治具を反転させることｋより一方の治具から他方の治
具にウェハを移し換える方法も提案されている。しかし
、この場合には、ウェハが自然落下しないようにウェハ
をウェハ受けで支持しながら低速で下げなければなわず
、多数の治具の移換えを行うためには費用が多くかかる
上に、移換え時Ｋ”ウェハが割れや欠は等を生じるとい
う問題がある。
で治具を反転させることｋより一方の治具から他方の治
具にウェハを移し換える方法も提案されている。しかし
、この場合には、ウェハが自然落下しないようにウェハ
をウェハ受けで支持しながら低速で下げなければなわず
、多数の治具の移換えを行うためには費用が多くかかる
上に、移換え時Ｋ”ウェハが割れや欠は等を生じるとい
う問題がある。
本発明は前記問題点を解決するためｋなされたもので、
その目的は、物品の破損等を起こすことなく、自動的に
物品の移換えを行うことのできる物品移換装置を提供す
ることにある。
その目的は、物品の破損等を起こすことなく、自動的に
物品の移換えを行うことのできる物品移換装置を提供す
ることにある。
この目的を達成するため、本発明による物品移換装置は
、２つの物品収容用の治具を向い合せとし、一方の治具
内の物品を１個ずつ所定のピッチで他方の治具の中に押
し込むことｋより物品の移換えを行うものである。
、２つの物品収容用の治具を向い合せとし、一方の治具
内の物品を１個ずつ所定のピッチで他方の治具の中に押
し込むことｋより物品の移換えを行うものである。
以下、本発明を図面に示す一実施例にしたがっ【詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明による物品移換装置の一実施例を示す概
略的斜視図、第２図はその拡大平面図である。
略的斜視図、第２図はその拡大平面図である。
本実施例においては、被移換物品の一例として半導体ウ
ェハをカートリッジ式の保管治具と洗浄治具との間で移
し換えるものである。ウエノ・（図示せず）を収容する
保管治具ＩＡと洗浄治具ＩＢとはそれぞれ４個ずつフレ
ーム２の上面部の移動可能なテーブル３上に整列して支
持されている。
ェハをカートリッジ式の保管治具と洗浄治具との間で移
し換えるものである。ウエノ・（図示せず）を収容する
保管治具ＩＡと洗浄治具ＩＢとはそれぞれ４個ずつフレ
ーム２の上面部の移動可能なテーブル３上に整列して支
持されている。
テーブル３の駆動用のモータ５は第３図に示され、テー
ブル３の移動を案内するテーブルガイド６は第５図に示
されている。
ブル３の移動を案内するテーブルガイド６は第５図に示
されている。
治具ＩＡとＩＢは第４図に示すモータ７により回転軸８
を中心として水平位置と垂直位置との間で９０度揺動で
きる。垂直位置にあるときｋは、治具ＩＡとＩＢは一方
から他方へのウェハの移動が可能となるよう相互のウェ
ハ保持溝が水平方向に整合する状態で向い合せ状態とな
る。また、治具ＩＡとＩＢはプッシャー９による移換え
作業の段階に応じて高さが第５図の二点鎖線位置（低位
置）から実線位置（高位置）ｋ変化するよう、ピッチ送
り用リニアヘッド１０によりガイド軸１１に８つ【上下
方向に所定の送りピッチでピッチ送り動作する構成とな
っている。
を中心として水平位置と垂直位置との間で９０度揺動で
きる。垂直位置にあるときｋは、治具ＩＡとＩＢは一方
から他方へのウェハの移動が可能となるよう相互のウェ
ハ保持溝が水平方向に整合する状態で向い合せ状態とな
る。また、治具ＩＡとＩＢはプッシャー９による移換え
作業の段階に応じて高さが第５図の二点鎖線位置（低位
置）から実線位置（高位置）ｋ変化するよう、ピッチ送
り用リニアヘッド１０によりガイド軸１１に８つ【上下
方向に所定の送りピッチでピッチ送り動作する構成とな
っている。
前記プッシャー９はプッシャー駆動用リニアヘッド１２
により一定の高さで水平方向に往復動作して治具ＩＡ、
ＩＢの一方に収容されたウェハな他方の中に押し込んで
移換えを行うものである。
により一定の高さで水平方向に往復動作して治具ＩＡ、
ＩＢの一方に収容されたウェハな他方の中に押し込んで
移換えを行うものである。
七のため、プッシャー９の先端部９人はテフロン（商品
名）で作られ、ウェハとの接触時にウェハの割れや欠は
等のような破損を生じないようになっている。
名）で作られ、ウェハとの接触時にウェハの割れや欠は
等のような破損を生じないようになっている。
前記治具ＩＡ、ＩＢの送りピッチを決定するための送り
ピッチ設定部１３はガイド軸１１の側方に設けられたピ
ッチ検出用のホトセンサおよび適当な送りピッチ設定手
段（図示せず）よりなり、治具ＩＡ、ＩＢの一方または
両方について所望の送りピッチを可変設定できる。すな
わち、治具込。
ピッチ設定部１３はガイド軸１１の側方に設けられたピ
ッチ検出用のホトセンサおよび適当な送りピッチ設定手
段（図示せず）よりなり、治具ＩＡ、ＩＢの一方または
両方について所望の送りピッチを可変設定できる。すな
わち、治具込。
１Ｂの一方に収容したウェハを共に同一のピッチで１枚
ずつ移し換える場合には、送りピッチは両治具ＩＡ、Ｉ
Ｂｋついて同一の送りピッチに設定すればよい。一方、
たとえば受取側の治具（たとえばＩ Ｂ）Ｋ移し換えら
れるウェハを一例として２ピツチ毎にすなわちｌピッチ
ずつ飛ばして移し換えたい場合、受取側の治具ＩＢを２
ピツチずつ上昇させてゆくことにより、受取側のウニ八
間隔を２倍にすることができる。勿論、受渡側と受取側
のウニ八間隔は他の比率に容易に可変設定できる。
ずつ移し換える場合には、送りピッチは両治具ＩＡ、Ｉ
Ｂｋついて同一の送りピッチに設定すればよい。一方、
たとえば受取側の治具（たとえばＩ Ｂ）Ｋ移し換えら
れるウェハを一例として２ピツチ毎にすなわちｌピッチ
ずつ飛ばして移し換えたい場合、受取側の治具ＩＢを２
ピツチずつ上昇させてゆくことにより、受取側のウニ八
間隔を２倍にすることができる。勿論、受渡側と受取側
のウニ八間隔は他の比率に容易に可変設定できる。
なお、符号１４は治具ＩＡ、ＩＢをセットするために使
用されるモータである。
用されるモータである。
次へ本実施例の作用について説明する。まず、治具ＩＡ
、ＩＢの一方、たとえば保管治具ＩＡＫウェハを収容し
たものと空状態の洗浄治具ＩＢとをそれぞれ４個ずつ各
々のテーブル３上に載せてセットした後、装置を始動さ
せる。それｋより、まず−組の治具ＩＡ、ＩＢがテーブ
ル３の移動によって移換位−忙移動し、それら２つの治
具ＩＡ。
、ＩＢの一方、たとえば保管治具ＩＡＫウェハを収容し
たものと空状態の洗浄治具ＩＢとをそれぞれ４個ずつ各
々のテーブル３上に載せてセットした後、装置を始動さ
せる。それｋより、まず−組の治具ＩＡ、ＩＢがテーブ
ル３の移動によって移換位−忙移動し、それら２つの治
具ＩＡ。
ＩＢはモータ７忙より回転軸８を中心として回転し、水
平位置から第１図と第２図の左側の組および第５図の中
央側の組に示すように互いに対向する垂直位ｆＫ９０度
揺動する。その結果、治具ＩＡ内のウェハは垂直状態か
ら水平状態となり、両治具ＩＡ、１Ｂのウェハ保持溝ど
うしは一方から他方へのウェハの移換えが可能な整合状
態で向き合う。そして、この状態の治具ＩＡ、ＩＢは第
５図に二点鎖線で示す位置（低位ｔ）まで下降する。
平位置から第１図と第２図の左側の組および第５図の中
央側の組に示すように互いに対向する垂直位ｆＫ９０度
揺動する。その結果、治具ＩＡ内のウェハは垂直状態か
ら水平状態となり、両治具ＩＡ、１Ｂのウェハ保持溝ど
うしは一方から他方へのウェハの移換えが可能な整合状
態で向き合う。そして、この状態の治具ＩＡ、ＩＢは第
５図に二点鎖線で示す位置（低位ｔ）まで下降する。
この状態で、保管治具ＩＡ側のプッシャー９をプッシャ
ー駆動用リニアヘッド１２により水平方向に駆動すると
、プッシャー９の先端部９Ａは保管治具ＩＡ内の最も上
側のウニノ・を洗浄治具ＩＢのウェハ保持溝の中に押し
込む。このようにして１枚のウェハの移換えが行われ、
プッシャー９は元の位置に復帰する。
ー駆動用リニアヘッド１２により水平方向に駆動すると
、プッシャー９の先端部９Ａは保管治具ＩＡ内の最も上
側のウニノ・を洗浄治具ＩＢのウェハ保持溝の中に押し
込む。このようにして１枚のウェハの移換えが行われ、
プッシャー９は元の位置に復帰する。
次に、治具ＩＡ、ＩＢは送りピッチ設定部１３で設定さ
れた送りピッチでビ、ツチ送り用リニアヘッド１０によ
ってガイド軸１１Ｃｆｆｉって１ピツチだけ上昇し、そ
の状態でブツシャ−９による次の１秋のウェハの移換え
が行われる。
れた送りピッチでビ、ツチ送り用リニアヘッド１０によ
ってガイド軸１１Ｃｆｆｉって１ピツチだけ上昇し、そ
の状態でブツシャ−９による次の１秋のウェハの移換え
が行われる。
このようにして、保管治具ＩＡ内のウニノーは１枚ずつ
洗浄治具ＩＢの中に自動的に移し換えられ、治具ＩＡ、
ＩＢは第５図の実線位置（高位置）Ｋ上昇する。
洗浄治具ＩＢの中に自動的に移し換えられ、治具ＩＡ、
ＩＢは第５図の実線位置（高位置）Ｋ上昇する。
その場合、保管治具ＩＡと洗浄治具ＩＢの送りピッチを
互いに異なるよう設定すれば、治具ＩＡ。
互いに異なるよう設定すれば、治具ＩＡ。
ＩＢのウニノ・間隔を所望の比率に変えることができる
。
。
移換えを終了した保管治具ＩＡと洗浄治具１８０１組は
テーブル３の移動により移換位置から移動し、次の１組
の治具ＩＡ、ＩＢが移換位置に来た後、次の移換えが自
動的に行われる。
テーブル３の移動により移換位置から移動し、次の１組
の治具ＩＡ、ＩＢが移換位置に来た後、次の移換えが自
動的に行われる。
前記とは逆に、洗浄治具ＩＢ内のウェハを保管治具ＩＡ
内に移し換える場合にも、洗浄治具ＩＢ側のプッシャー
９を用いることにより容易に実施でき、ウニへの割れや
欠は等の破損は防止される。
内に移し換える場合にも、洗浄治具ＩＢ側のプッシャー
９を用いることにより容易に実施でき、ウニへの割れや
欠は等の破損は防止される。
なお、本発明は半導体ウニへの移換えに限定されるもの
ではない。
ではない。
以上説明したように、本発明によれば、物品の移換えを
自動的に能率良く行うことができ、物品の破損も防止す
ることができる。また、本発明では、物品の移換えは１
個ずつ行われるので、送りピッチの変更ヤ送り速度の変
東等により常に最適な条件で所望の移換えを行うことが
可能となる。
自動的に能率良く行うことができ、物品の破損も防止す
ることができる。また、本発明では、物品の移換えは１
個ずつ行われるので、送りピッチの変更ヤ送り速度の変
東等により常に最適な条件で所望の移換えを行うことが
可能となる。
第１図は本発明による物品移換装置の一実施例を示す概
略斜視図、第２図はその拡大平ｒＭ図、第３図はテーブ
ル部の部分的斜視図、第４図はプッシャーおよびピッチ
送り部の斜視図、第５図は移換部の概略断面図である。 ＩＡ・・・保管治具、ＩＢ：・・洗浄治具、３・・・テ
ーフ゛ル、５・・・テーブル駆動用のモータ、７・・・
モータ、８・・・回転軸、９・・・ブツシャ−１１０・
・・ピッチ送り用リニアヘッド、１１・・・ガイド軸、
１２・・・プッシャー駆動用リニアヘッド、１３・・・
送りピッチ設定部。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ４ 図 第 ５ 図
略斜視図、第２図はその拡大平ｒＭ図、第３図はテーブ
ル部の部分的斜視図、第４図はプッシャーおよびピッチ
送り部の斜視図、第５図は移換部の概略断面図である。 ＩＡ・・・保管治具、ＩＢ：・・洗浄治具、３・・・テ
ーフ゛ル、５・・・テーブル駆動用のモータ、７・・・
モータ、８・・・回転軸、９・・・ブツシャ−１１０・
・・ピッチ送り用リニアヘッド、１１・・・ガイド軸、
１２・・・プッシャー駆動用リニアヘッド、１３・・・
送りピッチ設定部。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ４ 図 第 ５ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、一方の収容治具内に収容された物品を他方の収容治
具に移し換える物品移換装置において、２つの収容治具
を一方から他方への物品の移換え可能な関係で向い合せ
にする収容治具整合機構と、一方の収容治具内の物品を
他声の収容治具の中に１個ずつ押し込んで移し換える移
換手段と、移換え中の収容治具または前記移換手段を所
定の送りピッチで動作させるピッチ送り機構とからなる
ことを＄１１とする物品移換装置。 ２、前記ピッチ送り機構は２つの収容治具の送りピッチ
を可変的に設定可能であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の物品移換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16871081A JPS5870544A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 物品移換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16871081A JPS5870544A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 物品移換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5870544A true JPS5870544A (ja) | 1983-04-27 |
Family
ID=15873010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16871081A Pending JPS5870544A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 物品移換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5870544A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03261161A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-21 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
-
1981
- 1981-10-23 JP JP16871081A patent/JPS5870544A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03261161A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-21 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
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